#ID_REF = 
#VALUE = log2 RMA signal intensity
ID_REF	VALUE
AFFX-BioB-3_at	7.105014567
AFFX-BioB-5_at	7.41113693
AFFX-BioB-M_at	7.586643393
AFFX-BioC-3_at	8.636765364
AFFX-BioC-5_at	8.489866227
AFFX-BioDn-3_at	10.36273243
AFFX-BioDn-5_at	9.758169892
AFFX-CreX-3_at	12.93124139
AFFX-CreX-5_at	12.14242208
AFFX-DapX-3_at	11.94892824
AFFX-DapX-5_at	10.33654995
AFFX-DapX-M_at	11.41295574
AFFX-LysX-3_at	9.219757963
AFFX-LysX-5_at	7.960866914
AFFX-LysX-M_at	9.045940891
AFFX-PheX-3_at	9.501313171
AFFX-PheX-5_at	8.806131944
AFFX-PheX-M_at	9.498225341
AFFX-r2-Bs-dap-3_at	10.99903171
AFFX-r2-Bs-dap-5_at	10.6063394
AFFX-r2-Bs-dap-M_at	11.02013397
AFFX-r2-Bs-lys-3_at	8.007252139
AFFX-r2-Bs-lys-5_at	8.150565828
AFFX-r2-Bs-lys-M_at	7.8369532
AFFX-r2-Bs-phe-3_at	9.460682632
AFFX-r2-Bs-phe-5_at	9.50593027
AFFX-r2-Bs-phe-M_at	8.9841438
AFFX-r2-Bs-thr-3_s_at	10.95044046
AFFX-r2-Bs-thr-5_s_at	10.00026869
AFFX-r2-Bs-thr-M_s_at	10.88323353
AFFX-r2-Ec-bioB-3_at	7.450984055
AFFX-r2-Ec-bioB-5_at	7.371731836
AFFX-r2-Ec-bioB-M_at	7.7667665
AFFX-r2-Ec-bioC-3_at	9.589201378
AFFX-r2-Ec-bioC-5_at	9.308878466
AFFX-r2-Ec-bioD-3_at	11.26219803
AFFX-r2-Ec-bioD-5_at	10.83962782
AFFX-r2-P1-cre-3_at	13.37359288
AFFX-r2-P1-cre-5_at	12.71045976
AFFX-r2-TagA_at	2.911839433
AFFX-r2-TagB_at	2.848505445
AFFX-r2-TagC_at	2.754007935
AFFX-r2-TagD_at	3.032028074
AFFX-r2-TagE_at	2.620288633
AFFX-r2-TagF_at	3.579869597
AFFX-r2-TagG_at	3.232896558
AFFX-r2-TagH_at	3.587464163
AFFX-r2-TagIN-3_at	3.474642815
AFFX-r2-TagIN-5_at	2.53981295
AFFX-r2-TagIN-M_at	2.830851855
AFFX-r2-TagJ-3_at	3.335407229
AFFX-r2-TagJ-5_at	2.708018418
AFFX-r2-TagO-3_at	3.07000226
AFFX-r2-TagO-5_at	3.025746561
AFFX-r2-TagQ-3_at	2.941818856
AFFX-r2-TagQ-5_at	2.755173377
AFFX-ThrX-3_at	10.91274116
AFFX-ThrX-5_at	9.388622041
AFFX-ThrX-M_at	10.01906357
AFFX-TrpnX-3_at	2.578104639
AFFX-TrpnX-5_at	2.729150715
AFFX-TrpnX-M_at	2.647892152
AFFX-Xl-A00196-1_s_at	2.80969704
AFFX-Xl-a1Act-3_s_at	2.906755904
AFFX-Xl-a1Act-5_s_at	4.404365426
AFFX-Xl-a1Act-M_s_at	4.654792664
AFFX-Xl-a3Act-3_s_at	2.797800288
AFFX-Xl-a3Act-5_s_at	2.988538775
AFFX-Xl-a3Act-M_s_at	3.09091327
AFFX-Xl-AB076373-1_at	2.98391358
AFFX-Xl-AF292559-1_at	2.767106518
AFFX-Xl-AF292559-2_s_at	2.372504495
AFFX-Xl-AF292559-3_s_at	2.422779626
AFFX-Xl-AF292559-4_s_at	3.277034287
AFFX-Xl-AF292560-1_s_at	2.590853769
AFFX-Xl-AF298789-1_at	2.705971181
AFFX-Xl-AF323980-1_at	2.641305287
AFFX-Xl-AJ002682-1_s_at	3.183600896
AFFX-Xl-AJ002682-2_s_at	3.32603209
AFFX-Xl-AJ132968-1_at	2.988514278
AFFX-Xl-AY056050-1_at	5.143845852
AFFX-Xl-AY342347_s_at	3.758723395
AFFX-Xl-bAct-3_s_at	8.520813024
AFFX-Xl-bAct-5_s_at	11.22870757
AFFX-Xl-bAct-M_s_at	12.00982678
AFFX-Xl-E00696-1_s_at	3.071486565
AFFX-Xl-ECOLOXB_at	2.661445597
AFFX-Xl-ECOLOXL_at	2.430309806
AFFX-Xl-ECOLOXL_s_at	2.619759145
AFFX-Xl-Gapd-3_s_at	8.246115352
AFFX-Xl-Gapd-5_s_at	5.853321408
AFFX-Xl-Gapd-M_s_at	8.627332712
AFFX-Xl-J01347-1_s_at	2.562910347
AFFX-Xl-J01347-2_at	2.722940519
AFFX-Xl-J01347-3_at	2.688137292
AFFX-Xl-J01347-4_at	2.711355165
AFFX-Xl-J01636-1_at	4.210721445
AFFX-Xl-J01636-3_at	3.157394925
AFFX-Xl-J01636-4_at	2.582977279
AFFX-Xl-K01486-1_at	3.293220773
AFFX-Xl-M10961-1_at	3.176567089
AFFX-Xl-M10961-4_at	2.713031415
AFFX-Xl-M15077-1_at	2.71302803
AFFX-Xl-M15077-1_s_at	2.620262903
AFFX-Xl-M57289-1_s_at	3.735008685
AFFX-Xl-M62653-1_s_at	2.590224928
AFFX-Xl-NM_131175-1_at	4.419036557
AFFX-Xl-pAsRed2_at	3.408780849
AFFX-Xl-pd2EGFP_at	5.428611802
AFFX-Xl-pDsRed1-1_s_at	3.681473579
AFFX-Xl-U43284-1_s_at	3.698507419
AFFX-Xl-U46493-1_s_at	2.712957638
AFFX-Xl-U47295-1_at	3.234006145
AFFX-Xl-U55943-1_at	2.82673672
AFFX-Xl-U57609-2_s_at	3.223478206
AFFX-Xl-U89963-1_at	3.171902331
AFFX-Xl-X03453-1_at	2.791048138
AFFX-Xl-X03453-2_s_at	12.99611582
AFFX-Xl-X58791-1_s_at	2.73683977
AFFX-Xl-X58791-2_s_at	2.921926406
Xl.1.1.S1_s_at	11.64902109
Xl.10.1.S1_s_at	2.95396053
Xl.100.1.S1_at	8.070862569
Xl.1000.1.S1_at	3.136747884
Xl.10000.1.A1_at	7.907478703
Xl.10001.1.A1_at	2.833569546
Xl.10002.1.A1_at	3.418656232
Xl.10004.1.A1_at	7.005090596
Xl.10004.3.S1_a_at	5.516012035
Xl.10006.1.A1_at	7.442722985
Xl.1001.1.S1_at	2.810440552
Xl.10011.1.A1_at	6.371723612
Xl.10012.1.A1_at	7.276482092
Xl.10013.1.A1_at	6.495094578
Xl.10016.1.A1_at	6.373030354
Xl.10019.1.A1_at	6.447143133
Xl.1002.1.S1_at	5.412568276
Xl.10021.1.A1_at	2.672230067
Xl.10023.1.A1_at	2.506623743
Xl.10024.1.S1_at	6.390684164
Xl.10027.1.A1_at	5.01227534
Xl.1003.1.S1_at	6.389733473
Xl.10030.1.A1_at	3.39205336
Xl.10031.1.A1_at	8.810375398
Xl.10032.1.A1_at	3.417229197
Xl.10032.1.A1_s_at	6.419699525
Xl.10032.2.A1_at	3.767923352
Xl.10034.1.S1_at	7.3649172
Xl.10035.1.S1_at	6.651856996
Xl.10038.1.A1_at	4.900039582
Xl.10039.1.A1_at	3.379799956
Xl.10040.1.A1_at	2.558525183
Xl.10041.1.A1_at	3.866367036
Xl.10043.1.A1_at	7.840398942
Xl.10043.2.S1_at	8.013229997
Xl.10045.1.A1_at	3.378238326
Xl.10046.1.S1_at	4.804548467
Xl.10046.1.S1_x_at	6.06875351
Xl.10048.1.A1_at	3.178826092
Xl.10051.1.A1_at	2.763508195
Xl.10053.1.A1_at	2.735356121
Xl.10054.1.S1_at	7.11066881
Xl.10055.1.S1_at	3.1628134
Xl.10056.1.A1_at	3.146309632
Xl.10058.1.A1_at	2.935840398
Xl.1006.1.S1_at	6.70884526
Xl.10065.1.A1_at	5.979894362
Xl.10066.1.A1_at	7.215992437
Xl.10068.1.A1_at	5.98276014
Xl.1007.1.S1_at	2.973187068
Xl.1007.1.S2_at	2.72485372
Xl.10075.1.A1_at	2.828914001
Xl.10078.1.A1_at	5.789137698
Xl.1008.1.S1_at	7.281264132
Xl.1008.2.A1_at	5.878854777
Xl.10087.1.A1_at	6.678039598
Xl.10089.1.A1_at	5.155607865
Xl.1009.1.S1_a_at	4.707421734
Xl.10090.1.A1_at	5.033710158
Xl.10091.1.A1_at	2.811552652
Xl.10092.1.S1_at	3.111492659
Xl.10096.1.A1_at	5.322324749
Xl.10097.1.A1_at	3.345934431
Xl.10099.1.A1_at	6.086701651
Xl.101.1.S1_at	6.697814253
Xl.1010.1.S1_at	7.78196172
Xl.10101.1.A1_at	2.968635845
Xl.10102.1.A1_at	6.066387317
Xl.10104.1.A1_at	3.15950149
Xl.10105.1.A1_at	6.337523515
Xl.10107.1.A1_at	3.944722836
Xl.10109.1.S1_at	4.856009114
Xl.10109.1.S2_at	5.883319211
Xl.1011.1.S1_at	3.292969871
Xl.10112.1.A1_at	3.123468567
Xl.10116.1.A1_at	6.297247052
Xl.10118.1.S1_at	7.195404027
Xl.10119.1.S1_at	6.456467148
Xl.1012.1.S1_at	2.819012398
Xl.10121.1.A1_at	4.838126515
Xl.10122.1.S1_at	2.691963601
Xl.10123.1.A1_at	7.947257065
Xl.10124.1.A1_at	5.068008078
Xl.10125.1.A1_at	3.247792509
Xl.10129.1.A1_at	2.944012393
Xl.1013.1.S1_at	5.04137197
Xl.10130.1.A1_at	2.949472305
Xl.10139.1.S1_at	3.176680877
Xl.1014.1.S1_at	8.32833498
Xl.10140.1.A1_at	4.297175128
Xl.10142.1.S1_at	4.489169751
Xl.10144.1.A1_at	6.350108172
Xl.10147.1.A1_at	3.615670711
Xl.1015.1.S1_at	8.385741604
Xl.10150.1.A1_at	5.074152083
Xl.10152.1.A1_at	6.644669898
Xl.10154.1.S1_at	3.481538197
Xl.10155.1.A1_at	5.397413351
Xl.10156.1.S1_at	5.305080301
Xl.10159.1.S1_at	4.317736428
Xl.1016.1.S1_at	8.341015411
Xl.10162.1.A1_at	8.267520938
Xl.10166.1.A1_at	7.311088327
Xl.10168.1.A1_at	2.44466165
Xl.1017.1.S1_at	3.442050577
Xl.10170.1.A1_at	5.44049042
Xl.10171.1.A1_at	3.305718411
Xl.10172.1.S1_at	3.717143626
Xl.10173.1.A1_at	6.638500188
Xl.10175.1.A1_at	6.742571275
Xl.10176.1.A1_at	2.431436576
Xl.1018.1.A1_at	5.313481054
Xl.10180.1.S1_at	4.00804244
Xl.10181.1.A1_at	4.426068536
Xl.10182.1.A1_at	5.731131104
Xl.10183.1.A1_at	5.497241073
Xl.10184.1.S1_at	6.963458361
Xl.10186.1.S1_at	6.03748006
Xl.10187.1.A1_at	2.865630742
Xl.10188.1.S1_at	4.658741672
Xl.10189.1.A1_at	3.372863531
Xl.1019.1.S1_at	4.490295856
Xl.10190.1.A1_at	6.582942832
Xl.10191.1.S1_at	8.839767149
Xl.10194.1.A1_at	7.442262648
Xl.10195.1.A1_at	4.47307258
Xl.10198.1.A1_at	5.598685323
Xl.10199.1.A1_at	4.428841111
Xl.102.1.S1_s_at	4.661136869
Xl.10200.1.A1_at	6.540990576
Xl.10201.1.S1_at	3.486106811
Xl.10202.1.S1_at	4.623890267
Xl.10204.1.S1_at	3.809052489
Xl.10205.1.A1_at	2.871449932
Xl.10206.1.A1_x_at	2.617618784
Xl.10208.1.S1_at	6.938242885
Xl.10209.1.S1_at	3.477120394
Xl.10211.1.A1_at	2.911811376
Xl.10212.1.A1_at	6.811497776
Xl.10213.1.A1_at	4.671705369
Xl.10215.1.A1_at	4.143656577
Xl.10216.1.A1_at	6.940837432
Xl.10218.1.S1_at	5.84531753
Xl.1022.1.S1_at	2.990395921
Xl.10220.1.A1_at	8.05928194
Xl.10221.1.A1_at	5.400438903
Xl.10222.1.A1_at	2.920276153
Xl.10224.1.A1_at	3.641770202
Xl.10225.1.A1_at	3.677812466
Xl.10226.1.S1_at	3.459556239
Xl.10227.1.A1_at	5.616281746
Xl.10227.3.S1_a_at	6.105181971
Xl.10227.3.S1_at	4.518605259
Xl.10229.1.A1_at	4.666764469
Xl.1023.1.S1_at	3.657585715
Xl.1023.1.S2_at	3.50800502
Xl.10230.1.A1_at	4.452370884
Xl.10232.1.A1_at	2.862504855
Xl.10236.1.S1_at	6.781068254
Xl.10238.1.A1_at	3.781657444
Xl.1024.1.S1_at	3.862351668
Xl.10241.1.A1_at	7.341432275
Xl.10244.1.A1_at	5.914388004
Xl.10244.1.A1_x_at	5.724751108
Xl.10244.2.S1_a_at	5.982465786
Xl.10244.2.S1_x_at	6.119471422
Xl.10246.1.A1_at	8.001188954
Xl.10247.1.S1_at	3.763260088
Xl.1025.1.S1_at	3.282719494
Xl.10250.1.A1_at	2.49460088
Xl.10251.1.A1_at	4.421501099
Xl.10253.1.A1_at	3.253787877
Xl.10256.1.A1_at	2.652413967
Xl.10257.1.A1_at	2.7255582
Xl.10258.1.A1_at	7.122387088
Xl.10259.1.A1_at	3.382413419
Xl.1026.1.S1_at	8.570793614
Xl.10260.1.S1_at	4.718121886
Xl.10261.1.S1_at	2.806224278
Xl.10263.1.A1_at	2.646647589
Xl.10264.1.A1_at	5.491286115
Xl.10265.1.A1_at	4.146499477
Xl.10266.1.A1_at	4.585883708
Xl.10268.1.S1_at	6.514058
Xl.10269.1.S1_at	3.013077878
Xl.1027.1.S1_at	6.3396507
Xl.10270.1.A1_at	3.020064542
Xl.10271.1.A1_at	4.697874034
Xl.10272.1.A1_at	8.177797337
Xl.10273.1.A1_at	5.111199033
Xl.10274.1.A1_at	3.439903987
Xl.10276.1.A1_at	6.670486488
Xl.10277.1.A1_at	3.500482306
Xl.10278.1.A1_at	3.074528186
Xl.10279.1.A1_at	3.070285813
Xl.1028.2.S1_a_at	4.471693121
Xl.10281.1.S1_at	6.52658312
Xl.10282.1.A1_at	4.864610733
Xl.10285.1.A1_at	4.531722108
Xl.10287.1.S1_at	7.714303814
Xl.10288.1.A1_at	2.954538163
Xl.10289.1.A1_at	3.573817661
Xl.1029.1.S1_at	2.975383827
Xl.10290.1.A1_at	7.204814008
Xl.10292.1.S1_at	4.431192503
Xl.10293.1.A1_at	5.732718004
Xl.10295.1.S1_at	6.537139877
Xl.10296.1.A1_at	2.793231171
Xl.10297.1.A1_at	3.105936532
Xl.10298.1.A1_at	3.702076124
Xl.10299.1.S1_at	2.764392449
Xl.103.1.S1_at	4.8906265
Xl.1030.1.S1_at	6.062711994
Xl.10300.1.A1_at	3.090882565
Xl.10302.1.A1_at	2.741466204
Xl.10304.1.A1_at	4.209223838
Xl.10305.1.A1_at	3.126004937
Xl.10307.1.A1_at	3.50064185
Xl.10308.1.A1_at	3.316650483
Xl.10309.1.A1_at	3.661215878
Xl.10311.1.A1_at	7.576371536
Xl.10312.1.A1_at	6.069048247
Xl.10313.1.A1_at	5.11954425
Xl.10314.1.A1_at	2.725587015
Xl.10316.1.A1_at	4.994626537
Xl.1032.1.S1_at	2.91169646
Xl.10320.1.A1_at	5.749015468
Xl.10323.1.A1_at	3.01433225
Xl.10324.1.A1_at	5.827208349
Xl.10326.1.A1_at	4.159188906
Xl.10327.1.A1_at	3.862667185
Xl.10329.1.S1_at	4.707772782
Xl.1033.1.S1_at	3.035741556
Xl.10332.1.A1_at	2.501876396
Xl.10334.1.A1_at	2.71524253
Xl.10335.1.A1_at	3.152426139
Xl.10336.1.A1_at	6.907252336
Xl.1034.1.S1_at	3.787250159
Xl.10340.1.A1_at	6.696443404
Xl.10342.1.A1_at	2.862567043
Xl.10343.1.A1_at	7.888733341
Xl.10346.1.A1_at	3.823835934
Xl.10347.1.A1_at	5.165145474
Xl.10348.1.A1_at	4.132557318
Xl.10349.1.A1_at	4.87826123
Xl.1035.1.S1_at	6.575488856
Xl.10351.1.A1_at	4.816841001
Xl.10353.1.A1_at	4.084709433
Xl.10356.1.A1_at	3.017309996
Xl.10358.1.S1_at	3.541554103
Xl.1036.2.S1_a_at	2.863037575
Xl.10361.1.A1_at	3.034513735
Xl.10362.1.A1_at	3.132054687
Xl.10363.1.A1_at	3.84517154
Xl.10364.1.A1_at	4.276618308
Xl.10366.1.A1_at	3.734358684
Xl.10367.1.S1_at	6.106525551
Xl.10368.1.A1_at	2.645271204
Xl.1037.1.S1_at	3.188181916
Xl.10373.1.S1_at	7.616997785
Xl.10374.1.A1_at	4.988472606
Xl.10375.1.A1_at	7.506225061
Xl.10377.1.S1_at	3.569553468
Xl.10379.1.A1_at	5.926104017
Xl.1038.1.S1_at	3.670039459
Xl.10381.1.S1_at	3.773947801
Xl.10383.1.A1_at	5.192444319
Xl.1039.1.S1_at	8.408530836
Xl.10390.1.A1_at	5.818778712
Xl.10393.1.A1_at	8.719920669
Xl.10394.1.A1_at	5.73709281
Xl.10395.1.A1_at	4.699766378
Xl.10397.1.A1_at	2.548314481
Xl.104.1.S1_at	5.479792665
Xl.104.1.S1_s_at	6.514773018
Xl.1040.1.S1_at	4.762259633
Xl.10400.1.A1_at	2.789000463
Xl.10401.1.A1_at	2.551882539
Xl.10405.1.A1_at	3.083600924
Xl.10406.1.A1_at	6.763623328
Xl.10406.2.A1_at	5.63696789
Xl.10407.1.A1_at	4.714530898
Xl.10408.1.A1_at	5.998101282
Xl.1041.1.S1_at	6.420244061
Xl.10410.1.S1_at	7.24090796
Xl.10411.1.A1_at	5.834298012
Xl.10415.1.A1_at	3.018322338
Xl.10417.1.S1_at	5.014432023
Xl.10418.1.A1_at	6.165022712
Xl.10419.1.A1_at	4.714654137
Xl.1042.1.S1_at	5.305597805
Xl.10420.1.A1_at	5.812583213
Xl.10421.1.A1_at	4.077667711
Xl.10424.1.A1_at	3.12634943
Xl.10425.1.S1_at	7.017405804
Xl.10426.1.A1_at	2.837062934
Xl.10428.1.A1_at	3.994658496
Xl.1043.1.S1_at	8.624144228
Xl.10430.1.A1_at	6.208791164
Xl.10430.2.S1_at	6.387097151
Xl.10431.1.A1_at	2.811444682
Xl.10433.1.A1_at	3.244106077
Xl.10434.1.A1_at	6.978517606
Xl.10436.1.A1_at	3.620033079
Xl.10438.1.S1_at	2.572638603
Xl.1044.1.S1_at	3.501252935
Xl.10440.1.S1_at	8.713345387
Xl.10444.1.S1_at	8.071489901
Xl.10446.1.A1_at	3.052195227
Xl.10447.1.A1_at	2.543442687
Xl.10447.1.A1_x_at	4.628157219
Xl.10448.2.A1_at	3.118792156
Xl.10449.1.A1_at	4.129688926
Xl.1045.1.S1_at	2.544159128
Xl.10452.1.A1_at	5.988743265
Xl.10455.1.A1_at	2.773423101
Xl.10456.1.A1_at	2.649834731
Xl.10459.1.A1_at	5.327956284
Xl.1046.1.S1_at	4.369069059
Xl.10460.1.S1_at	5.91282212
Xl.10462.1.S1_at	7.126399326
Xl.10467.1.A1_at	8.168487648
Xl.10468.1.S1_at	5.68797904
Xl.1047.1.S1_at	5.332338722
Xl.10470.1.A1_at	3.143671442
Xl.10471.1.S1_at	2.571934511
Xl.10472.1.A1_at	3.596144954
Xl.10474.1.A1_at	3.130756834
Xl.10475.1.A1_at	3.261255901
Xl.1048.1.A1_at	2.799039305
Xl.1048.1.S1_at	2.701026215
Xl.10480.1.A1_at	2.947403571
Xl.10484.1.A1_at	2.912148559
Xl.10489.1.A1_at	3.813620517
Xl.1049.1.S1_s_at	4.400796377
Xl.10495.1.A1_at	6.502534114
Xl.10498.3.A1_at	3.308704676
Xl.105.1.S1_at	3.852505906
Xl.10500.1.A1_at	2.779336092
Xl.10501.1.A1_at	6.816537919
Xl.10504.1.A1_at	4.727173231
Xl.10505.1.A1_at	2.422760315
Xl.10508.1.S1_at	6.38612549
Xl.1051.1.S1_at	3.952130696
Xl.10510.1.A1_at	8.196646
Xl.10511.1.A1_a_at	6.342077546
Xl.10511.1.A1_at	4.022558617
Xl.10511.3.A1_at	4.128540656
Xl.10511.3.A1_x_at	4.815995594
Xl.10513.1.A1_at	3.279067729
Xl.10515.1.A1_at	2.930128569
Xl.10517.1.A1_at	4.261076414
Xl.10518.1.A1_at	2.810000988
Xl.10525.1.A1_at	3.916877845
Xl.10526.1.S1_a_at	3.608043733
Xl.10527.1.A1_at	3.712869181
Xl.10528.1.A1_at	2.691559263
Xl.1053.1.S1_at	5.489862347
Xl.10530.1.A1_at	2.746330886
Xl.10531.1.A1_at	4.409526657
Xl.10532.1.A1_at	3.320309052
Xl.10533.1.A1_at	5.699487613
Xl.10534.1.S1_at	6.549399628
Xl.10535.1.A1_at	4.404021863
Xl.10536.1.A1_at	2.771292018
Xl.10538.1.A1_at	5.521360838
Xl.1054.1.S2_at	5.580908311
Xl.1054.1.S2_s_at	5.873730419
Xl.10540.1.S1_at	2.952671895
Xl.10541.1.A1_at	4.209368191
Xl.10541.2.A1_at	4.352572851
Xl.10542.1.A1_at	6.124293211
Xl.10544.1.A1_at	4.145532057
Xl.10547.1.A1_at	4.917617211
Xl.10548.1.A1_at	7.925452432
Xl.1055.1.S1_at	2.469837878
Xl.1055.1.S1_s_at	2.967333578
Xl.10550.1.S1_at	5.544342463
Xl.10552.1.A1_at	4.653328983
Xl.10553.1.A1_at	6.20395758
Xl.10554.1.A1_at	4.222378035
Xl.10555.1.A1_at	4.136072029
Xl.10556.1.A1_at	5.235281359
Xl.10557.1.A1_at	3.184830837
Xl.1056.1.S1_a_at	2.789535997
Xl.1056.2.A1_at	3.424422235
Xl.1056.2.S1_a_at	2.664463559
Xl.10561.1.A1_at	6.125700858
Xl.10562.1.A1_at	4.208599738
Xl.10563.1.S1_at	8.89293632
Xl.10569.1.A1_at	7.097832965
Xl.1057.1.S1_at	7.087936873
Xl.10574.1.S1_at	5.067058195
Xl.10577.1.A1_at	2.967222021
Xl.10578.1.A1_at	6.438605701
Xl.10579.1.A1_at	6.649299312
Xl.1058.1.S1_at	4.086404524
Xl.10581.1.S1_at	6.179885492
Xl.10583.1.S1_at	5.821393855
Xl.10587.1.S1_at	3.818780246
Xl.10589.1.A1_at	3.075996038
Xl.10590.1.S1_at	4.581272768
Xl.10591.1.S1_at	5.755531422
Xl.10592.1.A1_at	2.949431388
Xl.10593.1.A1_at	3.570198269
Xl.10596.1.A1_at	4.09039389
Xl.10597.1.A1_at	5.381248587
Xl.10598.1.A1_at	2.791497281
Xl.10599.1.A1_at	6.2884543
Xl.1060.1.S1_at	5.310916802
Xl.10600.1.S1_at	5.666827652
Xl.10601.1.A1_at	5.904829613
Xl.10602.1.A1_at	2.651765771
Xl.10603.1.A1_at	4.623261817
Xl.10604.1.S1_at	8.008694336
Xl.10605.1.A1_at	8.808039136
Xl.10607.1.A1_at	5.240745145
Xl.10608.1.A1_at	4.288100591
Xl.10609.1.A1_at	6.506533649
Xl.1061.1.S1_at	2.393666599
Xl.10610.1.S1_at	5.659825595
Xl.10611.1.A1_at	3.146945532
Xl.10612.1.A1_at	4.058268558
Xl.10614.1.A1_at	4.356067771
Xl.10616.1.A1_at	5.830675944
Xl.10618.1.A1_at	3.805735572
Xl.10620.1.S1_at	6.301860143
Xl.10621.1.S1_at	3.41245142
Xl.10621.3.A1_at	4.026961448
Xl.10622.1.A1_at	2.595029983
Xl.10623.1.S1_at	6.424806926
Xl.10624.1.S1_at	3.871912534
Xl.10625.1.A1_at	2.44911214
Xl.10629.1.A1_at	6.98210609
Xl.1063.1.S1_at	7.781969856
Xl.10632.1.A1_at	3.258657053
Xl.10633.1.S1_at	5.177802294
Xl.10636.1.A1_at	3.188226944
Xl.10638.1.A1_at	3.249581913
Xl.10639.1.S1_at	3.472093357
Xl.1064.1.S1_at	3.897545215
Xl.10642.1.S1_at	2.684137365
Xl.10644.1.A1_at	6.636208553
Xl.10646.1.A1_at	3.081975172
Xl.1065.1.S1_at	3.174708166
Xl.1065.1.S1_s_at	5.348425711
Xl.10658.1.A1_at	2.847797903
Xl.10658.1.A1_x_at	3.18342904
Xl.1066.1.A1_at	7.100542353
Xl.10661.1.S1_at	2.817323497
Xl.10664.1.S1_at	2.876488035
Xl.10667.1.A1_at	5.147876077
Xl.10669.1.A1_at	2.749143115
Xl.1067.1.S1_at	5.364157186
Xl.10670.1.A1_at	4.999143663
Xl.10673.1.S1_at	4.355320984
Xl.10677.1.A1_at	2.415190914
Xl.10678.1.A1_at	2.611351909
Xl.1068.1.S1_a_at	3.452923167
Xl.10681.1.A1_at	5.148948547
Xl.10684.1.A1_at	2.629051161
Xl.10685.1.S1_at	5.332898699
Xl.10685.2.A1_at	7.508979115
Xl.1069.1.S1_at	3.061608324
Xl.10693.1.A1_at	5.24932482
Xl.10695.1.A1_at	2.607895519
Xl.10696.1.S1_at	9.948059188
Xl.1070.1.S1_at	3.123574836
Xl.10705.1.A1_at	9.032276776
Xl.10708.1.S1_at	3.03250531
Xl.1071.1.S1_at	3.26912877
Xl.10714.1.S1_at	5.098982607
Xl.10715.1.A1_at	7.744032501
Xl.10718.1.A1_at	6.345250756
Xl.1072.1.S1_at	8.382536221
Xl.1072.1.S2_at	7.528730227
Xl.10720.1.A1_at	4.378721033
Xl.1073.1.S1_at	5.618941865
Xl.10730.1.S1_at	7.463605646
Xl.10734.1.A1_at	2.698952002
Xl.10735.1.A1_at	4.999863651
Xl.10737.1.A1_at	3.973803658
Xl.10739.1.S1_at	2.715186576
Xl.1074.1.S1_at	2.797636673
Xl.10742.1.A1_at	6.940740265
Xl.10743.1.A1_at	5.025781006
Xl.10743.1.A1_x_at	6.047504595
Xl.10743.2.S1_a_at	4.131696473
Xl.10743.2.S1_at	3.110290083
Xl.10747.1.A1_at	6.604451576
Xl.10749.1.A1_at	2.95020484
Xl.1075.1.S1_at	8.056803692
Xl.10750.1.S1_at	2.896021116
Xl.10751.1.A1_at	2.992304831
Xl.10753.1.A1_at	2.515690366
Xl.10756.1.A1_at	3.853356059
Xl.1076.1.S1_at	11.42399891
Xl.10760.1.S1_at	2.795082096
Xl.10764.1.A1_at	2.547468528
Xl.10766.1.A1_at	4.538570113
Xl.10769.1.A1_at	3.675906785
Xl.1077.1.S1_at	6.354686487
Xl.10770.1.A1_at	5.306846545
Xl.10771.1.A1_at	3.214253383
Xl.10777.1.A1_at	2.878376438
Xl.10779.1.A1_at	2.863759774
Xl.1078.1.S1_at	9.271324228
Xl.10780.1.A1_at	3.409229096
Xl.10783.1.A1_at	2.540285672
Xl.10784.1.A1_at	3.774401998
Xl.10785.1.A1_at	7.06796646
Xl.1079.1.S1_at	10.55788944
Xl.1079.2.A1_at	9.146392521
Xl.10790.1.S1_at	5.67111905
Xl.10791.1.A1_at	2.864022527
Xl.10792.1.A1_at	2.644895948
Xl.10794.1.A1_at	3.625104722
Xl.10795.1.A1_a_at	2.633933961
Xl.10795.1.A1_at	2.375819357
Xl.10796.1.S1_at	7.176026111
Xl.10796.1.S2_at	4.57676822
Xl.10797.1.A1_at	3.885943226
Xl.108.1.S1_at	3.082545804
Xl.1080.1.S1_at	5.225947022
Xl.10800.1.A1_at	5.643650351
Xl.10803.1.A1_at	7.226203638
Xl.10804.1.A1_at	3.601076403
Xl.10804.2.A1_at	3.865561388
Xl.10805.1.A1_at	4.151290498
Xl.10807.1.A1_at	3.215889916
Xl.1081.1.S1_at	2.794612703
Xl.10810.1.A1_at	2.963355618
Xl.10814.1.A1_at	4.216476024
Xl.10815.1.A1_at	3.532739611
Xl.10817.1.S1_at	6.315953456
Xl.10818.1.A1_at	6.237533735
Xl.10819.1.S1_at	4.664593069
Xl.1082.1.S1_at	3.08282958
Xl.10823.1.S1_at	4.767384038
Xl.10826.1.A1_at	7.419700719
Xl.1083.1.S1_at	3.625313542
Xl.1083.1.S1_s_at	6.2728832
Xl.10830.1.A1_at	3.607511997
Xl.10835.1.S1_at	8.018481301
Xl.10836.1.S1_at	3.81587493
Xl.10837.1.A1_at	7.032810246
Xl.10840.1.A1_at	6.625931014
Xl.10842.1.A1_at	4.125685002
Xl.10843.1.A1_at	2.64406183
Xl.10844.1.A1_at	2.995618977
Xl.10845.1.A1_at	3.432517424
Xl.10846.1.A1_at	2.757503844
Xl.10847.1.A1_at	2.558806272
Xl.1085.1.S1_at	9.368103947
Xl.10850.1.S1_at	3.815011953
Xl.10853.1.A1_at	4.111739172
Xl.10854.1.A1_at	3.240902473
Xl.10855.1.A1_at	3.001012827
Xl.10858.1.A1_at	6.587004887
Xl.10859.1.A1_at	3.35120248
Xl.1086.1.S1_at	3.102145843
Xl.10860.1.A1_at	2.835956654
Xl.10861.1.A1_at	5.418697807
Xl.10862.1.S1_at	5.048468834
Xl.10863.1.S1_at	4.923196205
Xl.10863.2.S1_at	5.161260583
Xl.10863.3.A1_at	6.203843528
Xl.10865.1.A1_at	2.409843076
Xl.10866.1.A1_at	3.241710217
Xl.10867.1.S1_at	5.645568385
Xl.10867.2.S1_a_at	5.857261524
Xl.10868.1.S1_at	8.716243821
Xl.1087.1.S1_at	3.16265319
Xl.10870.1.A1_at	3.295341932
Xl.10871.1.A1_at	5.063467769
Xl.10873.1.A1_at	4.787416461
Xl.10874.1.A1_at	6.326057488
Xl.10876.1.A1_at	3.735214221
Xl.10877.1.A1_at	5.165570444
Xl.10878.1.A1_at	4.960997875
Xl.1088.1.S1_at	2.555746001
Xl.10883.1.A1_at	6.253759268
Xl.10884.1.A1_at	2.945138526
Xl.10885.1.A1_at	4.15772009
Xl.10887.1.A1_at	3.16806072
Xl.10892.1.A1_at	5.69422805
Xl.10894.1.A1_at	6.98252936
Xl.10898.1.A1_at	8.768122557
Xl.109.1.S1_at	7.683199512
Xl.1090.1.S1_at	4.951552001
Xl.10901.1.A1_at	6.131698619
Xl.10905.1.S1_at	3.013417906
Xl.10906.1.S1_at	7.091806932
Xl.10907.1.A1_at	4.292386009
Xl.10907.2.A1_at	6.218172477
Xl.10912.1.A1_at	2.749421794
Xl.10913.1.A1_at	2.622311008
Xl.10914.1.S1_s_at	7.073624653
Xl.10918.1.A1_at	2.333489117
Xl.1092.1.S1_at	8.835124252
Xl.10920.1.A1_at	4.419720791
Xl.10921.1.S1_at	4.978710688
Xl.10921.2.A1_at	5.419995658
Xl.10922.1.A1_at	7.006086666
Xl.10925.1.S1_at	5.064363049
Xl.10926.1.A1_at	4.388867253
Xl.10927.1.S1_at	2.80619295
Xl.1093.1.S1_at	3.600748497
Xl.10930.1.A1_at	3.789371623
Xl.10934.1.A1_a_at	6.180518938
Xl.10935.1.A1_at	6.920736309
Xl.10935.2.A1_at	4.211474432
Xl.10935.2.A1_x_at	4.164422437
Xl.10935.3.S1_at	5.551032589
Xl.10936.1.A1_at	4.955884377
Xl.10937.1.A1_at	7.389444768
Xl.1094.1.S1_at	4.224051894
Xl.10940.1.A1_at	5.737141152
Xl.10948.1.A1_at	5.429715436
Xl.1095.1.S1_at	2.904066133
Xl.10954.1.S1_at	7.81677328
Xl.10956.1.A1_at	2.869293815
Xl.10958.1.S1_at	6.49053648
Xl.1096.1.S1_at	3.192203335
Xl.10960.1.A1_at	5.436106473
Xl.10967.1.S1_at	5.63440938
Xl.1097.1.S1_at	2.700299242
Xl.1097.1.S1_x_at	2.950532213
Xl.10973.1.A1_at	3.347754149
Xl.1098.1.S1_at	3.336548738
Xl.10980.1.A1_at	2.573684278
Xl.10984.1.A1_at	4.116682457
Xl.10985.1.A1_at	6.766990933
Xl.10986.1.S1_at	4.659593024
Xl.10987.1.A1_at	4.155084551
Xl.10988.1.A1_at	3.692002376
Xl.10989.1.A1_at	3.90691811
Xl.1099.1.S1_at	3.089885389
Xl.1099.2.S1_a_at	3.488907378
Xl.10998.1.A1_at	2.585632649
Xl.11.1.S1_at	3.297925549
Xl.110.1.S1_at	4.611374955
Xl.1100.1.S1_at	8.214862489
Xl.11004.1.A1_at	3.018494764
Xl.11005.1.S1_at	7.130146067
Xl.11014.1.A1_at	4.678701194
Xl.1102.1.S1_at	3.251171515
Xl.1103.1.S1_at	2.803949824
Xl.11031.1.A1_at	4.865850673
Xl.11032.1.A1_at	2.840785217
Xl.11033.1.A1_at	3.629203246
Xl.11034.1.A1_at	6.36387404
Xl.11035.1.A1_at	2.90703865
Xl.11036.1.A1_at	6.950684507
Xl.11038.1.A1_at	5.17071708
Xl.11039.1.A1_at	2.868563317
Xl.1104.1.S1_at	3.939754066
Xl.11040.1.S1_at	5.23384836
Xl.11041.1.A1_at	3.942469477
Xl.11042.1.A1_at	7.271988385
Xl.11043.1.A1_at	2.770117183
Xl.11046.1.A1_at	5.497204229
Xl.11047.1.A1_at	3.123730541
Xl.11048.1.A1_at	5.695773605
Xl.1105.1.S1_at	3.268361237
Xl.11050.2.A1_at	4.209404857
Xl.11051.1.A1_at	2.888413372
Xl.11052.1.A1_at	3.299306203
Xl.11053.1.A1_at	7.769491957
Xl.11056.1.A1_at	5.057861258
Xl.11057.1.A1_at	3.164374378
Xl.1106.1.S1_at	3.071364018
Xl.11060.1.A1_at	4.49872689
Xl.11062.1.S1_at	8.414071071
Xl.11063.1.A1_at	5.114623065
Xl.11066.1.A1_at	6.035046294
Xl.1107.1.S1_at	3.306804905
Xl.11071.1.S1_at	6.333530905
Xl.11073.1.A1_at	6.456460391
Xl.11074.1.S1_at	4.908790228
Xl.11075.1.A1_at	6.4440699
Xl.11076.1.S1_at	5.193820926
Xl.11077.1.A1_at	3.596703658
Xl.11078.1.A1_at	5.992352224
Xl.11079.1.S1_at	7.834951535
Xl.1108.1.S1_at	5.804788067
Xl.11080.1.S1_at	4.17610641
Xl.11081.1.S1_at	2.955277955
Xl.11082.1.A1_at	6.935115519
Xl.11082.1.A1_x_at	6.917670332
Xl.11085.1.A1_at	5.747828053
Xl.11085.1.A1_x_at	6.165619794
Xl.11086.1.S1_at	6.002919064
Xl.11087.1.A1_at	4.011701858
Xl.11089.1.A1_at	4.028804081
Xl.1109.1.S1_at	2.572581826
Xl.11091.1.A1_at	4.921628704
Xl.11093.1.A1_at	4.148954734
Xl.11094.1.S1_at	2.496107043
Xl.11095.1.A1_at	4.186802762
Xl.11096.1.S1_at	5.793482465
Xl.11097.1.S1_at	2.833798067
Xl.11099.1.A1_at	3.439170174
Xl.111.1.S1_at	6.451799901
Xl.1110.1.S1_at	5.690757396
Xl.11101.1.A1_at	4.311685236
Xl.11103.1.A1_at	4.48583401
Xl.11104.1.A1_at	3.764346797
Xl.11107.1.A1_at	3.988370937
Xl.11109.1.A1_at	5.513170731
Xl.1111.1.S1_at	7.405029945
Xl.11111.1.A1_at	7.344423963
Xl.11114.1.A1_at	3.044350886
Xl.11115.1.A1_at	4.447662333
Xl.11115.2.S1_a_at	2.985970112
Xl.11116.1.S1_at	2.601115991
Xl.11117.1.S1_at	5.173961519
Xl.1112.1.S1_a_at	8.800712608
Xl.1112.3.A1_at	8.81500166
Xl.11120.1.S1_at	2.624657274
Xl.11121.1.A1_at	6.717699699
Xl.11125.1.A1_at	3.805331922
Xl.11126.1.A1_at	5.070464927
Xl.11127.1.A1_at	7.122619396
Xl.11128.1.S1_at	3.566352343
Xl.11129.1.A1_at	6.32575398
Xl.1113.1.S1_at	5.568193598
Xl.11132.1.A1_at	2.930122206
Xl.11134.1.S1_at	8.337285959
Xl.11135.1.A1_at	6.932555975
Xl.11136.1.A1_at	4.53149583
Xl.11138.1.A1_at	3.156370523
Xl.1114.1.S1_at	7.278225575
Xl.11141.1.A1_at	5.344101194
Xl.11142.1.A1_at	4.090823244
Xl.11144.1.A1_at	2.942314807
Xl.11145.1.A1_at	5.962686797
Xl.11146.1.A1_at	2.855981517
Xl.11147.1.S1_at	7.809949395
Xl.11148.1.A1_at	3.628001428
Xl.11149.1.A1_at	5.584397545
Xl.11150.1.A1_at	2.81573735
Xl.11151.1.S1_at	5.898614676
Xl.11152.1.S1_at	5.965682278
Xl.11153.1.A1_at	4.944954301
Xl.11156.1.A1_at	3.485209509
Xl.11159.1.A1_at	4.82591389
Xl.11162.1.A1_at	7.334555153
Xl.11164.1.S1_at	5.498624097
Xl.11165.1.A1_at	3.035968234
Xl.11168.1.A1_at	7.338055698
Xl.11168.2.S1_at	7.573390117
Xl.1117.1.S1_at	3.46743974
Xl.1117.2.A1_at	3.091796739
Xl.11172.1.A1_at	3.200018507
Xl.11176.1.A1_at	2.779861008
Xl.11177.1.A1_at	2.746422597
Xl.11178.1.A1_at	3.052521998
Xl.1118.1.S1_at	2.630330247
Xl.11181.1.A1_at	4.71423684
Xl.11182.1.S1_at	7.363528614
Xl.11186.1.A1_at	8.291950148
Xl.11186.2.S1_at	6.97910688
Xl.11187.1.A1_at	5.725254161
Xl.11188.1.S1_at	2.986669714
Xl.11189.1.S1_at	4.857546781
Xl.1119.1.S1_s_at	2.711073791
Xl.11190.1.S1_at	3.16524713
Xl.11191.1.A1_at	3.828783893
Xl.11196.1.A1_at	2.896696912
Xl.11198.1.A1_at	3.735341444
Xl.112.1.S1_at	2.970682906
Xl.1120.1.S1_at	2.970852406
Xl.11200.1.A1_at	5.645928897
Xl.11202.1.A1_at	2.840400884
Xl.11203.1.A1_at	6.072975376
Xl.11208.1.S1_at	4.658398623
Xl.11212.1.A1_at	3.762559302
Xl.11215.1.A1_at	8.545916569
Xl.11217.1.A1_at	5.383007905
Xl.1122.1.S1_at	2.616824952
Xl.11223.1.A1_at	5.208093625
Xl.11226.1.A1_at	6.159972516
Xl.11229.1.A1_at	4.568810263
Xl.1123.1.S1_at	4.757044026
Xl.11235.1.S1_at	6.450841283
Xl.11236.1.S1_at	7.848568016
Xl.11237.1.S1_at	4.263738678
Xl.11248.1.S1_at	2.657217268
Xl.1125.1.S1_at	2.530217192
Xl.11254.1.A1_at	3.061343102
Xl.1126.1.S1_at	2.872628597
Xl.1126.1.S1_s_at	3.543706864
Xl.1127.1.S1_at	3.211056137
Xl.11270.1.A1_at	3.00790545
Xl.11275.1.S1_at	8.616879351
Xl.1128.1.S1_at	6.832654463
Xl.11295.1.A1_at	4.289030088
Xl.113.1.S1_at	5.054846522
Xl.1130.1.S1_s_at	8.479551083
Xl.1130.10.S1_s_at	7.150199145
Xl.1130.2.S1_a_at	6.866454838
Xl.1130.4.S1_s_at	7.036878061
Xl.1130.5.S1_a_at	7.397039656
Xl.1130.7.S1_s_at	7.418625165
Xl.1130.8.S1_x_at	6.617557563
Xl.11300.1.A1_at	3.05846702
Xl.11301.1.A1_at	4.799999229
Xl.11302.1.A1_at	4.475113242
Xl.11304.1.A1_at	3.743214411
Xl.11306.1.A1_at	4.968784072
Xl.11309.1.A1_at	2.495255772
Xl.1131.1.S1_at	7.102271177
Xl.11312.1.A1_at	4.588222493
Xl.1132.1.S1_at	4.786029175
Xl.11322.1.S1_at	5.168249273
Xl.11324.1.A1_at	2.432209895
Xl.11325.1.S1_at	6.054679321
Xl.11326.1.S1_at	3.980676123
Xl.11329.1.S1_at	3.880756392
Xl.1133.1.S1_at	3.174911993
Xl.11332.1.S1_at	8.245515882
Xl.11336.1.S1_at	8.835401608
Xl.11337.1.S1_at	2.88182095
Xl.11338.1.A1_at	8.036726575
Xl.11340.1.A1_at	7.671461629
Xl.11342.1.S1_at	6.910842223
Xl.11343.1.A1_at	7.309788957
Xl.11348.1.S1_at	4.746732346
Xl.11349.1.A1_at	5.713261148
Xl.1135.1.S1_at	3.65958452
Xl.11353.1.A1_at	6.860133252
Xl.11356.1.S1_at	2.86653767
Xl.11357.1.A1_at	3.624508098
Xl.1136.1.A1_at	3.660551753
Xl.1136.1.S1_at	2.935929832
Xl.11365.1.A1_at	4.215843129
Xl.11369.1.S1_at	5.616829029
Xl.1137.1.S1_at	2.889402531
Xl.1137.1.S1_x_at	3.04438106
Xl.11371.1.S1_at	7.994432611
Xl.11373.1.S1_at	6.788904078
Xl.11376.1.A1_at	7.044608141
Xl.1138.1.S1_at	3.553444725
Xl.11384.1.S1_at	4.28090496
Xl.11387.1.S1_at	7.618512702
Xl.1139.1.S1_at	6.862591466
Xl.11392.1.A1_at	4.659490167
Xl.11393.1.A1_at	5.319370322
Xl.11394.1.A1_at	3.388992085
Xl.11399.1.S1_at	7.811414628
Xl.1140.1.S1_at	3.509002421
Xl.1140.1.S1_s_at	2.977881899
Xl.11400.1.A1_at	7.092509931
Xl.11403.1.A1_at	7.321105833
Xl.11404.1.S1_at	6.888279937
Xl.11405.1.S1_a_at	3.380430692
Xl.11413.1.S1_at	6.002777331
Xl.11414.1.A1_at	2.605148328
Xl.11415.1.S1_at	7.994988528
Xl.11416.1.A1_at	6.32155256
Xl.11417.1.S1_at	3.031915473
Xl.11418.1.A1_at	3.390233839
Xl.1142.1.S1_at	3.322023666
Xl.11420.1.S1_at	2.890226847
Xl.11421.1.A1_at	5.473674992
Xl.11422.1.A1_at	2.795217461
Xl.11424.1.S1_at	6.240670757
Xl.11425.1.A1_at	5.94087588
Xl.11427.1.A1_at	3.509047286
Xl.11429.1.A1_at	4.501987563
Xl.1143.1.S1_at	2.697788479
Xl.11430.1.S1_at	6.767162871
Xl.11432.1.A1_at	6.406691869
Xl.11433.1.A1_x_at	6.950925964
Xl.11433.2.S1_at	5.752187728
Xl.11433.2.S1_x_at	5.961961689
Xl.11434.1.S1_at	7.153182421
Xl.11435.1.A1_at	3.754803928
Xl.11436.1.A1_at	5.414053642
Xl.11438.1.A1_at	6.383162157
Xl.11439.1.A1_at	5.733152793
Xl.1144.1.S1_at	2.977725379
Xl.11440.1.A1_at	4.297944772
Xl.11441.1.S1_at	5.149185796
Xl.11442.1.A1_at	3.017859272
Xl.11443.1.S1_at	6.836700148
Xl.11444.1.A1_at	4.568577451
Xl.11445.1.A1_at	7.70778206
Xl.11446.1.A1_at	3.713563868
Xl.1145.1.S1_at	4.345342596
Xl.11450.1.S1_at	8.143020116
Xl.11451.1.A1_at	4.677166772
Xl.11451.1.A1_s_at	4.19729158
Xl.11452.1.S1_at	8.03457961
Xl.11453.1.S1_at	5.025256448
Xl.11454.1.A1_at	6.456706212
Xl.11455.1.S1_at	3.778350485
Xl.11458.1.S1_at	7.811547095
Xl.1146.1.S1_at	2.840638579
Xl.11460.1.A1_at	3.580500287
Xl.11463.1.A1_at	5.114072947
Xl.11463.3.S1_a_at	3.565794828
Xl.11465.1.A1_at	6.187997489
Xl.11469.1.S1_at	5.225731368
Xl.11469.2.A1_a_at	6.771998311
Xl.11469.2.A1_at	7.271261609
Xl.11469.2.A1_x_at	7.240597374
Xl.1147.1.S1_at	2.823731409
Xl.11470.1.S1_at	4.122551409
Xl.11471.1.A1_at	6.356282783
Xl.11472.1.S1_at	5.395176637
Xl.11473.1.S1_at	6.493919754
Xl.11474.1.S1_at	3.313196159
Xl.11475.1.S1_at	5.002910957
Xl.11476.1.S1_at	9.012767439
Xl.11477.1.S1_at	5.27637149
Xl.11478.1.A1_at	6.391596435
Xl.11479.1.S1_at	6.31695824
Xl.1148.1.S1_at	3.189344013
Xl.11480.1.A1_at	6.985323708
Xl.11481.1.S1_at	6.002000153
Xl.11482.1.S1_at	3.186040528
Xl.11485.1.A1_at	3.371768214
Xl.11486.1.A1_at	6.090786151
Xl.11487.1.A1_at	7.345160097
Xl.11488.1.A1_at	3.009345443
Xl.1149.1.S1_at	4.789137778
Xl.11490.1.S1_at	4.239628749
Xl.11492.1.S1_at	2.675669248
Xl.11493.1.S1_at	6.1196232
Xl.11494.1.A1_a_at	6.128433381
Xl.11494.1.A1_at	4.837487007
Xl.11494.1.A1_x_at	5.404433984
Xl.11494.3.A1_a_at	6.349361809
Xl.11498.1.S1_at	4.78873702
Xl.11499.1.A1_at	2.841722313
Xl.115.1.S1_at	5.567110515
Xl.1150.1.S1_at	9.339925565
Xl.11500.1.A1_at	3.388540185
Xl.11501.1.S1_at	3.015511544
Xl.11503.1.S1_at	5.028575562
Xl.11505.1.S1_at	5.916548008
Xl.11507.1.A1_at	5.868532173
Xl.11508.1.A1_at	6.047575679
Xl.11508.3.S1_a_at	4.51285593
Xl.11509.1.S1_at	3.684833415
Xl.11511.1.A1_at	4.272614809
Xl.11516.1.S1_at	6.427903541
Xl.11517.1.A1_at	3.179960453
Xl.11518.1.S1_at	5.356619933
Xl.11519.1.S1_at	4.375359398
Xl.1152.1.S1_at	10.56722548
Xl.11522.1.S1_at	2.940971082
Xl.11523.1.A1_at	8.504544082
Xl.11525.1.S1_at	4.599397153
Xl.11527.1.S1_at	5.155556597
Xl.11531.1.A1_at	4.347232325
Xl.11531.1.A1_x_at	4.338725667
Xl.11533.1.S1_at	8.9690187
Xl.11534.1.A1_at	7.637773371
Xl.11536.1.A1_at	2.930111815
Xl.11537.1.S1_at	8.611207295
Xl.1154.1.S1_at	8.21338272
Xl.11544.1.S1_at	5.808335954
Xl.11545.1.S1_at	3.970673235
Xl.11546.1.A1_at	3.596394089
Xl.11547.1.S1_at	6.843773079
Xl.1155.1.S1_x_at	8.786040369
Xl.1155.2.S1_x_at	8.077069359
Xl.11551.1.A1_at	6.022442057
Xl.11554.1.S1_at	5.306594502
Xl.11555.1.A1_at	8.121155842
Xl.11557.1.A1_at	8.239544573
Xl.11558.1.A1_at	7.400880474
Xl.11559.2.A1_at	3.110378009
Xl.1156.1.S1_at	6.499284224
Xl.11560.1.S1_at	8.000770416
Xl.11562.1.A1_at	6.13662897
Xl.11563.1.A1_at	2.857154051
Xl.11564.1.A1_at	5.025103216
Xl.11567.1.A1_at	8.445150065
Xl.11567.1.A1_x_at	8.507876392
Xl.11568.1.S1_a_at	3.759635367
Xl.1157.1.S1_at	6.831983126
Xl.11572.1.S1_at	6.140983511
Xl.11573.1.S1_at	6.102603454
Xl.11575.1.S1_at	4.624053161
Xl.11576.1.S1_at	7.209059322
Xl.11577.1.S1_at	4.30416199
Xl.1158.1.S1_at	10.50457066
Xl.11580.1.S1_at	7.389426881
Xl.11581.1.S1_at	4.198735261
Xl.11583.1.A1_at	8.829230237
Xl.11583.1.A1_x_at	8.303384046
Xl.11586.1.S1_at	4.392506627
Xl.11588.1.S1_at	9.736737867
Xl.11588.1.S2_at	9.074784136
Xl.11590.1.A1_at	2.90362979
Xl.11594.1.A1_at	2.73550953
Xl.11595.1.S1_at	4.540583075
Xl.11598.1.A1_at	7.879556619
Xl.11600.1.S1_at	8.021626953
Xl.11602.1.A1_at	3.041452311
Xl.11605.1.A1_at	4.952152233
Xl.11606.1.S1_at	6.490529407
Xl.11608.1.S1_at	5.094376401
Xl.11609.1.S1_at	5.506945904
Xl.1161.1.S1_at	4.392492083
Xl.11610.1.S1_at	2.705223847
Xl.11613.1.A1_x_at	5.174657035
Xl.11613.2.S1_at	3.658418984
Xl.11616.1.S1_at	2.574753721
Xl.11619.1.S1_at	4.001608862
Xl.1162.1.S1_at	5.466329515
Xl.11620.1.S1_at	3.625825835
Xl.11623.1.A1_at	6.735817873
Xl.11624.1.S1_at	4.72691385
Xl.11626.1.A1_at	3.693319266
Xl.11628.1.A1_at	2.960121372
Xl.11629.1.A1_at	4.701166071
Xl.1163.1.S1_at	2.668797144
Xl.11632.1.S1_at	2.430918411
Xl.11635.1.A1_at	5.806701054
Xl.11638.1.A1_at	5.329322043
Xl.11639.1.A1_at	4.486315832
Xl.1164.1.S1_at	7.972295235
Xl.11640.1.A1_at	4.437806835
Xl.11642.1.A1_at	5.4804973
Xl.11643.1.A1_at	4.913792946
Xl.11644.1.S1_at	6.341931534
Xl.11647.1.A1_at	5.137772635
Xl.11648.1.S1_at	7.527420335
Xl.1165.1.A1_at	3.530727466
Xl.1165.1.S1_at	2.689571096
Xl.1165.1.S1_s_at	2.601173676
Xl.11650.1.A1_at	6.200511219
Xl.11651.1.A1_at	6.278631113
Xl.11656.2.A1_at	3.415810656
Xl.11663.1.S1_at	3.107455804
Xl.11669.1.S1_at	9.140531811
Xl.11670.1.A1_at	3.800791885
Xl.11672.1.A1_at	8.466741248
Xl.11673.1.A1_at	7.397073358
Xl.11674.1.A1_at	5.585561418
Xl.11676.1.S1_at	3.030003545
Xl.11678.1.A1_at	4.797163677
Xl.1168.1.S1_at	10.57473804
Xl.11680.1.S1_at	4.004087203
Xl.11681.1.A1_at	3.593959565
Xl.11682.1.S1_at	3.267036733
Xl.11683.1.A1_at	6.819562389
Xl.11683.1.A1_x_at	7.447931053
Xl.11684.1.S1_at	6.06126186
Xl.11686.1.S1_at	2.751799676
Xl.11689.1.S1_at	5.143589062
Xl.1169.1.S1_at	7.921031978
Xl.1169.1.S1_s_at	9.128285261
Xl.1169.1.S2_at	3.115965399
Xl.11691.1.S1_at	8.221643906
Xl.11693.1.S1_at	3.833235127
Xl.11696.1.S1_at	5.721602563
Xl.11697.1.A1_at	8.73626629
Xl.11699.1.A1_at	2.809036532
Xl.1170.1.S1_at	2.60173499
Xl.11701.1.A1_at	7.397474026
Xl.11702.1.A1_at	6.7829339
Xl.11703.1.A1_at	6.740663202
Xl.11704.1.A1_at	5.933847959
Xl.11705.1.S1_at	6.285742816
Xl.11706.1.S1_at	3.61175328
Xl.11708.1.A1_at	5.773426055
Xl.1171.1.A1_at	6.227044487
Xl.11711.1.S1_at	9.368242213
Xl.11715.1.A1_at	3.659628759
Xl.11717.1.A1_at	4.209661564
Xl.11718.1.S1_at	2.818016315
Xl.11719.1.S1_at	3.78325451
Xl.11721.1.A1_at	6.937270084
Xl.11721.2.A1_at	6.331811499
Xl.11723.1.A1_at	4.856420919
Xl.11726.1.A1_at	4.514200407
Xl.1173.1.S1_at	4.874698776
Xl.11733.1.A1_at	6.822971395
Xl.1174.1.S1_at	3.536172376
Xl.11740.1.A1_at	4.760609572
Xl.1175.1.S1_at	3.584728776
Xl.1176.1.S1_at	2.981219398
Xl.11762.1.A1_at	5.749093966
Xl.11769.1.S1_a_at	5.489223753
Xl.11769.1.S1_at	5.594637892
Xl.1177.1.S1_at	3.817479527
Xl.11772.1.A1_at	3.465251946
Xl.1178.1.S1_at	2.608894744
Xl.1179.1.S1_at	3.220785259
Xl.11793.1.A1_at	6.340784625
Xl.118.1.S1_at	3.324454034
Xl.1180.1.S1_at	4.133986713
Xl.11800.1.A1_at	6.818136152
Xl.1181.1.S1_at	3.283557012
Xl.11811.1.A1_at	3.541441901
Xl.1182.1.S1_at	7.25663113
Xl.1183.1.S1_at	7.664828299
Xl.11831.1.A1_at	5.891426588
Xl.11835.1.S1_at	7.958873277
Xl.11835.3.A1_at	3.148473877
Xl.1184.1.S1_at	2.829020654
Xl.1185.1.S1_at	2.539311453
Xl.1186.1.S1_at	7.535218242
Xl.1188.1.S1_at	7.220896693
Xl.11884.1.A1_at	5.512916359
Xl.1189.1.S1_at	8.026652281
Xl.119.1.S1_at	3.076207124
Xl.1190.1.S1_at	7.879047476
Xl.1190.1.S1_x_at	7.644434234
Xl.1190.2.S1_a_at	6.375445607
Xl.1190.2.S1_s_at	7.396024706
Xl.11908.1.A1_at	7.145287303
Xl.1191.1.S1_at	6.806244779
Xl.11910.1.A1_at	5.771673117
Xl.11915.1.A1_at	2.841157084
Xl.11917.1.S1_at	7.758078807
Xl.11918.1.S1_at	5.609795914
Xl.11921.1.A1_at	7.739739674
Xl.11923.1.A1_at	2.386637841
Xl.11928.1.A1_at	3.424475514
Xl.1193.1.S1_at	2.797719767
Xl.11931.1.A1_at	4.623037002
Xl.11932.1.A1_at	2.630944406
Xl.11935.1.A1_at	6.464866616
Xl.11937.1.A1_at	2.625400243
Xl.11939.1.A1_at	6.37474882
Xl.1194.1.S1_at	3.65857225
Xl.11940.1.A1_at	6.481941515
Xl.11940.2.S1_at	5.7986993
Xl.11942.1.A1_at	7.185217274
Xl.11943.1.S1_at	8.437827644
Xl.11946.1.A1_at	5.431892788
Xl.11947.1.S1_at	6.31604717
Xl.1195.1.S1_at	3.997997918
Xl.11950.1.S1_at	5.495579038
Xl.11951.1.S1_at	3.208162616
Xl.11952.1.S1_at	4.42095009
Xl.11953.1.S1_at	3.005422996
Xl.11954.1.S1_at	4.350686136
Xl.11955.1.S1_at	5.578021021
Xl.11956.1.S1_at	6.253664645
Xl.11957.1.S1_at	3.467332338
Xl.11958.1.S1_at	2.879095654
Xl.11959.1.S1_at	3.305019925
Xl.11960.1.S1_at	3.227725003
Xl.11962.1.S1_at	3.863838266
Xl.11963.1.S1_at	3.354574262
Xl.11964.1.S2_at	5.596372419
Xl.11965.1.S1_at	6.561102485
Xl.11965.1.S1_s_at	6.281649203
Xl.11967.1.S1_at	3.071918664
Xl.11968.1.S1_at	3.471910518
Xl.11969.1.S1_at	3.04595873
Xl.11972.1.S1_at	3.223517509
Xl.11973.1.S1_at	2.869025347
Xl.11977.1.S1_at	5.702447624
Xl.11978.1.S1_a_at	3.651848816
Xl.11979.1.S1_at	8.153028969
Xl.1198.1.S1_at	3.095218121
Xl.11981.1.S1_at	6.27427829
Xl.11986.1.S1_at	5.950739906
Xl.11986.1.S2_at	7.113595602
Xl.11987.1.S1_at	3.295423787
Xl.11988.1.S1_at	9.544773524
Xl.11988.1.S1_s_at	10.29479017
Xl.1199.1.S1_at	7.105453156
Xl.11996.1.S1_at	3.073684743
Xl.11998.1.S1_at	2.914074575
Xl.12.1.S1_at	6.490265091
Xl.12.1.S1_s_at	9.160354283
Xl.120.1.S1_at	8.932631722
Xl.1200.1.S1_at	4.634551812
Xl.12000.1.A1_at	6.843079372
Xl.12001.1.S1_at	4.182417083
Xl.12002.1.A1_at	2.666139273
Xl.12006.1.A1_at	7.933648878
Xl.12006.1.A1_s_at	6.9560226
Xl.12007.1.A1_at	7.49035032
Xl.12009.1.A1_at	4.575675219
Xl.1201.1.S1_at	2.907227052
Xl.12010.1.A1_at	2.896252601
Xl.12011.1.A1_at	6.058578181
Xl.12012.2.A1_at	4.787278631
Xl.12013.1.A1_at	7.582227267
Xl.12016.1.A1_at	5.716823687
Xl.12017.1.A1_at	3.294265593
Xl.12018.1.A1_at	5.857409122
Xl.12019.1.S1_at	7.791795292
Xl.1202.1.S1_at	7.150596035
Xl.12024.1.A1_at	5.210012272
Xl.12025.1.A1_x_at	3.495431512
Xl.12026.1.A1_at	9.635868192
Xl.12028.1.A1_at	2.72013942
Xl.12029.1.S1_at	4.97438294
Xl.1203.1.S1_at	2.960379381
Xl.12030.1.S1_at	7.099102103
Xl.12030.2.S1_a_at	4.929661733
Xl.12030.2.S1_at	5.363817317
Xl.12032.1.S1_at	4.525494292
Xl.12033.1.A1_at	3.157475964
Xl.12034.1.S1_at	9.361854094
Xl.12037.1.A1_at	2.618705713
Xl.12039.1.A1_at	6.812748488
Xl.1204.1.S1_at	6.86835023
Xl.12041.1.A1_at	6.410937359
Xl.12042.1.A1_at	2.849913424
Xl.12043.1.A1_at	3.788100863
Xl.12045.1.S1_a_at	3.169290421
Xl.12045.1.S1_at	3.858106607
Xl.12047.1.A1_at	6.840904598
Xl.12048.1.S1_at	2.829854339
Xl.12049.1.S1_at	6.697637439
Xl.1205.1.S1_at	5.407277149
Xl.12051.1.A1_at	5.971024876
Xl.12055.1.A1_at	6.764534457
Xl.12056.1.S1_at	7.028670812
Xl.12057.2.A1_a_at	4.290563296
Xl.12059.2.A1_at	4.309153293
Xl.1206.1.S1_at	2.954149627
Xl.12062.1.A1_at	4.674411559
Xl.12065.1.A1_at	3.78925318
Xl.12067.1.S1_at	3.599044492
Xl.12070.1.S1_at	3.068809688
Xl.12071.1.S1_s_at	7.187945078
Xl.12072.1.S1_at	3.495166738
Xl.12073.1.S1_at	4.115773454
Xl.12075.1.S1_at	5.237947373
Xl.12076.1.A1_at	2.838714984
Xl.12076.1.S1_at	3.046406814
Xl.12077.1.S1_at	6.853484894
Xl.12078.1.S1_at	4.954320602
Xl.12079.1.S1_at	3.62980594
Xl.12080.1.S1_at	3.800275512
Xl.12081.1.S1_at	4.81876308
Xl.12082.1.S1_at	4.015283036
Xl.12084.1.S1_at	3.616084745
Xl.12085.1.S1_at	3.088468823
Xl.12086.1.S1_at	3.091901792
Xl.12087.1.S1_at	4.381195279
Xl.12088.1.S1_at	3.930412133
Xl.1209.1.S1_at	3.270595499
Xl.1209.2.S1_a_at	3.143091559
Xl.12090.1.S1_at	2.855032555
Xl.12091.1.S1_at	3.897867449
Xl.12092.1.S1_at	3.277043295
Xl.12093.1.S1_at	4.059955907
Xl.12094.1.S1_at	3.551643955
Xl.12095.1.S1_at	5.090393049
Xl.12096.1.S1_at	9.016068753
Xl.12097.1.S1_at	6.2538614
Xl.12098.1.S1_at	2.334878334
Xl.12099.1.S1_s_at	9.733286175
Xl.121.1.S1_at	7.749883435
Xl.1210.1.S1_at	3.094481279
Xl.1210.2.S1_at	2.687200577
Xl.12100.1.S1_at	4.242350832
Xl.12101.1.S1_at	3.956617432
Xl.12104.1.S1_at	7.965224963
Xl.12105.1.S1_at	6.54688842
Xl.12107.1.A1_at	2.61115657
Xl.12108.1.A1_at	3.724280983
Xl.12109.1.A1_at	2.647438098
Xl.1211.1.A1_at	2.907505274
Xl.1211.1.S1_at	3.432446751
Xl.12111.1.S1_at	4.20550848
Xl.12112.1.S1_at	3.986508027
Xl.12114.1.S1_at	3.851709981
Xl.12114.1.S1_s_at	6.198850954
Xl.12115.1.S2_at	3.520963277
Xl.12117.1.S1_at	2.730082047
Xl.12120.1.A1_at	2.766511157
Xl.12121.1.S1_at	7.738566101
Xl.12122.1.S1_at	4.252965841
Xl.12124.1.S1_at	3.538700691
Xl.12124.2.S1_s_at	2.547101313
Xl.12125.1.S1_at	6.031609671
Xl.12126.1.S1_at	8.555667458
Xl.12127.1.S1_at	3.029416436
Xl.12128.1.S1_at	5.670506169
Xl.12129.1.A1_at	3.53961305
Xl.12129.1.S1_at	2.495444544
Xl.12129.1.S1_s_at	3.156419822
Xl.1213.1.S1_at	2.898585622
Xl.12130.1.S1_at	2.909809432
Xl.12137.1.A1_at	2.638818678
Xl.12140.1.A1_at	5.815088753
Xl.12140.1.A1_s_at	7.815060141
Xl.12142.1.A1_at	5.472233253
Xl.12143.1.S1_at	5.136942503
Xl.12145.1.A1_at	2.533858411
Xl.12147.1.A1_at	3.311266153
Xl.12149.1.A1_at	3.488789225
Xl.12152.1.A1_at	4.152153909
Xl.12154.1.A1_at	4.623821709
Xl.12155.1.A1_at	5.052350382
Xl.12157.1.S1_at	6.63400159
Xl.12159.1.A1_at	3.694223709
Xl.1216.1.S1_at	2.778080815
Xl.12160.1.S1_at	7.481803997
Xl.12161.1.A1_s_at	6.624117512
Xl.12163.1.A1_at	3.017427792
Xl.12164.1.S1_at	8.319746359
Xl.12169.1.A1_at	6.541554086
Xl.1217.1.S1_at	2.836129628
Xl.1217.2.S1_a_at	2.910758953
Xl.12172.1.A1_at	6.66634304
Xl.12174.1.S1_at	6.709718526
Xl.12177.1.A1_at	6.35453082
Xl.12179.1.A1_at	3.354929358
Xl.12180.1.S1_at	5.895237594
Xl.12188.1.A1_at	2.751231658
Xl.12189.1.A1_at	5.882830165
Xl.12193.1.A1_at	3.329939161
Xl.12195.1.A1_at	3.534666942
Xl.12197.1.A1_at	4.351183661
Xl.12198.1.A1_at	5.879270408
Xl.12199.1.A1_at	3.034348617
Xl.122.1.S1_at	7.059108738
Xl.1220.1.S1_at	3.161323229
Xl.12204.1.S1_at	4.063531994
Xl.12207.1.S1_at	4.5604787
Xl.12209.1.A1_at	5.237191139
Xl.12211.1.A1_at	3.150593878
Xl.12213.1.A1_at	5.875475602
Xl.12214.1.A1_at	2.808284385
Xl.12215.2.A1_at	6.002188196
Xl.12216.1.S1_at	3.218225456
Xl.12218.1.S1_at	4.959660158
Xl.12218.2.A1_at	2.992504788
Xl.12220.1.A1_at	4.975834375
Xl.12223.1.A1_at	4.755552137
Xl.12223.2.S1_at	3.371232981
Xl.12225.1.A1_at	4.783782589
Xl.12226.1.A1_at	6.471395048
Xl.12227.1.S1_at	2.841894758
Xl.12228.2.A1_at	3.286816711
Xl.12229.1.A1_at	5.104101071
Xl.12230.1.A1_at	2.825277895
Xl.12233.1.S1_at	4.225946862
Xl.12235.1.A1_at	5.925723821
Xl.12237.1.A1_at	5.529881496
Xl.12239.1.A1_at	2.677841664
Xl.12243.1.A1_at	7.045465319
Xl.12248.1.A1_at	6.293846472
Xl.1225.1.S1_at	2.968475316
Xl.1225.2.A1_at	3.3280597
Xl.1225.2.S1_a_at	3.459480429
Xl.1225.2.S1_at	2.620679626
Xl.12250.1.A1_at	5.02993236
Xl.12251.1.A1_at	3.039747661
Xl.12254.1.A1_x_at	7.653324479
Xl.12254.2.S1_at	6.262235419
Xl.12256.1.A1_at	3.829833104
Xl.1226.1.S1_at	3.014997265
Xl.12260.1.A1_at	8.606139889
Xl.12265.1.A1_at	5.152476403
Xl.12267.1.A1_at	6.312773099
Xl.12268.1.A1_at	4.027189113
Xl.12272.1.A1_at	8.077273583
Xl.12273.1.A1_at	5.613558391
Xl.12274.1.A1_at	3.177268663
Xl.12275.1.S1_at	3.081442819
Xl.1228.1.S1_a_at	3.653049045
Xl.1228.1.S2_a_at	5.219204652
Xl.1228.1.S2_at	3.751205729
Xl.12281.1.S1_at	6.442855033
Xl.12282.1.S1_at	3.409007715
Xl.12284.1.A1_at	7.859992492
Xl.12284.1.A1_x_at	9.032832061
Xl.12285.1.A1_at	3.620454993
Xl.12287.1.A1_at	4.228068623
Xl.12288.1.A1_at	3.135356333
Xl.12289.1.A1_at	3.268507051
Xl.12290.1.A1_at	2.836511215
Xl.12294.2.S1_s_at	4.928672241
Xl.12295.1.S1_at	2.930293298
Xl.12296.1.A1_at	5.520520985
Xl.12297.1.S1_at	3.162301792
Xl.12298.1.A1_at	4.227650661
Xl.12299.1.A1_at	3.924129942
Xl.123.1.S1_a_at	2.860707881
Xl.123.2.S1_at	3.100951134
Xl.12300.1.A1_at	7.450097767
Xl.12301.1.A1_at	4.4757682
Xl.12302.1.S1_at	4.799804605
Xl.12302.2.A1_at	6.284453188
Xl.12303.2.A1_at	4.556770286
Xl.12304.1.A1_at	7.240378506
Xl.12305.1.S1_at	4.348965176
Xl.12307.2.A1_at	4.077008382
Xl.1231.1.S1_at	8.187743922
Xl.12314.1.A1_at	3.323751071
Xl.12315.1.S1_at	6.900261525
Xl.12317.1.A1_at	8.172117524
Xl.1232.1.S1_at	6.764345281
Xl.12321.1.A1_at	2.974082888
Xl.12322.1.S1_at	5.671340744
Xl.12327.1.S1_at	3.145102904
Xl.12333.1.A1_at	2.469172878
Xl.12334.1.A1_at	6.558780492
Xl.1234.1.S1_at	7.628993712
Xl.1234.1.S1_s_at	5.947176423
Xl.12340.1.S1_at	6.865570454
Xl.12345.1.A1_at	3.089642282
Xl.12346.1.S1_at	5.779259077
Xl.12348.1.A1_at	6.889283063
Xl.1235.1.S1_at	4.394346929
Xl.12350.1.A1_at	5.869888779
Xl.12351.1.A1_at	5.531914594
Xl.12352.1.A1_at	5.374374854
Xl.12355.1.S1_s_at	7.529700605
Xl.12356.1.S1_at	2.935605093
Xl.12358.1.A1_at	2.867093346
Xl.1236.1.S1_at	4.442613807
Xl.12360.1.S1_at	7.094686487
Xl.12363.1.A1_at	3.805875768
Xl.12366.1.S1_at	5.835682683
Xl.1237.1.S1_at	3.148574288
Xl.12374.1.A1_at	5.371951703
Xl.12375.1.A1_at	5.619963204
Xl.12378.1.S1_at	5.28070372
Xl.12379.1.A1_at	2.536746035
Xl.1238.1.S1_at	5.206837765
Xl.12380.1.A1_x_at	3.274463479
Xl.12380.2.S1_at	3.158640133
Xl.12381.1.A1_at	4.710918758
Xl.12382.1.A1_at	2.623586588
Xl.1239.1.S1_at	8.485117067
Xl.12390.1.A1_at	6.443271612
Xl.12393.1.A1_at	5.082384301
Xl.12395.1.A1_s_at	8.822379786
Xl.12397.1.S1_at	4.866376376
Xl.12399.3.A1_at	7.272830462
Xl.124.1.S1_at	7.553590206
Xl.12400.1.A1_at	6.839162558
Xl.12401.1.A1_at	2.6720171
Xl.12402.1.A1_at	4.586061759
Xl.12402.1.A1_x_at	5.118027527
Xl.12403.1.A1_at	5.438537534
Xl.1241.1.S1_at	3.068283166
Xl.12414.1.A1_at	7.025759319
Xl.12415.1.S1_at	7.14207364
Xl.12417.1.A1_at	4.150374136
Xl.12418.1.A1_at	4.727786365
Xl.1242.1.S1_at	8.097907912
Xl.12420.1.A1_at	3.022205135
Xl.12421.1.A1_at	3.513525564
Xl.12425.1.A1_at	5.906411187
Xl.12428.1.A1_at	4.320362687
Xl.12429.1.S1_at	5.390602588
Xl.1243.1.S1_at	7.899529388
Xl.12430.1.A1_at	3.306906293
Xl.12433.1.A1_at	2.873108757
Xl.12436.1.A1_at	3.485538294
Xl.12437.1.A1_at	3.115814528
Xl.1244.1.S1_at	2.527837699
Xl.12442.1.A1_at	2.754353119
Xl.12443.1.A1_at	3.684782531
Xl.12444.1.S1_at	4.912942026
Xl.12448.1.A1_x_at	8.1164358
Xl.12448.2.S1_at	9.216769263
Xl.1245.1.S1_at	7.30601481
Xl.12454.1.A1_at	4.24873968
Xl.12459.1.S1_at	2.941059696
Xl.12462.1.A1_at	2.971953896
Xl.12464.1.S1_at	6.620605665
Xl.12466.1.A1_at	4.379659536
Xl.12467.1.A1_at	2.865562088
Xl.12468.1.S1_at	6.748435009
Xl.12472.1.A1_at	6.115229524
Xl.12473.1.A1_at	5.653576525
Xl.12475.1.A1_at	2.973042005
Xl.12477.1.A1_at	3.609640981
Xl.12479.1.A1_at	3.238147447
Xl.12480.1.A1_at	5.467399975
Xl.12483.1.A1_at	3.285802554
Xl.12484.1.A1_at	4.795662429
Xl.12486.1.S1_at	2.626145958
Xl.12487.2.A1_at	2.792802136
Xl.12488.1.A1_at	3.142544904
Xl.1249.2.S1_a_at	3.53631881
Xl.12490.1.S1_at	2.828929513
Xl.12492.1.A1_at	6.766305378
Xl.12493.1.A1_at	3.819672932
Xl.12494.2.A1_at	4.401141242
Xl.12495.1.A1_at	4.441679625
Xl.12497.1.A1_at	5.317485092
Xl.12498.1.A1_at	3.407311968
Xl.125.1.S1_at	4.525720968
Xl.1250.1.S1_at	6.655092496
Xl.12503.1.A1_at	4.736541259
Xl.12504.1.A1_at	5.84045833
Xl.12507.1.A1_at	7.14904227
Xl.12508.1.A1_at	3.839738985
Xl.1251.1.S1_at	2.479891933
Xl.12510.2.A1_at	2.740652307
Xl.12512.1.A1_at	3.521855539
Xl.12517.1.A1_at	8.341511564
Xl.12518.1.A1_at	4.791831475
Xl.12519.1.A1_at	7.250651625
Xl.12520.1.A1_at	7.430647215
Xl.12522.1.A1_at	2.650582793
Xl.12524.1.A1_at	2.640681292
Xl.12525.1.S1_at	7.29591521
Xl.12526.1.A1_at	2.940509363
Xl.12527.1.A1_at	4.307254284
Xl.1253.1.S1_at	7.450208027
Xl.12532.1.S1_at	4.531970048
Xl.12533.1.A1_at	5.587888867
Xl.12535.1.A1_at	4.515583981
Xl.12537.1.A1_at	2.517438825
Xl.12539.1.A1_at	4.1772726
Xl.12540.1.S1_at	3.552902847
Xl.12540.2.A1_at	3.316379432
Xl.12544.1.A1_at	2.711458269
Xl.12545.1.A1_at	5.342098879
Xl.12548.1.A1_at	2.806633541
Xl.1255.1.S1_at	5.309323474
Xl.12550.1.A1_at	2.695191801
Xl.12551.1.A1_at	5.374903189
Xl.12555.1.A1_at	4.714271881
Xl.12556.1.A1_at	6.940171774
Xl.12557.1.A1_at	2.79976292
Xl.12560.1.S1_at	6.14839315
Xl.12561.1.S1_at	4.68087077
Xl.12563.1.A1_at	2.687106981
Xl.12564.1.A1_at	5.707371136
Xl.12565.1.A1_at	3.254474151
Xl.12567.1.A1_at	3.224520028
Xl.12568.1.A1_at	4.369749251
Xl.12569.1.A1_at	2.752081221
Xl.1257.1.S1_at	8.079365476
Xl.1257.1.S1_s_at	9.101799499
Xl.12570.1.A1_at	2.814578577
Xl.12572.1.S1_at	4.158801266
Xl.12574.1.A1_at	2.396604731
Xl.12576.1.A1_at	3.073187657
Xl.12577.1.A1_at	6.247951385
Xl.1258.1.S1_at	5.001860345
Xl.12580.1.S1_at	4.444116679
Xl.12580.2.A1_at	4.946749416
Xl.12581.1.A1_at	3.12028136
Xl.12583.1.A1_at	7.534131575
Xl.12584.1.A1_at	3.242099328
Xl.12585.1.A1_at	3.9509124
Xl.12587.1.A1_at	5.988223821
Xl.12587.3.A1_x_at	2.740167294
Xl.12589.1.A1_at	2.982407622
Xl.12592.1.A1_at	4.348558281
Xl.12593.1.A1_at	4.870979978
Xl.12594.1.A1_at	7.138733483
Xl.12595.1.A1_at	2.838199066
Xl.12599.1.A1_at	3.740675336
Xl.126.1.S1_at	3.17148134
Xl.126.1.S2_at	3.439806751
Xl.1260.1.S1_at	7.537322596
Xl.12602.1.A1_at	3.332224358
Xl.12604.1.A1_at	7.493797792
Xl.12605.1.S1_at	5.446454193
Xl.12606.1.S1_at	5.382186515
Xl.12606.2.S1_a_at	8.080600238
Xl.12606.2.S1_x_at	7.095686055
Xl.12608.1.A1_at	5.75511797
Xl.12609.1.A1_at	5.54766645
Xl.1261.1.S1_at	3.39155648
Xl.12610.1.A1_at	6.64625529
Xl.12610.2.A1_at	7.044636654
Xl.12614.2.S1_a_at	4.143220305
Xl.12615.1.A1_at	6.225518944
Xl.12616.1.A1_at	6.083374394
Xl.12618.1.A1_at	2.627556747
Xl.1262.1.S1_at	5.139675655
Xl.12622.1.A1_at	3.278225267
Xl.12623.2.A1_at	6.369656381
Xl.12629.1.A1_at	5.367321819
Xl.1263.1.S1_at	4.094536132
Xl.12630.1.A1_at	2.459626236
Xl.12631.1.A1_a_at	6.964554808
Xl.12632.1.A1_at	2.722433308
Xl.12633.1.A1_at	5.131640587
Xl.12634.1.A1_at	4.193296902
Xl.12635.1.S1_at	2.547003878
Xl.12636.1.A1_at	2.681890145
Xl.12638.1.A1_at	2.906202379
Xl.12639.1.A1_at	3.921365737
Xl.1264.1.S1_at	5.058375365
Xl.12640.1.A1_at	3.584332627
Xl.12642.1.A1_at	3.99386257
Xl.12643.1.A1_at	2.579165223
Xl.12645.1.A1_at	3.452215848
Xl.12647.1.A1_at	4.002136168
Xl.12648.1.A1_at	4.096441135
Xl.12649.1.S1_at	2.71114555
Xl.1265.1.S1_at	6.962207681
Xl.12652.1.A1_at	3.605146642
Xl.12653.1.A1_at	4.317192693
Xl.12654.1.A1_at	3.912953376
Xl.12655.1.A1_at	4.634532699
Xl.12659.2.A1_at	4.388639641
Xl.1266.1.S1_at	3.498106115
Xl.12660.1.S1_at	7.865675776
Xl.12661.1.A1_at	3.474670105
Xl.12662.1.A1_at	5.336570406
Xl.12664.1.S1_at	3.854577341
Xl.12664.2.A1_at	4.170198749
Xl.12666.1.A1_at	2.622315751
Xl.12667.1.S1_at	2.490900897
Xl.12669.1.A1_at	3.686128754
Xl.1267.1.S1_at	6.210093815
Xl.12670.1.A1_at	7.769892386
Xl.12671.2.S1_a_at	2.871278521
Xl.12674.1.S1_at	6.818581059
Xl.12676.1.A1_at	4.545636811
Xl.12677.1.A1_at	4.473727013
Xl.1268.1.S1_at	9.035449334
Xl.12680.1.A1_at	6.833707321
Xl.12681.1.A1_at	5.375101999
Xl.12682.1.S1_at	3.40415718
Xl.12683.1.A1_at	7.724577304
Xl.12684.1.S1_at	7.360478872
Xl.12685.1.A1_at	5.726693191
Xl.12686.1.S1_at	4.961709907
Xl.1269.1.S1_at	8.335385057
Xl.12692.1.A1_at	2.691024187
Xl.12693.1.S1_at	4.872986755
Xl.12694.1.A1_at	4.278993736
Xl.12695.1.A1_at	3.014428259
Xl.12698.1.S1_at	6.49523243
Xl.127.1.S1_at	10.00033126
Xl.1270.1.S1_at	3.293799211
Xl.12700.1.A1_at	5.239506477
Xl.12707.1.A1_at	6.898922193
Xl.12708.1.A1_at	3.89650926
Xl.12709.1.A1_at	2.736221599
Xl.1271.1.S1_at	10.44696498
Xl.12711.1.A1_at	5.778058184
Xl.12712.1.A1_at	6.89577573
Xl.12714.1.A1_at	6.088209876
Xl.12717.1.S1_at	3.231889989
Xl.12718.1.A1_at	6.072755311
Xl.12719.1.A1_at	4.112316142
Xl.1272.1.S1_at	2.632282933
Xl.12722.1.A1_at	2.565576813
Xl.12723.1.A1_at	5.0430929
Xl.12724.1.A1_at	4.116327307
Xl.12727.1.A1_at	5.193651914
Xl.12728.1.S1_at	7.350883554
Xl.1273.1.S1_at	3.888486101
Xl.12731.1.S1_at	7.592962838
Xl.12732.1.A1_at	6.548357602
Xl.12734.2.A1_at	6.780352214
Xl.12736.1.S1_at	4.885074359
Xl.1274.1.S1_at	5.753544437
Xl.12746.1.A1_at	4.004125001
Xl.12747.1.A1_at	2.645782369
Xl.12749.1.A1_at	6.878093323
Xl.1275.1.S1_at	6.560110827
Xl.12750.1.A1_at	2.410302622
Xl.12752.1.A1_at	5.300617336
Xl.12754.1.A1_at	7.35623789
Xl.12756.1.S1_at	3.811429675
Xl.12757.1.A1_at	6.036031827
Xl.12758.2.A1_at	3.736055637
Xl.1276.1.S1_at	6.774539586
Xl.1276.2.S1_at	8.863890443
Xl.12760.1.A1_at	3.034044371
Xl.12761.1.A1_at	4.931951035
Xl.12762.1.A1_at	3.946603166
Xl.12763.1.A1_at	3.371908572
Xl.12766.1.A1_at	2.623033008
Xl.12772.2.A1_at	3.582135817
Xl.12773.1.A1_at	2.882214111
Xl.12775.1.S1_at	2.396309666
Xl.12778.1.A1_at	6.538890083
Xl.12778.1.A1_x_at	7.70317302
Xl.1278.1.A1_at	4.13895601
Xl.12780.1.A1_at	5.307706052
Xl.12781.1.A1_at	2.985062566
Xl.12782.1.A1_at	3.362643838
Xl.12783.1.A1_at	3.202454023
Xl.12785.1.A1_at	5.927251469
Xl.12786.1.A1_at	2.737801553
Xl.12789.1.A1_at	2.744498961
Xl.1279.1.A1_at	2.553583931
Xl.12790.1.S1_at	7.888729993
Xl.12791.1.A1_at	3.443209787
Xl.12793.1.A1_at	3.36864391
Xl.12794.1.A1_x_at	5.319440867
Xl.12798.1.A1_at	5.157993049
Xl.12798.1.A1_x_at	4.511817819
Xl.128.1.S1_at	7.390417606
Xl.12803.1.S1_at	6.510457958
Xl.12804.1.A1_at	6.403108877
Xl.12811.1.S1_at	8.023705165
Xl.12813.1.A1_at	5.018551733
Xl.12815.1.A1_at	6.333362857
Xl.12818.1.S1_at	5.678449948
Xl.12819.2.A1_at	5.067967225
Xl.1282.1.A1_at	3.24112543
Xl.12821.1.A1_at	3.176452307
Xl.12823.1.S1_at	9.794332673
Xl.12827.1.A1_at	2.619211687
Xl.12829.1.A1_at	2.70592152
Xl.12830.1.A1_at	5.515535218
Xl.12834.1.A1_at	4.514371912
Xl.12835.1.A1_at	5.711817873
Xl.12838.1.A1_at	2.864444327
Xl.12842.1.A1_at	3.028430553
Xl.12842.2.A1_a_at	2.69339809
Xl.12842.2.A1_x_at	2.834323828
Xl.12843.1.A1_at	3.398997332
Xl.12846.1.A1_at	3.329737322
Xl.12847.1.A1_at	3.64254457
Xl.12848.1.S1_at	4.213852679
Xl.12848.2.S1_at	4.618426486
Xl.12848.3.S1_a_at	4.440807437
Xl.12848.3.S1_at	3.481805626
Xl.12848.3.S1_x_at	4.446056692
Xl.12849.1.A1_at	5.509652961
Xl.1285.1.S1_at	2.796368496
Xl.1285.2.S1_a_at	2.579858328
Xl.1285.2.S1_x_at	2.745719299
Xl.1285.2.S2_at	4.014155144
Xl.1285.2.S3_a_at	4.504032476
Xl.1285.2.S3_at	4.350075644
Xl.1285.3.A1_at	3.071109498
Xl.12852.1.A1_at	3.997005418
Xl.12854.1.A1_at	2.60581314
Xl.12855.1.A1_at	2.702099844
Xl.12856.1.S1_at	6.451819824
Xl.12857.1.A1_at	3.026195586
Xl.12858.1.A1_at	3.79499734
Xl.1286.1.S1_s_at	3.221424257
Xl.1286.1.S2_at	2.855558122
Xl.12861.1.A1_at	2.672851261
Xl.12862.1.A1_at	6.022149733
Xl.12863.1.A1_at	2.587948978
Xl.12864.1.A1_at	5.22612315
Xl.12866.1.S1_at	3.186605456
Xl.12866.3.A1_at	2.425491818
Xl.12869.1.A1_at	4.460889526
Xl.1287.1.A1_at	6.043209624
Xl.12870.1.A1_at	4.047298875
Xl.12873.1.S1_at	8.051685236
Xl.12875.1.A1_at	5.945953388
Xl.12878.1.S1_at	3.991868099
Xl.12881.2.A1_at	4.400350894
Xl.12882.1.A1_at	3.457101661
Xl.12883.1.A1_at	9.288548609
Xl.12883.2.A1_at	9.837897296
Xl.12885.1.A1_at	4.930301741
Xl.12886.1.A1_at	5.150738498
Xl.12888.1.A1_at	4.030671267
Xl.12889.1.A1_at	2.705716364
Xl.1289.1.S1_at	3.437501531
Xl.12890.1.A1_at	3.690437168
Xl.12894.1.A1_at	3.246144914
Xl.12898.1.S1_at	3.949569141
Xl.12899.1.A1_at	2.713772997
Xl.1290.1.S1_at	9.154053901
Xl.12900.1.A1_at	3.959775536
Xl.12902.1.A1_at	2.733171824
Xl.12904.1.A1_at	3.735570788
Xl.12906.1.A1_at	2.759122861
Xl.12907.1.S1_at	4.2910679
Xl.12910.1.A1_at	4.054490464
Xl.12911.1.A1_at	4.982189302
Xl.12914.1.A1_at	2.388414605
Xl.12915.1.A1_at	5.004285797
Xl.12917.1.A1_at	6.893743945
Xl.12918.1.A1_at	4.003287621
Xl.12922.2.A1_at	5.641188374
Xl.12923.1.A1_at	4.967867815
Xl.12925.1.A1_at	2.908741672
Xl.12926.1.A1_at	4.294655715
Xl.12930.1.A1_at	4.189983828
Xl.12931.1.A1_at	3.517450262
Xl.12933.2.A1_at	5.999792583
Xl.12934.1.A1_at	6.653613268
Xl.12935.1.A1_at	5.893874747
Xl.12938.1.A1_at	3.529341044
Xl.12939.1.A1_at	3.050814783
Xl.12942.1.A1_at	4.783638159
Xl.12943.1.A1_at	5.45006412
Xl.12944.1.A1_at	3.225865042
Xl.12945.1.S1_at	3.680114849
Xl.12947.1.S1_at	5.222834264
Xl.12948.1.S1_at	3.568962449
Xl.12949.1.A1_at	2.903851216
Xl.1295.1.S1_at	4.737414316
Xl.12950.1.A1_at	4.998192181
Xl.12951.1.A1_at	3.630749134
Xl.12952.1.S1_at	3.146665686
Xl.12953.1.A1_at	4.093179961
Xl.12954.1.A1_at	3.03966683
Xl.12955.1.A1_at	3.102030223
Xl.12957.1.S1_at	5.083660009
Xl.12958.1.A1_at	5.813422138
Xl.12959.1.A1_at	3.863833725
Xl.1296.1.S1_at	4.738125262
Xl.12962.1.S1_at	3.123406481
Xl.12964.1.S1_at	7.411309147
Xl.12966.1.A1_x_at	3.592355196
Xl.12966.2.S1_at	3.595555438
Xl.1297.1.S1_at	2.806024702
Xl.12971.1.A1_at	3.215040905
Xl.12972.1.A1_at	2.896345935
Xl.12974.1.S1_at	9.12319828
Xl.12975.1.S1_at	8.15565521
Xl.12976.1.S1_at	11.23309171
Xl.12978.1.A1_at	3.151020401
Xl.12979.1.A1_at	8.53287037
Xl.12982.1.A1_at	3.476225005
Xl.12983.1.A1_at	3.098518077
Xl.12985.1.S1_at	7.112733403
Xl.12986.1.A1_at	3.536299473
Xl.12987.1.A1_at	3.741661292
Xl.12988.1.A1_at	2.855504053
Xl.12989.1.A1_at	6.181424005
Xl.1299.1.S1_at	7.998818763
Xl.12992.1.A1_at	3.830610471
Xl.12993.1.A1_at	3.075764395
Xl.12994.1.A1_at	2.801429522
Xl.12995.1.S1_at	6.067912917
Xl.12996.1.A1_at	2.858129037
Xl.12997.1.A1_at	3.251943187
Xl.12998.1.S1_at	5.780791571
Xl.12999.2.A1_at	3.69329884
Xl.13.1.S1_at	8.603955066
Xl.13.2.A1_at	5.801861346
Xl.13000.1.A1_at	2.655821669
Xl.13001.1.A1_at	6.870834086
Xl.13002.1.A1_at	2.448533852
Xl.13004.1.A1_at	7.068144849
Xl.13006.1.A1_at	8.672540922
Xl.13009.1.S1_at	3.877898384
Xl.13010.1.A1_at	3.287164505
Xl.13012.1.A1_at	6.15878943
Xl.13013.1.S1_at	3.79822355
Xl.13014.1.A1_at	4.693242769
Xl.13015.1.S1_at	7.395893862
Xl.13016.1.A1_at	6.858763011
Xl.13017.1.A1_at	5.051571436
Xl.13019.1.S1_at	3.076165658
Xl.13020.1.A1_at	5.070355737
Xl.13022.1.A1_at	8.676746197
Xl.13023.1.A1_at	3.602884853
Xl.13025.1.A1_at	2.465059925
Xl.13025.1.A1_x_at	2.583841116
Xl.13031.1.A1_at	3.638438284
Xl.13032.1.A1_at	5.902391788
Xl.13033.1.S1_at	2.979540999
Xl.13034.1.A1_at	6.915486806
Xl.13035.1.A1_at	2.734157123
Xl.13037.1.A1_at	4.156219659
Xl.13038.1.A1_at	5.218855093
Xl.1304.1.A1_at	7.936902193
Xl.13041.1.A1_at	4.656624274
Xl.13043.1.S1_at	7.548242743
Xl.13044.1.S1_at	7.584186929
Xl.13046.1.A1_at	5.540539845
Xl.13048.1.A1_at	6.471123999
Xl.13049.1.A1_at	6.494763895
Xl.13052.1.A1_at	2.888358328
Xl.13053.1.S1_at	5.77135843
Xl.13054.1.S1_at	6.172313784
Xl.13055.1.S1_at	5.967352529
Xl.13055.2.A1_at	5.077111358
Xl.13056.1.A1_at	6.297097457
Xl.13057.1.S1_at	3.320532755
Xl.13058.1.A1_at	2.897707748
Xl.13059.1.S1_at	5.24603244
Xl.13060.1.A1_at	3.117619372
Xl.13061.1.A1_at	4.386387787
Xl.13064.1.A1_at	3.680456314
Xl.13065.1.A1_at	7.44349394
Xl.13070.1.A1_at	7.365620213
Xl.13073.1.A1_at	3.825829945
Xl.13077.1.A1_at	2.859668623
Xl.13079.1.A1_at	5.298490574
Xl.13080.1.A1_at	5.52013572
Xl.13081.1.S1_at	3.653143032
Xl.13086.1.A1_at	4.58010649
Xl.13087.1.A1_at	5.148425571
Xl.13087.2.S1_at	4.686989402
Xl.13088.1.S1_at	7.173631248
Xl.13089.1.A1_at	5.749561163
Xl.13091.1.A1_at	6.148538301
Xl.13092.1.A1_at	3.459883914
Xl.13093.1.A1_at	2.79692349
Xl.13095.1.A1_at	7.340968724
Xl.13096.1.A1_s_at	6.136393328
Xl.13098.1.A1_at	5.631829458
Xl.131.1.S1_at	7.836895378
Xl.1310.1.A1_at	6.944037615
Xl.13102.2.A1_at	7.929359961
Xl.13103.1.A1_at	6.211715738
Xl.13108.1.A1_at	6.959157801
Xl.13109.1.S1_at	5.579275241
Xl.13110.1.A1_at	3.390050621
Xl.13112.1.A1_at	3.54651829
Xl.13115.1.S1_at	7.078622803
Xl.13116.1.A1_at	7.128172162
Xl.13117.1.A1_at	5.836244551
Xl.13119.1.A1_at	7.339802978
Xl.13121.1.S1_at	7.182274648
Xl.13122.1.A1_at	3.542042577
Xl.13124.1.A1_at	3.759205215
Xl.13125.1.A1_at	7.589398165
Xl.13127.1.A1_at	7.290558878
Xl.13128.1.S1_at	6.817752032
Xl.13133.1.A1_at	5.987681596
Xl.13135.1.A1_at	3.36256118
Xl.13136.1.S1_at	6.196939308
Xl.13137.1.A1_at	4.062184685
Xl.1314.1.A1_at	4.32915445
Xl.13140.1.A1_at	9.635977331
Xl.13141.1.A1_at	3.489462697
Xl.13144.1.A1_at	3.459467406
Xl.13145.1.S1_at	4.43931303
Xl.13146.1.A1_at	3.524628717
Xl.13148.1.S1_at	4.033096638
Xl.13148.1.S1_x_at	4.337834705
Xl.13151.1.S1_at	5.853124575
Xl.13153.1.S1_at	3.5986027
Xl.13153.2.S1_at	4.554519326
Xl.13155.1.A1_at	3.307836927
Xl.13157.1.A1_at	4.23299357
Xl.13158.1.A1_at	2.600241669
Xl.13160.1.A1_at	3.984171714
Xl.13160.1.A1_x_at	4.651004597
Xl.13161.1.S1_at	3.112721163
Xl.13164.1.A1_at	3.764566769
Xl.13165.1.S1_at	3.26920691
Xl.13167.1.S1_at	7.671547473
Xl.13169.1.S1_at	7.616763519
Xl.1317.1.A1_at	5.739856557
Xl.13170.1.A1_at	5.202700646
Xl.13170.3.A1_at	3.771629823
Xl.13171.1.A1_at	4.337549729
Xl.13172.1.A1_at	3.662298362
Xl.13175.1.A1_at	4.462485997
Xl.13175.3.A1_at	6.47956766
Xl.13176.1.A1_at	5.367823277
Xl.13177.1.A1_at	3.050088898
Xl.13178.1.A1_at	3.95505536
Xl.13179.1.A1_at	4.090162674
Xl.1318.1.A1_at	4.258977808
Xl.13185.1.A1_at	5.550324089
Xl.13189.1.A1_at	4.174434058
Xl.1319.1.A1_at	3.815389405
Xl.13190.1.A1_at	2.948281927
Xl.13193.1.S1_at	5.409222691
Xl.13195.1.A1_at	6.467906899
Xl.13196.1.A1_at	5.918645595
Xl.132.1.S1_at	3.22667659
Xl.1320.1.A1_at	2.581498923
Xl.13202.1.A1_at	5.570333142
Xl.13203.1.S1_at	8.287707225
Xl.13204.1.A1_at	5.088908097
Xl.13209.1.S1_at	5.969304332
Xl.1321.1.S1_at	4.801778786
Xl.13210.1.A1_at	3.52443993
Xl.13214.1.S1_at	7.482873431
Xl.13215.2.S1_a_at	5.589976585
Xl.13216.1.A1_at	6.962709554
Xl.13218.1.S1_at	6.131202037
Xl.13219.1.A1_at	2.757196964
Xl.1322.1.A1_at	7.903291183
Xl.13220.1.A1_at	4.732154551
Xl.13224.1.A1_at	3.003270451
Xl.13225.1.A1_at	5.75605846
Xl.13226.1.A1_at	4.314668769
Xl.13228.1.S1_at	5.680713925
Xl.13230.1.A1_at	6.759816893
Xl.13231.1.S1_at	5.371803876
Xl.13232.1.A1_at	2.492450763
Xl.13234.1.S1_at	3.793140551
Xl.1324.1.S1_a_at	10.15363935
Xl.1324.1.S1_at	11.40946989
Xl.1324.2.A1_x_at	10.87448035
Xl.13242.1.A1_at	8.505690069
Xl.13244.1.A1_at	2.701782458
Xl.13245.1.A1_at	2.889906929
Xl.13246.1.S1_at	4.286348742
Xl.13250.1.A1_at	2.784899429
Xl.13250.2.A1_at	3.467154571
Xl.13251.1.S1_at	4.809519251
Xl.13254.1.A1_at	6.136794423
Xl.13255.1.A1_at	3.031396261
Xl.13259.1.A1_at	3.681514959
Xl.13260.1.S1_at	6.591519344
Xl.13262.1.A1_at	2.775491127
Xl.13265.1.A1_at	2.593822942
Xl.13266.1.S1_at	5.853004207
Xl.13267.1.A1_at	2.651277951
Xl.13268.1.A1_at	5.345183759
Xl.13269.1.A1_at	3.853908363
Xl.13270.1.A1_at	4.45027864
Xl.13271.1.A1_at	3.756241618
Xl.13272.1.A1_at	2.911987291
Xl.13275.1.A1_at	3.794517278
Xl.13277.1.A1_at	6.109838485
Xl.13278.1.S1_at	7.292985801
Xl.13279.1.A1_at	6.716747777
Xl.13280.1.A1_at	7.092786596
Xl.13281.1.S1_at	8.185723248
Xl.13284.1.A1_at	7.056609218
Xl.13286.1.A1_at	7.195689447
Xl.13287.1.A1_at	4.739647962
Xl.13289.1.S1_at	3.383719788
Xl.13291.1.A1_at	3.75094033
Xl.13292.1.A1_at	7.062355476
Xl.13295.1.A1_at	3.060651245
Xl.13296.1.A1_at	5.317960958
Xl.13297.1.S1_at	4.083351133
Xl.13298.1.A1_at	8.429473255
Xl.13299.1.S1_at	4.302291062
Xl.13301.1.A1_at	3.228382557
Xl.13305.1.S1_at	4.650110892
Xl.13308.1.A1_at	4.181724513
Xl.13308.1.S1_at	6.211157655
Xl.13309.1.S1_at	6.266556463
Xl.13310.1.A1_at	7.116806642
Xl.13311.1.A1_at	6.032198722
Xl.13312.1.A1_at	8.14265412
Xl.13314.1.A1_at	4.813396475
Xl.13316.1.A1_at	5.817131892
Xl.13319.1.A1_at	4.04032555
Xl.1332.1.S1_at	6.410521263
Xl.13320.1.A1_at	5.629813194
Xl.13321.1.S1_at	9.025280439
Xl.13322.1.A1_at	4.79131005
Xl.13323.1.A1_at	4.63444763
Xl.13324.1.A1_at	2.763858079
Xl.13325.1.A1_at	3.377738334
Xl.13328.1.A1_at	4.433329434
Xl.13329.1.A1_at	5.169496216
Xl.13330.1.A1_at	7.175551851
Xl.13331.1.S1_a_at	3.222802684
Xl.13331.1.S1_at	5.446801545
Xl.13331.2.A1_x_at	2.883381845
Xl.13333.1.A1_at	6.175416103
Xl.13333.1.A1_s_at	7.602462139
Xl.13334.1.A1_at	3.739443423
Xl.1334.1.A1_at	3.980450102
Xl.13341.1.A1_at	3.117822078
Xl.13343.1.A1_at	2.661076955
Xl.13344.1.A1_at	4.356163468
Xl.13345.1.A1_at	5.228283379
Xl.13347.1.S1_at	4.580558319
Xl.13348.1.S1_at	5.438634671
Xl.1335.1.S1_at	10.03203383
Xl.13351.1.A1_at	3.954327239
Xl.13352.1.A1_at	4.203568307
Xl.13353.1.A1_at	4.523082002
Xl.13354.1.A1_at	8.048237797
Xl.13355.1.A1_at	5.55495162
Xl.13357.1.A1_at	2.804645534
Xl.13358.1.A1_at	3.526860429
Xl.1336.1.A1_at	6.963169374
Xl.13360.1.A1_at	3.932426746
Xl.13362.1.A1_at	4.533090648
Xl.13363.1.A1_at	4.249312375
Xl.1337.1.A1_at	2.709655193
Xl.13371.1.A1_at	7.037720266
Xl.13372.1.A1_at	6.307734795
Xl.13373.1.A1_at	6.121572163
Xl.13377.1.A1_at	5.170417393
Xl.13378.1.S1_at	3.970486349
Xl.13379.1.A1_at	4.504652574
Xl.13381.1.A1_at	2.677404917
Xl.13382.1.A1_at	2.92877538
Xl.13384.1.A1_at	3.007751812
Xl.13385.1.A1_at	5.210067788
Xl.13388.1.A1_at	5.850264198
Xl.13389.1.S1_at	6.649092285
Xl.13392.1.A1_at	2.839634989
Xl.13394.1.A1_at	4.293797286
Xl.13395.1.A1_at	7.188851907
Xl.13397.1.A1_at	4.6126401
Xl.1340.1.A1_at	3.268384471
Xl.13404.1.A1_at	3.437308717
Xl.13409.1.S1_at	5.537174868
Xl.1341.1.A1_at	2.892313656
Xl.13411.1.A1_at	2.839223334
Xl.13412.1.A1_at	4.861230897
Xl.13413.1.A1_at	2.704483575
Xl.13415.1.A1_at	7.094929267
Xl.13417.1.A1_at	4.982362063
Xl.13418.1.S1_at	4.948622972
Xl.13418.2.A1_at	5.929318357
Xl.1342.1.S1_at	5.348349223
Xl.13420.1.S1_at	6.228345345
Xl.13421.1.A1_at	3.878268568
Xl.13422.1.A1_at	4.343366108
Xl.13423.1.S1_at	6.776836645
Xl.13423.2.A1_at	7.346406811
Xl.13424.1.S1_at	5.404819785
Xl.13425.1.A1_at	5.10420401
Xl.13426.1.A1_at	4.122168959
Xl.1343.1.A1_at	5.95100988
Xl.13432.1.S1_at	7.574527732
Xl.13432.1.S1_x_at	7.768998456
Xl.13433.1.A1_at	3.34615425
Xl.13436.1.A1_at	5.449859967
Xl.13437.1.A1_at	2.965182028
Xl.13438.2.A1_at	2.865808733
Xl.13439.1.A1_at	5.975582629
Xl.13441.1.A1_at	6.233788245
Xl.13442.3.A1_at	6.791083601
Xl.13443.1.A1_at	3.685097478
Xl.13444.1.A1_at	2.655615094
Xl.13448.1.A1_at	3.767021807
Xl.13450.1.S1_at	6.451160377
Xl.13452.1.A1_at	3.69566142
Xl.13453.1.A1_at	6.476741243
Xl.13454.1.A1_at	4.859244125
Xl.13457.1.A1_at	2.999956915
Xl.13458.1.A1_at	3.298467002
Xl.13459.1.A1_at	3.710752059
Xl.1346.1.A1_at	6.756185639
Xl.13460.1.A1_at	4.100983215
Xl.13462.1.A1_at	3.379845934
Xl.13463.1.A1_at	5.087110069
Xl.13463.1.A1_s_at	10.61033985
Xl.13464.1.S1_at	4.025398702
Xl.13465.1.A1_at	5.674124083
Xl.13466.1.S1_at	7.407020655
Xl.13467.1.S1_at	5.931752926
Xl.13467.2.A1_at	2.613687928
Xl.13468.1.A1_at	2.656155375
Xl.13469.1.A1_at	7.158931164
Xl.13470.1.S1_at	4.306408305
Xl.13471.1.A1_at	4.081536472
Xl.13472.1.S1_at	3.755025167
Xl.13472.1.S1_s_at	5.939705329
Xl.13474.1.A1_at	2.824310329
Xl.13479.1.S1_at	4.142594436
Xl.1348.1.S1_at	7.95520226
Xl.13480.1.S1_at	5.423797378
Xl.13482.1.A1_at	2.720119412
Xl.13483.1.A1_at	5.35440801
Xl.13484.1.A1_at	7.248577241
Xl.13484.2.S1_at	4.174193705
Xl.13486.1.A1_at	3.965334146
Xl.13487.1.A1_at	5.698436821
Xl.13488.1.A1_at	2.594170589
Xl.13489.1.A1_at	3.7242101
Xl.13490.1.A1_at	2.838258543
Xl.13491.1.A1_at	3.168333311
Xl.13492.1.A1_at	2.905171542
Xl.13493.1.A1_at	6.069336663
Xl.13494.1.A1_at	4.724349863
Xl.13495.1.A1_at	5.532066074
Xl.13496.1.A1_at	6.805895541
Xl.135.1.S1_at	3.348104319
Xl.135.2.A1_at	3.530568621
Xl.135.2.S1_a_at	3.425551467
Xl.1350.1.A1_at	3.267289198
Xl.13501.1.A1_at	2.978907021
Xl.13502.1.A1_at	5.31790465
Xl.13503.1.S1_at	7.157348773
Xl.13504.1.S1_at	10.28421744
Xl.13505.1.A1_at	4.288954458
Xl.13506.1.A1_at	5.742194531
Xl.1351.1.A1_at	3.603491319
Xl.1351.1.A1_s_at	5.961242137
Xl.1351.3.S1_a_at	4.005829935
Xl.13510.1.A1_at	5.888796217
Xl.13511.1.A1_at	5.255734486
Xl.13513.1.A1_at	2.831715589
Xl.13514.1.A1_at	2.444779077
Xl.13517.1.A1_at	5.430820007
Xl.13518.1.A1_at	5.931380476
Xl.13518.2.S1_at	7.100893399
Xl.13519.1.A1_at	7.435490246
Xl.1352.1.S1_at	9.66813449
Xl.13521.1.A1_at	6.775784827
Xl.13528.1.A1_at	7.384122367
Xl.1353.1.S1_at	8.854170406
Xl.13535.1.S1_at	3.798262136
Xl.13536.1.S1_at	3.433772698
Xl.13537.1.A1_at	7.780164049
Xl.1354.1.A1_at	6.518115796
Xl.1354.2.S1_at	6.66203682
Xl.13544.1.A1_at	3.600055127
Xl.13545.1.S1_at	5.639161611
Xl.13546.1.A1_at	6.762222872
Xl.13547.1.A1_at	3.728854227
Xl.13548.2.A1_at	6.399935253
Xl.13548.2.A1_x_at	6.201598134
Xl.13549.1.A1_at	2.71595154
Xl.13550.1.A1_at	9.18298398
Xl.13551.1.A1_at	6.222529086
Xl.13554.1.A1_at	5.798518161
Xl.13557.1.S1_at	3.834462756
Xl.13561.1.A1_at	3.293337957
Xl.13563.1.A1_at	2.817681075
Xl.13564.1.A1_at	3.842281567
Xl.13566.1.A1_at	2.772389959
Xl.13567.2.A1_at	3.588095931
Xl.13568.1.A1_at	7.261599094
Xl.1357.1.S1_a_at	7.097389532
Xl.13570.1.S1_at	5.766851219
Xl.13571.1.A1_at	5.132690299
Xl.13574.1.A1_at	5.381996152
Xl.13575.1.A1_at	4.142248019
Xl.13576.1.A1_at	3.239911025
Xl.13578.1.A1_at	6.124931564
Xl.1358.1.S1_at	2.940371935
Xl.13580.1.A1_at	5.146972207
Xl.13581.1.S1_at	2.699375593
Xl.13582.1.A1_at	5.130355062
Xl.13584.1.A1_at	3.035595693
Xl.13585.1.A1_at	3.090788381
Xl.13589.1.A1_at	2.846188738
Xl.13590.1.A1_a_at	6.517643285
Xl.13590.1.A1_x_at	6.443753748
Xl.13591.1.S1_at	6.579732154
Xl.13593.1.A1_at	8.050854998
Xl.13595.1.A1_at	3.65354774
Xl.13596.1.S1_at	4.821782133
Xl.13597.1.A1_at	5.646991359
Xl.13598.1.S1_at	7.020973447
Xl.13599.1.A1_at	6.445320578
Xl.136.1.S1_at	2.621242632
Xl.1360.1.S1_at	4.54181195
Xl.13601.1.A1_at	5.292768105
Xl.13602.1.S1_at	4.336245123
Xl.13604.1.A1_at	3.381905011
Xl.13605.1.A1_at	4.738548655
Xl.13606.1.A1_at	3.580758913
Xl.13607.1.A1_at	3.382795061
Xl.13608.1.A1_at	3.019530301
Xl.1361.1.S1_at	7.987665541
Xl.13610.1.S1_at	3.645803796
Xl.13613.1.A1_at	3.07795019
Xl.13614.1.A1_at	6.399217369
Xl.13619.1.S1_at	6.869390882
Xl.1362.1.A1_at	5.980473255
Xl.1362.2.A1_a_at	9.583822091
Xl.1362.2.A1_at	7.847065424
Xl.13620.1.A1_at	4.674732412
Xl.13621.1.A1_at	3.236625713
Xl.13623.1.S1_at	3.0238996
Xl.13623.1.S2_at	2.950262079
Xl.13624.1.A1_at	4.735489996
Xl.13628.1.A1_at	3.040994701
Xl.13628.1.A1_x_at	3.22926889
Xl.13629.1.A1_at	4.1377314
Xl.13633.1.A1_at	5.432734256
Xl.13635.1.A1_at	6.801837809
Xl.13636.1.S1_at	2.974546377
Xl.13637.1.A1_at	6.281611962
Xl.13638.1.A1_at	3.568261852
Xl.13640.1.A1_at	5.842136693
Xl.13641.1.A1_at	3.29489509
Xl.13643.1.A1_at	7.528506782
Xl.13644.1.S1_at	4.963691331
Xl.13645.1.A1_at	2.956402674
Xl.13646.1.S1_at	5.806048802
Xl.13647.1.A1_at	2.796956285
Xl.13648.1.A1_at	5.197482758
Xl.1365.1.S1_a_at	9.466131992
Xl.1365.1.S1_at	6.510346822
Xl.1365.2.A1_at	9.839276921
Xl.1365.2.A1_x_at	9.955314019
Xl.13650.1.A1_at	5.52567115
Xl.13651.1.A1_at	2.981078436
Xl.13652.1.A1_at	3.472499102
Xl.13653.1.A1_at	2.855672937
Xl.13654.1.A1_at	9.159212009
Xl.13657.1.S1_at	8.449918371
Xl.13658.1.A1_at	4.770216791
Xl.13659.1.S1_at	5.7322449
Xl.13659.2.A1_at	6.02118007
Xl.13666.1.A1_at	7.269291394
Xl.13666.1.A1_x_at	7.283593292
Xl.13666.2.S1_at	4.114477102
Xl.13668.1.S1_at	7.028169298
Xl.13669.1.A1_at	6.974562247
Xl.1367.1.S1_at	3.372816828
Xl.13672.1.A1_at	3.038467079
Xl.13673.1.A1_at	6.613460543
Xl.13674.1.A1_at	3.623544301
Xl.13675.1.A1_at	6.147364547
Xl.13677.1.A1_at	5.363384545
Xl.13678.1.A1_at	4.438102779
Xl.13679.1.S1_at	7.263155274
Xl.13681.1.A1_at	5.36155173
Xl.13682.1.A1_at	7.192336924
Xl.13682.1.A1_x_at	6.335255327
Xl.13684.1.A1_at	6.422810973
Xl.13685.1.A1_at	4.810483851
Xl.13686.1.A1_at	3.07482554
Xl.13687.1.A1_at	4.656944665
Xl.13688.1.S1_at	5.89922061
Xl.13693.1.A1_at	5.370092301
Xl.13694.1.A1_at	4.714149392
Xl.13695.1.A1_at	4.13266914
Xl.13696.1.A1_at	3.880047346
Xl.13697.1.A1_at	6.624457383
Xl.13699.1.A1_at	4.730731148
Xl.137.1.S1_at	3.033264782
Xl.1370.1.A1_at	3.112600558
Xl.13700.2.A1_at	3.017474093
Xl.13701.1.A1_at	6.322094515
Xl.13705.1.S1_at	2.697755475
Xl.13706.1.A1_at	7.756006714
Xl.13709.1.A1_at	6.861827567
Xl.13710.1.A1_at	3.595816789
Xl.13711.1.A1_x_at	5.045351672
Xl.13712.1.A1_at	3.145820674
Xl.13715.1.S1_at	4.924873253
Xl.13715.2.A1_at	3.948285362
Xl.13716.1.A1_at	6.238001092
Xl.13717.1.S1_at	7.096188307
Xl.13717.1.S1_s_at	7.752748671
Xl.13718.1.S1_at	7.298682429
Xl.13719.1.A1_at	2.69299876
Xl.13720.1.A1_at	4.305228601
Xl.13721.1.A1_at	4.961297446
Xl.13723.1.A1_at	3.046261243
Xl.13725.1.A1_at	4.091033785
Xl.13726.1.A1_at	3.869355335
Xl.13727.2.A1_x_at	3.231954888
Xl.13728.1.S1_at	4.161047301
Xl.1373.1.S1_at	9.97906627
Xl.1373.2.A1_at	9.52719413
Xl.13730.3.A1_at	5.540885123
Xl.13733.1.A1_at	2.735043841
Xl.13734.1.A1_at	6.459431395
Xl.13735.1.A1_at	7.211644229
Xl.13737.1.A1_at	3.895605842
Xl.13738.1.A1_at	3.467492092
Xl.13740.1.A1_at	2.888103916
Xl.13742.1.A1_at	2.545918275
Xl.13743.1.A1_at	3.461687751
Xl.13744.1.A1_at	2.495246792
Xl.13745.1.S1_at	8.01687137
Xl.13748.1.A1_at	6.32853346
Xl.13749.1.A1_at	3.372483139
Xl.13750.1.A1_at	3.435455408
Xl.13754.2.A1_at	6.137390585
Xl.13755.1.A1_at	8.456775332
Xl.13756.1.A1_at	5.712809395
Xl.13760.1.A1_at	8.473979455
Xl.13761.1.S1_at	8.699060967
Xl.13762.1.A1_at	6.361060405
Xl.13764.1.S1_at	5.02963216
Xl.13766.1.A1_at	4.144490507
Xl.13767.1.A1_at	6.549902338
Xl.13768.1.A1_at	3.239595629
Xl.13769.1.A1_at	4.595910042
Xl.13770.1.S1_at	4.653823166
Xl.13771.1.A1_at	5.97787598
Xl.13772.1.A1_at	3.498805626
Xl.13774.1.A1_at	6.813664505
Xl.13775.1.A1_at	3.167995397
Xl.13778.1.A1_at	2.797959643
Xl.1378.1.A1_at	6.92704794
Xl.13781.1.A1_at	6.942154462
Xl.13782.1.S1_at	4.327280638
Xl.13782.2.A1_at	5.082875273
Xl.13786.1.S1_at	6.398586708
Xl.13787.1.S1_at	5.235431842
Xl.13788.1.A1_at	5.957895426
Xl.1379.1.S1_at	8.57488633
Xl.13790.1.S1_at	7.187725569
Xl.13793.1.A1_at	3.255381492
Xl.13796.1.A1_at	2.652606185
Xl.13797.1.A1_at	6.40361633
Xl.13798.1.A1_at	6.579202171
Xl.13799.1.A1_at	3.788238041
Xl.138.1.S1_at	2.600983959
Xl.1380.1.S1_at	6.866449391
Xl.13805.1.A1_at	2.640275304
Xl.13811.1.A1_at	2.931442528
Xl.13812.1.S1_at	5.873848488
Xl.13814.1.A1_at	2.540597889
Xl.13817.1.A1_at	2.941463948
Xl.13818.1.A1_at	3.137428587
Xl.1382.1.A1_at	3.721829726
Xl.13823.1.A1_at	6.862822824
Xl.13826.1.A1_at	3.883328686
Xl.13827.1.A1_at	4.342981799
Xl.13829.1.S1_at	4.730704606
Xl.1383.1.A1_at	2.572606247
Xl.13831.2.A1_at	2.754589376
Xl.13831.3.S1_at	2.988093094
Xl.13832.1.A1_at	6.264912906
Xl.13833.1.A1_at	4.625710127
Xl.13833.2.S1_at	3.653301143
Xl.13833.3.A1_at	3.071313116
Xl.13834.1.A1_at	4.507464026
Xl.13835.1.S1_at	5.375938997
Xl.13836.1.A1_at	6.429278649
Xl.13838.1.A1_at	6.668756729
Xl.13839.1.A1_at	4.265655667
Xl.13840.1.S1_at	6.790463388
Xl.13840.2.A1_at	7.900705898
Xl.13843.1.A1_at	3.195201367
Xl.13848.2.A1_x_at	3.591127946
Xl.13849.1.A1_at	5.657368083
Xl.13850.1.A1_at	6.387467171
Xl.13851.1.A1_at	2.417401162
Xl.13853.1.A1_at	7.604309066
Xl.13857.1.A1_at	3.103821336
Xl.13858.1.S1_at	5.516316163
Xl.13860.1.A1_at	3.07115429
Xl.13862.1.A1_at	3.550265433
Xl.13864.1.A1_at	4.358157834
Xl.13865.1.S1_at	4.087984506
Xl.13868.1.A1_at	2.965368151
Xl.13869.1.A1_at	3.580949004
Xl.13871.1.A1_at	4.407608881
Xl.13872.1.A1_s_at	3.401610999
Xl.13872.1.A1_x_at	4.749442511
Xl.13873.1.A1_at	3.116772135
Xl.13879.1.A1_at	4.537678028
Xl.13880.1.A1_at	6.367717822
Xl.13881.1.A1_at	2.611094057
Xl.13882.1.S1_at	4.837597324
Xl.13883.1.A1_at	7.041754797
Xl.13883.1.A1_x_at	6.844108747
Xl.13885.1.A1_s_at	8.361048355
Xl.13889.1.A1_at	3.174424951
Xl.13891.1.A1_at	4.106531144
Xl.13892.1.A1_at	4.077066102
Xl.13893.1.A1_at	5.347818806
Xl.13894.1.A1_at	2.539235855
Xl.13897.1.A1_at	5.193060488
Xl.13899.1.A1_at	3.774851601
Xl.139.1.S1_at	3.363153186
Xl.13900.1.A1_at	2.640225378
Xl.13901.1.A1_at	5.184101324
Xl.13903.1.A1_at	5.514696328
Xl.13904.1.A1_at	3.550038585
Xl.13905.1.A1_at	4.635156127
Xl.13909.1.A1_at	6.580485833
Xl.13910.1.A1_at	3.916370295
Xl.13912.1.A1_at	7.232212317
Xl.13913.2.A1_at	2.869142187
Xl.13914.1.A1_at	6.805144155
Xl.13915.1.A1_at	7.128386208
Xl.1392.1.A1_at	7.214439415
Xl.13920.1.A1_at	2.728538643
Xl.13921.1.A1_at	2.720149378
Xl.13922.1.A1_at	5.091508117
Xl.13923.1.A1_at	6.88553121
Xl.13923.1.A1_x_at	7.849831694
Xl.13924.1.A1_at	3.772255845
Xl.13925.1.A1_at	5.802760065
Xl.13927.1.A1_at	3.931979913
Xl.13927.1.A1_s_at	4.374749601
Xl.13928.1.A1_at	3.246358609
Xl.13929.2.A1_at	4.198466788
Xl.13930.1.A1_at	5.680779702
Xl.13931.1.A1_at	2.611047964
Xl.13932.1.A1_at	6.980793122
Xl.13933.1.A1_at	3.421157717
Xl.13938.1.A1_at	3.108109444
Xl.13939.1.A1_at	3.575128624
Xl.1394.1.S1_at	6.242572101
Xl.13940.1.A1_at	3.208971865
Xl.13942.1.A1_at	4.409989335
Xl.13944.1.A1_at	6.573476197
Xl.13947.1.A1_at	5.425247327
Xl.13949.1.A1_at	5.327656842
Xl.1395.1.A1_a_at	3.353236449
Xl.1395.1.A1_x_at	3.066121642
Xl.13951.3.A1_at	5.762335237
Xl.13952.1.A1_at	7.324718346
Xl.13953.1.A1_at	4.481405982
Xl.13955.1.A1_at	5.660382937
Xl.13956.1.S1_at	3.602382413
Xl.13956.2.A1_at	2.965545333
Xl.13958.1.A1_at	2.432457959
Xl.13959.2.A1_at	5.407939623
Xl.13960.1.A1_at	4.963381679
Xl.13961.1.A1_at	6.271226655
Xl.13962.1.A1_at	9.044356905
Xl.13964.1.A1_at	7.790445348
Xl.13965.1.A1_at	3.157912272
Xl.13967.1.A1_at	5.865180522
Xl.13968.1.A1_at	3.208982522
Xl.1397.1.S1_at	7.462390204
Xl.13972.1.A1_at	2.885193835
Xl.13973.1.A1_at	2.526470448
Xl.13975.1.A1_at	5.241830132
Xl.13976.1.A1_at	7.869259512
Xl.13978.3.A1_at	3.62115792
Xl.13981.2.A1_at	6.196821068
Xl.13982.1.A1_at	6.907954933
Xl.13983.1.A1_at	5.375272905
Xl.13985.1.A1_at	4.705013565
Xl.13986.1.A1_at	3.029353475
Xl.13987.1.S1_at	4.594758867
Xl.13987.1.S1_x_at	5.404679926
Xl.13988.1.A1_at	6.866577368
Xl.13989.1.S1_at	6.400457286
Xl.13989.3.A1_at	7.317204621
Xl.13992.1.A1_at	2.925735283
Xl.13993.1.A1_at	2.992275381
Xl.13994.1.A1_at	3.683376485
Xl.13996.1.A1_at	3.405750462
Xl.13997.2.A1_at	4.828008053
Xl.13998.1.S1_at	7.442081245
Xl.13999.1.A1_at	4.829319693
Xl.14.1.S1_at	2.603575861
Xl.140.1.S1_at	6.97345534
Xl.14000.1.S1_at	7.66178652
Xl.14002.1.A1_at	5.173924158
Xl.14003.1.S1_at	4.18717028
Xl.14004.1.S1_at	8.57073998
Xl.14008.1.A1_at	4.221764194
Xl.14009.1.S1_at	5.256520605
Xl.14010.1.A1_at	6.499463106
Xl.14013.1.A1_at	3.026037585
Xl.14014.1.A1_at	3.048483775
Xl.14015.1.A1_at	5.603519415
Xl.14017.1.A1_at	3.498903003
Xl.14020.1.A1_at	2.499616808
Xl.14022.1.A1_at	2.769161148
Xl.14023.1.A1_at	6.406871881
Xl.14024.1.A1_at	6.908448963
Xl.14027.1.A1_at	3.514965562
Xl.14028.1.S1_at	3.904614211
Xl.14030.1.A1_at	8.937313375
Xl.14032.2.A1_at	5.858213898
Xl.14035.1.A1_at	3.945326821
Xl.14036.1.A1_at	4.013584226
Xl.1404.1.A1_at	3.799102131
Xl.14041.1.A1_at	2.873796703
Xl.14045.1.S1_at	5.512658699
Xl.14046.1.A1_at	3.367815849
Xl.14049.2.A1_at	3.305839422
Xl.14050.1.A1_at	8.31885036
Xl.14052.1.A1_at	8.541991513
Xl.14053.1.A1_at	6.987246292
Xl.14056.1.S1_at	8.867578485
Xl.14057.1.A1_at	2.456889008
Xl.14058.1.A1_at	6.313408898
Xl.14059.1.A1_at	6.80510485
Xl.1406.1.S1_at	4.966525609
Xl.14065.1.A1_at	7.742997494
Xl.14066.1.S1_at	7.003939817
Xl.14068.1.A1_at	5.37670446
Xl.1407.1.S1_at	5.801382546
Xl.14072.1.A1_at	5.433291204
Xl.14073.1.A1_at	3.706849224
Xl.14074.1.A1_at	3.520859336
Xl.14075.1.A1_at	2.966982926
Xl.14076.1.A1_at	4.395670435
Xl.14077.1.A1_at	3.357816035
Xl.14077.2.A1_at	6.06426428
Xl.1408.1.S1_at	7.586804053
Xl.14081.1.A1_at	3.213539096
Xl.14082.1.A1_at	4.4454885
Xl.14083.1.A1_at	4.062884135
Xl.14086.1.S1_at	3.874201973
Xl.14087.1.A1_at	3.122654595
Xl.14089.1.S1_at	2.929397846
Xl.14090.1.A1_at	5.617204571
Xl.14091.1.A1_at	3.226088828
Xl.14093.2.A1_at	4.537558413
Xl.14094.1.A1_at	3.377651714
Xl.14097.1.S1_at	4.568239379
Xl.14099.1.A1_at	8.207485401
Xl.14099.1.A1_x_at	8.195127581
Xl.141.1.S1_at	4.565088317
Xl.14102.1.S1_at	2.782257505
Xl.14104.1.A1_at	8.146414061
Xl.14105.1.A1_at	2.510488903
Xl.14106.1.S1_at	3.557969216
Xl.14108.1.S1_at	6.054824668
Xl.14109.2.A1_at	3.550823065
Xl.14111.1.A1_at	7.095455752
Xl.14113.1.A1_at	4.924034925
Xl.14114.1.S1_at	5.586052878
Xl.14115.1.S1_at	4.834649035
Xl.14117.1.A1_at	4.463733842
Xl.14118.1.A1_at	3.446726345
Xl.14119.1.S1_at	2.755937561
Xl.1412.1.A1_at	4.496718911
Xl.14120.1.A1_at	4.677824116
Xl.14121.1.S1_at	4.351491019
Xl.14122.1.A1_at	4.71426947
Xl.14124.1.A1_at	3.429762392
Xl.14126.1.A1_at	2.783597461
Xl.14127.1.A1_at	3.38815467
Xl.14128.1.A1_at	6.682658071
Xl.14129.1.S1_at	5.057760235
Xl.14129.2.A1_at	4.132936872
Xl.14130.1.A1_at	4.092705923
Xl.14131.1.A1_at	3.330805103
Xl.14133.1.S1_at	4.268352179
Xl.14134.1.A1_at	2.762002599
Xl.14135.1.S1_at	4.434090996
Xl.14137.1.A1_at	3.374217347
Xl.14139.1.A1_at	2.649609237
Xl.1414.1.A1_at	4.599845091
Xl.14140.1.A1_at	3.964547839
Xl.14141.1.A1_at	3.082389998
Xl.14144.1.A1_at	5.435350186
Xl.14146.1.S1_at	7.13309051
Xl.14148.1.A1_at	6.21885267
Xl.14148.3.A1_at	3.331274164
Xl.14151.1.A1_at	6.691172438
Xl.14152.1.A1_at	2.928050948
Xl.14153.1.A1_at	4.456695838
Xl.14154.1.A1_at	4.349944441
Xl.14155.1.S1_at	3.868305323
Xl.14157.1.A1_x_at	2.69606249
Xl.14158.1.A1_at	4.466418666
Xl.14161.1.A1_at	5.739205698
Xl.14162.1.A1_at	5.594342451
Xl.14164.1.S1_at	6.916300752
Xl.14164.2.A1_at	5.022804481
Xl.14165.1.A1_at	2.655875777
Xl.14168.1.A1_at	5.222697521
Xl.14170.1.A1_at	3.856614335
Xl.14176.1.A1_at	5.938196115
Xl.14182.1.A1_at	6.822663365
Xl.1419.1.A1_at	5.356116539
Xl.14190.1.S1_at	5.699183006
Xl.14191.1.A1_at	3.407448459
Xl.14195.1.S1_at	6.524061396
Xl.14199.1.A1_at	4.218917081
Xl.142.1.S1_at	3.013108101
Xl.14200.1.A1_at	3.726234383
Xl.14205.1.S1_at	3.033853746
Xl.14206.1.A1_at	3.752521623
Xl.14208.1.A1_at	4.995892915
Xl.14209.1.A1_at	8.039279457
Xl.14210.1.A1_at	3.114389145
Xl.14211.1.A1_at	6.52460644
Xl.14213.1.A1_at	6.955958212
Xl.14214.1.A1_at	3.404174677
Xl.14215.1.A1_at	4.90588477
Xl.14218.1.A1_at	3.657075057
Xl.14220.1.S1_at	7.608064485
Xl.14221.1.S1_at	2.722363359
Xl.14222.1.A1_at	7.263328879
Xl.14228.1.S1_at	8.520971668
Xl.14229.1.A1_at	4.509073771
Xl.14231.1.A1_at	3.562735636
Xl.14232.1.A1_at	4.144423302
Xl.14237.1.S1_at	5.14882825
Xl.1424.1.S1_a_at	7.233232587
Xl.14240.1.A1_at	2.873804199
Xl.14246.1.A1_at	2.608998923
Xl.14249.1.S1_at	4.323493583
Xl.14251.1.S1_at	2.663070493
Xl.14252.1.A1_at	2.692940391
Xl.14254.1.A1_at	2.648329427
Xl.14255.1.A1_at	3.020863578
Xl.14257.1.S1_at	7.460668379
Xl.1426.1.A1_at	7.462519113
Xl.14265.1.A1_at	3.976472555
Xl.14272.1.A1_at	5.455550394
Xl.14273.1.A1_at	2.677864445
Xl.14274.1.S1_at	5.135193061
Xl.14278.1.S1_at	5.028115413
Xl.14280.1.A1_at	6.278164632
Xl.14284.1.S1_at	4.219374317
Xl.14285.1.A1_at	6.18771319
Xl.14286.1.A1_at	5.470090555
Xl.14287.1.A1_at	4.163707008
Xl.14290.1.A1_at	4.575608483
Xl.14291.1.A1_at	4.301878261
Xl.14298.1.A1_at	6.911617403
Xl.143.1.S1_at	2.475777
Xl.1430.1.S1_at	7.568582794
Xl.14301.1.A1_at	6.695442371
Xl.14306.1.S1_at	4.875629653
Xl.14307.1.S1_at	5.477075063
Xl.14308.1.A1_at	2.768162297
Xl.14309.1.S1_at	6.621339704
Xl.14312.1.S1_at	3.92234804
Xl.14313.1.A1_at	2.754616734
Xl.14315.1.A1_at	6.418180325
Xl.14316.1.S1_at	8.209454047
Xl.1432.1.A1_at	6.133122753
Xl.14322.1.A1_at	7.581149125
Xl.14328.1.S1_at	3.809553012
Xl.1433.1.A1_at	7.726704209
Xl.14330.1.A1_at	6.065912876
Xl.14330.2.S1_at	6.507078677
Xl.14331.1.A1_at	3.617377936
Xl.14332.1.A1_at	4.332805781
Xl.14332.1.A1_x_at	4.618479241
Xl.14332.2.A1_at	5.829139344
Xl.14334.1.S1_at	5.995906458
Xl.14337.1.A1_at	7.930124153
Xl.14338.1.A1_at	5.853465747
Xl.14339.1.A1_at	4.140836361
Xl.14340.1.S1_at	9.720126893
Xl.14340.2.S1_at	8.779457289
Xl.14342.1.S1_at	2.713963306
Xl.14343.1.A1_at	5.241678574
Xl.14347.1.S1_at	2.656174563
Xl.14349.1.S1_at	5.395951415
Xl.14350.1.A1_at	3.421073185
Xl.14353.1.S1_at	7.166948776
Xl.14355.1.A1_at	7.281550551
Xl.14356.1.A1_at	6.613121572
Xl.14357.1.S1_at	6.782215288
Xl.14358.1.A1_at	3.254456757
Xl.1436.1.S1_at	7.554114823
Xl.14365.1.A1_at	3.261466446
Xl.14366.1.A1_at	3.978725825
Xl.14367.1.A1_at	7.554026281
Xl.14369.1.A1_at	3.082738502
Xl.14374.1.A1_at	4.507305982
Xl.14376.1.A1_at	6.1815103
Xl.14379.1.A1_at	5.015906617
Xl.14383.1.A1_at	3.1168863
Xl.14384.1.S1_at	3.044565325
Xl.14391.1.A1_at	2.777489491
Xl.14392.1.A1_at	6.673104498
Xl.14393.1.S1_at	5.658217036
Xl.14394.1.A1_at	6.240310034
Xl.14395.1.S1_at	7.076359554
Xl.14396.1.A1_at	2.685381572
Xl.14397.1.S2_at	2.864311655
Xl.14398.1.A1_at	5.763434871
Xl.144.1.S1_at	2.663501538
Xl.14402.1.A1_at	2.661985736
Xl.14402.1.A1_x_at	2.804672858
Xl.14402.2.A1_at	2.443608229
Xl.14402.2.A1_x_at	2.612369892
Xl.14403.1.A1_at	3.978357061
Xl.14404.1.A1_at	3.509446612
Xl.14406.1.A1_at	4.112750336
Xl.14407.1.A1_at	3.739789589
Xl.14408.1.A1_at	8.031733235
Xl.1441.1.A1_at	6.002106799
Xl.14411.1.A1_at	3.3236399
Xl.14413.1.A1_at	2.505973537
Xl.14414.1.S1_at	5.554170174
Xl.14415.1.S1_at	8.367530383
Xl.14416.1.S1_at	7.588726922
Xl.14417.1.S1_at	5.532261126
Xl.14418.1.A1_at	8.234566205
Xl.14419.2.A1_at	3.188726539
Xl.1442.1.A1_at	6.165148191
Xl.14422.1.A1_at	2.773600781
Xl.14423.1.A1_at	2.948492303
Xl.14424.1.A1_at	4.102287288
Xl.14425.1.A1_at	5.609358994
Xl.14426.1.A1_at	5.060174149
Xl.14428.1.A1_at	5.842399662
Xl.14431.1.A1_at	2.76677272
Xl.14433.1.S1_at	6.214316029
Xl.14435.1.A1_at	5.059884545
Xl.14436.1.A1_x_at	5.924029164
Xl.14438.1.A1_at	5.929440825
Xl.1444.1.S1_at	7.669514839
Xl.14441.2.A1_at	5.816212915
Xl.14447.1.A1_at	8.061425807
Xl.14448.1.A1_at	5.341902997
Xl.14449.1.A1_x_at	2.776562446
Xl.14450.1.S1_at	7.039422375
Xl.14451.1.A1_at	4.429554077
Xl.14452.1.A1_at	6.073428343
Xl.14455.1.A1_at	3.15862727
Xl.14456.1.S1_at	4.489008463
Xl.14457.1.A1_at	3.762956872
Xl.14458.1.A1_at	6.689191084
Xl.14460.1.A1_at	4.919778056
Xl.14462.1.A1_at	3.269735627
Xl.14463.1.A1_at	2.638779856
Xl.14467.1.A1_at	3.452370328
Xl.14473.1.A1_at	2.804600623
Xl.1448.1.A1_a_at	5.905879325
Xl.1448.1.A1_x_at	4.803604219
Xl.1448.2.S1_a_at	6.180729503
Xl.1448.2.S1_x_at	5.680202447
Xl.14482.1.A1_at	5.77935414
Xl.14485.1.A1_at	2.897381485
Xl.14486.1.S1_at	3.450590407
Xl.14487.1.A1_at	3.694749002
Xl.14489.1.A1_at	6.392472523
Xl.1449.1.A1_at	7.938609776
Xl.1449.2.S1_at	2.798882299
Xl.14490.1.A1_at	3.540411469
Xl.14491.1.A1_at	2.615652074
Xl.14492.1.A1_at	4.442681185
Xl.14493.1.A1_at	4.80376949
Xl.14496.1.A1_at	5.019262834
Xl.14497.1.A1_at	5.59692167
Xl.14499.1.S1_at	5.516652455
Xl.1450.1.A1_at	6.085642413
Xl.14501.1.A1_at	6.003412386
Xl.14502.1.A1_at	4.837905045
Xl.14504.2.A1_at	4.040996543
Xl.14505.1.A1_at	3.989888949
Xl.14508.1.A1_at	4.851665189
Xl.1451.1.A1_at	3.363810644
Xl.14510.1.A1_at	5.102320557
Xl.14512.1.A1_at	5.930449539
Xl.14513.1.A1_at	7.265122832
Xl.14514.1.A1_at	4.397028342
Xl.14515.1.S1_at	8.597425234
Xl.14519.1.A1_at	4.812663057
Xl.14521.1.S1_at	6.875983201
Xl.14521.1.S1_s_at	8.53172558
Xl.14522.1.A1_at	5.818114118
Xl.14524.1.S1_at	4.605071493
Xl.14525.1.A1_at	2.975556041
Xl.14528.1.S1_at	6.316664272
Xl.14529.1.A1_at	6.634075755
Xl.14529.3.A1_at	5.100074844
Xl.14531.1.A1_at	3.041197535
Xl.14532.1.S1_at	8.419444502
Xl.14533.1.A1_at	2.434025534
Xl.14537.1.S1_at	4.871042819
Xl.14538.1.S1_at	6.247191967
Xl.14539.1.A1_at	5.17770397
Xl.14540.1.A1_x_at	6.064480539
Xl.14541.1.A1_at	3.240891252
Xl.14542.1.S1_at	3.307336454
Xl.14544.1.A1_at	6.588277301
Xl.14545.1.A1_at	3.917961374
Xl.14546.1.A1_at	5.648525102
Xl.14547.1.A1_at	2.976271583
Xl.14550.1.A1_at	4.671044927
Xl.14551.1.A1_at	7.531657745
Xl.14555.1.S1_at	5.35827445
Xl.14555.2.A1_at	5.748564241
Xl.14556.1.A1_at	7.072378003
Xl.14557.1.A1_at	6.38500398
Xl.14559.1.A1_at	3.720612984
Xl.14560.1.A1_at	3.501408825
Xl.14561.1.A1_at	7.255670125
Xl.14563.1.S1_at	4.34751905
Xl.14566.2.A1_at	2.932497279
Xl.14567.1.A1_at	5.57109519
Xl.14567.1.A1_x_at	5.606945611
Xl.14568.1.A1_at	4.835173005
Xl.14569.2.S1_a_at	7.670190683
Xl.14570.1.A1_at	2.934923174
Xl.14571.1.A1_at	6.947148624
Xl.14571.2.S1_a_at	7.679720156
Xl.14571.2.S1_at	5.37079638
Xl.14572.1.A1_at	5.634834178
Xl.14572.2.S1_at	5.462994297
Xl.14575.1.S1_at	5.8729431
Xl.14576.1.A1_at	5.290643406
Xl.14577.1.A1_at	4.895095143
Xl.14578.1.A1_at	4.710826493
Xl.14581.1.A1_at	6.805504887
Xl.14582.1.S1_at	5.231394921
Xl.14583.1.A1_at	5.54479575
Xl.14584.1.A1_at	3.113603097
Xl.14586.1.A1_at	7.433926612
Xl.14588.1.S1_at	4.127836679
Xl.14589.2.A1_s_at	4.80346717
Xl.1459.1.A1_at	3.025970708
Xl.1459.1.A1_x_at	3.306756496
Xl.1459.2.A1_at	8.236446068
Xl.14591.1.S1_at	8.498654326
Xl.14595.1.S1_at	2.98703761
Xl.14597.3.A1_s_at	5.514637971
Xl.14599.1.A1_at	3.218630286
Xl.146.1.S1_at	3.143037989
Xl.14600.1.A1_at	4.44083254
Xl.14601.1.A1_at	3.794292355
Xl.14602.1.S1_at	4.863914508
Xl.14603.1.A1_at	3.500369541
Xl.14604.1.A1_at	7.957538129
Xl.14606.1.A1_at	3.788323323
Xl.14607.1.A1_at	3.328487281
Xl.14608.1.A1_at	2.711518484
Xl.14609.1.A1_at	3.455879274
Xl.14613.1.A1_at	6.541278326
Xl.14614.1.A1_at	3.526393374
Xl.14618.1.A1_at	8.445109142
Xl.1462.1.A1_at	2.802848083
Xl.14620.1.A1_at	3.782574032
Xl.14621.1.A1_at	2.931089558
Xl.14622.1.A1_at	6.023102527
Xl.14623.1.S1_at	2.797568764
Xl.14624.1.A1_at	6.20923826
Xl.14626.1.A1_at	7.273889621
Xl.14627.1.A1_at	3.155837775
Xl.14628.1.A1_at	7.348791929
Xl.14630.1.A1_x_at	3.272068721
Xl.14631.1.A1_at	2.883321653
Xl.14632.1.A1_at	5.980052565
Xl.14633.1.A1_at	6.517525254
Xl.14634.1.A1_at	6.013246764
Xl.14634.2.A1_at	4.768167687
Xl.14635.1.A1_at	5.338390667
Xl.14636.1.A1_at	6.268901804
Xl.14637.1.S1_at	3.290266824
Xl.14639.1.A1_at	3.389528473
Xl.1464.1.S1_at	2.842467122
Xl.1464.1.S2_at	2.838947975
Xl.1464.1.S2_x_at	2.917380801
Xl.14640.1.A1_at	7.260090369
Xl.14641.1.A1_at	7.310855917
Xl.14642.1.A1_at	4.979456035
Xl.14643.1.A1_at	3.598318523
Xl.14644.1.A1_at	2.945436682
Xl.14646.1.A1_at	6.572310226
Xl.14648.1.S1_at	4.236518825
Xl.1465.1.S1_at	3.792528815
Xl.1465.1.S1_s_at	11.23696554
Xl.14650.1.A1_at	7.052382698
Xl.14652.1.A1_at	4.825819842
Xl.14653.1.A1_at	3.252221076
Xl.14654.1.A1_at	3.442357055
Xl.14655.1.A1_at	7.800472544
Xl.14656.1.A1_at	3.927670397
Xl.14658.1.A1_at	4.010428682
Xl.14659.1.A1_at	2.840732802
Xl.1466.1.S1_at	8.183475067
Xl.14661.1.S1_at	6.315122714
Xl.14661.2.A1_at	4.340687264
Xl.14662.1.S1_at	6.264397864
Xl.14664.1.S1_at	9.211101485
Xl.14665.1.A1_at	7.533439505
Xl.14666.1.A1_at	3.199389061
Xl.14668.1.A1_at	7.797613088
Xl.14669.1.A1_at	6.991995394
Xl.1467.1.S1_at	6.639690941
Xl.14670.1.S1_x_at	6.976831742
Xl.14672.1.S1_at	10.1010839
Xl.14673.1.A1_at	2.755439455
Xl.14674.1.A1_at	2.810922291
Xl.14674.3.A1_at	3.319661098
Xl.14675.1.A1_at	3.392629932
Xl.14676.1.A1_at	9.370683658
Xl.14677.1.A1_at	5.718349274
Xl.14677.3.S1_a_at	7.801303815
Xl.14677.3.S1_at	6.784513579
Xl.14679.1.A1_at	3.813169025
Xl.14681.1.A1_at	7.932200238
Xl.14682.1.A1_at	6.32940594
Xl.14683.1.A1_at	8.63838196
Xl.14683.2.S1_at	7.986752842
Xl.14686.1.A1_at	7.554882846
Xl.1469.1.A1_at	4.681829922
Xl.14690.1.A1_at	6.867431842
Xl.14691.1.A1_at	4.379978752
Xl.14693.1.A1_at	4.553224372
Xl.14694.1.A1_at	2.501822502
Xl.14695.1.A1_at	2.486916094
Xl.14696.2.A1_at	5.990453809
Xl.14697.1.S1_at	4.349480909
Xl.14698.1.A1_at	5.746014417
Xl.147.1.S1_at	8.874721386
Xl.14700.1.S1_at	4.707376782
Xl.14701.1.A1_at	4.175755083
Xl.14702.1.A1_at	2.863161472
Xl.14703.1.A1_at	2.700887814
Xl.14704.1.A1_at	3.403558767
Xl.14706.1.A1_at	4.447184911
Xl.14707.1.A1_s_at	6.403211433
Xl.14708.2.A1_at	6.597278152
Xl.14709.1.A1_at	2.934558769
Xl.1471.1.A1_at	2.763077031
Xl.14711.1.A1_at	3.691355619
Xl.14712.1.A1_at	3.768576677
Xl.14713.1.A1_at	7.559216169
Xl.14715.1.A1_at	7.47147656
Xl.14717.1.S1_at	4.216984044
Xl.14723.1.A1_at	3.53347815
Xl.14724.1.A1_at	6.184221718
Xl.14725.1.A1_at	5.924614147
Xl.14726.1.S1_x_at	2.987517403
Xl.14727.1.A1_at	5.499737738
Xl.14728.1.A1_at	3.899483565
Xl.1473.1.A1_at	6.209180598
Xl.14731.1.A1_at	4.857471764
Xl.14733.1.A1_at	4.405023516
Xl.14735.1.A1_at	3.161855863
Xl.14736.1.A1_at	4.082103173
Xl.14737.1.S1_at	2.904879355
Xl.14738.1.A1_at	5.706536415
Xl.1474.1.S1_a_at	3.934797452
Xl.14740.1.A1_at	2.644974848
Xl.14742.1.A1_at	3.659061459
Xl.14743.1.A1_at	4.970837639
Xl.14744.1.A1_at	3.917327004
Xl.14746.1.A1_at	2.578395364
Xl.14748.2.A1_at	5.980760846
Xl.14748.2.A1_x_at	5.979603748
Xl.1475.1.A1_at	7.344439615
Xl.14750.1.A1_at	6.191895152
Xl.14751.1.A1_at	2.412664458
Xl.14752.1.A1_at	3.007997215
Xl.14753.1.A1_at	2.802841206
Xl.14754.1.A1_at	4.034671853
Xl.14755.1.A1_at	2.682428813
Xl.14756.1.A1_at	4.204479638
Xl.14757.1.S1_at	3.27402734
Xl.14759.1.A1_at	8.865465787
Xl.1476.1.A1_at	8.523030067
Xl.14760.1.A1_at	4.110560257
Xl.14764.1.A1_at	5.22016784
Xl.1477.1.S1_a_at	3.261174917
Xl.1477.1.S1_at	3.689412234
Xl.14770.1.A1_at	2.421839425
Xl.14772.1.A1_at	2.781841479
Xl.14773.1.A1_at	3.372998174
Xl.14775.1.A1_at	6.495084252
Xl.14776.1.A1_at	5.371943299
Xl.14777.1.A1_at	2.753409893
Xl.14778.1.S1_at	4.675090199
Xl.14780.1.A1_at	3.910117896
Xl.14781.1.S1_at	3.368740073
Xl.14782.1.A1_at	2.519684969
Xl.14783.1.S1_at	2.582300858
Xl.14784.1.A1_at	5.539157335
Xl.14786.1.A1_at	4.079547447
Xl.14787.1.A1_at	4.995201121
Xl.14788.1.A1_at	2.860824015
Xl.14789.1.A1_at	2.58589746
Xl.1479.1.A1_at	5.140129709
Xl.14791.1.A1_at	8.189097774
Xl.14792.1.A1_at	4.689470033
Xl.14793.1.A1_at	6.335098327
Xl.14794.1.S1_at	2.629071426
Xl.14796.1.A1_at	5.771439982
Xl.148.1.S1_at	3.01399826
Xl.1480.1.S1_at	11.53892906
Xl.1480.1.S2_at	9.528209041
Xl.1480.2.A1_at	9.123442711
Xl.14801.1.A1_at	5.110743436
Xl.14806.1.A1_at	5.559299302
Xl.14809.1.A1_at	2.500873033
Xl.1481.1.A1_at	3.912873986
Xl.14810.1.A1_x_at	6.180336569
Xl.14810.2.A1_a_at	6.729930673
Xl.14810.2.A1_x_at	6.062634635
Xl.14812.1.S1_at	2.498954857
Xl.14813.1.A1_at	6.975954794
Xl.14814.1.A1_at	2.901741923
Xl.14815.1.A1_at	6.877923088
Xl.14818.1.A1_at	3.766989479
Xl.14819.1.A1_at	4.757350858
Xl.1482.1.S1_at	4.016014277
Xl.14820.1.A1_at	3.27738479
Xl.14821.1.A1_at	2.779447831
Xl.14822.1.A1_at	6.58963974
Xl.14824.1.A1_at	7.235630648
Xl.14824.2.S1_at	6.808478989
Xl.14825.1.S1_at	2.541602461
Xl.14826.1.A1_at	2.902440074
Xl.14828.1.A1_at	2.780485309
Xl.14829.1.A1_at	3.340680525
Xl.14830.1.A1_at	5.449046775
Xl.14831.1.S1_at	3.803278678
Xl.14833.1.A1_at	2.493566575
Xl.14834.1.A1_at	2.690448345
Xl.14837.1.A1_at	3.076704659
Xl.14838.1.S1_at	4.082975585
Xl.1484.1.S1_at	6.060367299
Xl.14841.1.A1_at	2.676870483
Xl.14842.1.A1_at	6.478731135
Xl.14846.1.A1_at	3.274002429
Xl.14848.1.A1_at	5.75192431
Xl.14849.1.A1_at	3.291428349
Xl.14850.1.A1_s_at	3.688377529
Xl.14857.1.A1_at	4.348908428
Xl.14858.1.A1_at	9.006765989
Xl.14859.1.A1_at	3.093039256
Xl.14860.1.A1_at	2.743312244
Xl.14862.1.A1_at	3.140052609
Xl.14863.1.A1_at	4.041039054
Xl.14864.1.A1_at	5.498090331
Xl.14865.1.A1_at	5.222356673
Xl.14866.1.A1_at	3.58714912
Xl.14868.1.A1_at	5.586298013
Xl.14870.1.A1_at	4.23084849
Xl.14874.1.A1_at	5.886682224
Xl.14876.1.A1_at	3.045499222
Xl.14877.1.A1_at	2.550970254
Xl.14881.1.A1_at	5.680816198
Xl.14882.1.A1_at	2.698280838
Xl.14883.1.A1_at	3.875214787
Xl.14884.1.A1_at	2.753793517
Xl.14885.1.A1_at	5.295732082
Xl.14886.1.A1_at	4.98470145
Xl.14886.1.A1_s_at	6.48077132
Xl.14887.1.S1_at	5.920467986
Xl.14890.1.A1_at	5.710585318
Xl.14891.1.S1_at	3.049787248
Xl.14892.1.A1_at	3.410515804
Xl.14893.1.A1_at	6.399672974
Xl.14894.1.A1_at	3.693270586
Xl.14895.1.A1_at	3.059988137
Xl.14896.1.S1_at	3.23673949
Xl.14897.1.A1_at	4.219355741
Xl.14898.1.S1_at	3.501089413
Xl.14899.1.A1_at	4.877088217
Xl.149.1.S1_at	9.84146765
Xl.14902.1.S1_at	4.489555092
Xl.14903.1.A1_at	2.490388471
Xl.14905.1.A1_at	8.655288796
Xl.14908.1.S1_at	3.537312694
Xl.1491.1.S1_at	8.247176791
Xl.14912.1.S1_at	7.744061923
Xl.14915.1.A1_at	3.2905219
Xl.14916.1.A1_at	2.491279994
Xl.14917.1.A1_at	3.875241285
Xl.14920.1.A1_at	3.578310685
Xl.14922.1.A1_at	2.966837538
Xl.14925.1.A1_at	3.141054652
Xl.14927.1.S1_at	6.637269625
Xl.14928.1.A1_at	2.58367986
Xl.14929.1.S1_at	3.09868205
Xl.1493.1.S1_at	4.905299186
Xl.14931.1.A1_at	2.894217577
Xl.14936.1.A1_at	3.325077239
Xl.14937.1.A1_at	3.912434447
Xl.14938.1.S1_at	4.552560756
Xl.1494.1.A1_at	3.229999545
Xl.14940.1.A1_at	3.349531495
Xl.14941.1.A1_at	2.65208884
Xl.1495.1.S1_at	5.665875256
Xl.14950.1.A1_at	3.324359521
Xl.14952.1.A1_at	7.224421584
Xl.14953.1.A1_at	3.473248553
Xl.14954.1.A1_at	7.056516982
Xl.14954.2.S1_at	7.223943651
Xl.14955.1.A1_at	3.556272082
Xl.14956.1.S1_at	6.778531846
Xl.14958.1.S1_at	5.077599203
Xl.1496.1.A1_at	7.837939153
Xl.14962.1.A1_at	6.633074771
Xl.14963.1.A1_x_at	2.730066431
Xl.14964.1.A1_at	5.563703509
Xl.14965.1.A1_at	6.139998532
Xl.14967.1.A1_at	4.941843158
Xl.14968.1.A1_at	3.792953743
Xl.14970.1.S1_at	6.819016284
Xl.14971.1.A1_x_at	3.112300426
Xl.14971.2.S1_at	3.033041785
Xl.14972.1.A1_at	3.59354904
Xl.14973.1.A1_at	3.738176572
Xl.14975.1.A1_at	5.096694512
Xl.14976.1.A1_at	5.991122099
Xl.14978.1.S1_at	5.26903129
Xl.14978.2.A1_at	4.320890678
Xl.14979.1.A1_at	5.62550905
Xl.1498.1.S1_at	5.217228194
Xl.14980.1.A1_x_at	4.74385383
Xl.14983.1.A1_at	7.379544146
Xl.14983.1.A1_x_at	7.402979813
Xl.14984.1.A1_at	3.772776207
Xl.14987.1.A1_at	3.267794411
Xl.14989.1.A1_at	3.934873288
Xl.1499.1.A1_at	2.635225451
Xl.14990.1.A1_at	5.762828399
Xl.14992.1.S1_at	3.590082788
Xl.14995.1.A1_at	3.018790876
Xl.14996.1.S1_at	8.914151484
Xl.15.1.S1_at	2.770882244
Xl.150.1.S1_at	7.125634374
Xl.1500.1.S1_at	8.231906052
Xl.15000.1.A1_at	3.071373489
Xl.15001.1.A1_at	8.957515189
Xl.15002.1.A1_at	7.508355488
Xl.15006.1.S1_at	7.052570717
Xl.15007.1.A1_at	7.591465036
Xl.15008.1.A1_at	2.980334155
Xl.15009.1.A1_at	5.235571054
Xl.1501.1.A1_a_at	2.312195466
Xl.1501.1.A1_at	3.565799625
Xl.15010.1.S1_at	5.713799552
Xl.15011.1.A1_at	4.190700318
Xl.15012.1.A1_at	2.951996266
Xl.15013.1.A1_at	3.93172013
Xl.15014.1.A1_at	6.157009046
Xl.15019.1.A1_at	6.107132255
Xl.1502.1.S1_at	2.757131393
Xl.15023.1.A1_at	5.687806868
Xl.15025.1.S1_at	7.809277032
Xl.15028.1.A1_at	6.011838184
Xl.15029.1.A1_at	5.766503695
Xl.1503.1.A1_at	4.993625865
Xl.15030.2.S1_at	4.522226331
Xl.15031.1.S1_at	3.624651102
Xl.15031.2.A1_at	5.512459099
Xl.15032.1.A1_at	4.427839308
Xl.15033.1.A1_at	4.547246673
Xl.15034.1.A1_at	7.139057438
Xl.15035.1.A1_at	3.336428568
Xl.15036.1.A1_at	6.547524894
Xl.15037.1.S1_at	5.794045999
Xl.15039.1.A1_x_at	7.314601052
Xl.1504.1.A1_at	2.641487441
Xl.15040.1.A1_at	2.86895873
Xl.15042.1.A1_at	3.457887233
Xl.15044.1.A1_at	5.204484448
Xl.15047.1.S1_at	2.650435098
Xl.15048.2.A1_at	5.612139566
Xl.15049.1.A1_at	3.642232606
Xl.15050.1.A1_at	4.598845943
Xl.15051.1.A1_at	5.302987179
Xl.15052.1.A1_at	6.068022922
Xl.15052.1.A1_x_at	6.25673306
Xl.15053.1.A1_at	5.143014695
Xl.15054.1.S1_at	8.917188165
Xl.15055.1.A1_s_at	7.895956557
Xl.15055.1.A1_x_at	7.521191267
Xl.15056.1.A1_at	6.232986016
Xl.15057.1.A1_at	4.987606867
Xl.15059.1.A1_at	2.90276843
Xl.1506.1.S1_at	6.021334669
Xl.1506.1.S2_at	7.123920783
Xl.15060.1.A1_at	2.879507215
Xl.15062.1.A1_s_at	6.603959749
Xl.15066.1.A1_at	6.13326367
Xl.15068.1.A1_at	4.229042178
Xl.15069.1.A1_at	5.299321014
Xl.1507.1.A1_at	5.433971615
Xl.15070.1.S1_at	8.259972183
Xl.15072.1.S1_at	5.713309522
Xl.15079.1.A1_at	5.616878818
Xl.15081.1.A1_at	6.753935508
Xl.15082.1.A1_at	3.365423198
Xl.15083.1.A1_at	6.029309891
Xl.15084.1.A1_at	5.362821561
Xl.15086.1.A1_at	3.579795721
Xl.15089.1.A1_at	3.416422984
Xl.15089.1.A1_x_at	3.497237038
Xl.15089.3.A1_a_at	3.976595516
Xl.15089.3.A1_x_at	3.08314631
Xl.1509.1.S1_at	7.072640117
Xl.15094.1.A1_at	5.80022142
Xl.15095.2.A1_at	3.657315941
Xl.15096.1.A1_at	3.23921493
Xl.15099.1.A1_at	2.745908148
Xl.151.1.S1_at	8.281764479
Xl.15101.1.A1_at	2.731006246
Xl.15102.1.A1_at	5.473629485
Xl.15102.3.A1_at	3.628942029
Xl.15104.1.A1_at	5.765548511
Xl.15105.1.A1_at	3.270631259
Xl.15105.2.A1_at	2.750090759
Xl.15106.1.A1_at	6.393964357
Xl.15107.1.A1_at	7.172473981
Xl.15108.1.A1_at	4.836724968
Xl.15109.1.A1_at	6.800644423
Xl.1511.1.A1_at	4.11515083
Xl.15110.1.A1_at	5.345275097
Xl.15112.1.S1_at	6.862177669
Xl.15113.1.A1_at	5.613068199
Xl.15114.1.S1_at	7.205704665
Xl.15115.1.A1_at	2.927286513
Xl.15117.1.S1_at	8.002085808
Xl.15119.1.A1_at	4.621204944
Xl.15119.2.S1_at	3.761920187
Xl.1512.1.S1_at	5.120612633
Xl.15123.1.A1_at	3.472360516
Xl.15124.1.A1_at	6.680350648
Xl.15125.1.A1_at	5.886503478
Xl.15127.1.A1_at	3.078862934
Xl.15128.1.S1_at	8.83850154
Xl.15129.1.A1_at	3.83705559
Xl.15129.2.S1_at	3.549588186
Xl.1513.1.A1_at	3.826294148
Xl.15130.1.A1_at	3.576389529
Xl.15131.1.A1_at	6.664113953
Xl.15133.1.A1_at	4.018077027
Xl.15135.1.S1_at	7.040860731
Xl.15135.2.A1_at	7.508118197
Xl.15137.1.A1_at	5.073036576
Xl.15138.1.S1_at	6.416812137
Xl.15139.1.A1_at	3.665097832
Xl.15140.1.A1_at	7.372635119
Xl.15142.1.S1_at	3.252145862
Xl.15143.1.S1_at	7.616496379
Xl.15144.1.A1_at	5.943510554
Xl.15146.1.A1_at	8.011210761
Xl.15147.1.A1_at	8.44811371
Xl.15147.1.A1_x_at	8.315339768
Xl.15148.1.S1_at	6.484237185
Xl.15148.2.A1_at	3.699790828
Xl.15149.1.A1_at	4.078571099
Xl.15150.1.A1_at	4.016464694
Xl.15151.1.S1_at	9.203938151
Xl.15152.1.A1_at	6.084207907
Xl.15154.1.S1_at	8.194858826
Xl.15154.1.S1_s_at	8.893169257
Xl.15155.1.A1_at	6.879469998
Xl.15156.1.S1_at	8.365570535
Xl.15157.1.S1_at	5.016743126
Xl.15159.1.S1_at	7.500374164
Xl.15159.1.S1_x_at	7.701718019
Xl.1516.1.A1_at	2.952785427
Xl.15162.1.A1_a_at	7.546602501
Xl.15162.1.A1_x_at	6.888230937
Xl.15162.2.A1_a_at	7.539037564
Xl.15162.2.A1_x_at	7.056005413
Xl.15163.1.S1_at	7.564387507
Xl.15165.1.A1_at	5.868808712
Xl.15167.1.A1_at	6.97945736
Xl.15168.1.S1_at	4.774647603
Xl.15170.1.A1_at	3.572188546
Xl.15171.1.A1_at	5.597099914
Xl.15173.1.A1_at	2.984230994
Xl.15174.1.A1_at	6.713717793
Xl.15175.1.A1_at	6.764569453
Xl.15179.1.A1_at	6.85948699
Xl.1518.1.S1_at	2.920447563
Xl.15182.1.A1_at	5.276602015
Xl.15183.1.S1_at	7.598206801
Xl.15183.2.A1_at	5.474181882
Xl.15184.1.A1_at	5.112157882
Xl.15185.1.A1_at	6.023011142
Xl.15186.1.A1_at	4.008969361
Xl.15187.1.A1_at	5.785308093
Xl.15188.1.A1_at	5.201930453
Xl.15189.1.A1_at	3.77073053
Xl.1519.1.S1_at	5.635387009
Xl.1519.2.S1_at	9.827614383
Xl.15191.1.A1_at	3.352682802
Xl.15193.1.A1_at	4.293950341
Xl.15194.3.A1_at	3.042076118
Xl.15197.1.A1_at	3.235259185
Xl.15198.1.A1_at	3.85309908
Xl.15198.2.S1_at	4.542330588
Xl.1520.1.S1_s_at	5.429785406
Xl.1520.1.S1_x_at	5.327956465
Xl.15200.1.A1_at	7.530135258
Xl.15200.2.S1_at	3.25605296
Xl.15201.1.A1_at	3.919690984
Xl.15202.1.A1_at	5.370477379
Xl.15203.1.S1_at	6.590378373
Xl.15204.1.A1_x_at	6.531893144
Xl.15205.1.A1_at	8.201907159
Xl.15206.1.A1_at	5.284481387
Xl.15208.1.A1_at	3.552843759
Xl.1521.1.A1_at	3.489544838
Xl.1521.2.S1_a_at	7.233107673
Xl.1521.2.S1_at	3.059212765
Xl.1521.2.S1_x_at	4.637922514
Xl.15211.1.A1_at	4.099886031
Xl.15212.1.A1_at	6.752674681
Xl.15216.1.A1_at	7.566896313
Xl.15219.1.A1_at	5.366966181
Xl.15221.1.S1_at	6.727416019
Xl.15222.1.S1_at	3.255066673
Xl.15223.1.A1_at	5.606371093
Xl.15224.1.S1_at	5.177508063
Xl.15225.1.A1_at	5.008546127
Xl.15226.1.A1_at	2.594213935
Xl.1523.1.A1_at	6.484074806
Xl.15230.1.S1_at	6.084439476
Xl.15231.1.A1_at	4.890154178
Xl.15232.1.A1_at	7.313140818
Xl.15234.1.A1_at	5.683311079
Xl.15235.1.A1_at	4.148335518
Xl.15236.1.S1_at	3.712753362
Xl.15237.1.A1_at	6.806707714
Xl.15238.1.A1_at	4.103439704
Xl.15239.1.S1_at	5.12608566
Xl.15242.1.A1_at	5.697714831
Xl.15243.1.A1_at	2.95648167
Xl.15247.1.A1_at	4.927592022
Xl.15248.1.A1_at	5.615472129
Xl.15249.1.S1_at	4.794912631
Xl.1525.1.A1_at	4.086271685
Xl.15250.1.A1_at	2.909860089
Xl.15251.1.S1_at	8.149281443
Xl.15252.1.S1_at	4.508810482
Xl.15252.3.A1_at	4.76471104
Xl.15254.1.A1_at	5.842542018
Xl.15257.1.A1_at	8.192407221
Xl.1526.1.A1_at	2.685592293
Xl.15260.1.A1_at	4.678062337
Xl.15261.1.A1_at	6.090465367
Xl.15263.1.A1_at	4.131945127
Xl.15264.1.A1_at	3.965530157
Xl.15265.1.A1_at	5.853824416
Xl.15266.1.S1_at	5.759756991
Xl.15267.1.A1_at	3.146737457
Xl.15268.1.A1_at	5.410949996
Xl.1527.1.A1_at	6.730634067
Xl.15270.1.A1_at	5.796198871
Xl.15271.1.A1_at	4.454842203
Xl.15272.1.A1_at	4.308011154
Xl.15274.1.A1_at	3.673430713
Xl.15276.1.A1_at	5.381946795
Xl.15277.1.A1_at	3.953227102
Xl.15278.1.A1_at	7.825119612
Xl.15279.1.A1_at	7.117779607
Xl.1528.1.A1_at	7.054002581
Xl.15281.1.A1_at	5.835004449
Xl.15282.1.A1_at	4.024781544
Xl.15283.1.A1_at	6.688383107
Xl.15284.1.A1_at	6.124578606
Xl.15285.1.A1_at	5.144940871
Xl.15286.1.A1_at	5.434617414
Xl.1529.1.S1_at	5.430866822
Xl.15291.1.A1_at	6.727132604
Xl.15294.1.A1_at	3.678617977
Xl.15294.1.A1_x_at	3.628990017
Xl.15295.1.A1_at	3.399240754
Xl.153.1.S1_at	5.553706883
Xl.15301.1.A1_at	7.603675143
Xl.15305.1.A1_at	5.077795312
Xl.15307.1.A1_at	7.624775138
Xl.15308.1.S1_at	6.203933756
Xl.1531.1.A1_at	7.04062279
Xl.15310.1.A1_at	7.045878339
Xl.15311.1.S1_at	6.839295606
Xl.15312.1.A1_at	6.011633369
Xl.15314.1.S1_at	3.647699315
Xl.15316.1.A1_at	6.181048499
Xl.15317.1.A1_at	3.686042128
Xl.15319.1.A1_at	3.050708489
Xl.15322.1.A1_at	5.444335012
Xl.15322.3.S1_a_at	4.94834215
Xl.15323.1.A1_at	8.858794127
Xl.15324.1.A1_at	6.840729625
Xl.15325.1.A1_at	5.564520409
Xl.15326.1.S1_at	6.313100996
Xl.15327.1.S1_at	2.594815981
Xl.15328.1.S1_at	4.549384899
Xl.15328.2.A1_at	4.513226424
Xl.15329.1.A1_at	5.845659684
Xl.15329.2.A1_at	3.447434999
Xl.15331.1.S1_at	4.777382444
Xl.15334.1.A1_at	4.553987656
Xl.15338.1.S1_at	7.703754053
Xl.15339.1.A1_at	2.446339955
Xl.15341.1.A1_at	5.292745266
Xl.15344.1.A1_at	2.760613105
Xl.15345.1.A1_at	5.321295509
Xl.15346.1.A1_at	7.150023433
Xl.15347.1.A1_at	6.019962533
Xl.1535.1.A1_at	2.673980819
Xl.15350.1.A1_at	4.200710941
Xl.15351.1.S1_at	4.59922285
Xl.15354.2.S1_a_at	4.763777552
Xl.15354.2.S1_at	5.098745471
Xl.15356.1.A1_at	5.980494284
Xl.15357.1.S1_at	5.422357383
Xl.15358.1.A1_at	3.122825105
Xl.15361.1.A1_at	4.483623294
Xl.15362.1.A1_at	7.300795971
Xl.15363.1.A1_at	3.429777731
Xl.15364.1.S1_at	2.588640087
Xl.15365.1.A1_at	2.928084378
Xl.15366.1.A1_at	6.302229859
Xl.15369.1.A1_at	3.316543723
Xl.1537.1.A1_at	2.547474225
Xl.15372.1.A1_at	2.765002246
Xl.15374.1.A1_at	5.963949101
Xl.15375.1.A1_at	2.695072468
Xl.15376.1.A1_at	7.366216283
Xl.15377.1.A1_at	7.431423088
Xl.15378.1.A1_at	7.436614306
Xl.15379.1.S1_at	7.011670982
Xl.15380.1.S1_at	3.951102147
Xl.15380.2.A1_at	3.57442001
Xl.15380.3.A1_at	2.524186271
Xl.15381.1.A1_at	5.59417174
Xl.15382.1.A1_at	6.020387418
Xl.15383.1.A1_at	3.523423327
Xl.15384.1.S1_at	4.455484158
Xl.15384.2.A1_at	4.849757613
Xl.15386.1.A1_a_at	5.793138417
Xl.15387.1.A1_at	6.441299723
Xl.15388.1.A1_at	3.325463744
Xl.15389.1.A1_at	3.457398178
Xl.1539.1.A1_at	2.329540276
Xl.15390.1.A1_at	6.291394583
Xl.15393.1.A1_at	4.865824014
Xl.15394.1.A1_at	7.52278982
Xl.15396.1.S1_at	2.972140397
Xl.15397.1.A1_at	5.379126552
Xl.15398.1.A1_at	7.689712762
Xl.15399.1.A1_at	3.89268854
Xl.15399.2.S1_at	5.578340382
Xl.154.2.S1_a_at	5.716066022
Xl.1540.1.A1_at	3.032086375
Xl.15402.1.S1_at	6.889505114
Xl.15404.1.A1_at	3.550545132
Xl.15405.1.A1_at	3.827054262
Xl.15406.1.A1_at	3.529797263
Xl.15407.1.A1_at	4.827166379
Xl.15409.1.S1_at	6.524576065
Xl.1541.1.A1_x_at	5.055561068
Xl.15410.1.A1_at	3.917368535
Xl.15412.1.A1_at	4.416447931
Xl.15413.1.A1_at	6.09221959
Xl.15416.1.A1_at	6.033933575
Xl.15417.1.A1_at	2.938366133
Xl.15419.1.A1_at	4.222509184
Xl.1542.1.A1_at	5.135610705
Xl.15423.1.S1_at	6.05649339
Xl.15424.1.A1_at	3.649573924
Xl.15426.1.A1_at	4.156201437
Xl.15428.1.A1_at	4.422515411
Xl.15429.1.S1_at	5.242950066
Xl.15429.2.A1_at	4.344610754
Xl.1543.1.A1_at	3.9520224
Xl.15432.1.A1_at	6.929953098
Xl.15434.1.A1_at	4.713624709
Xl.15434.1.A1_x_at	5.11972141
Xl.15434.2.A1_at	3.505474878
Xl.15435.1.A1_at	2.422258959
Xl.15435.1.A1_x_at	2.411915594
Xl.15436.1.A1_at	2.794369994
Xl.15437.1.A1_at	4.296916232
Xl.15439.1.A1_at	6.057967643
Xl.1544.1.A1_at	2.59546877
Xl.15440.1.A1_at	3.322564532
Xl.15442.1.A1_at	3.173591525
Xl.15443.1.A1_at	4.615809743
Xl.15443.2.A1_at	4.071886811
Xl.15444.1.S1_at	2.419301961
Xl.15445.1.A1_at	7.166134256
Xl.15446.1.A1_at	3.130725784
Xl.15448.1.S1_at	3.315290223
Xl.15448.2.A1_at	4.189721989
Xl.15449.1.S1_at	5.114754798
Xl.1545.1.A1_at	8.059045722
Xl.15450.1.A1_at	2.621941441
Xl.15451.1.A1_at	6.996793856
Xl.15452.1.A1_at	4.399988879
Xl.15455.1.S1_at	2.263107851
Xl.15455.1.S1_s_at	2.701191885
Xl.15457.1.S1_at	4.422603569
Xl.15458.1.S1_at	7.179368617
Xl.15459.1.A1_at	3.395032725
Xl.15462.1.A1_at	3.578837928
Xl.15463.1.A1_at	4.958803257
Xl.15464.1.A1_at	7.360712756
Xl.15465.1.S1_at	4.73969597
Xl.15465.2.A1_at	3.157905072
Xl.15466.1.A1_at	5.205384544
Xl.15467.1.S1_at	3.433143053
Xl.15468.1.A1_at	6.823804519
Xl.1547.1.A1_at	2.573845582
Xl.15470.1.S1_at	3.639946542
Xl.15472.1.A1_at	5.948941282
Xl.15474.1.A1_at	3.609282038
Xl.15475.1.A1_at	5.197607481
Xl.15476.1.S1_at	8.306795913
Xl.15477.1.A1_at	3.906084726
Xl.15478.1.S1_at	7.901520339
Xl.15479.1.A1_at	3.896769307
Xl.15480.1.A1_at	3.661954211
Xl.15481.1.A1_at	5.655026305
Xl.15482.1.A1_at	3.154317018
Xl.15484.1.S1_at	5.564004527
Xl.1549.1.A1_at	3.885513283
Xl.15490.1.A1_at	5.050863979
Xl.15490.2.A1_at	4.691858967
Xl.15491.1.A1_at	3.233227925
Xl.15494.1.S1_at	6.366531743
Xl.15497.1.A1_at	4.630111339
Xl.15498.1.A1_at	6.726020515
Xl.15499.1.A1_a_at	6.243402078
Xl.155.1.S1_at	5.91372361
Xl.15500.1.A1_at	2.362137962
Xl.15501.1.A1_at	3.907974014
Xl.15502.1.A1_at	4.351308774
Xl.15504.1.A1_at	2.997515547
Xl.15505.1.A1_at	3.048753768
Xl.15506.1.A1_at	2.769316778
Xl.15507.1.A1_at	4.370452882
Xl.1551.1.A1_at	3.168756337
Xl.15511.1.A1_at	4.591407481
Xl.15514.1.A1_at	3.129576593
Xl.15516.1.A1_at	3.167375765
Xl.15517.1.A1_at	4.572330191
Xl.15518.1.A1_at	6.558455674
Xl.15520.1.A1_at	5.752589968
Xl.15522.1.A1_at	5.444029087
Xl.15523.1.A1_at	5.258255551
Xl.15526.1.A1_at	3.803821992
Xl.15527.1.S1_at	5.7462097
Xl.15528.1.S1_a_at	5.735159702
Xl.15528.1.S1_at	4.770282044
Xl.15529.1.A1_at	4.209480888
Xl.15529.2.A1_at	3.238314687
Xl.15530.1.A1_at	4.098755814
Xl.15534.1.A1_at	6.43417965
Xl.15535.1.A1_at	7.037843871
Xl.15536.1.S1_at	4.217257318
Xl.15538.1.A1_at	4.201676164
Xl.15539.1.A1_at	3.559728149
Xl.1554.1.A1_at	2.644833061
Xl.15540.1.A1_at	5.667966318
Xl.15540.2.A1_at	3.04515275
Xl.15543.1.A1_at	4.038934419
Xl.15544.1.A1_at	7.302181927
Xl.15549.1.S1_at	5.593486412
Xl.1555.1.A1_at	6.66128145
Xl.15550.1.A1_at	2.932499427
Xl.15551.1.A1_at	5.215841779
Xl.15552.1.A1_at	8.306791964
Xl.15554.2.A1_at	2.800351032
Xl.15555.1.A1_at	5.743786971
Xl.15556.1.A1_at	3.465259928
Xl.15557.1.S1_at	6.021969874
Xl.15558.1.A1_at	3.601216685
Xl.15559.1.A1_at	6.05154274
Xl.1556.1.S1_a_at	11.16988589
Xl.15560.1.A1_at	3.822902526
Xl.15563.1.A1_at	2.660790827
Xl.15564.1.A1_at	3.039998557
Xl.15565.1.A1_at	3.389152705
Xl.15568.1.A1_at	7.158305533
Xl.15570.1.A1_at	3.766311228
Xl.15571.1.A1_at	5.545884369
Xl.15572.1.A1_at	6.032576816
Xl.15573.1.A1_at	8.030223925
Xl.15574.1.A1_at	5.614294588
Xl.15575.1.A1_at	2.54949349
Xl.15575.1.A1_s_at	7.001208174
Xl.15576.1.S1_at	5.215296442
Xl.15578.1.A1_at	4.486914917
Xl.15579.1.S1_at	4.286984592
Xl.1558.1.S1_at	3.473122085
Xl.1558.2.A1_at	2.988013355
Xl.15580.1.A1_at	5.183552708
Xl.15585.1.A1_at	3.99938812
Xl.1559.1.A1_at	4.339159158
Xl.15590.1.A1_at	7.070165482
Xl.15591.1.S1_at	7.439091168
Xl.15592.1.A1_at	4.62473074
Xl.15593.1.S1_at	4.813148082
Xl.15595.1.S1_at	8.664536569
Xl.15596.1.A1_at	2.500351563
Xl.15597.1.A1_at	6.619627039
Xl.15598.1.A1_at	5.880055107
Xl.15599.1.A1_at	6.43110126
Xl.1560.1.S1_at	5.608341908
Xl.15600.1.A1_at	4.313882154
Xl.15601.1.A1_at	3.540390661
Xl.15602.1.A1_at	5.775348157
Xl.15603.1.A1_s_at	2.493587982
Xl.15604.1.A1_at	5.91853974
Xl.15607.1.S1_at	8.197067861
Xl.15608.1.A1_at	3.823336671
Xl.15612.1.A1_at	2.920723298
Xl.15614.1.S1_at	9.685116133
Xl.15616.1.A1_at	2.963969822
Xl.1562.1.A1_at	3.299583619
Xl.15621.1.A1_at	4.615010889
Xl.15622.1.A1_at	5.696929873
Xl.15622.2.A1_at	6.745737535
Xl.15623.1.A1_at	5.706061209
Xl.15624.1.A1_at	5.477682803
Xl.1563.1.A1_at	3.296146988
Xl.15632.1.S1_at	6.697186
Xl.15633.1.A1_at	5.052831404
Xl.15634.1.A1_at	4.817620346
Xl.15636.1.S1_at	7.437632794
Xl.15636.2.A1_at	8.773215336
Xl.15637.1.A1_at	3.43176368
Xl.15637.2.A1_at	2.780674761
Xl.15638.1.A1_at	7.100790988
Xl.15639.1.A1_at	3.670532287
Xl.1564.1.A1_at	4.891331464
Xl.15640.1.A1_at	6.710356234
Xl.15642.1.A1_at	3.094419733
Xl.15643.1.A1_at	6.622199282
Xl.15644.1.A1_at	3.547305124
Xl.15645.1.S1_at	3.029428135
Xl.15646.1.S1_at	8.131791737
Xl.15646.2.A1_at	8.339791827
Xl.15653.1.S1_at	5.833118692
Xl.15654.1.A1_at	3.546993805
Xl.15658.1.A1_at	4.804562587
Xl.15660.1.A1_at	5.99938209
Xl.15660.2.S1_a_at	7.205623039
Xl.15661.1.A1_at	6.851468154
Xl.15663.1.S1_at	9.221634627
Xl.15665.1.A1_at	6.496246302
Xl.15668.1.S1_at	6.015080048
Xl.15669.1.A1_at	6.646372454
Xl.1567.1.A1_at	5.348980914
Xl.15670.1.A1_at	3.554667141
Xl.15671.1.S1_at	6.171334223
Xl.15672.1.S1_at	5.716560637
Xl.15675.1.S1_at	3.13176169
Xl.15676.1.A1_at	4.017431247
Xl.15677.1.A1_at	5.528883307
Xl.15678.1.A1_at	5.313438413
Xl.1568.1.A1_x_at	2.891598581
Xl.15680.1.S1_at	6.993985361
Xl.15681.1.A1_at	5.661119455
Xl.15682.1.S1_at	5.061851644
Xl.15684.1.A1_at	7.086759864
Xl.15685.1.A1_at	5.125671303
Xl.15686.1.A1_at	2.532600788
Xl.15691.1.A1_at	4.333039555
Xl.15693.1.S1_at	6.971826714
Xl.15693.2.A1_at	8.177566994
Xl.15695.1.A1_at	8.062772355
Xl.15697.1.A1_at	7.419257407
Xl.15698.1.A1_at	4.814124106
Xl.15699.1.S1_at	4.549698026
Xl.157.1.S1_at	2.821354527
Xl.15700.1.S1_at	3.191893687
Xl.15701.1.S1_at	2.716114062
Xl.15702.1.A1_at	3.772049978
Xl.15703.1.A1_at	5.873315883
Xl.15704.1.A1_at	3.208270184
Xl.15705.1.A1_at	5.068619942
Xl.15706.1.A1_at	5.224198911
Xl.15710.1.A1_at	6.497270291
Xl.15711.1.A1_at	3.748236748
Xl.15712.1.A1_at	4.883931619
Xl.15713.1.A1_at	7.858135936
Xl.15714.1.A1_at	6.959780517
Xl.15714.2.A1_at	6.223851179
Xl.15715.1.S1_at	6.435671004
Xl.15716.1.A1_at	6.317005444
Xl.15717.1.A1_at	5.365789864
Xl.15718.1.A1_at	5.315609576
Xl.15719.1.S1_at	4.392488
Xl.1572.1.A1_at	7.215493802
Xl.15720.1.A1_at	3.050242407
Xl.15722.1.A1_at	6.247121956
Xl.15723.1.S1_at	9.997823638
Xl.15724.1.A1_at	3.021680537
Xl.15727.1.A1_at	2.476175363
Xl.15728.1.A1_at	3.084768496
Xl.15729.1.A1_at	5.783531245
Xl.1573.1.A1_at	10.39677805
Xl.15730.1.A1_at	6.716498557
Xl.15732.1.S1_at	4.996564854
Xl.15735.1.A1_at	6.837564734
Xl.15736.1.A1_at	5.858989937
Xl.15737.1.S1_at	5.601784622
Xl.15738.1.S1_at	8.177820733
Xl.15740.1.A1_at	3.647381362
Xl.15741.1.A1_at	3.57395637
Xl.15742.1.A1_at	2.640124292
Xl.15743.1.S1_at	5.254628249
Xl.15744.1.A1_at	2.884421691
Xl.15745.1.A1_at	5.548417239
Xl.15747.1.A1_at	7.322770003
Xl.15749.1.A1_at	4.915472734
Xl.15749.2.S1_at	6.523518704
Xl.1575.1.S1_at	5.899107007
Xl.15752.1.S1_at	4.561800469
Xl.15753.1.S1_at	6.950733824
Xl.15754.1.A1_at	7.698180723
Xl.15755.1.S1_at	4.404755138
Xl.15756.1.S1_a_at	5.968633382
Xl.15758.1.A1_at	6.568362396
Xl.15761.3.A1_at	3.43616978
Xl.15762.1.A1_at	6.463270956
Xl.15762.2.S1_at	5.897016025
Xl.15764.1.A1_at	6.696914747
Xl.15765.1.A1_at	6.613507046
Xl.15767.1.S1_at	3.312200003
Xl.15770.1.A1_at	7.793221969
Xl.15772.1.A1_at	3.755873453
Xl.15773.1.S1_at	7.652968251
Xl.15774.1.A1_at	6.246042541
Xl.15775.1.A1_at	4.715198051
Xl.15777.1.A1_at	3.50655231
Xl.15778.1.A1_at	2.973578993
Xl.1578.1.S1_at	3.58514562
Xl.15780.1.A1_at	6.852847271
Xl.15781.1.S1_at	5.584578279
Xl.15783.1.A1_at	3.597784543
Xl.15784.1.A1_at	2.67163131
Xl.15785.1.A1_at	4.525590672
Xl.15786.1.A1_at	5.940033993
Xl.15788.1.A1_at	3.950894981
Xl.15789.1.A1_at	3.543218231
Xl.1579.1.S1_at	2.977825184
Xl.15791.1.A1_at	6.359542293
Xl.15793.1.A1_at	7.774028102
Xl.15794.1.A1_at	2.738062828
Xl.15795.1.A1_at	5.01148701
Xl.15798.1.A1_at	7.393664095
Xl.15799.1.A1_at	5.409941316
Xl.158.1.S1_at	3.042128098
Xl.15800.1.S1_at	6.056839003
Xl.15801.1.A1_at	6.061834837
Xl.15802.1.A1_at	7.457336311
Xl.15803.1.S1_at	6.721736948
Xl.15804.1.A1_at	5.823519967
Xl.15805.1.A1_at	4.911777167
Xl.15806.1.A1_at	3.437056544
Xl.15806.3.A1_at	2.730816694
Xl.15807.1.S1_at	8.3252041
Xl.15808.1.A1_at	2.553396392
Xl.15809.1.A1_at	4.801714711
Xl.15811.1.A1_at	3.457547542
Xl.15814.3.A1_at	7.729847222
Xl.15815.1.A1_at	4.161051553
Xl.15816.1.A1_at	7.20133783
Xl.15818.1.S1_at	2.690216475
Xl.1582.1.A1_at	4.044265079
Xl.15820.1.A1_at	3.942996317
Xl.15822.1.A1_at	7.742633206
Xl.15824.1.A1_at	3.663875912
Xl.15825.1.S1_at	9.397199502
Xl.15826.1.A1_at	6.730066207
Xl.15828.1.A1_at	7.588122475
Xl.15831.1.A1_at	5.086490578
Xl.15832.1.S1_at	8.119112118
Xl.15832.2.A1_at	8.817013588
Xl.15834.1.S1_at	4.852865443
Xl.15835.1.A1_at	3.849693391
Xl.15838.1.A1_at	4.438933626
Xl.1584.1.A1_at	5.004712456
Xl.15840.1.A1_a_at	7.997854726
Xl.15840.1.A1_at	5.154894046
Xl.15840.2.A1_at	5.370102991
Xl.15841.1.A1_at	3.510383774
Xl.15842.1.S1_at	6.142267753
Xl.15843.1.A1_at	4.573289514
Xl.15844.1.S1_at	5.032679754
Xl.15845.1.A1_at	2.86609993
Xl.15846.1.A1_at	4.648469561
Xl.15847.2.A1_at	5.936250197
Xl.15848.1.S1_at	8.150763284
Xl.15849.1.A1_at	7.322066647
Xl.15849.3.A1_at	3.780936925
Xl.15850.1.A1_at	5.622896524
Xl.15851.1.A1_at	7.730216439
Xl.15851.3.A1_at	6.491449784
Xl.15852.1.A1_at	8.312453953
Xl.15853.1.A1_at	4.893266693
Xl.15855.1.S1_at	4.995351419
Xl.15857.1.A1_at	5.580675694
Xl.15858.1.A1_at	4.456547376
Xl.15859.1.A1_at	6.044355307
Xl.15861.1.S1_at	7.184555754
Xl.15862.2.A1_at	6.248803429
Xl.15863.1.A1_at	3.398613688
Xl.15864.1.A1_at	3.608668855
Xl.15867.1.A1_at	3.090124735
Xl.15868.1.S1_at	7.574160828
Xl.1587.1.A1_at	2.549890741
Xl.15870.1.A1_at	3.791495421
Xl.15871.1.A1_at	4.358593983
Xl.15871.1.S1_at	6.353133368
Xl.15872.1.A1_at	5.835234684
Xl.15872.2.S1_at	3.251952122
Xl.15874.1.A1_at	7.528955215
Xl.15877.1.S1_at	6.429011011
Xl.15878.1.S1_at	7.87804781
Xl.15879.1.S1_at	4.898672204
Xl.1588.1.S1_at	3.161498274
Xl.15880.2.S1_at	5.854389114
Xl.15880.2.S1_s_at	4.85518119
Xl.15883.1.S1_at	7.80810362
Xl.15885.1.S1_at	4.498624268
Xl.15887.1.S1_x_at	4.713396569
Xl.15888.1.A1_at	2.804151984
Xl.1589.1.S1_at	10.19803754
Xl.1589.1.S2_at	11.58863089
Xl.15890.1.A1_at	7.111950188
Xl.15891.1.A1_at	5.947849693
Xl.15892.1.S1_at	9.23889148
Xl.15893.1.A1_at	6.264867879
Xl.15894.1.S1_at	5.709628273
Xl.15894.2.A1_at	6.068291565
Xl.15897.1.A1_at	7.376408347
Xl.15899.1.A1_at	7.120222031
Xl.159.1.S1_at	4.123469831
Xl.159.1.S1_s_at	4.04007982
Xl.15903.1.S1_at	5.285056403
Xl.15904.1.A1_at	8.096312457
Xl.15904.2.S1_at	7.25008542
Xl.15905.1.A1_at	2.720399646
Xl.15906.1.A1_at	8.063250934
Xl.15906.2.A1_at	6.281348609
Xl.15908.1.A1_at	4.06446112
Xl.15910.1.A1_at	7.811466571
Xl.15911.1.A1_at	7.77234375
Xl.15912.1.S1_at	5.513574758
Xl.15912.2.A1_at	4.504268583
Xl.15914.1.A1_at	3.743957933
Xl.15916.1.A1_at	3.449912106
Xl.15918.1.A1_at	2.962406153
Xl.1592.1.A1_at	4.139983825
Xl.15920.1.A1_at	3.118983601
Xl.15923.1.A1_at	8.021879874
Xl.15925.1.A1_at	3.930307345
Xl.15927.1.A1_at	5.81315637
Xl.15928.1.S1_at	7.48143492
Xl.15928.1.S1_s_at	7.770302999
Xl.15929.1.A1_at	3.061323353
Xl.15930.1.A1_at	4.943754
Xl.15931.1.A1_at	8.251627351
Xl.15933.1.A1_at	2.431247729
Xl.15934.1.A1_at	8.522182266
Xl.15935.1.A1_at	3.402877577
Xl.15936.1.A1_at	3.849920357
Xl.15938.1.A1_at	7.347117925
Xl.15939.1.A1_at	3.270307309
Xl.1594.1.A1_at	5.473913818
Xl.1594.1.A1_x_at	4.980296192
Xl.15940.1.A1_at	3.982780483
Xl.15941.1.A1_at	3.653048412
Xl.15945.1.A1_at	5.346125028
Xl.15948.1.S1_at	7.882340121
Xl.15949.1.S1_at	8.518920297
Xl.15950.1.A1_at	7.325453617
Xl.15952.1.A1_at	4.967987291
Xl.15953.1.S1_at	7.509645366
Xl.15956.1.S1_at	6.894300644
Xl.1596.1.A1_at	5.832353885
Xl.15962.1.S1_at	7.206849192
Xl.15963.1.S1_at	9.340006543
Xl.15965.1.A1_at	2.672998603
Xl.15966.1.S1_at	7.501409043
Xl.15967.1.S1_at	2.849297103
Xl.15969.1.S1_s_at	5.753439993
Xl.1597.1.S1_at	8.687079657
Xl.15970.1.A1_at	4.339418277
Xl.15975.1.A1_at	3.618380667
Xl.15977.1.S1_at	9.51139783
Xl.15981.1.S1_at	4.471500813
Xl.15981.2.A1_at	4.469547373
Xl.15982.1.A1_at	5.509932019
Xl.15983.1.A1_at	6.947801841
Xl.15984.1.S1_at	8.715762306
Xl.15986.1.S1_at	3.441164434
Xl.15987.2.A1_at	3.556191979
Xl.15987.2.A1_s_at	5.214928111
Xl.15990.1.A1_at	5.760364374
Xl.15992.1.A1_at	8.10534911
Xl.15993.1.S1_at	7.516275947
Xl.15994.1.A1_at	8.075302796
Xl.15995.1.S1_at	8.280537245
Xl.15996.1.S1_at	5.492714089
Xl.15997.1.A1_at	5.12586642
Xl.15997.2.A1_at	4.098145254
Xl.16.1.S1_at	3.021223476
Xl.160.1.S1_at	3.700132796
Xl.1600.1.A1_at	3.046451918
Xl.16000.1.A1_at	6.572719445
Xl.16001.1.S1_at	3.960517427
Xl.16002.1.S1_at	9.164137375
Xl.16003.1.A1_at	3.576543837
Xl.16004.2.S1_a_at	6.000588179
Xl.16005.1.A1_at	6.125085166
Xl.16006.1.S1_at	8.027478507
Xl.16008.1.A1_at	4.376745358
Xl.16009.1.S1_at	7.259919621
Xl.1601.1.A1_at	3.873877982
Xl.16011.1.A1_at	3.850032351
Xl.16012.1.S1_at	7.889140089
Xl.16012.2.S1_a_at	6.839424383
Xl.16014.1.A1_at	6.06048186
Xl.16016.1.A1_at	5.731047532
Xl.16018.1.A1_at	3.931937464
Xl.16019.1.A1_at	4.180743178
Xl.1602.1.A1_at	4.194989175
Xl.16022.1.A1_at	7.091396964
Xl.16025.1.A1_at	7.671068795
Xl.16031.1.A1_at	4.459137478
Xl.16032.1.A1_at	5.624201925
Xl.16033.1.A1_at	5.063766221
Xl.16035.1.A1_at	6.140008371
Xl.16037.1.A1_at	2.404768432
Xl.16038.1.A1_at	8.815075107
Xl.1604.1.A1_at	6.61992483
Xl.16040.1.S1_at	6.582814169
Xl.16041.1.A1_at	5.271886958
Xl.16042.1.S1_at	2.733044099
Xl.16044.1.A1_at	6.9766132
Xl.16045.1.A1_at	3.683579114
Xl.16046.1.S1_at	7.450478478
Xl.16047.1.A1_at	7.188394406
Xl.16049.1.A1_at	5.452102135
Xl.1605.1.S1_at	7.632412721
Xl.16050.1.A1_at	8.495129308
Xl.16052.1.A1_at	2.911665897
Xl.16053.1.A1_at	5.461606819
Xl.16056.1.A1_at	6.34222531
Xl.16057.1.S1_at	7.08115331
Xl.16058.1.S1_at	3.862007391
Xl.16059.1.A1_at	6.150301125
Xl.16060.1.A1_at	5.833443521
Xl.16060.2.A1_at	5.814509777
Xl.16060.3.S1_a_at	6.372128952
Xl.16060.3.S1_s_at	6.711251276
Xl.16062.1.A1_at	8.12350439
Xl.16063.1.A1_at	4.209846011
Xl.16064.1.A1_at	3.832851198
Xl.16065.1.A1_at	6.287415494
Xl.16066.1.S1_at	3.853618873
Xl.16068.1.A1_at	4.688582705
Xl.16069.1.A1_at	7.508744146
Xl.1607.1.S1_at	7.657683776
Xl.16072.1.S1_at	3.922356957
Xl.16074.1.A1_at	4.985046509
Xl.16075.1.A1_at	3.126684437
Xl.16076.1.A1_at	8.36069831
Xl.16076.3.A1_at	3.18302324
Xl.16077.1.A1_at	3.454145048
Xl.16078.1.A1_at	2.988860711
Xl.16079.1.A1_at	3.07601513
Xl.16080.1.S1_at	6.291846322
Xl.16081.1.A1_at	3.155988305
Xl.16083.1.S1_at	2.544379145
Xl.16085.1.A1_at	2.569283007
Xl.16086.1.A1_at	5.8309556
Xl.16087.1.A1_x_at	4.857520709
Xl.16089.1.A1_at	6.77440824
Xl.1609.1.A1_at	3.719484765
Xl.16090.1.S1_at	6.061385117
Xl.16093.1.A1_at	6.190974515
Xl.16094.1.A1_at	3.897170002
Xl.16095.1.A1_at	4.101151526
Xl.16096.1.A1_at	6.050263811
Xl.16099.1.A1_at	4.830804303
Xl.161.1.S1_at	8.042805495
Xl.16100.1.A1_at	6.072999313
Xl.16102.1.A1_at	5.058593098
Xl.16103.1.A1_at	3.136541425
Xl.16104.1.S1_at	6.322465503
Xl.16106.1.A1_at	6.902087876
Xl.16107.1.A1_at	3.497183076
Xl.16109.1.A1_at	5.956480074
Xl.1611.2.A1_at	4.104387165
Xl.16110.1.S1_at	6.015639701
Xl.16113.1.S1_at	7.223783844
Xl.16114.1.A1_at	4.829247939
Xl.16115.1.A1_at	7.175404262
Xl.16116.1.A1_at	4.959144323
Xl.16117.1.S1_at	9.240824626
Xl.16118.1.S1_at	7.6374858
Xl.16119.1.A1_at	3.655374499
Xl.16120.1.A1_at	4.825552951
Xl.16120.1.A1_s_at	8.806470435
Xl.16124.1.A1_at	3.322497911
Xl.16125.1.A1_at	4.898655674
Xl.16126.1.A1_at	5.853596231
Xl.16127.1.A1_at	8.644463253
Xl.16128.1.A1_at	5.748319319
Xl.1613.1.A1_at	4.698617628
Xl.1613.2.S1_a_at	4.144096567
Xl.1613.2.S1_at	4.142269744
Xl.16130.1.A1_at	3.0143533
Xl.16131.1.S1_at	2.711772527
Xl.16132.1.A1_at	5.982814837
Xl.16132.2.S1_s_at	8.467529393
Xl.16133.1.A1_at	3.551036294
Xl.16133.3.S1_a_at	4.514038466
Xl.16134.1.A1_at	2.588615896
Xl.16135.1.A1_at	6.225920928
Xl.16136.1.S1_at	5.619396518
Xl.16138.1.S1_at	9.047465336
Xl.1614.1.A1_x_at	3.804803549
Xl.16140.1.A1_at	4.822743485
Xl.16144.1.A1_at	5.53962112
Xl.16145.1.S1_at	2.856074351
Xl.16146.1.A1_at	4.150290568
Xl.16148.1.A1_at	2.639208608
Xl.16148.2.A1_at	5.822599882
Xl.1615.1.A1_at	4.242515081
Xl.16150.1.A1_at	3.433351994
Xl.16152.1.S1_a_at	4.778314778
Xl.16153.1.A1_at	6.533529216
Xl.16154.1.A1_at	7.326142998
Xl.16155.1.A1_at	7.575414269
Xl.16156.1.A1_at	6.124250024
Xl.16158.1.S1_at	3.472745035
Xl.16158.2.A1_at	2.742299262
Xl.1616.1.A1_at	7.590956602
Xl.16160.1.S1_at	7.593769245
Xl.16162.1.A1_at	7.155107499
Xl.16163.1.A1_at	3.852228963
Xl.16165.1.A1_at	7.0903458
Xl.16166.1.A1_at	6.405564863
Xl.16169.1.S1_at	3.244347967
Xl.16172.1.A1_at	5.315226967
Xl.16173.1.A1_at	6.388392602
Xl.16174.1.A1_at	6.774137165
Xl.16176.1.A1_at	5.168564556
Xl.16177.1.A1_at	7.657384066
Xl.16178.1.A1_at	7.586145622
Xl.16179.1.A1_at	6.004459796
Xl.16180.1.A1_at	4.145178158
Xl.16181.1.A1_at	3.080538756
Xl.16182.1.S1_at	3.887680581
Xl.16184.1.S1_at	9.194386014
Xl.16184.1.S2_at	5.920093251
Xl.16185.1.A1_at	5.435913767
Xl.16187.1.A1_at	5.595109314
Xl.16188.1.A1_at	2.724290785
Xl.16189.1.A1_at	4.375841965
Xl.1619.1.A1_at	7.3080744
Xl.16190.1.A1_at	7.386618619
Xl.16191.1.A1_at	4.475516601
Xl.16193.1.A1_at	6.270646773
Xl.16194.1.A1_at	5.670344451
Xl.16195.1.A1_at	5.471372439
Xl.16196.1.A1_at	7.465761272
Xl.16197.1.A1_at	8.98733616
Xl.16198.1.A1_at	4.093526455
Xl.16198.1.A1_x_at	3.481988184
Xl.16198.2.A1_at	4.52452719
Xl.162.1.S1_at	3.31319715
Xl.1620.1.S1_at	3.675968722
Xl.16200.1.A1_at	3.085983968
Xl.16202.1.A1_at	4.085098969
Xl.16203.1.A1_at	6.71865547
Xl.16205.1.A1_at	5.059452186
Xl.16206.1.A1_at	9.076164385
Xl.16207.1.A1_at	7.099742378
Xl.16209.1.A1_at	7.019829595
Xl.1621.1.S1_at	7.337272477
Xl.1621.1.S1_s_at	6.767960123
Xl.16212.1.A1_at	3.178927698
Xl.16214.1.S1_at	5.275741487
Xl.16216.1.A1_at	5.794013885
Xl.16218.1.A1_at	5.970297534
Xl.16219.1.A1_at	2.856885085
Xl.1622.1.A1_at	6.974527138
Xl.16220.1.S1_at	6.519746643
Xl.16223.1.A1_at	4.196484848
Xl.16224.1.A1_at	8.617417597
Xl.16226.1.S1_at	2.783710618
Xl.16226.2.A1_at	2.873940585
Xl.16228.1.S1_at	7.573882367
Xl.16229.1.A1_at	4.704197342
Xl.16230.1.A1_at	4.844980495
Xl.16231.1.S1_at	6.865901164
Xl.16232.1.A1_at	4.622806457
Xl.16235.1.S1_at	5.009754143
Xl.16236.1.S1_at	8.336062097
Xl.16238.1.A1_at	7.072541088
Xl.16239.1.A1_at	7.730986725
Xl.16241.1.A1_at	7.353964631
Xl.16242.1.A1_at	4.707801658
Xl.16249.1.A1_at	5.185302027
Xl.1625.1.S1_at	3.72924934
Xl.16250.1.A1_at	5.874280775
Xl.16254.1.S1_at	5.508133611
Xl.16254.3.A1_at	3.553994326
Xl.16255.1.S1_at	6.763565522
Xl.16256.1.A1_at	6.245437642
Xl.16257.1.A1_at	4.109038604
Xl.16259.1.A1_at	5.457499223
Xl.1626.1.S1_at	8.11101734
Xl.16260.1.A1_at	5.914125144
Xl.16261.1.A1_at	5.121072559
Xl.16262.1.A1_at	4.33838753
Xl.16263.1.A1_at	3.99587788
Xl.16264.1.A1_at	7.264213871
Xl.16267.1.A1_at	3.930606208
Xl.16268.2.A1_at	8.32179983
Xl.1627.1.A1_at	6.524194647
Xl.16272.1.A1_at	4.00625213
Xl.16273.1.A1_at	2.697242936
Xl.16274.1.A1_at	5.356460067
Xl.16276.1.S1_at	8.958319995
Xl.16277.1.A1_at	4.803414816
Xl.1628.1.A1_at	5.820745384
Xl.16280.1.A1_at	5.907094995
Xl.16281.1.A1_at	7.292544403
Xl.16281.2.S1_at	4.453891752
Xl.16282.1.A1_at	4.149064405
Xl.16283.1.A1_at	7.402267322
Xl.16284.1.S1_at	6.772566063
Xl.16285.1.A1_at	5.908536725
Xl.16286.1.A1_at	4.651333796
Xl.16288.1.A1_at	6.479140467
Xl.1629.1.A1_at	6.8531409
Xl.16290.1.A1_at	3.266680783
Xl.16292.1.A1_at	6.541533743
Xl.16293.1.A1_at	7.643244393
Xl.16294.1.A1_at	6.426901938
Xl.16295.1.A1_at	10.14907311
Xl.16297.1.S1_at	7.169113997
Xl.16298.1.A1_at	5.756362673
Xl.16299.1.A1_at	3.063073823
Xl.163.1.S1_at	6.344576976
Xl.16301.1.A1_at	2.974015268
Xl.16302.1.A1_at	6.120010904
Xl.16303.1.A1_at	4.231182586
Xl.16304.1.A1_at	4.515813578
Xl.16305.1.A1_at	4.194980306
Xl.16307.1.A1_at	3.809916408
Xl.16308.1.A1_at	5.801864026
Xl.16309.1.A1_at	6.619298371
Xl.16310.1.A1_at	2.924291959
Xl.16312.1.A1_at	4.683605365
Xl.16315.1.S1_at	7.199490137
Xl.16317.1.A1_at	6.479570906
Xl.16320.1.S1_at	6.279266263
Xl.16321.1.A1_at	4.784356669
Xl.16323.1.S1_at	8.084442981
Xl.16325.1.A1_at	3.682167022
Xl.16326.1.A1_at	4.593585841
Xl.16327.1.A1_at	6.718301392
Xl.16328.1.A1_at	5.163775346
Xl.16329.1.A1_at	6.313892983
Xl.16330.1.S1_at	2.877919887
Xl.16332.1.A1_at	6.139785
Xl.16333.1.S1_at	9.246447832
Xl.16334.1.A1_at	4.214817306
Xl.16336.1.A1_at	2.885816466
Xl.16337.1.A1_at	3.56567007
Xl.16339.1.A1_at	7.472222522
Xl.16340.1.A1_at	2.744222259
Xl.16343.1.S1_at	4.985698574
Xl.16344.1.A1_at	5.501137624
Xl.16345.1.A1_at	4.692916672
Xl.16346.1.A1_at	4.733939467
Xl.16347.1.A1_at	6.396232098
Xl.16348.1.A1_at	2.546812182
Xl.16349.1.A1_at	6.192565341
Xl.1635.1.A1_at	3.070741912
Xl.16350.1.A1_at	5.889972168
Xl.16352.1.S1_at	4.516943801
Xl.16353.1.A1_at	7.077916315
Xl.16355.1.S1_at	6.5123788
Xl.16357.1.A1_at	2.775984693
Xl.16358.2.A1_at	6.794854146
Xl.16358.3.S1_at	4.023031006
Xl.16359.2.A1_at	3.273367132
Xl.1636.1.A1_at	3.511817978
Xl.16360.1.A1_at	7.218738172
Xl.16361.1.S1_at	8.101785802
Xl.16362.1.A1_at	6.156588408
Xl.16364.1.A1_at	4.525348544
Xl.16366.1.A1_at	3.930462242
Xl.16367.1.A1_at	7.954768182
Xl.16368.1.A1_at	5.211474737
Xl.16369.1.A1_at	4.649660137
Xl.16370.1.S1_at	5.08738001
Xl.16372.1.A1_at	2.9013764
Xl.16373.1.S1_a_at	9.43684361
Xl.16373.1.S1_x_at	8.865612931
Xl.16373.2.S1_x_at	8.160091916
Xl.16374.1.A1_at	4.127863279
Xl.16375.1.S1_at	4.237582128
Xl.16378.1.S1_at	8.301073693
Xl.16379.1.A1_at	3.089338279
Xl.16381.1.A1_at	3.594402061
Xl.16382.1.A1_at	7.62962912
Xl.16383.1.A1_at	7.355775547
Xl.16384.1.S1_at	8.310036639
Xl.16385.1.S1_at	7.406117307
Xl.16387.1.A1_at	3.967989846
Xl.16388.1.S1_at	4.466327344
Xl.16388.2.A1_at	5.25895051
Xl.16389.1.A1_at	7.639704691
Xl.16389.2.S1_at	5.614791078
Xl.1639.1.S1_at	9.277003096
Xl.16392.1.A1_at	6.248520513
Xl.16393.1.A1_at	4.774247712
Xl.16394.1.A1_at	3.289514178
Xl.16395.1.S1_at	6.265312448
Xl.16396.1.S1_at	7.881779928
Xl.16397.1.A1_at	4.491501002
Xl.16397.2.A1_at	3.911296389
Xl.16398.1.S1_at	6.543288552
Xl.16399.1.S1_at	6.530331604
Xl.1640.1.A1_at	7.48250447
Xl.16400.1.A1_at	7.420813151
Xl.16401.1.A1_at	8.610008727
Xl.16401.1.A1_x_at	8.566838167
Xl.16402.1.A1_at	4.17692398
Xl.16403.1.A1_at	2.937865721
Xl.16406.1.A1_at	3.172809652
Xl.16407.1.A1_at	4.827195107
Xl.16408.1.A1_at	5.486567419
Xl.16409.1.A1_at	2.693216086
Xl.16410.1.A1_at	3.734087715
Xl.16411.1.A1_at	4.215453519
Xl.16412.1.A1_at	2.641588333
Xl.16412.2.A1_at	2.635471414
Xl.16413.1.A1_at	5.417739297
Xl.16416.1.A1_at	4.195637998
Xl.16417.1.A1_at	2.852867977
Xl.16417.2.S1_at	2.520074449
Xl.16419.1.A1_at	3.882277331
Xl.1642.2.S1_a_at	11.02008087
Xl.1642.3.S1_at	11.37707691
Xl.1642.4.A1_a_at	5.763918868
Xl.16421.1.A1_at	3.406051895
Xl.16422.1.A1_at	6.279774914
Xl.16424.1.A1_at	5.139562299
Xl.16426.1.A1_at	5.272607408
Xl.16427.1.A1_at	6.130477828
Xl.16428.1.A1_at	4.688785227
Xl.16429.1.A1_at	6.426163793
Xl.1643.1.A1_at	8.047236483
Xl.1643.2.S1_a_at	7.308164648
Xl.1643.2.S1_at	6.119229051
Xl.1643.3.A1_at	6.947725546
Xl.1643.3.A1_x_at	7.512341658
Xl.16432.1.A1_at	7.909174408
Xl.16433.1.A1_at	5.622038036
Xl.16434.1.S1_at	6.937218987
Xl.16435.1.A1_at	5.467379935
Xl.16436.1.A1_at	4.96891143
Xl.16439.1.A1_at	8.37574535
Xl.1644.1.S1_at	9.527120995
Xl.16440.1.A1_at	7.916615702
Xl.16441.1.A1_at	5.203673112
Xl.16443.1.A1_at	7.292360975
Xl.16445.1.A1_at	4.838007781
Xl.16447.1.A1_at	4.62059599
Xl.16448.1.S1_at	6.708534012
Xl.16449.1.S1_at	5.466886707
Xl.16451.1.A1_at	5.604604375
Xl.16452.1.A1_at	6.563670637
Xl.16455.1.S1_at	6.562962535
Xl.16456.1.A1_at	7.927557047
Xl.16457.1.A1_at	7.74160572
Xl.16459.1.A1_at	6.129089564
Xl.16462.1.A1_at	4.805269899
Xl.16463.1.A1_at	6.78162829
Xl.16464.1.A1_at	3.967222494
Xl.16465.1.S1_at	6.853546707
Xl.16466.1.A1_at	7.303322653
Xl.16467.1.S1_a_at	8.419890024
Xl.16467.1.S1_x_at	7.808040083
Xl.16468.1.A1_at	2.547354311
Xl.16470.1.A1_at	8.726851526
Xl.16471.1.A1_at	7.368927735
Xl.16472.1.A1_at	8.22790986
Xl.16473.1.A1_at	6.214035704
Xl.16474.1.A1_at	2.584862858
Xl.16475.1.S1_at	5.70471445
Xl.16477.1.S1_at	5.228969614
Xl.16478.1.A1_at	7.147442758
Xl.16479.1.A1_at	7.03092129
Xl.1648.1.S1_a_at	3.64606752
Xl.1648.2.S1_at	2.673083121
Xl.16480.1.S1_at	7.959988238
Xl.16482.1.S1_at	3.888823629
Xl.16483.1.A1_at	4.773661755
Xl.16484.1.A1_at	4.809536724
Xl.16484.2.S1_at	5.781740033
Xl.16485.1.A1_at	4.170249643
Xl.16486.1.A1_at	5.858264212
Xl.16487.1.S1_at	3.953566802
Xl.16488.1.A1_at	2.821098735
Xl.1649.1.S1_at	7.578892898
Xl.16490.1.S1_at	3.420629747
Xl.16490.2.A1_at	2.87156322
Xl.16492.1.A1_at	4.949622681
Xl.16493.1.S1_at	3.787272722
Xl.16495.1.A1_at	4.617861247
Xl.16497.1.A1_at	5.557587024
Xl.16498.1.A1_at	4.111103581
Xl.16499.1.A1_at	5.954121602
Xl.1650.1.S1_at	5.738869878
Xl.16501.1.S1_at	7.166629856
Xl.16502.1.S1_at	3.291610872
Xl.16503.1.A1_at	3.208082258
Xl.16504.1.A1_at	6.663812735
Xl.16506.1.S1_at	5.571495384
Xl.16507.1.A1_at	6.422477049
Xl.16508.1.S1_at	8.581920248
Xl.16509.1.A1_at	6.877214375
Xl.16509.1.A1_x_at	6.826318493
Xl.16510.1.S1_at	6.321343706
Xl.16510.2.A1_at	6.844364002
Xl.16511.1.A1_at	7.314358158
Xl.16512.1.A1_at	3.294738242
Xl.16513.1.A1_at	5.499057436
Xl.16514.1.A1_at	6.6615065
Xl.16517.1.A1_at	5.946955985
Xl.16518.1.S1_at	3.197229465
Xl.16519.1.A1_at	2.736190295
Xl.16521.1.A1_at	4.752859391
Xl.16522.1.A1_at	8.230283902
Xl.16524.1.A1_at	4.697530013
Xl.16527.1.A1_at	3.351030687
Xl.16529.1.A1_at	6.43782832
Xl.1653.1.S1_at	7.455520464
Xl.16531.1.A1_at	5.567049402
Xl.16533.1.S1_at	8.676768116
Xl.16535.1.S1_at	4.007600805
Xl.16538.1.S1_at	6.518397842
Xl.16538.2.A1_s_at	9.054990458
Xl.16539.1.A1_at	5.030617004
Xl.1654.1.A1_at	3.43987327
Xl.16540.1.A1_at	5.737555848
Xl.16543.1.S1_at	8.64215909
Xl.16544.1.A1_at	2.13303502
Xl.16545.1.A1_at	4.426705321
Xl.16547.1.A1_at	4.930946047
Xl.16547.2.S1_at	5.675944075
Xl.16548.1.A1_at	3.869593789
Xl.16549.1.A1_at	2.711115037
Xl.16552.1.A1_at	7.129578937
Xl.16553.1.A1_at	3.782445741
Xl.16553.3.A1_at	2.855429565
Xl.16554.2.A1_at	2.870918704
Xl.16555.1.S1_at	4.934286398
Xl.16556.1.A1_at	8.697761582
Xl.16557.1.S1_at	9.678456411
Xl.16558.1.A1_at	6.052991856
Xl.1656.1.A1_at	6.31555508
Xl.16560.1.A1_at	3.141328655
Xl.16561.1.A1_at	3.309907403
Xl.16562.1.A1_at	3.316390773
Xl.16563.1.S1_at	9.369954413
Xl.16564.1.A1_s_at	4.147730799
Xl.16564.1.A1_x_at	4.303524816
Xl.16565.1.A1_at	4.946463327
Xl.16566.1.A1_at	3.214119966
Xl.16567.1.S1_at	6.237706316
Xl.1657.1.A1_at	4.71293472
Xl.16570.1.S1_at	7.003817063
Xl.16573.1.A1_x_at	6.990563476
Xl.16573.2.S1_a_at	4.463221316
Xl.16575.1.A1_at	5.849983732
Xl.16576.1.A1_at	7.66871881
Xl.16577.1.A1_at	5.275341419
Xl.16578.1.S1_at	3.191459661
Xl.16578.2.A1_at	2.957303795
Xl.16579.1.A1_at	3.265741252
Xl.16580.1.A1_at	7.092544358
Xl.16581.1.A1_at	3.030212326
Xl.16582.1.A1_at	5.167516406
Xl.16584.1.S1_at	8.396070814
Xl.16585.1.A1_at	2.466615836
Xl.16586.1.A1_at	5.92200931
Xl.16588.1.A1_at	4.02898203
Xl.16589.1.A1_at	5.047498315
Xl.16590.1.S1_at	3.350197935
Xl.16592.1.A1_at	4.675949158
Xl.16593.1.A1_at	3.006701941
Xl.16594.1.S1_at	5.122080399
Xl.16594.2.A1_at	5.511745044
Xl.16595.1.A1_at	5.212880092
Xl.16598.1.S1_at	5.854368117
Xl.16599.1.A1_at	4.555160743
Xl.166.1.S1_at	5.394864038
Xl.1660.1.A1_at	3.03322661
Xl.16601.1.A1_at	6.620090301
Xl.16602.1.A1_at	4.174672133
Xl.16603.1.A1_at	8.078507522
Xl.16604.1.A1_at	5.441396351
Xl.16608.1.A1_at	6.097639694
Xl.16609.1.A1_at	7.141940598
Xl.16610.1.A1_at	7.249937234
Xl.16613.1.S1_at	6.808487688
Xl.16614.1.A1_at	4.393624109
Xl.16616.1.A1_at	6.209784828
Xl.16618.1.S1_at	6.271142101
Xl.16619.1.A1_at	4.456055287
Xl.16621.1.S1_at	5.710946152
Xl.16622.1.S1_at	4.825721434
Xl.16623.1.A1_at	4.976160543
Xl.16623.2.S1_at	4.073011815
Xl.16624.2.A1_at	6.942069531
Xl.16625.1.A1_at	2.859994427
Xl.16626.1.A1_a_at	7.561781412
Xl.16626.1.A1_at	6.081097208
Xl.16627.1.A1_at	8.80001852
Xl.16628.1.S1_at	5.929370054
Xl.16631.1.A1_at	4.320947635
Xl.16634.1.A1_at	2.698318251
Xl.16635.1.S1_at	6.171907273
Xl.16637.1.A1_at	6.022091893
Xl.16639.1.A1_at	5.913180922
Xl.1664.1.A1_at	7.925757734
Xl.1664.3.A1_at	2.901023295
Xl.16640.1.S1_at	5.973978158
Xl.16641.1.A1_at	6.413651903
Xl.16643.1.A1_at	4.510634032
Xl.16644.1.S1_at	3.698575143
Xl.16645.2.A1_at	2.472321827
Xl.16646.1.A1_at	3.645434025
Xl.16647.1.S1_at	2.861895491
Xl.16649.1.A1_at	4.18528268
Xl.16649.1.A1_x_at	4.759749358
Xl.1665.1.S1_at	8.354074085
Xl.16651.1.S1_at	6.156199199
Xl.16654.1.S1_at	6.681386953
Xl.16654.3.S1_a_at	7.212088796
Xl.16654.3.S1_x_at	6.200724565
Xl.16655.1.S1_at	4.328340653
Xl.16656.1.A1_at	3.270134952
Xl.16657.1.A1_at	3.908073959
Xl.16658.1.S1_at	7.575519745
Xl.16658.2.A1_at	6.912565059
Xl.16658.3.A1_at	6.221446672
Xl.1666.1.S1_at	9.379034619
Xl.16664.1.S1_a_at	5.88583406
Xl.16666.1.A1_at	4.003533169
Xl.16667.1.A1_at	3.275737195
Xl.16668.1.A1_at	6.559262518
Xl.16669.1.A1_at	4.823101967
Xl.16671.1.S1_at	3.448732462
Xl.16672.1.S1_at	7.505082024
Xl.16673.1.A1_at	6.028096493
Xl.16675.1.A1_at	5.216311388
Xl.1668.1.A1_at	5.751285536
Xl.16680.1.A1_at	5.026454422
Xl.16681.1.A1_at	6.360691871
Xl.16683.1.A1_at	3.400591832
Xl.16685.1.A1_at	5.03964829
Xl.16686.1.A1_at	3.131165602
Xl.16687.1.A1_at	4.777743489
Xl.16689.1.A1_at	7.189084469
Xl.1669.1.S1_at	3.525041359
Xl.16690.1.A1_at	3.52593684
Xl.16692.1.A1_at	3.120805645
Xl.16694.1.S1_at	6.337029247
Xl.16695.1.A1_at	3.755212469
Xl.16697.1.S1_at	5.823184205
Xl.167.1.S1_at	7.73055866
Xl.1670.1.S1_at	7.149790167
Xl.1670.2.S1_at	7.807068823
Xl.16703.1.A1_at	2.690149455
Xl.16704.1.A1_a_at	4.264484522
Xl.16705.1.A1_at	5.542206302
Xl.16706.1.S1_at	4.222441188
Xl.16707.1.A1_at	4.112118977
Xl.16708.1.A1_at	3.987913462
Xl.16710.1.S1_at	3.706793594
Xl.16710.2.A1_at	5.47063074
Xl.16713.1.S1_at	5.690267643
Xl.16721.1.A1_at	4.163368548
Xl.16723.1.S1_at	9.875952598
Xl.16723.1.S1_s_at	10.95993029
Xl.16724.1.A1_at	5.243662253
Xl.16726.1.A1_at	6.886005979
Xl.16727.1.A1_at	3.830484993
Xl.16729.1.S1_at	6.701497576
Xl.1673.1.S1_at	9.072628854
Xl.16730.1.A1_at	10.07941692
Xl.16733.1.A1_at	2.493538163
Xl.16734.1.A1_at	4.328671661
Xl.16736.1.S1_at	6.041747969
Xl.16737.1.A1_at	3.090077797
Xl.16742.1.A1_at	6.241250026
Xl.16743.1.S1_at	7.374320322
Xl.16746.1.A1_at	7.684841164
Xl.16747.1.A1_at	5.924185543
Xl.16748.1.S1_at	9.264311922
Xl.16748.1.S1_x_at	9.899006771
Xl.16750.1.S1_at	4.161521599
Xl.16751.1.A1_at	6.284864522
Xl.16754.1.A1_at	7.412849777
Xl.16754.1.A1_x_at	6.875247999
Xl.16754.2.A1_at	5.850155263
Xl.16754.2.A1_x_at	7.341898176
Xl.16758.1.A1_at	5.008982786
Xl.16759.1.S1_at	5.323778843
Xl.16759.2.A1_at	3.805871607
Xl.1676.1.A1_at	7.839457757
Xl.16760.1.S1_at	7.413260225
Xl.16761.1.A1_at	4.314916785
Xl.16763.1.A1_at	6.474679834
Xl.16764.1.A1_at	4.156997709
Xl.16765.1.A1_at	7.974524771
Xl.16766.1.S1_at	7.249880624
Xl.16767.1.A1_at	3.887461595
Xl.16769.1.S1_at	5.720270183
Xl.16770.1.A1_at	4.286191299
Xl.16771.1.S1_at	5.687142345
Xl.16772.1.A1_at	3.247912272
Xl.16773.1.A1_at	5.514226745
Xl.16774.1.S1_at	3.356199504
Xl.16775.1.S1_at	7.101311195
Xl.16776.1.A1_at	4.10944497
Xl.16776.3.A1_at	3.063913658
Xl.16777.1.S1_at	3.609835086
Xl.16778.1.A1_at	7.230555725
Xl.1678.1.S1_at	4.765022575
Xl.16780.1.A1_at	5.679864038
Xl.16781.1.S1_s_at	7.050702968
Xl.16781.1.S2_at	7.727230771
Xl.16782.1.A1_at	8.248743434
Xl.16783.1.S1_at	7.300730361
Xl.16785.1.S1_at	4.764105876
Xl.16788.1.A1_at	6.005990481
Xl.16790.1.A1_at	4.096811113
Xl.16792.1.A1_at	6.067718152
Xl.16792.1.A1_s_at	6.949136903
Xl.16792.1.A1_x_at	6.911970124
Xl.16793.1.A1_at	3.025463287
Xl.16794.1.S1_at	4.493640619
Xl.16795.2.S1_at	3.098818769
Xl.16796.1.S1_at	4.713857368
Xl.16797.1.S1_at	7.228128408
Xl.16799.1.S1_at	7.853365194
Xl.168.1.S1_at	6.325021751
Xl.1680.1.S1_at	6.738370025
Xl.16800.1.S1_at	3.304272287
Xl.16800.3.A1_at	4.370463998
Xl.16801.1.A1_at	3.649828524
Xl.16803.1.S1_at	5.809242017
Xl.16804.1.A1_at	5.831175705
Xl.16805.1.A1_at	3.632084008
Xl.16806.1.A1_at	3.531500827
Xl.16807.1.A1_at	3.693481634
Xl.1681.1.S1_at	5.741466318
Xl.16810.1.A1_at	7.611407567
Xl.16813.1.S1_at	3.353074628
Xl.16815.1.S1_at	6.37567272
Xl.16816.1.A1_at	2.477709607
Xl.16818.1.A1_at	3.068366635
Xl.16819.1.A1_at	7.301214523
Xl.16819.2.S1_at	7.125408041
Xl.16819.2.S1_x_at	7.087042874
Xl.1682.1.A1_at	7.993662324
Xl.16821.1.A1_at	3.016743079
Xl.16822.2.A1_at	5.080774674
Xl.16824.1.A1_at	3.679107625
Xl.16825.1.A1_at	9.142946823
Xl.16827.1.A1_at	2.621267378
Xl.16828.1.A1_at	7.622195077
Xl.1683.1.S1_at	8.794932534
Xl.16831.1.S1_at	4.43398837
Xl.16833.1.S1_at	8.248514707
Xl.16833.2.A1_at	7.517761007
Xl.16835.1.S1_at	4.07743947
Xl.16838.1.S1_at	3.855715869
Xl.1684.1.A1_at	7.498030667
Xl.16840.1.A1_at	6.386460092
Xl.16841.1.S1_at	7.953859391
Xl.16842.1.S1_at	9.550684988
Xl.16843.1.A1_at	5.398335329
Xl.16844.1.A1_at	7.216912439
Xl.16847.1.A1_at	3.9644697
Xl.16847.2.S1_at	3.009208532
Xl.16848.1.A1_at	5.283291311
Xl.16848.2.A1_a_at	7.070645983
Xl.16848.2.A1_at	4.227724679
Xl.16848.2.A1_x_at	5.051638787
Xl.16849.1.A1_at	3.055885498
Xl.1685.1.S1_at	9.781143148
Xl.16850.1.A1_at	7.227974015
Xl.16851.1.A1_at	2.560828576
Xl.16852.1.A1_at	4.354547711
Xl.16853.1.S1_at	5.262772399
Xl.16854.1.S1_at	4.264151306
Xl.16855.1.S1_at	4.494814659
Xl.16857.1.S1_at	6.661978889
Xl.16858.1.A1_at	7.566583784
Xl.16859.1.S1_at	4.701258733
Xl.16860.1.S1_at	7.327100071
Xl.16861.1.S1_at	6.052410921
Xl.16862.1.S1_at	3.487636222
Xl.16863.1.A1_at	7.453825471
Xl.16864.1.S1_at	6.809526875
Xl.16865.1.A1_at	4.855710023
Xl.16866.1.S1_at	8.058209736
Xl.16869.1.A1_at	7.355919766
Xl.1687.1.A1_at	5.343090791
Xl.16873.1.S1_at	4.619541485
Xl.16874.1.A1_at	5.935490548
Xl.16875.1.A1_at	3.089280141
Xl.16876.1.S1_at	4.321119869
Xl.16878.1.S1_at	4.147085098
Xl.16878.3.A1_at	3.081624324
Xl.1688.1.S1_at	4.387127122
Xl.16882.1.A1_at	2.659131026
Xl.16882.3.S1_a_at	3.100192739
Xl.16882.3.S1_at	4.323197917
Xl.16883.1.S1_at	9.076660157
Xl.16888.1.A1_at	5.932968942
Xl.16889.1.A1_at	5.985535006
Xl.16890.1.S1_at	4.406599088
Xl.16891.1.A1_at	5.758908003
Xl.16892.1.S1_at	5.129011987
Xl.16893.1.S1_at	8.74823235
Xl.16894.1.A1_at	6.520411034
Xl.16897.1.A1_at	4.103142692
Xl.169.1.S1_at	2.557997092
Xl.1690.1.S1_at	6.392147493
Xl.1692.1.S1_at	3.193260001
Xl.1693.1.S1_at	7.207719413
Xl.1694.1.S1_at	3.093198502
Xl.1699.1.A1_at	3.827382545
Xl.17.1.S1_at	2.979164452
Xl.170.1.S1_at	3.631548011
Xl.17006.1.A1_a_at	4.596824448
Xl.1701.1.A1_at	6.278517215
Xl.1701.1.A1_x_at	6.893411856
Xl.1701.2.A1_at	5.592644421
Xl.17011.1.S1_at	5.857344367
Xl.17012.1.A1_at	3.773417797
Xl.17015.1.A1_at	3.612807897
Xl.17017.1.A1_at	7.543393974
Xl.17018.1.A1_at	4.759142287
Xl.1702.1.A1_at	7.262118766
Xl.1706.1.S1_at	4.093267074
Xl.1707.1.A1_at	4.23108494
Xl.1710.1.S1_at	9.968010359
Xl.1712.2.A1_at	2.694992655
Xl.17133.1.A1_at	5.1407344
Xl.17136.1.A1_at	4.713170887
Xl.17138.2.A1_at	5.118814597
Xl.17139.1.S1_at	4.492200726
Xl.1714.1.A1_at	6.120689651
Xl.17140.1.A1_at	2.87561153
Xl.17141.1.S1_at	6.851670643
Xl.17143.1.S1_at	4.446632678
Xl.17145.1.S1_at	3.164367657
Xl.17146.1.A1_at	3.774510116
Xl.17147.1.A1_at	4.065969134
Xl.17148.1.A1_at	2.816754945
Xl.17149.1.A1_at	3.354731145
Xl.17150.1.A1_at	3.428407098
Xl.17153.1.A1_at	2.916397053
Xl.17154.1.A1_at	3.142866443
Xl.17156.1.S1_a_at	4.797201172
Xl.17157.1.A1_at	2.45203909
Xl.17158.1.A1_at	4.89678915
Xl.17160.1.A1_at	6.166058108
Xl.17162.1.A1_at	3.682302932
Xl.17164.1.A1_at	3.84821628
Xl.17166.1.A1_at	3.238459655
Xl.1717.1.S1_at	5.90597194
Xl.17170.1.A1_at	3.375145782
Xl.17173.1.A1_at	2.729439198
Xl.17175.1.A1_at	2.548485337
Xl.17176.1.A1_at	3.067147637
Xl.17178.1.A1_at	2.87289325
Xl.17179.1.S1_at	2.753739097
Xl.1718.1.S1_at	3.131263883
Xl.17180.1.S1_at	4.984910733
Xl.17181.1.A1_at	4.068123338
Xl.17182.1.A1_at	3.182423195
Xl.17183.1.A1_at	3.087583714
Xl.17186.1.A1_at	3.384780734
Xl.17187.1.A1_at	3.151745416
Xl.17188.1.A1_at	2.66897829
Xl.17190.1.A1_at	5.792203765
Xl.17191.1.A1_at	3.091090722
Xl.17193.1.S1_at	5.503459142
Xl.17197.1.A1_at	2.824870475
Xl.17199.1.A1_at	2.708043055
Xl.172.1.S1_s_at	2.990918683
Xl.17200.1.A1_at	3.634808688
Xl.17202.1.S1_at	7.614156117
Xl.17208.1.A1_at	2.930452298
Xl.17209.1.A1_at	2.921035833
Xl.17211.1.A1_at	2.840941777
Xl.17213.1.A1_at	3.942833667
Xl.17217.1.A1_at	3.26935311
Xl.17219.1.A1_at	3.79152856
Xl.1722.1.S1_at	9.738004167
Xl.17220.1.A1_at	4.040954534
Xl.17224.1.S1_at	2.555920342
Xl.17226.1.A1_at	3.652342725
Xl.17228.1.A1_at	3.507972758
Xl.17229.1.A1_at	7.180999312
Xl.17232.1.A1_x_at	2.764391842
Xl.17234.1.A1_at	4.052357845
Xl.17235.1.A1_at	8.029144882
Xl.17236.1.A1_at	5.660553522
Xl.17237.1.A1_at	4.884847646
Xl.1724.1.A1_at	3.688619864
Xl.17240.1.S1_at	5.51578565
Xl.17242.1.S1_at	2.692703096
Xl.17243.1.A1_at	2.775273103
Xl.17244.1.A1_at	5.095215788
Xl.17246.1.S1_at	5.347840492
Xl.17253.1.A1_at	5.20439411
Xl.17255.1.S1_at	5.490093678
Xl.17257.1.A1_at	2.925398291
Xl.17259.1.S1_at	3.884755549
Xl.1726.3.A1_at	2.696559507
Xl.17260.1.S1_at	3.599440433
Xl.17261.1.S1_at	3.778700745
Xl.17263.1.S1_at	5.522041196
Xl.17264.1.A1_at	2.792643906
Xl.17266.1.S1_at	3.286098436
Xl.17267.1.S1_at	3.200865041
Xl.17270.1.S1_at	3.377128931
Xl.17274.1.S1_at	2.787914373
Xl.17276.1.S1_at	7.512402543
Xl.17277.1.A1_at	2.703364847
Xl.17278.1.A1_at	2.741890084
Xl.17279.1.A1_at	6.450888357
Xl.1728.1.S1_at	11.71926862
Xl.17280.1.A1_at	2.986236855
Xl.17282.1.A1_at	6.088706999
Xl.17283.1.A1_at	3.618320072
Xl.17284.1.S1_at	4.548265298
Xl.17285.1.S1_at	4.134274436
Xl.17286.1.A1_at	3.730826764
Xl.17287.1.A1_at	7.177775317
Xl.17288.1.S1_at	6.518818178
Xl.1729.1.A1_at	3.099102238
Xl.17290.1.A1_at	6.34918566
Xl.17292.1.S1_at	4.49955737
Xl.17294.1.S1_at	2.96211436
Xl.17296.1.A1_at	3.469330522
Xl.17298.1.S1_at	2.80923781
Xl.173.1.S1_at	2.869674409
Xl.17303.1.A1_at	2.873200882
Xl.17306.1.A1_at	3.859603559
Xl.17307.1.S1_at	4.781880316
Xl.17308.1.S1_at	7.257712698
Xl.17309.1.A1_at	6.341474651
Xl.17309.1.A1_s_at	9.286742742
Xl.17310.1.A1_at	2.577600563
Xl.17313.1.A1_at	6.476448043
Xl.17314.1.A1_at	3.59302199
Xl.17317.1.A1_at	4.404665472
Xl.17318.1.S1_a_at	7.637982261
Xl.17318.3.S1_a_at	6.691160514
Xl.17318.3.S1_x_at	6.048925102
Xl.17319.1.A1_at	3.166889887
Xl.1732.1.S1_at	2.783577223
Xl.17321.1.A1_at	3.049841929
Xl.17322.1.A1_a_at	7.99479427
Xl.17323.1.A1_at	2.714788554
Xl.17327.1.A1_at	2.584573636
Xl.17328.1.A1_at	3.053379957
Xl.17329.1.A1_at	6.164577759
Xl.17331.1.A1_at	3.59108156
Xl.17333.1.A1_at	3.118121635
Xl.17336.1.A1_at	5.140887679
Xl.17340.1.A1_at	6.147630289
Xl.17342.1.A1_at	7.866514227
Xl.17344.1.A1_at	7.080905463
Xl.17345.1.A1_at	5.016499248
Xl.17348.2.A1_at	5.84271672
Xl.17349.1.S1_at	3.70885524
Xl.17351.1.A1_at	3.203727232
Xl.17353.1.A1_at	7.081056474
Xl.17353.3.S1_a_at	5.301267754
Xl.17357.1.A1_at	2.829645764
Xl.1736.1.S1_at	7.045319884
Xl.17363.1.A1_at	3.578784529
Xl.17364.1.S1_at	3.567739897
Xl.17368.1.S1_at	7.17083957
Xl.17369.1.S1_at	3.610540833
Xl.17370.1.S1_at	3.094575395
Xl.17371.1.S1_at	2.840838116
Xl.17372.1.S1_at	3.188761683
Xl.17373.1.S1_at	5.567117427
Xl.17375.1.S1_at	2.987178629
Xl.17376.1.S1_at	3.568565632
Xl.17378.1.S1_at	3.575270237
Xl.17378.1.S2_at	3.789361882
Xl.17379.1.S1_at	2.934233976
Xl.17381.1.S1_at	5.601731418
Xl.17381.1.S2_at	7.785903008
Xl.17384.1.S1_at	4.682890809
Xl.17385.2.S1_a_at	8.13483501
Xl.17386.1.S1_at	3.424239277
Xl.17387.1.S1_at	2.95252963
Xl.17388.1.S1_at	3.911373099
Xl.17389.1.S1_at	10.72481014
Xl.1739.1.S1_at	8.5844287
Xl.17390.1.S1_at	4.340571756
Xl.17392.1.S1_at	4.631849767
Xl.17393.1.S1_at	4.470702359
Xl.17394.1.S1_at	5.894976415
Xl.17394.1.S2_at	4.136860363
Xl.174.1.S1_at	2.77204641
Xl.17402.1.S1_at	2.758688783
Xl.17406.1.S1_at	2.963313118
Xl.17407.1.S1_at	5.158296499
Xl.17408.1.S1_at	6.049601726
Xl.17409.1.S1_at	2.80771619
Xl.17410.1.S1_at	3.641728041
Xl.17412.1.S1_at	11.74129732
Xl.17415.1.S1_at	3.065203597
Xl.17418.1.A1_at	3.269962426
Xl.17431.1.S1_at	7.308981925
Xl.17432.1.S1_at	13.30645244
Xl.17432.1.S2_at	9.887040975
Xl.17433.1.S1_at	3.665725346
Xl.17435.1.S1_at	5.331129963
Xl.17437.1.S1_at	6.095505484
Xl.17438.1.S1_at	4.364008596
Xl.17439.1.S1_at	5.20442669
Xl.1744.1.A1_a_at	7.259888609
Xl.1744.1.A1_at	8.091050289
Xl.1744.1.A1_x_at	8.724500166
Xl.1744.2.A1_at	6.357191112
Xl.1744.2.A1_x_at	7.521724794
Xl.1744.3.S1_at	6.457499928
Xl.17440.1.S1_at	2.871240789
Xl.17441.1.S1_at	5.7307139
Xl.17442.1.A1_at	3.243137841
Xl.17443.1.A1_at	2.550070819
Xl.17444.1.A1_at	2.624050916
Xl.17445.1.A1_at	4.762139408
Xl.17449.1.A1_at	5.944543231
Xl.17452.3.S1_a_at	5.363929572
Xl.17452.3.S1_x_at	4.259193113
Xl.17453.1.S1_at	2.879961596
Xl.17454.1.A1_at	4.779191202
Xl.17456.1.A1_at	3.498261041
Xl.17460.1.A1_at	6.630337844
Xl.17461.1.S1_at	7.988304791
Xl.17462.1.A1_at	2.68623135
Xl.17464.1.A1_at	2.416100408
Xl.17465.1.A1_at	2.649146218
Xl.17466.1.S1_at	6.616891161
Xl.17469.1.A1_at	5.856122559
Xl.17470.1.A1_at	5.320977543
Xl.17471.1.S1_at	9.008767477
Xl.17472.1.A1_at	2.842705121
Xl.17473.1.A1_at	8.641302247
Xl.17474.1.A1_at	2.898585539
Xl.17475.1.A1_at	5.499217308
Xl.17477.1.A1_at	4.2884303
Xl.17478.1.A1_at	3.032014218
Xl.1748.1.S1_at	5.124928648
Xl.17480.1.A1_at	3.252710622
Xl.17481.1.A1_at	7.315968255
Xl.17482.1.S1_at	5.598946466
Xl.17483.1.A1_at	5.808792498
Xl.17484.1.A1_at	3.896873534
Xl.17486.1.S1_at	7.924444212
Xl.17490.1.A1_at	3.596124623
Xl.17491.1.A1_at	3.3946261
Xl.17492.1.S1_a_at	4.343216548
Xl.17492.1.S1_at	3.40253358
Xl.17492.2.S1_x_at	4.598787245
Xl.17496.1.S1_at	4.143898476
Xl.175.1.S1_a_at	8.489461108
Xl.175.2.S1_at	8.504786681
Xl.17501.1.S1_at	6.578118757
Xl.17503.1.A1_at	3.73858376
Xl.17505.1.A1_at	6.259815626
Xl.17510.1.A1_at	3.73781896
Xl.17519.1.S1_at	5.334215502
Xl.17526.1.A1_at	3.17125475
Xl.17526.1.A1_s_at	7.765958242
Xl.17526.1.A1_x_at	4.161097424
Xl.17529.1.S1_at	4.153236299
Xl.17530.1.A1_at	4.877428692
Xl.17534.1.A1_at	3.069254991
Xl.1754.1.S1_at	5.271121844
Xl.17540.1.A1_at	3.302825463
Xl.17540.1.A1_x_at	3.711630143
Xl.17543.1.S1_at	2.949183117
Xl.17544.1.S1_at	2.994067833
Xl.17545.1.A1_at	3.319780759
Xl.17548.1.A1_at	2.593620933
Xl.17549.1.A1_at	6.019989391
Xl.17550.1.A1_at	2.958454853
Xl.17551.1.A1_at	2.998209073
Xl.17560.1.A1_at	5.813153995
Xl.17561.1.A1_at	2.587960966
Xl.17570.1.S1_at	2.767557431
Xl.17571.1.S1_at	5.74432691
Xl.17574.1.S1_at	2.839884712
Xl.17576.1.S1_at	2.520148642
Xl.1758.2.A1_at	5.035050106
Xl.17580.1.S1_at	3.648265671
Xl.17581.1.S1_at	3.095939552
Xl.17583.1.S1_at	2.844706782
Xl.17586.1.A1_at	3.300840046
Xl.17587.1.A1_at	2.543156919
Xl.17588.1.S1_at	2.795710701
Xl.1759.1.A1_at	4.133429773
Xl.17596.1.S1_at	2.538639178
Xl.176.1.S1_at	2.717037594
Xl.1760.1.S1_at	9.43986458
Xl.17601.1.A1_at	3.07454401
Xl.17607.1.A1_at	2.879716435
Xl.17609.1.S1_at	2.93555886
Xl.17611.1.A1_at	2.70512698
Xl.17615.1.S1_at	2.441705603
Xl.17621.1.A1_at	2.86466693
Xl.17622.1.A1_at	3.624521743
Xl.17628.1.A1_at	2.708627451
Xl.17630.1.S1_at	5.086671868
Xl.17631.1.A1_at	3.757524415
Xl.17632.1.S1_at	8.384031219
Xl.17634.1.A1_at	3.272719951
Xl.1764.1.S1_at	10.71218685
Xl.17643.1.A1_at	3.317879987
Xl.17647.1.A1_at	5.008546127
Xl.1765.1.A1_at	6.514182791
Xl.1765.3.S1_a_at	5.200735663
Xl.17655.1.A1_at	2.701940043
Xl.17659.1.A1_at	2.799407262
Xl.1766.1.A1_at	3.712639091
Xl.17663.1.A1_at	2.895283961
Xl.17667.1.A1_at	3.189367594
Xl.1767.1.S1_at	4.764141615
Xl.17670.1.A1_at	3.138969102
Xl.17671.1.A1_at	2.88776425
Xl.17673.1.S1_at	2.567900058
Xl.17678.1.A1_at	3.213309596
Xl.1768.1.S1_at	4.001982072
Xl.17681.1.A1_at	4.283287671
Xl.17685.1.A1_at	3.12471378
Xl.17690.2.A1_at	6.726643971
Xl.177.1.S1_at	2.781112385
Xl.1771.1.A1_at	5.264286432
Xl.17719.1.A1_at	4.670212913
Xl.17719.1.A1_x_at	3.757928814
Xl.17720.1.S1_at	2.737000742
Xl.17723.1.A1_at	2.774116677
Xl.17724.1.A1_at	2.859242742
Xl.17729.1.A1_at	5.118515744
Xl.1773.1.S1_at	9.2259556
Xl.17731.1.A1_at	3.126355627
Xl.17737.1.S1_at	5.234052608
Xl.1774.1.S1_at	6.181779712
Xl.17740.2.A1_a_at	2.785396559
Xl.17747.1.A1_at	2.77427397
Xl.17748.1.A1_at	2.917134974
Xl.1775.1.S1_at	2.895090154
Xl.17752.1.A1_at	3.034906683
Xl.17754.1.S1_at	4.099049891
Xl.17757.1.A1_at	6.145347523
Xl.17758.1.S1_at	2.704061182
Xl.1776.1.S1_at	7.140090784
Xl.17764.1.S1_at	6.703853844
Xl.1778.1.S1_at	4.909939778
Xl.1778.2.A1_at	3.442931987
Xl.17782.1.A1_at	7.011308557
Xl.17784.1.A1_at	3.347238742
Xl.17785.1.A1_at	3.056831063
Xl.17786.1.A1_at	3.539036868
Xl.17788.1.A1_at	3.47715621
Xl.1779.1.S1_at	10.02971699
Xl.17793.1.S1_at	6.858727278
Xl.17793.1.S1_s_at	9.33755739
Xl.178.1.S1_at	3.237833025
Xl.1780.1.S1_at	5.575541406
Xl.17800.1.S1_at	3.007805067
Xl.17808.1.A1_at	2.822642435
Xl.1781.1.A1_at	7.828598456
Xl.17812.1.A1_at	2.69615993
Xl.17816.1.A1_at	2.744977616
Xl.17819.1.A1_at	4.06373358
Xl.17823.1.S1_at	5.638971555
Xl.17825.1.A1_at	3.428699767
Xl.17826.1.S1_at	3.56429048
Xl.1783.1.A1_at	2.995237167
Xl.17830.1.S1_at	3.133512552
Xl.17834.1.A1_at	3.71231154
Xl.17835.1.A1_at	4.517861573
Xl.17838.1.A1_at	3.492302993
Xl.17846.1.A1_at	7.192526065
Xl.17848.1.A1_at	6.5512591
Xl.1785.1.S1_at	8.334153231
Xl.17864.1.A1_at	5.117863748
Xl.17867.1.S1_at	5.696107795
Xl.1787.2.S1_a_at	12.65044483
Xl.17870.1.A1_at	3.016032867
Xl.17871.1.A1_at	5.862981529
Xl.17871.1.A1_x_at	6.126497944
Xl.1788.1.A1_at	7.657517144
Xl.17880.1.A1_at	3.662669641
Xl.17886.1.A1_at	5.797224657
Xl.17888.1.A1_at	3.041073993
Xl.17895.1.S1_at	2.896243488
Xl.17897.1.A1_at	3.854167386
Xl.179.1.S1_at	6.16623262
Xl.179.1.S2_at	8.465534267
Xl.1790.1.S1_at	10.01696642
Xl.17906.1.S1_at	8.950958323
Xl.17907.1.A1_at	2.400135965
Xl.17907.1.A1_s_at	4.098242716
Xl.1791.1.S1_at	8.179553266
Xl.17910.1.S1_at	2.520873888
Xl.17912.1.A1_at	3.809079304
Xl.17931.1.A1_at	2.51769541
Xl.17933.1.A1_at	7.044160648
Xl.1794.1.A1_at	7.784501409
Xl.17945.1.S1_at	3.471063718
Xl.17946.1.S1_at	7.574157075
Xl.17947.1.A1_at	3.510258342
Xl.17949.1.S1_at	3.250283801
Xl.17950.1.S1_at	6.96147111
Xl.17950.2.A1_at	7.769140253
Xl.17956.1.A1_at	6.111582089
Xl.17957.1.S1_at	4.671686533
Xl.1796.1.S1_at	8.323888488
Xl.1796.1.S2_at	7.043481375
Xl.17960.1.A1_at	2.964945021
Xl.17963.1.S1_at	3.36585584
Xl.17964.1.S1_at	2.945539031
Xl.17967.1.A1_at	2.8360288
Xl.17968.1.A1_at	4.630633189
Xl.17971.1.A1_at	4.33484269
Xl.17972.1.A1_at	2.98212691
Xl.17973.1.A1_at	5.692672893
Xl.17979.1.A1_at	5.596159839
Xl.17983.1.A1_at	6.523562188
Xl.17984.1.A1_at	3.597205663
Xl.17988.1.A1_at	3.787736357
Xl.17993.1.A1_at	6.477864055
Xl.17997.1.S1_at	3.146122347
Xl.18.1.S1_at	3.259626924
Xl.180.1.S1_at	3.173100157
Xl.18000.1.S1_at	2.698830951
Xl.18003.1.A1_at	3.201054461
Xl.18005.1.A1_at	3.151037069
Xl.18006.1.A1_at	2.449448726
Xl.18013.1.A1_at	4.380376752
Xl.1802.1.A1_at	6.121689475
Xl.18021.1.A1_at	3.702733894
Xl.18022.1.A1_at	3.457797398
Xl.18029.1.A1_at	4.69971136
Xl.18036.1.A1_at	4.076489045
Xl.1804.1.S1_at	6.776059869
Xl.18043.1.A1_at	2.894770965
Xl.18045.1.A1_at	2.586101903
Xl.18049.1.A1_at	3.732005519
Xl.1805.1.A1_at	6.026348114
Xl.18053.1.A1_at	4.356975481
Xl.18054.1.A1_at	3.162158118
Xl.18068.1.A1_at	7.336712094
Xl.1807.1.A1_at	9.067604789
Xl.18072.1.A1_at	5.175867557
Xl.18073.1.A1_at	3.010903527
Xl.18074.1.S1_at	3.196026215
Xl.18075.1.A1_at	3.1555658
Xl.18077.1.A1_at	2.931511675
Xl.18079.1.A1_at	2.623331848
Xl.18080.1.A1_at	7.766378509
Xl.18080.1.A1_x_at	7.789223769
Xl.18081.1.A1_at	6.876348057
Xl.18086.1.A1_at	3.428983033
Xl.18090.1.S1_at	5.798967616
Xl.18092.1.A1_at	2.810997673
Xl.18093.1.A1_at	5.894934842
Xl.18095.1.A1_at	3.365924119
Xl.1810.1.A1_at	3.104910405
Xl.1810.1.A1_x_at	3.25480193
Xl.18102.1.A1_at	2.900546847
Xl.18103.1.A1_at	6.158048595
Xl.18104.1.A1_at	3.91350383
Xl.18105.1.A1_at	2.82051393
Xl.18106.1.A1_at	6.27147381
Xl.18107.1.A1_at	6.687524761
Xl.18108.1.A1_at	5.810147582
Xl.18110.1.A1_at	3.917658251
Xl.18112.1.A1_at	4.235605384
Xl.18113.1.A1_at	3.054469155
Xl.18116.1.S1_at	7.109075083
Xl.18116.1.S1_s_at	6.394689213
Xl.18117.1.A1_at	6.7116243
Xl.18118.1.A1_at	5.773385722
Xl.18119.1.A1_at	4.738816356
Xl.1812.1.S1_at	5.716623681
Xl.18120.1.S1_at	3.358388185
Xl.18122.1.A1_at	4.095608265
Xl.18122.1.A1_s_at	4.107742867
Xl.18124.1.A1_at	2.915008298
Xl.18129.1.A1_at	9.447454089
Xl.18136.1.A1_a_at	3.094965817
Xl.18136.1.A1_at	3.123827972
Xl.18137.1.A1_at	2.940604594
Xl.18145.1.A1_at	2.825725906
Xl.18146.1.S1_at	2.870273355
Xl.18152.1.A1_at	2.330533567
Xl.18156.1.A1_at	4.708276362
Xl.18160.1.A1_at	2.754761565
Xl.18161.1.A1_at	3.942926001
Xl.18166.1.A1_at	3.078164641
Xl.1817.1.A1_at	2.954397565
Xl.18171.1.A1_at	6.272139409
Xl.18172.1.S1_at	4.157312956
Xl.18176.1.A1_at	7.484025751
Xl.18179.1.S1_at	4.083855828
Xl.18180.1.S1_at	2.84845489
Xl.18189.1.S1_at	3.170397585
Xl.1819.1.S1_at	10.25026218
Xl.18190.1.S1_at	4.588480936
Xl.18191.1.A1_at	2.92300223
Xl.18192.1.A1_at	3.002393105
Xl.18193.1.A1_at	2.685116273
Xl.18193.3.A1_at	2.467721052
Xl.18193.3.A1_x_at	2.411519743
Xl.18195.1.A1_at	3.374942779
Xl.182.1.S1_at	2.945206535
Xl.18201.1.A1_at	2.919915743
Xl.18202.1.A1_at	2.507993293
Xl.18206.1.A1_at	6.342215422
Xl.18207.1.S1_at	3.206209194
Xl.1821.1.S1_at	4.461381477
Xl.18215.1.S1_at	2.774515413
Xl.18216.1.A1_at	3.935343725
Xl.1822.1.A1_at	7.99534351
Xl.18220.1.A1_at	5.065758782
Xl.18221.1.A1_at	3.842194598
Xl.18225.1.A1_at	3.624677813
Xl.18228.1.A1_at	4.235899485
Xl.1823.1.S1_at	9.038247041
Xl.18230.1.A1_at	3.998368544
Xl.18233.1.A1_at	8.534083153
Xl.18236.1.A1_at	3.160014358
Xl.18238.1.S1_at	3.656620729
Xl.18239.1.A1_at	2.770894931
Xl.1824.1.S1_at	6.005973489
Xl.18243.1.A1_at	3.116788455
Xl.18249.1.A1_at	2.676082105
Xl.1825.1.A1_at	3.477346891
Xl.18250.1.S1_at	4.861434574
Xl.18251.1.S1_at	3.45680521
Xl.18257.1.S1_at	7.729301561
Xl.18261.1.A1_at	4.334051821
Xl.18262.1.A1_at	2.593811958
Xl.1827.1.A1_at	7.535839722
Xl.18270.1.A1_at	3.754192092
Xl.18277.1.S1_at	4.94220657
Xl.18279.1.A1_at	4.338455689
Xl.1828.1.A1_at	5.16228085
Xl.18282.1.A1_at	2.957712755
Xl.18284.1.A1_at	5.734729621
Xl.18286.1.A1_at	3.587360702
Xl.18288.1.S1_at	2.954543229
Xl.18290.1.A1_at	5.51443931
Xl.18292.1.A1_at	3.348786334
Xl.18296.1.A1_at	5.3128726
Xl.183.1.S1_at	3.920697812
Xl.1830.1.S1_at	6.191614538
Xl.18301.1.A1_at	4.539241911
Xl.18304.1.A1_at	3.548394455
Xl.18306.1.A1_at	2.766345466
Xl.18307.1.A1_at	6.976903087
Xl.18310.1.A1_at	2.483820962
Xl.18311.1.S1_at	3.457557368
Xl.18312.1.A1_at	3.289493477
Xl.18314.1.A1_at	2.717834194
Xl.18321.1.A1_at	2.573292431
Xl.18323.1.A1_at	5.711415874
Xl.18325.1.A1_at	2.652117504
Xl.18328.1.S1_at	3.534702634
Xl.18328.1.S1_s_at	5.652102123
Xl.18329.1.A1_at	2.521773072
Xl.1833.1.A1_at	2.850378534
Xl.18330.1.S1_at	4.316174095
Xl.18331.1.A1_at	6.184937738
Xl.18333.1.A1_x_at	3.270029977
Xl.18337.1.A1_at	6.077186873
Xl.1834.1.A1_at	2.700910857
Xl.18344.1.A1_at	5.311118084
Xl.18345.1.A1_at	2.52785203
Xl.18346.1.A1_at	4.20634489
Xl.1835.1.A1_at	6.636692358
Xl.18350.1.A1_at	6.593780971
Xl.18351.1.A1_at	4.906273907
Xl.18353.1.A1_at	7.782868609
Xl.18355.1.S1_at	3.523968253
Xl.18356.1.A1_at	2.661393224
Xl.18359.1.A1_at	3.970163608
Xl.18360.1.S1_at	2.588016706
Xl.18363.1.A1_at	8.892174607
Xl.18364.1.A1_at	5.735263528
Xl.18365.1.A1_at	6.60417606
Xl.18366.1.A1_at	3.059559188
Xl.18370.1.A1_at	2.702197118
Xl.18374.1.A1_at	3.232417449
Xl.18378.1.S1_at	4.056846299
Xl.1838.1.A1_at	5.233317317
Xl.18385.1.A1_at	7.261124117
Xl.18387.1.S1_at	6.766836887
Xl.18392.1.A1_at	3.650466339
Xl.18393.1.A1_at	4.7040117
Xl.18395.1.S1_at	3.984218325
Xl.18397.1.A1_at	5.154476329
Xl.18398.1.S1_at	4.232623098
Xl.18399.1.A1_s_at	5.564766636
Xl.184.1.S1_at	2.874313644
Xl.18401.1.S1_at	7.096248633
Xl.18407.1.A1_at	2.720066295
Xl.18410.1.S1_at	2.805093384
Xl.18412.1.S1_at	3.66985071
Xl.18417.1.S1_at	3.018025368
Xl.1842.1.A1_at	3.057673028
Xl.18423.1.S1_at	2.614305651
Xl.18426.1.S1_at	3.125691258
Xl.18430.1.S1_at	5.348192533
Xl.18436.1.A1_at	6.851793143
Xl.18439.1.A1_at	3.575997013
Xl.1844.1.S1_at	6.115546226
Xl.18440.1.S1_at	5.905140989
Xl.18441.1.A1_at	2.899751187
Xl.18442.1.A1_at	2.482809472
Xl.18443.1.A1_at	2.469846202
Xl.18444.1.A1_at	2.940673438
Xl.18445.1.A1_at	7.65657016
Xl.18447.1.A1_at	6.838012757
Xl.1845.1.A1_at	2.983664768
Xl.18450.1.A1_at	3.99615818
Xl.18452.1.A1_at	3.228782891
Xl.18457.1.A1_at	3.239409299
Xl.1846.1.A1_at	2.880388756
Xl.18460.1.A1_at	6.486591622
Xl.18461.1.A1_at	3.043649548
Xl.18462.1.A1_at	2.817619912
Xl.18463.1.A1_at	3.035809404
Xl.18464.1.A1_at	2.487983911
Xl.18466.1.A1_at	2.528493105
Xl.18467.1.A1_at	3.943461109
Xl.18469.1.A1_at	3.870227404
Xl.18470.1.A1_at	3.23678909
Xl.18472.1.A1_at	2.879186931
Xl.18473.1.A1_at	2.964415843
Xl.18474.1.A1_at	3.734600916
Xl.18476.1.A1_at	4.150869217
Xl.18477.1.A1_at	3.928556843
Xl.18478.1.A1_at	4.459918865
Xl.18479.1.A1_at	2.96520533
Xl.1848.1.A1_at	4.601167257
Xl.18480.1.A1_at	3.377141048
Xl.18481.1.A1_at	2.645706689
Xl.18482.1.A1_at	2.350772759
Xl.18483.1.A1_at	3.097747871
Xl.18484.1.A1_at	3.059471953
Xl.18485.1.A1_at	2.582854373
Xl.18486.1.A1_at	3.086126609
Xl.18487.1.A1_at	2.77749132
Xl.18488.1.A1_at	3.233551223
Xl.18489.1.A1_at	2.890716809
Xl.1849.2.A1_at	3.083513631
Xl.18490.1.A1_at	6.030977921
Xl.18491.1.A1_at	2.885997164
Xl.18492.1.A1_at	2.7324832
Xl.18493.1.A1_at	2.857991576
Xl.18494.1.A1_at	3.560495925
Xl.18495.1.A1_at	3.515876047
Xl.18496.1.A1_at	2.624821306
Xl.18499.1.S1_at	6.790975984
Xl.185.1.S1_at	4.361879232
Xl.185.1.S2_at	3.282440919
Xl.1850.1.A1_at	2.643230574
Xl.18503.1.S1_at	4.659387139
Xl.18504.1.S1_at	5.11025858
Xl.18505.1.A1_at	3.994963712
Xl.18510.1.A1_at	4.060347913
Xl.18511.1.A1_at	3.847555998
Xl.18513.1.A1_at	3.376960197
Xl.18515.1.S1_at	4.546491496
Xl.18517.1.S1_at	4.991747076
Xl.18518.1.A1_at	5.420371571
Xl.18520.1.A1_at	2.917206461
Xl.18524.1.A1_at	3.61979192
Xl.18529.1.A1_at	3.584733539
Xl.1853.1.A1_at	3.602347249
Xl.18536.1.A1_at	3.561605086
Xl.18537.1.A1_at	3.152601373
Xl.1854.1.A1_at	2.97397921
Xl.18542.1.A1_at	2.930373961
Xl.18545.1.S1_at	3.46014906
Xl.18546.1.A1_at	2.732371399
Xl.18547.1.A1_at	2.566917435
Xl.18548.1.A1_at	2.845441761
Xl.18549.1.A1_at	3.399988234
Xl.1855.1.A1_at	4.325645297
Xl.18551.1.A1_at	2.685624591
Xl.18552.1.A1_at	3.061742575
Xl.18552.2.A1_at	4.616338881
Xl.18555.1.S1_at	3.255156402
Xl.18557.1.S1_at	6.857249922
Xl.18559.1.S1_x_at	11.58481272
Xl.18559.2.S1_a_at	11.60844771
Xl.18559.2.S1_x_at	11.674544
Xl.18563.1.A1_at	3.997509545
Xl.18564.1.A1_at	2.563361933
Xl.18566.1.S1_at	3.202744236
Xl.18571.1.A1_at	3.762264578
Xl.18573.1.S1_at	3.378540293
Xl.18573.2.S1_at	3.899743688
Xl.18575.1.A1_at	4.244996022
Xl.18576.1.A1_at	2.922430822
Xl.18577.1.S1_at	2.736192578
Xl.18578.1.A1_at	6.349900405
Xl.1858.1.S1_at	4.130897527
Xl.18580.1.A1_at	6.726621517
Xl.18581.1.S1_at	5.539922744
Xl.18582.1.A1_at	2.813096833
Xl.18583.1.S1_at	5.799510671
Xl.18584.1.A1_at	3.854387278
Xl.18585.1.A1_at	2.985038729
Xl.18586.1.S1_at	3.209055045
Xl.18587.1.A1_at	2.484707473
Xl.18588.1.S1_at	2.768602888
Xl.18590.1.S1_at	3.850092409
Xl.18592.1.A1_at	3.580548718
Xl.18593.1.A1_at	5.557174221
Xl.18594.1.S1_at	3.990059002
Xl.18595.1.A1_at	4.874687646
Xl.18596.1.S1_at	5.25556364
Xl.18597.1.A1_at	5.809725798
Xl.18598.1.S1_at	4.833193958
Xl.186.1.S1_at	7.885535669
Xl.186.1.S2_at	7.345026331
Xl.18600.1.A1_at	3.187561029
Xl.18601.1.A1_at	4.225624947
Xl.18602.1.A1_at	4.86568157
Xl.18607.1.A1_at	3.115124993
Xl.18609.1.A1_at	3.41456974
Xl.1861.1.A1_at	8.88891099
Xl.1861.1.A1_x_at	8.825422852
Xl.18610.1.A1_at	5.127439192
Xl.18611.1.A1_at	7.093419866
Xl.18612.1.S1_at	3.960189848
Xl.18615.1.A1_at	4.499462774
Xl.18617.1.A1_at	2.725227683
Xl.18618.1.A1_at	3.330175782
Xl.18619.1.A1_at	3.525249477
Xl.18620.1.A1_at	7.813422791
Xl.18621.1.A1_s_at	5.288527839
Xl.18621.1.A1_x_at	5.464198759
Xl.18622.1.S1_at	6.279358856
Xl.18623.1.A1_at	3.069087131
Xl.18624.1.A1_at	2.806989955
Xl.18625.1.A1_at	4.962389607
Xl.18627.1.S1_at	4.38861119
Xl.18630.1.A1_at	5.197774031
Xl.18632.1.S1_at	5.638516876
Xl.18633.1.S1_at	3.178998843
Xl.18633.2.A1_at	2.76178725
Xl.18635.1.A1_at	3.90774902
Xl.18636.2.A1_at	3.317339316
Xl.18637.1.S1_at	7.111670344
Xl.18638.1.A1_at	4.978510989
Xl.18640.1.A1_at	2.815031965
Xl.18641.1.A1_at	4.180905571
Xl.18642.1.S1_at	6.113940192
Xl.18643.1.A1_at	2.693924175
Xl.18644.1.A1_at	6.678743938
Xl.18645.1.A1_at	5.136615447
Xl.18647.1.A1_at	4.089416213
Xl.18648.1.A1_at	5.911932348
Xl.18650.1.A1_at	2.804596552
Xl.18651.1.S1_at	4.056611241
Xl.18652.1.A1_at	5.065759383
Xl.18653.1.A1_at	3.312508726
Xl.18653.2.A1_at	2.588188065
Xl.18654.1.S1_at	3.768704373
Xl.18655.1.A1_at	3.287509922
Xl.18657.1.A1_at	5.14592874
Xl.18659.1.A1_at	5.132999298
Xl.18661.1.A1_at	4.272662877
Xl.18662.1.A1_at	3.158106873
Xl.18663.1.S1_at	6.298195556
Xl.18665.1.S1_at	3.989111213
Xl.18667.1.A1_at	3.862777045
Xl.18669.1.A1_at	2.616421006
Xl.18670.1.A1_at	6.592214
Xl.18671.1.A1_at	2.795990254
Xl.18672.1.A1_at	2.534356354
Xl.18673.1.A1_at	3.525041222
Xl.18675.1.A1_at	3.78214047
Xl.18676.1.A1_at	4.842732683
Xl.18677.1.A1_at	8.447793554
Xl.18679.1.A1_at	4.306013377
Xl.18680.1.A1_at	3.827322741
Xl.18681.1.A1_at	3.614423027
Xl.18682.1.A1_at	6.249279417
Xl.18685.1.A1_at	3.387490116
Xl.18686.1.A1_at	3.740064875
Xl.18687.1.A1_at	3.459362677
Xl.18689.1.A1_at	3.021871833
Xl.18692.1.A1_at	5.32008574
Xl.18694.1.S1_at	6.729307593
Xl.18697.1.A1_at	5.373057739
Xl.187.1.S1_at	8.728952344
Xl.18702.1.A1_at	2.52627411
Xl.18704.1.S1_at	6.325523007
Xl.18706.1.A1_at	2.612890088
Xl.18709.1.A1_at	6.554060786
Xl.1871.1.A1_at	2.608809567
Xl.18712.1.A1_s_at	6.860661637
Xl.18713.1.S1_at	3.556662622
Xl.18714.1.S1_at	6.721339085
Xl.18717.1.A1_at	3.260966521
Xl.18719.1.A1_at	2.599823406
Xl.18720.1.A1_at	4.111397114
Xl.18722.1.A1_at	5.4952326
Xl.18725.1.A1_at	2.798930042
Xl.18727.1.A1_at	3.190700251
Xl.1873.1.S1_at	7.495110833
Xl.18730.1.A1_at	2.631335919
Xl.18734.1.A1_at	4.054421859
Xl.18737.1.A1_at	4.680913717
Xl.18738.1.S1_at	7.383664968
Xl.18739.1.S1_at	5.790935117
Xl.1874.1.A1_at	2.827238098
Xl.18740.1.A1_at	3.01193111
Xl.18743.1.S1_at	7.892332409
Xl.18745.1.A1_at	5.66145338
Xl.18746.1.S1_at	6.450193686
Xl.18748.1.A1_at	3.046062609
Xl.18750.1.S1_at	2.957057815
Xl.18751.1.A1_at	3.588996805
Xl.18752.1.A1_at	4.335420205
Xl.18753.1.A1_at	3.476213764
Xl.18753.2.A1_at	5.295902087
Xl.18753.2.A1_x_at	5.248279133
Xl.18755.1.S1_at	5.23035255
Xl.18757.1.A1_at	3.560971131
Xl.18760.1.A1_at	6.437867576
Xl.18763.1.A1_at	4.833401768
Xl.18765.1.S1_at	5.836603532
Xl.18766.1.S1_at	7.240470014
Xl.18772.1.A1_at	5.502774023
Xl.18776.1.A1_at	6.743651623
Xl.18778.1.A1_at	5.289883132
Xl.1878.1.A1_at	2.669523034
Xl.18787.1.S1_s_at	7.131683883
Xl.18788.1.A1_at	3.733591343
Xl.18789.1.A1_at	3.607341503
Xl.1879.1.A1_at	4.92207571
Xl.18793.1.S1_at	4.374075954
Xl.18794.1.S1_at	7.844382601
Xl.18797.1.A1_at	2.745232659
Xl.18798.1.A1_at	2.733076799
Xl.188.1.S1_at	10.10520886
Xl.18800.1.A1_at	2.603288034
Xl.18801.1.A1_at	3.643689449
Xl.18802.1.A1_at	2.602401083
Xl.18803.1.A1_at	4.223333818
Xl.18804.1.A1_at	2.767656704
Xl.18805.1.A1_at	2.802676461
Xl.18806.1.A1_at	3.733037057
Xl.18807.1.A1_at	2.783914255
Xl.18809.1.A1_at	3.022709718
Xl.1881.1.A1_at	4.253917783
Xl.18813.1.A1_at	4.775315485
Xl.18814.1.A1_at	3.517360737
Xl.18815.1.A1_at	3.376554314
Xl.18817.1.A1_at	2.886520984
Xl.18818.1.A1_at	3.042084426
Xl.18819.1.A1_at	2.566232362
Xl.18819.1.A1_x_at	2.627553609
Xl.18820.1.A1_at	3.146599511
Xl.18821.1.A1_at	4.116884838
Xl.18823.1.A1_at	3.205105141
Xl.18824.1.A1_at	3.646050636
Xl.18825.1.A1_at	2.6550519
Xl.18826.1.A1_at	3.014024646
Xl.18827.1.A1_at	2.892655241
Xl.18828.1.A1_at	3.847215583
Xl.18829.1.S1_at	3.170362669
Xl.18830.1.A1_at	3.576431623
Xl.18831.1.A1_at	3.296356507
Xl.18832.1.A1_at	3.340553042
Xl.18833.1.A1_at	3.298430516
Xl.18834.1.A1_at	2.707678118
Xl.18836.1.A1_at	4.376712029
Xl.18837.1.A1_at	3.117460862
Xl.18838.1.A1_at	3.772622659
Xl.18839.1.A1_at	2.921142399
Xl.18840.1.A1_at	2.932333681
Xl.18842.1.A1_s_at	4.848742555
Xl.18843.1.A1_at	4.049023321
Xl.18844.1.A1_at	2.678324645
Xl.18846.1.A1_at	3.717905363
Xl.18847.1.A1_at	3.560137492
Xl.18847.1.A1_s_at	6.258326848
Xl.18848.1.A1_at	3.194781095
Xl.18850.1.A1_at	2.769107165
Xl.18851.1.A1_at	6.19638477
Xl.18852.1.S1_at	6.247673342
Xl.18853.1.A1_at	3.27008681
Xl.18856.1.A1_at	5.407902453
Xl.18858.1.A1_at	3.39904735
Xl.18859.1.A1_at	3.543878152
Xl.1886.1.S1_at	4.035086933
Xl.18861.1.S1_at	3.512519511
Xl.18862.1.A1_at	8.093272887
Xl.18863.1.A1_at	3.178150577
Xl.18865.1.A1_at	3.640151312
Xl.18867.1.A1_at	3.457474261
Xl.18868.1.A1_at	2.613434656
Xl.18872.1.A1_at	6.307968992
Xl.18873.1.A1_at	4.499891014
Xl.18880.1.A1_at	5.672742297
Xl.18881.1.A1_at	2.978878885
Xl.18883.1.A1_at	3.081948433
Xl.18885.1.S1_at	7.233556467
Xl.18887.1.A1_at	3.494840123
Xl.18888.1.S1_at	6.619838364
Xl.18889.1.A1_at	8.2519769
Xl.18889.1.A1_x_at	8.294200726
Xl.18890.1.A1_at	2.948698286
Xl.18891.1.A1_at	6.905801963
Xl.18893.1.A1_at	3.010575324
Xl.18895.1.A1_at	2.98333717
Xl.18898.1.A1_at	5.765903536
Xl.18899.1.A1_at	4.124714166
Xl.189.1.S1_at	3.399722726
Xl.18900.1.A1_at	6.957696798
Xl.18902.1.A1_at	2.870101815
Xl.18903.1.S1_at	4.805619913
Xl.18905.1.A1_at	3.729831626
Xl.18906.1.A1_at	3.122091109
Xl.18907.1.A1_at	2.79991528
Xl.18908.1.A1_at	3.129362159
Xl.18909.1.S1_at	7.270177676
Xl.18910.1.A1_at	5.987175533
Xl.18911.1.A1_at	4.013529939
Xl.18912.1.A1_at	7.206246056
Xl.18915.1.A1_at	7.924028956
Xl.18916.1.A1_at	5.407153086
Xl.18918.1.A1_at	2.759491572
Xl.18919.1.S1_at	3.732211341
Xl.1892.1.S1_at	3.125785207
Xl.18920.1.A1_at	4.406123037
Xl.18921.1.A1_at	7.155698109
Xl.18926.1.A1_at	6.666327795
Xl.18927.1.S1_at	4.961812038
Xl.18931.1.A1_at	5.915247325
Xl.18932.1.S1_at	6.001846221
Xl.18934.1.A1_at	6.96910144
Xl.18936.1.A1_at	6.435225301
Xl.18937.1.A1_at	6.742984967
Xl.18940.1.A1_at	2.592208605
Xl.18941.1.A1_at	5.788375097
Xl.18943.1.A1_at	2.625101053
Xl.18945.1.A1_at	6.978872196
Xl.18946.1.S1_at	5.123678763
Xl.18947.1.S1_at	5.584314452
Xl.18948.1.A1_at	4.106099921
Xl.18951.1.A1_at	3.653407808
Xl.18954.1.A1_at	7.543905926
Xl.18957.1.A1_at	3.114741071
Xl.18958.1.S1_at	7.34012974
Xl.18959.1.A1_at	2.776338717
Xl.18960.1.A1_at	2.71093401
Xl.18962.1.A1_at	6.976807007
Xl.18964.1.A1_at	4.200689742
Xl.18965.1.A1_at	5.465998128
Xl.18966.1.S1_at	4.529589174
Xl.18967.1.A1_at	3.944916684
Xl.18969.1.A1_at	4.428178649
Xl.1897.1.A1_at	2.757625814
Xl.18970.1.A1_at	3.874275886
Xl.18971.1.S1_at	5.061264703
Xl.18972.1.A1_at	3.352272901
Xl.18973.1.A1_at	4.243327351
Xl.18974.1.S1_at	2.848519854
Xl.18975.1.A1_at	3.148316857
Xl.18977.1.A1_at	3.60844402
Xl.18978.1.A1_at	3.002467418
Xl.18979.1.A1_at	6.749512517
Xl.18980.1.A1_at	3.092876463
Xl.18983.1.S1_at	4.660214118
Xl.18984.1.A1_at	4.268927498
Xl.18987.1.A1_at	2.990475534
Xl.18987.1.A1_s_at	5.333448678
Xl.18991.1.S1_at	7.037309587
Xl.18991.2.A1_at	7.068628501
Xl.18992.1.A1_at	3.260382232
Xl.18993.1.A1_at	6.383117568
Xl.18993.2.A1_at	6.673073044
Xl.18995.1.A1_at	3.709294665
Xl.18996.1.A1_at	3.442052009
Xl.18997.1.A1_at	5.930278494
Xl.18998.1.A1_at	6.640619512
Xl.18999.1.A1_at	4.62850371
Xl.19.1.S1_at	5.057745806
Xl.190.1.S1_at	2.880830278
Xl.19000.2.A1_at	3.694518772
Xl.19001.1.A1_at	2.544193795
Xl.19003.1.S1_at	5.34605433
Xl.19003.1.S1_x_at	5.314912079
Xl.19005.1.A1_at	4.132773547
Xl.19008.1.S1_at	3.36316929
Xl.19009.1.S1_at	3.912081276
Xl.19010.1.S1_at	5.274725599
Xl.19011.1.A1_at	6.911079436
Xl.19013.1.S1_at	2.922479442
Xl.19014.1.S1_at	4.168170346
Xl.19015.1.A1_at	5.484146
Xl.19016.1.A1_at	2.821868772
Xl.19017.1.A1_at	2.604703879
Xl.19018.1.S1_at	7.316684991
Xl.19020.1.S1_at	5.492344902
Xl.19021.1.A1_at	2.5695039
Xl.19023.1.A1_at	3.53907958
Xl.19024.1.S1_at	7.473813064
Xl.19028.1.A1_at	3.331237934
Xl.19038.1.A1_at	3.961746808
Xl.19040.1.A1_at	4.358640507
Xl.19041.1.S1_at	2.391007288
Xl.19042.1.A1_at	4.828139877
Xl.19043.1.A1_at	4.177306969
Xl.19047.1.A1_at	8.469490817
Xl.19048.1.S1_at	8.209616806
Xl.1905.1.A1_at	3.675252902
Xl.19050.1.A1_at	2.67325425
Xl.19052.1.A1_at	5.789421709
Xl.19056.1.S1_at	3.390954407
Xl.19057.1.A1_at	2.978243533
Xl.19058.1.A1_at	4.402291588
Xl.19059.1.A1_at	5.07782524
Xl.1906.1.S1_at	3.263665128
Xl.19063.1.S1_at	5.0475792
Xl.19066.1.A1_at	6.08009879
Xl.19069.1.S1_at	5.572278443
Xl.1907.1.S1_at	4.992104794
Xl.19070.1.A1_at	2.590243562
Xl.19071.1.A1_at	6.388370503
Xl.19073.1.S1_at	7.744762256
Xl.19075.1.A1_at	3.697324693
Xl.19076.1.A1_at	2.53968115
Xl.19077.1.A1_at	2.736212491
Xl.19078.1.A1_at	3.430502461
Xl.19079.1.A1_at	3.51690276
Xl.1908.1.A1_at	3.002216587
Xl.19081.1.A1_at	3.201932117
Xl.19082.1.A1_at	2.675071566
Xl.19085.1.S1_at	3.11818608
Xl.19087.1.A1_at	4.541666758
Xl.19089.1.A1_s_at	2.494888474
Xl.1909.1.A1_at	4.589368548
Xl.19091.1.A1_at	6.065264605
Xl.19093.1.S1_at	3.797073673
Xl.19098.1.A1_at	4.704858779
Xl.191.1.S1_at	2.815237909
Xl.1910.1.A1_at	5.013965446
Xl.19100.1.A1_at	3.860303477
Xl.19101.1.S1_at	5.495397742
Xl.19102.1.S1_at	4.034986145
Xl.19103.1.A1_s_at	3.307425499
Xl.19108.1.S1_at	2.868798783
Xl.19111.1.A1_at	3.103219158
Xl.19112.1.A1_at	2.971521882
Xl.19113.1.A1_at	3.537538835
Xl.19114.1.A1_at	3.118138815
Xl.19115.1.S1_at	10.65789384
Xl.19118.1.A1_at	6.701253629
Xl.19119.1.S1_at	7.438920581
Xl.19122.1.S1_at	8.167744266
Xl.19124.1.S1_a_at	5.569148271
Xl.19124.1.S1_x_at	4.140166203
Xl.19125.1.A1_at	3.388023598
Xl.19126.1.S1_at	2.66214829
Xl.19130.1.A1_at	3.012895744
Xl.19132.1.S1_at	10.15030102
Xl.19133.1.A1_at	4.234092551
Xl.19136.1.S1_at	9.765045646
Xl.19139.1.S1_s_at	7.285525052
Xl.19139.2.S1_a_at	4.733793826
Xl.19140.1.S1_at	2.9721787
Xl.19141.1.S1_at	5.797623993
Xl.19141.1.S1_x_at	6.142265512
Xl.19142.1.A1_at	3.727583595
Xl.19143.1.S1_at	3.846907094
Xl.19143.2.A1_at	4.96920359
Xl.19145.1.A1_at	3.503055456
Xl.19146.3.A1_at	5.815455106
Xl.1915.1.A1_at	8.073632525
Xl.19151.1.A1_at	3.046219959
Xl.19152.1.S1_at	6.059131902
Xl.19153.1.A1_at	5.433734186
Xl.19153.2.S1_at	3.997489089
Xl.19154.1.A1_at	3.505829579
Xl.19158.1.S1_at	6.60997354
Xl.1916.1.A1_at	6.188394376
Xl.19162.1.A1_at	4.605850013
Xl.19163.1.S1_at	2.968533144
Xl.19164.1.S1_at	5.529807462
Xl.19165.1.A1_at	5.354984461
Xl.19166.1.A1_at	2.400486455
Xl.19168.1.A1_at	5.063087057
Xl.19169.1.A1_at	6.065625921
Xl.19170.1.A1_at	6.346465147
Xl.19171.1.A1_at	6.744533264
Xl.19172.1.A1_at	3.127698329
Xl.19173.1.A1_at	3.776980125
Xl.19174.1.A1_at	3.315713086
Xl.19177.1.S1_at	3.829801508
Xl.19178.1.S1_at	3.185337348
Xl.19179.1.S1_at	3.344985612
Xl.1918.1.S1_at	7.184830919
Xl.19180.1.S1_a_at	3.024398742
Xl.19180.3.A1_at	3.062295598
Xl.19181.1.S1_a_at	3.08579221
Xl.19181.3.S1_x_at	3.134234188
Xl.19181.4.S1_x_at	3.234771994
Xl.19181.5.S1_x_at	3.070920729
Xl.19181.6.A1_a_at	3.106629068
Xl.19181.6.S1_x_at	3.410382995
Xl.19182.1.S1_at	3.081474782
Xl.19183.1.S1_at	7.100725253
Xl.19184.1.S1_at	4.659462174
Xl.19185.1.S1_at	3.211042461
Xl.19186.1.S1_at	4.471356747
Xl.19188.1.S1_at	7.756281434
Xl.1919.1.A1_at	4.25445968
Xl.19192.1.S1_at	6.224135718
Xl.19198.1.S1_at	7.59224159
Xl.192.1.S1_at	2.702558258
Xl.19200.1.A1_at	3.904979657
Xl.19204.1.A1_at	6.023804404
Xl.19209.1.A1_at	4.291136544
Xl.19210.1.S1_at	5.976699813
Xl.19213.1.S1_at	5.199759715
Xl.19214.1.A1_at	3.888937922
Xl.19215.1.S1_at	8.708440842
Xl.19219.1.S1_at	5.863039266
Xl.1922.1.A1_at	6.761089032
Xl.19222.1.S1_at	8.141110469
Xl.19222.2.A1_at	8.834210503
Xl.19223.1.S1_at	5.596307346
Xl.19226.1.S1_at	4.582815315
Xl.19228.1.S1_at	4.794948014
Xl.19230.1.A1_at	3.027303462
Xl.19231.1.S1_at	4.757576237
Xl.19232.1.S1_at	6.001720369
Xl.19237.1.A1_at	4.332945153
Xl.1924.1.A1_at	2.685397463
Xl.19249.1.S1_at	2.80078596
Xl.1925.1.A1_at	2.996950251
Xl.19251.1.S1_at	4.634063821
Xl.19255.1.S1_at	4.908816223
Xl.19258.1.S1_at	4.239050831
Xl.1926.1.A1_at	4.875051723
Xl.19260.1.A1_at	6.126113238
Xl.19262.1.S1_at	3.137758596
Xl.19268.1.A1_at	4.294384281
Xl.1927.1.A1_at	5.98988585
Xl.1927.1.A1_x_at	5.953707022
Xl.19271.1.S1_at	3.705208589
Xl.19272.1.A1_at	4.243247293
Xl.19273.1.S1_at	7.198287385
Xl.19274.1.S1_at	3.010622281
Xl.19275.1.A1_at	4.432309963
Xl.19277.1.A1_at	4.885251627
Xl.19278.1.S1_at	7.091372933
Xl.19285.1.S1_at	7.005808062
Xl.19288.1.A1_at	3.792566629
Xl.19289.1.A1_at	3.28553043
Xl.1929.1.A1_at	2.825532325
Xl.19291.1.S1_at	4.7006911
Xl.19292.1.A1_at	4.155860822
Xl.19293.1.A1_at	7.355067764
Xl.19297.1.A1_at	2.556249661
Xl.193.1.S1_at	2.529965898
Xl.19308.1.S1_at	5.978871121
Xl.1931.1.A1_at	3.594681768
Xl.19310.1.S1_a_at	5.281325167
Xl.19310.1.S1_x_at	7.442503501
Xl.19315.1.S1_a_at	4.08288813
Xl.19315.1.S1_at	6.070087384
Xl.19316.1.A1_at	4.254943971
Xl.19318.1.A1_at	4.654162022
Xl.19322.1.S1_at	2.965481297
Xl.1933.1.A1_at	2.36904601
Xl.19331.1.S1_at	5.016867255
Xl.19333.1.A1_at	2.976414861
Xl.19334.1.A1_x_at	2.494580869
Xl.19336.1.A1_at	5.990626327
Xl.19337.1.S1_at	4.778344824
Xl.19339.1.A1_at	3.159284704
Xl.1934.1.A1_at	7.612566324
Xl.1934.2.S1_at	6.083004164
Xl.19340.1.S1_at	3.182157382
Xl.19340.1.S1_s_at	5.002082308
Xl.19342.1.S1_at	8.496336766
Xl.19343.1.S1_at	2.689285908
Xl.19343.1.S1_x_at	2.710095379
Xl.19345.1.A1_at	3.810884566
Xl.19348.1.A1_at	6.314410976
Xl.19350.1.A1_at	4.277618948
Xl.19352.1.S1_at	5.076964164
Xl.19355.1.A1_at	3.519366534
Xl.19357.1.A1_at	3.904745547
Xl.1936.1.A1_at	8.4633398
Xl.19364.1.S1_at	3.912258305
Xl.1937.1.A1_at	5.490025255
Xl.19377.1.A1_at	3.920253549
Xl.19378.1.S1_at	2.752677478
Xl.1938.1.A1_at	5.875036872
Xl.19381.1.A1_at	3.282892987
Xl.19381.2.S1_at	2.946774065
Xl.19382.1.S1_at	6.950788
Xl.19384.1.S1_at	2.793120767
Xl.19393.1.A1_at	3.608051044
Xl.19394.1.S1_at	6.438691614
Xl.19395.1.A1_at	4.110010916
Xl.19398.1.S1_at	5.749710086
Xl.19399.1.S1_at	4.592748944
Xl.194.1.S1_at	6.671607326
Xl.1940.1.S1_at	8.367445287
Xl.19403.1.A1_at	3.032637632
Xl.19407.1.S1_at	2.361551332
Xl.19412.1.A1_at	5.055239949
Xl.19414.1.A1_at	3.059125355
Xl.19416.1.S1_at	5.870476358
Xl.19417.1.A1_at	2.840155303
Xl.1942.1.A1_at	4.269485649
Xl.19420.1.S1_at	4.682671838
Xl.19421.1.A1_at	3.387321722
Xl.19422.1.A1_at	4.8641058
Xl.19423.1.A1_at	3.328642318
Xl.19425.1.A1_at	5.79856219
Xl.19428.1.A1_at	5.742575368
Xl.19432.1.A1_at	5.217664629
Xl.19433.1.A1_at	6.720576795
Xl.19434.1.S1_at	2.767911717
Xl.19436.1.S1_at	3.761834537
Xl.19437.1.A1_at	5.121831099
Xl.1944.1.S1_at	6.190010044
Xl.19445.1.S1_at	7.545834661
Xl.19447.1.S1_at	6.666403281
Xl.19449.1.S1_at	4.159106708
Xl.19452.1.A1_at	3.134140861
Xl.19453.1.S1_at	4.868496628
Xl.19458.1.S1_at	3.623619405
Xl.19459.1.S1_at	4.812034734
Xl.1946.1.A1_at	8.026669947
Xl.19467.1.S1_at	6.829112379
Xl.19468.1.A1_at	2.622746573
Xl.19469.1.A1_at	7.443188546
Xl.1947.1.A1_at	2.829793713
Xl.19474.1.A1_at	3.391709521
Xl.19475.1.A1_at	3.613544016
Xl.19478.1.S1_at	2.890302754
Xl.19481.1.S1_at	3.546769078
Xl.19482.1.A1_at	3.747735704
Xl.19487.1.A1_at	3.603959718
Xl.19489.1.S1_at	4.139138263
Xl.1949.1.A1_at	6.584929588
Xl.19491.1.A1_at	5.459325457
Xl.19494.1.A1_at	3.498206347
Xl.19495.1.S1_at	7.073836493
Xl.19497.1.A1_at	4.446325008
Xl.19498.1.A1_at	3.940213622
Xl.19499.1.S1_at	6.09021481
Xl.195.1.S1_at	2.508992352
Xl.1950.1.A1_at	2.841432132
Xl.19500.1.A1_at	3.790471644
Xl.19501.1.A1_at	6.240254664
Xl.19503.1.A1_at	5.804388669
Xl.19503.1.A1_s_at	8.054161493
Xl.19504.1.S1_at	4.157264334
Xl.19505.1.S1_at	6.686661401
Xl.19506.1.S1_s_at	3.040451244
Xl.19506.1.S1_x_at	2.871056405
Xl.19507.1.A1_at	3.65760129
Xl.19508.1.A1_at	3.700778889
Xl.1951.1.A1_at	3.335755806
Xl.19513.1.A1_at	3.968965404
Xl.19516.1.A1_at	2.970562782
Xl.19518.1.A1_at	8.291992024
Xl.19518.1.A1_x_at	8.593227405
Xl.19520.1.A1_at	3.041691387
Xl.19522.1.A1_at	3.112538748
Xl.19528.1.A1_at	6.560772414
Xl.19530.1.A1_at	3.902341458
Xl.19533.1.S1_at	5.870023089
Xl.19535.1.A1_at	3.898706159
Xl.19536.1.S1_at	8.087156357
Xl.19539.1.A1_at	6.888639575
Xl.1954.1.S1_at	7.910616336
Xl.19540.1.S1_at	6.844948416
Xl.19541.1.S1_x_at	6.678997086
Xl.19546.1.A1_at	4.103823389
Xl.19547.1.A1_at	3.128764097
Xl.19551.1.A1_at	5.828022977
Xl.19557.1.A1_at	4.017764069
Xl.19558.1.A1_at	2.492588716
Xl.1956.1.S1_at	6.593337623
Xl.19560.1.S1_at	6.909826192
Xl.19561.1.A1_at	4.724669328
Xl.19563.1.A1_at	3.52159411
Xl.19564.1.A1_at	4.372144529
Xl.19566.1.A1_at	5.352524764
Xl.19567.1.A1_at	5.921782406
Xl.19570.1.A1_at	4.498566345
Xl.19571.1.S1_at	6.967326221
Xl.19577.1.S1_at	5.597126596
Xl.19578.1.A1_at	2.693290883
Xl.19582.1.S1_at	5.871466536
Xl.19583.1.A1_at	5.148940626
Xl.19589.1.S1_at	6.592269803
Xl.19590.1.A1_at	3.183317754
Xl.19592.1.A1_at	3.055505812
Xl.19594.1.S1_at	5.755292835
Xl.196.1.S1_at	9.371849403
Xl.19601.1.A1_at	2.656032314
Xl.19606.1.A1_at	5.69795625
Xl.19607.1.A1_at	3.763604366
Xl.19610.1.A1_at	2.484805545
Xl.19617.1.A1_at	4.063432695
Xl.19620.1.A1_at	2.77179184
Xl.19623.1.A1_at	4.24593397
Xl.19625.1.S1_at	3.690270737
Xl.19633.1.A1_at	3.346002387
Xl.19637.1.A1_at	5.137106135
Xl.19638.1.S1_at	4.312273031
Xl.19639.1.S1_at	3.316303586
Xl.19641.1.A1_at	4.367307802
Xl.19643.1.S1_at	5.350466053
Xl.19645.1.A1_at	4.04311927
Xl.19645.3.S1_a_at	6.685489199
Xl.19646.1.A1_at	2.507432995
Xl.19647.1.A1_at	4.420599862
Xl.1965.1.S1_at	2.641464631
Xl.19650.1.S1_at	5.522023444
Xl.19651.1.S1_at	3.35711025
Xl.19652.1.A1_at	3.405504924
Xl.19656.1.S1_at	3.505324878
Xl.19658.1.A1_at	6.565143362
Xl.19662.1.A1_at	7.095927579
Xl.19667.1.A1_at	3.379619519
Xl.1967.1.S1_at	5.551134099
Xl.19671.1.S1_at	2.926504424
Xl.19672.1.A1_at	4.285305163
Xl.19673.1.A1_at	3.332272328
Xl.19675.1.A1_at	3.23036565
Xl.19679.1.A1_at	3.396666151
Xl.1968.1.A1_at	2.956695082
Xl.1968.1.A1_x_at	3.029931147
Xl.19680.1.A1_at	5.028239814
Xl.19683.1.S1_at	2.766752035
Xl.19685.1.A1_at	4.843019005
Xl.19688.1.A1_at	3.73326177
Xl.1969.1.A1_at	7.197911162
Xl.19690.1.A1_at	5.928345256
Xl.19693.1.S1_at	4.908416238
Xl.19695.1.A1_at	3.211253558
Xl.19696.1.S1_at	4.405482339
Xl.19697.1.S1_at	6.405932446
Xl.197.1.S1_s_at	3.314718426
Xl.1970.1.S1_at	3.233790105
Xl.19700.1.S1_at	3.365428455
Xl.19707.1.S1_at	7.359747709
Xl.1971.1.A1_x_at	2.59691713
Xl.19714.1.A1_at	3.768785325
Xl.19719.1.A1_at	3.772605971
Xl.1973.1.S1_at	6.836215258
Xl.19730.1.A1_at	3.600410458
Xl.19733.1.A1_at	2.955805005
Xl.19735.1.S1_at	3.38686116
Xl.1974.1.S1_at	6.077475426
Xl.19741.1.S1_at	4.578976108
Xl.19742.1.A1_at	3.511774728
Xl.19745.1.S1_at	3.46630717
Xl.19746.1.S1_at	3.884739905
Xl.1975.1.A1_at	2.963255257
Xl.19750.1.A1_at	2.708724781
Xl.19751.1.A1_at	7.837026435
Xl.19754.1.A1_at	3.713007346
Xl.19757.1.S1_at	4.562783385
Xl.19757.2.A1_at	8.784984055
Xl.19757.2.A1_x_at	7.989462956
Xl.19769.1.S1_at	3.624264583
Xl.19770.1.S1_at	3.374482897
Xl.19770.2.S1_a_at	4.856029706
Xl.19774.1.A1_at	3.239212543
Xl.19775.1.A1_at	3.360914894
Xl.19776.1.S1_at	4.099086868
Xl.19777.1.S1_at	3.916509486
Xl.19778.1.A1_at	3.320311081
Xl.1978.1.A1_at	2.569867891
Xl.19781.1.A1_at	5.07796105
Xl.19782.1.A1_at	5.656123986
Xl.19782.1.A1_s_at	7.105495263
Xl.19786.1.A1_at	2.986666762
Xl.1979.1.A1_at	2.708387577
Xl.19790.1.S1_at	4.546971086
Xl.19797.1.A1_at	3.082204583
Xl.198.1.S1_at	2.907145402
Xl.1980.1.A1_at	6.497308547
Xl.19804.1.A1_at	2.801941799
Xl.19808.1.A1_at	8.080836665
Xl.19810.1.A1_at	2.975824091
Xl.19811.1.A1_at	5.782092067
Xl.19813.1.A1_at	6.268513595
Xl.19816.1.A1_at	2.96068991
Xl.19818.1.A1_at	3.415243776
Xl.1982.1.S1_at	3.778401841
Xl.19820.1.A1_at	3.226509417
Xl.19823.1.A1_at	7.150555853
Xl.19826.1.A1_at	4.336248388
Xl.19834.1.A1_at	3.026608841
Xl.19838.1.S1_at	3.942548882
Xl.1984.1.A1_at	2.558002366
Xl.19840.1.A1_at	6.287554751
Xl.19842.2.A1_at	2.892592973
Xl.19843.2.A1_at	3.600848101
Xl.19849.1.A1_at	4.216840909
Xl.19851.1.S1_at	3.231639804
Xl.19852.1.S1_a_at	7.528489523
Xl.19860.1.S1_at	3.313158033
Xl.19864.1.A1_at	3.261655378
Xl.19865.1.A1_at	4.153093271
Xl.19867.1.A1_at	3.715498324
Xl.1987.1.A1_at	7.408323864
Xl.19871.1.A1_at	3.55034475
Xl.19875.1.A1_at	3.301094096
Xl.19876.1.S1_at	2.82553447
Xl.19878.1.S1_at	6.769786749
Xl.19880.1.A1_at	2.559264599
Xl.19889.1.A1_at	4.402498043
Xl.19892.1.A1_at	3.189698551
Xl.19894.1.A1_at	6.337838489
Xl.19895.1.A1_at	4.229698119
Xl.19897.1.A1_at	3.991554369
Xl.19899.1.A1_at	3.927413781
Xl.199.1.S1_at	5.227308479
Xl.199.1.S1_s_at	2.736815973
Xl.19900.1.A1_at	3.637245208
Xl.19906.1.A1_at	2.57879015
Xl.19908.1.A1_at	3.517262827
Xl.1991.1.S1_at	4.429697502
Xl.19911.1.A1_at	2.839058594
Xl.19914.1.A1_at	3.030870654
Xl.19915.1.S1_at	7.171385815
Xl.19919.1.A1_at	3.163278255
Xl.1992.1.A1_at	5.767732921
Xl.19922.1.S1_at	4.47689422
Xl.19932.1.A1_at	3.631223953
Xl.19933.1.S1_at	3.491029325
Xl.19933.2.A1_at	3.296518563
Xl.1994.1.A1_at	2.741070922
Xl.19940.1.S1_at	6.249665108
Xl.19941.1.S1_at	5.179582273
Xl.19943.1.A1_at	4.103833068
Xl.1995.1.A1_at	2.28677797
Xl.1995.1.A1_x_at	2.75026331
Xl.19951.1.S1_at	6.023287313
Xl.19957.1.S1_at	2.60537091
Xl.19961.1.S1_at	6.471017068
Xl.19963.1.A1_at	5.768105895
Xl.19966.1.A1_at	3.581517922
Xl.19967.1.S1_at	4.59945447
Xl.19968.1.S1_at	3.395610312
Xl.19970.1.S1_at	4.089249619
Xl.19971.1.S1_at	6.513575708
Xl.19972.1.S1_at	3.910654151
Xl.19972.2.S1_a_at	3.174505258
Xl.19972.2.S1_at	3.606970036
Xl.19973.1.A1_at	4.14123404
Xl.19975.1.S1_at	6.077073745
Xl.19978.1.S1_at	3.351960664
Xl.19979.1.S1_at	3.201563946
Xl.19979.1.S2_at	3.173534602
Xl.19980.1.A1_at	3.058918155
Xl.19980.1.S1_at	3.139394418
Xl.19981.1.S1_at	3.113988278
Xl.19982.1.S1_at	6.565357261
Xl.19983.1.S1_at	3.35183932
Xl.19984.1.S1_at	5.918079633
Xl.19985.1.S1_at	4.112986599
Xl.19985.1.S1_s_at	6.477239882
Xl.19986.1.S1_at	6.980456844
Xl.19986.1.S1_x_at	7.131760528
Xl.19991.1.S1_at	2.944822889
Xl.19992.1.S1_at	2.593544348
Xl.19993.1.A1_at	2.741136839
Xl.19993.1.S1_at	2.649140644
Xl.19994.1.S1_at	3.109068229
Xl.19995.1.A1_at	3.088451178
Xl.19995.1.S1_at	4.626507008
Xl.19997.1.S1_at	3.151883115
Xl.19998.1.S1_at	3.273164738
Xl.19999.1.A1_at	4.055600403
Xl.19999.1.S1_at	2.717083566
Xl.2.1.S1_at	9.702827633
Xl.200.1.S1_at	8.114880301
Xl.2000.1.A1_at	3.313248048
Xl.20001.1.S1_at	2.866468471
Xl.20002.1.S1_at	3.401613061
Xl.20003.1.S1_at	8.727551261
Xl.2001.1.S1_at	6.992560814
Xl.20011.1.S1_at	5.747429499
Xl.20011.2.A1_at	3.546250948
Xl.20011.2.S1_a_at	6.231289078
Xl.20020.1.S1_at	5.403013518
Xl.20022.1.S1_at	11.77422942
Xl.20023.1.S1_at	4.248361784
Xl.20025.1.S1_at	7.314414965
Xl.20027.1.S1_at	3.161716852
Xl.20029.1.S1_at	4.698002247
Xl.20029.2.S1_a_at	4.988668954
Xl.20033.1.S1_at	3.021233959
Xl.20043.1.S1_at	6.362301455
Xl.20044.1.S1_at	5.967026992
Xl.20047.1.S1_at	5.168245537
Xl.20048.1.S1_at	3.177653154
Xl.20048.2.A1_at	2.661063903
Xl.20051.1.A1_at	2.534796758
Xl.20052.1.A1_at	3.212389077
Xl.20053.1.A1_at	6.97961273
Xl.20055.1.A1_at	3.820659543
Xl.20056.1.S1_a_at	4.365056977
Xl.20056.1.S1_at	5.194552461
Xl.20058.1.S1_at	7.546451126
Xl.20064.1.S1_at	4.711473898
Xl.20066.1.A1_at	3.151992898
Xl.20070.1.S1_at	7.167855652
Xl.20070.1.S1_s_at	6.727682494
Xl.20073.1.A1_at	3.118308473
Xl.20073.1.A1_x_at	3.196883903
Xl.20074.1.S1_at	3.165799275
Xl.20076.1.S1_at	6.405992573
Xl.2008.1.S1_at	10.89497705
Xl.20081.1.S1_a_at	7.342217518
Xl.20083.1.A1_at	7.543092506
Xl.20084.1.S1_at	5.29841088
Xl.20089.1.S1_at	3.835906119
Xl.20092.1.A1_at	3.060466431
Xl.20094.1.S1_at	7.243720303
Xl.20094.2.A1_at	8.586805598
Xl.20099.1.S1_at	3.198028206
Xl.201.1.S1_at	4.521428234
Xl.20102.1.S1_at	3.167447796
Xl.20105.1.S1_at	5.053149038
Xl.20107.1.S1_at	5.394240488
Xl.2011.1.A1_at	4.552435622
Xl.20112.1.A1_at	2.558012885
Xl.20118.1.A1_at	2.825896077
Xl.20137.1.A1_at	5.619891544
Xl.20140.1.A1_at	2.914766222
Xl.20142.1.A1_at	3.154599983
Xl.20147.1.S1_at	7.034146022
Xl.20147.3.S1_at	7.598140534
Xl.20150.1.A1_at	3.708785171
Xl.2016.1.A1_at	3.236488753
Xl.20167.1.A1_at	5.329370246
Xl.20169.1.A1_at	2.575169995
Xl.2017.1.A1_at	3.252735612
Xl.20171.1.S1_at	6.62445292
Xl.20175.1.A1_at	3.175276174
Xl.20188.1.A1_at	3.603136565
Xl.2019.1.A1_at	3.177339029
Xl.20191.1.A1_x_at	4.529458395
Xl.20195.1.A1_at	6.398132934
Xl.20198.1.A1_at	4.335430365
Xl.202.1.S1_at	6.073121888
Xl.2020.1.A1_at	7.973853832
Xl.20204.1.A1_at	5.431078653
Xl.20204.1.A1_x_at	5.698400071
Xl.20205.1.A1_at	6.924928193
Xl.20206.1.S1_at	8.594163621
Xl.2021.2.A1_at	2.617031361
Xl.2022.1.A1_at	2.800331666
Xl.2026.1.A1_at	5.938444225
Xl.20270.1.S1_at	4.765035484
Xl.2029.1.A1_at	6.848850496
Xl.203.1.S1_at	4.131577671
Xl.2030.1.A1_at	3.009293073
Xl.20302.1.S1_at	4.775586463
Xl.2033.2.S1_a_at	3.218657937
Xl.2033.2.S1_at	3.678506283
Xl.20330.1.S1_at	4.926370825
Xl.2034.1.A1_at	5.643887331
Xl.2036.1.A1_at	2.37285845
Xl.2037.1.A1_at	5.02727588
Xl.20394.1.S1_at	5.212002903
Xl.20395.1.S1_at	2.950664007
Xl.204.1.S1_at	3.741356156
Xl.2042.1.A1_at	2.738483401
Xl.20447.1.S1_at	2.867878492
Xl.20449.1.S1_at	3.857889318
Xl.2045.1.A1_at	4.67518375
Xl.2046.1.A1_at	3.656421046
Xl.2047.1.A1_at	4.197962605
Xl.20475.1.S1_at	3.416849682
Xl.20476.1.S1_at	3.751966553
Xl.20477.1.S1_at	6.310453545
Xl.2048.1.A1_at	4.738872903
Xl.20482.1.S1_at	4.960029459
Xl.20484.1.A1_at	5.208207395
Xl.20485.1.S1_at	8.73317763
Xl.20487.1.A1_at	5.731350178
Xl.20488.1.S1_at	4.422841883
Xl.20493.1.S1_at	3.578247396
Xl.20494.1.S1_at	4.955439154
Xl.20496.1.A1_at	2.467724956
Xl.20496.2.S1_at	3.136445306
Xl.205.1.A1_at	3.093249894
Xl.205.1.S1_at	3.447666898
Xl.2050.1.S1_at	8.977083065
Xl.20508.1.S1_at	4.893002743
Xl.2051.1.A1_at	4.750046907
Xl.20510.1.S1_at	6.379131307
Xl.20516.1.S1_at	4.198320286
Xl.20517.1.S1_at	8.629456234
Xl.20520.1.S1_at	5.877823777
Xl.20522.1.S1_at	4.748698279
Xl.20523.1.A1_at	6.824878339
Xl.2053.1.S1_a_at	6.016869999
Xl.2053.1.S1_at	5.704873736
Xl.20530.1.S1_at	3.099651727
Xl.20536.1.S1_at	2.796190727
Xl.20537.1.S1_at	7.970995379
Xl.20538.1.S1_at	5.574900892
Xl.20540.1.S1_at	5.847384111
Xl.20544.1.S1_at	4.071620327
Xl.20548.1.A1_at	3.03222315
Xl.2055.1.A1_at	5.284198018
Xl.2055.2.S1_at	6.823737181
Xl.20551.1.S1_at	6.221552376
Xl.20555.1.S1_at	9.268972592
Xl.20555.2.S1_at	7.696779726
Xl.20556.1.A1_at	3.859684185
Xl.20557.1.A1_at	4.181169377
Xl.20560.1.A1_at	2.647397458
Xl.20564.1.A1_at	2.487150233
Xl.2057.1.S1_at	5.091686715
Xl.2057.2.S1_a_at	8.281521366
Xl.20572.1.S1_at	4.621585334
Xl.20576.1.S1_at	2.79843113
Xl.20577.1.A1_at	2.90777565
Xl.20578.1.S1_at	5.959560625
Xl.20579.1.A1_at	3.720894182
Xl.2058.1.A1_at	4.648572905
Xl.20589.1.S1_at	3.662557316
Xl.20591.1.S1_at	2.675759307
Xl.20594.1.S1_at	2.532930407
Xl.20595.1.A1_at	3.170136873
Xl.20597.1.A1_at	4.006739483
Xl.206.1.S1_at	4.895646051
Xl.2060.1.A1_x_at	3.495889273
Xl.20603.1.S1_at	3.918200712
Xl.20608.1.A1_at	4.177178124
Xl.20609.1.A1_at	2.79672374
Xl.2061.1.A1_at	3.28549648
Xl.20614.1.S1_a_at	3.076129388
Xl.20614.1.S1_at	3.196948198
Xl.20614.1.S1_x_at	3.745480044
Xl.20616.1.A1_at	3.431956792
Xl.20619.1.S1_at	6.154278953
Xl.2062.1.A1_s_at	2.585040723
Xl.2063.1.A1_at	4.517251051
Xl.20630.1.S1_at	4.952022458
Xl.20631.1.A1_at	3.351438403
Xl.20632.1.A1_at	4.484592441
Xl.20637.1.S1_at	6.945037718
Xl.20638.1.A1_at	3.100184326
Xl.20639.1.A1_at	2.848247757
Xl.20640.1.A1_at	3.562650227
Xl.20643.1.A1_at	4.304958496
Xl.20645.1.A1_at	2.97180115
Xl.20646.1.A1_at	6.592711125
Xl.20649.1.A1_at	4.263237931
Xl.20658.1.A1_at	3.062290884
Xl.20670.1.S1_at	4.146999967
Xl.20671.1.A1_at	3.11587282
Xl.2068.1.S1_a_at	6.016749662
Xl.20680.1.A1_at	5.743418663
Xl.20682.1.A1_at	2.928692473
Xl.20683.1.A1_at	4.705500273
Xl.20684.1.A1_at	2.887129536
Xl.20688.1.S1_at	3.919882916
Xl.2069.1.S1_at	6.488064281
Xl.207.1.S1_at	3.273117709
Xl.2070.1.A1_at	7.204842822
Xl.2071.1.A1_at	5.71767283
Xl.20711.1.S1_at	2.55750174
Xl.20711.1.S2_at	2.713837163
Xl.20712.1.A1_at	3.439383176
Xl.20720.1.S1_at	4.758278995
Xl.20737.1.S1_at	6.09330154
Xl.20739.1.S1_at	4.854701061
Xl.2074.1.A1_at	5.349430547
Xl.20742.1.S1_at	9.388703085
Xl.20749.1.A1_at	3.045388267
Xl.20749.1.S1_at	3.757220095
Xl.20754.1.A1_at	5.714210932
Xl.20760.1.S1_at	7.017723795
Xl.20763.1.S1_at	4.227684038
Xl.20765.1.A1_at	7.343711114
Xl.20767.1.A1_at	5.986999273
Xl.2077.1.A1_at	6.123056838
Xl.20772.1.A1_at	9.254458073
Xl.20777.1.A1_at	8.716086784
Xl.20777.2.A1_at	9.410696101
Xl.2078.1.A1_at	2.830004564
Xl.20787.1.S1_at	6.66640419
Xl.2079.1.A1_at	4.773096741
Xl.20790.1.S1_at	8.636543079
Xl.20791.1.S1_at	10.64918264
Xl.20793.1.S1_s_at	10.05374243
Xl.20798.1.S1_at	7.729517917
Xl.208.1.S1_at	8.880344645
Xl.20805.1.S1_at	9.302986645
Xl.20805.1.S2_at	9.780890554
Xl.20806.1.S1_at	10.44836972
Xl.20806.1.S2_at	4.988888359
Xl.2082.1.A1_at	6.187386016
Xl.2083.1.A1_at	7.530212552
Xl.2084.2.A1_at	3.078480358
Xl.2085.1.A1_at	5.905903355
Xl.2087.1.A1_at	3.666087346
Xl.2088.1.A1_x_at	2.711764949
Xl.209.1.S1_at	5.646335055
Xl.2090.1.S1_at	8.234340136
Xl.20900.1.S1_at	10.56341937
Xl.20900.2.S1_at	9.47643549
Xl.20901.1.A1_at	6.432157762
Xl.20904.1.S1_at	9.160044862
Xl.20908.1.S1_at	6.096674472
Xl.2091.1.A1_at	6.124403396
Xl.2091.1.A1_x_at	6.138161139
Xl.2091.2.A1_a_at	7.102410287
Xl.2091.2.A1_at	5.929498154
Xl.20918.1.S1_at	2.581504427
Xl.20919.1.S1_at	3.948623988
Xl.20920.1.S1_at	3.641044949
Xl.2093.1.A1_at	3.392309804
Xl.20950.1.S2_at	6.639935041
Xl.20950.2.A1_at	2.719771864
Xl.20951.1.S1_at	3.191260926
Xl.2096.1.A1_at	3.235864783
Xl.20979.1.A1_at	7.657251014
Xl.2098.1.A1_at	3.305167611
Xl.20983.1.A1_at	3.6388793
Xl.20985.1.A1_at	9.512226644
Xl.20991.1.A1_at	3.303113898
Xl.20993.1.A1_at	3.776778179
Xl.20998.1.A1_at	4.19767588
Xl.20998.1.A1_x_at	4.863959636
Xl.21010.1.S1_at	5.37597714
Xl.21011.1.S1_at	3.228356605
Xl.21012.1.S1_at	3.317523956
Xl.21013.1.S1_at	2.809310582
Xl.21014.1.S1_at	3.354132594
Xl.2102.1.A1_at	5.969202154
Xl.21029.1.S1_at	3.958052339
Xl.2103.1.A1_at	5.142949374
Xl.21031.1.S1_at	5.125055299
Xl.21032.1.S1_at	3.585808928
Xl.21033.1.S1_at	3.293417946
Xl.21034.1.S1_at	3.021151484
Xl.21035.1.S1_at	3.131806129
Xl.2104.1.A1_at	5.343971985
Xl.21042.1.S1_at	7.652157548
Xl.21047.1.S1_s_at	7.744074672
Xl.21058.1.A1_x_at	5.251420565
Xl.21061.1.A1_at	3.433056642
Xl.21062.1.S1_at	2.771210672
Xl.21063.2.S1_a_at	9.44702766
Xl.21064.1.S1_s_at	5.531796009
Xl.2107.1.A1_at	4.870507773
Xl.21072.1.S1_at	4.115973638
Xl.21074.1.S1_at	6.770523305
Xl.21075.1.S1_at	5.007441113
Xl.21076.1.S1_at	8.680854763
Xl.21077.1.S1_at	4.011314995
Xl.21079.1.S1_at	5.278517822
Xl.21080.1.A1_at	2.970553704
Xl.21083.1.S1_at	7.747004016
Xl.21085.1.S1_at	8.743122576
Xl.21086.1.S1_at	4.933659226
Xl.21087.1.S1_at	3.111357553
Xl.21088.1.S1_at	2.619858666
Xl.21090.1.S1_at	4.78813461
Xl.21098.1.S1_at	3.221267589
Xl.211.1.S1_at	4.885695124
Xl.21101.1.S1_at	5.934135963
Xl.21109.1.S1_at	3.64449661
Xl.21110.1.S1_at	2.553012127
Xl.21111.1.S1_at	6.0183379
Xl.21118.1.S1_at	2.672923635
Xl.2112.1.A1_at	3.353861482
Xl.21121.1.S1_at	3.316450026
Xl.21128.1.S1_at	5.156867443
Xl.21129.1.S1_at	4.408480368
Xl.21131.1.S1_at	3.243842963
Xl.21134.1.S1_at	3.213191637
Xl.21136.1.S1_at	4.334918798
Xl.21139.1.S1_at	3.537376883
Xl.21139.2.S1_at	3.032899056
Xl.21149.1.S1_at	3.666942911
Xl.21150.1.S1_at	4.10161305
Xl.21154.1.S1_at	6.669302274
Xl.21158.1.S1_at	3.934347094
Xl.21161.1.S1_at	2.962648019
Xl.21169.1.A1_at	6.013795714
Xl.2118.1.A1_at	4.722787015
Xl.21191.1.S1_at	4.293881048
Xl.21194.1.S1_at	3.147102454
Xl.21195.1.A1_at	5.52000781
Xl.212.2.S1_a_at	6.189641946
Xl.21214.1.S1_at	4.598049481
Xl.21223.1.S1_at	4.184254002
Xl.21227.1.S1_at	3.695344811
Xl.21229.1.A1_at	4.150523219
Xl.21239.1.A1_at	7.941750532
Xl.21245.1.S1_at	4.36409401
Xl.21246.1.S1_at	2.882987935
Xl.2125.1.S1_at	7.233646715
Xl.21256.1.S1_at	6.124738362
Xl.21260.1.S1_at	6.970932035
Xl.21261.1.S1_at	4.925918866
Xl.21262.1.S1_at	7.290505702
Xl.21268.1.S1_at	6.920590597
Xl.2127.1.A1_at	3.408584999
Xl.21270.1.S1_at	2.564562648
Xl.21271.1.S1_at	3.729354966
Xl.21281.1.S1_at	8.272178374
Xl.21282.1.S1_at	3.746549224
Xl.21286.1.S1_at	6.209790249
Xl.2129.1.S1_at	6.264053948
Xl.21291.1.S1_at	3.795428362
Xl.213.1.S1_at	3.444864863
Xl.2130.1.A1_at	7.210960222
Xl.21303.1.A1_at	6.325807003
Xl.21304.1.S1_at	6.132531913
Xl.21308.1.S1_at	4.910301293
Xl.21310.1.S1_at	4.938874768
Xl.21311.2.S1_at	2.346494719
Xl.21313.1.S1_at	5.299472092
Xl.21317.1.S1_at	5.590818521
Xl.21319.1.A1_at	5.726619291
Xl.21321.1.A1_at	5.734153423
Xl.21322.1.A1_at	5.0644532
Xl.21327.1.A1_at	6.101953294
Xl.21330.1.A1_at	7.193417578
Xl.21334.2.A1_at	3.553625964
Xl.21337.1.S1_at	3.822271426
Xl.21340.1.S1_at	3.0742986
Xl.21343.1.S1_at	6.477770689
Xl.21344.1.S1_at	9.709755179
Xl.21346.1.A1_at	3.100129433
Xl.21347.1.S1_at	5.221182158
Xl.2135.1.A1_at	2.738404368
Xl.21353.1.S1_at	7.916421171
Xl.21356.1.A1_x_at	7.236564819
Xl.21357.1.S1_a_at	9.300597532
Xl.21357.1.S1_at	8.837471388
Xl.21357.2.S1_at	8.133207183
Xl.21359.1.S1_at	6.789990861
Xl.21362.1.S1_at	5.316263522
Xl.21377.1.S1_a_at	12.09543619
Xl.21378.1.A1_a_at	7.934626598
Xl.21378.1.A1_at	6.812665371
Xl.21378.2.A1_at	6.899542798
Xl.2138.1.A1_at	2.391532473
Xl.21383.1.S1_at	3.050515262
Xl.21384.1.S1_at	3.770654477
Xl.21391.1.A1_at	3.376677461
Xl.214.1.S1_at	8.282147293
Xl.21402.1.A1_at	6.981416972
Xl.21404.1.A1_at	9.557155319
Xl.21405.1.S1_at	6.269008029
Xl.21408.1.S1_at	10.2931963
Xl.2141.1.S1_at	10.93678257
Xl.21410.1.A1_at	6.791018051
Xl.21410.1.S1_at	4.277701334
Xl.21410.2.S1_a_at	10.61072229
Xl.21410.2.S1_at	10.70873858
Xl.21411.1.A1_at	4.834015131
Xl.21413.1.S1_at	7.28593751
Xl.21414.1.A1_at	6.94105542
Xl.21416.1.S1_at	4.608549334
Xl.21417.1.S1_at	6.588380955
Xl.21419.1.S1_at	7.452866427
Xl.21419.2.A1_at	7.077173987
Xl.2142.1.S1_x_at	4.172135617
Xl.2142.2.S1_a_at	4.6603112
Xl.2142.2.S1_x_at	4.590205493
Xl.21420.1.A1_at	2.890384728
Xl.21422.1.S1_at	7.737120996
Xl.21423.1.S1_at	7.901067232
Xl.21425.1.A1_at	7.071827201
Xl.21426.1.S1_at	11.08382281
Xl.21429.1.S1_at	3.340062041
Xl.2143.1.S1_at	7.080961944
Xl.21430.1.A1_at	4.781877025
Xl.21430.1.S1_at	5.332748739
Xl.21431.1.S1_at	3.43215894
Xl.21432.1.A1_at	2.895361238
Xl.21432.1.S1_at	2.839360175
Xl.21433.1.S1_at	2.726106462
Xl.21435.1.A1_a_at	2.971555403
Xl.21435.1.S1_a_at	2.644226261
Xl.21435.3.S1_x_at	2.638660278
Xl.21436.1.A1_at	3.860168161
Xl.21436.1.S1_at	4.279098593
Xl.21437.1.S1_at	4.444443358
Xl.21439.1.S1_at	4.572959864
Xl.2144.1.S1_at	9.557707982
Xl.2144.1.S1_s_at	10.57116657
Xl.2144.1.S2_at	6.238756617
Xl.21440.1.A1_at	3.311026261
Xl.21440.1.S1_at	3.276883717
Xl.21441.1.S1_at	3.02993486
Xl.21442.1.A1_at	3.408473189
Xl.21442.1.S1_at	2.754198759
Xl.21443.1.S1_at	6.011635763
Xl.21443.2.S1_a_at	5.446564339
Xl.21443.2.S1_at	2.539891455
Xl.21444.1.A1_at	2.992145117
Xl.21444.1.S1_at	2.897143071
Xl.21445.1.A1_at	3.989930894
Xl.21445.1.S1_at	4.058564201
Xl.21446.1.A1_at	3.606458668
Xl.21446.1.S1_at	6.576623228
Xl.21447.1.S1_at	7.820565011
Xl.21448.1.S1_at	2.95907805
Xl.21449.1.A1_at	3.33313692
Xl.21449.1.S1_s_at	3.093810796
Xl.2145.1.A1_at	2.881643842
Xl.21450.1.A1_at	3.235358055
Xl.21450.1.S1_at	3.979427871
Xl.21451.1.A1_x_at	3.44402776
Xl.21452.1.A1_at	3.220314629
Xl.21452.1.S1_at	2.681467538
Xl.21453.1.A1_at	3.040866791
Xl.21453.1.S1_at	3.605928538
Xl.21454.1.A1_at	2.788932572
Xl.21454.1.S1_at	2.658989544
Xl.21455.1.A1_at	3.379771393
Xl.21455.1.S1_at	3.346303338
Xl.21456.1.A1_at	2.465048205
Xl.21456.1.S1_at	2.85244571
Xl.21457.1.A1_at	3.058419176
Xl.21457.1.S1_at	3.33881382
Xl.21458.1.A1_at	2.876346272
Xl.21458.1.A1_x_at	3.821088503
Xl.21458.1.S1_at	2.908403124
Xl.21458.1.S1_x_at	3.280329934
Xl.21458.2.A1_x_at	3.434577207
Xl.21458.2.S1_x_at	3.129483982
Xl.21459.1.S1_at	3.687399345
Xl.21460.1.A1_at	3.246391954
Xl.21460.1.S1_at	3.558239081
Xl.21461.1.A1_at	3.227203141
Xl.21461.1.S1_s_at	3.417992753
Xl.21462.1.A1_at	2.770532412
Xl.21462.1.S1_at	2.729135629
Xl.21464.1.A1_at	4.077000184
Xl.21464.1.S1_at	2.947585185
Xl.21465.1.A1_at	2.905563296
Xl.21465.1.S1_at	3.015239868
Xl.21466.1.S1_at	3.00454727
Xl.21467.1.A1_at	3.614858782
Xl.21467.1.S1_at	2.771322637
Xl.21468.1.S1_at	2.84272932
Xl.21470.1.A1_at	3.417008036
Xl.21470.1.S1_at	3.078981554
Xl.21471.1.A1_at	3.378290982
Xl.21471.1.S1_at	3.179152673
Xl.21472.1.A1_at	4.391189895
Xl.21472.1.S1_at	3.156785274
Xl.21473.1.A1_at	2.996148539
Xl.21473.1.S1_at	3.095844587
Xl.21474.1.A1_at	3.534364658
Xl.21474.1.S1_at	3.573043702
Xl.21475.1.A1_at	3.610506122
Xl.21475.1.S1_at	3.160551372
Xl.21477.1.A1_at	2.941177771
Xl.21477.1.S1_at	3.043033339
Xl.21478.1.A1_at	3.18769053
Xl.21478.1.S1_at	3.063376876
Xl.21479.1.S1_at	2.874688645
Xl.2148.1.A1_at	4.115956154
Xl.21481.1.A1_at	3.617232816
Xl.21481.1.S1_at	2.501558496
Xl.21482.1.A1_x_at	2.54817833
Xl.21483.1.S1_x_at	3.441779972
Xl.21484.1.S1_x_at	3.324594634
Xl.21485.1.A1_at	3.198294159
Xl.21485.1.S1_at	2.539151102
Xl.21486.1.A1_x_at	4.663995172
Xl.21487.1.A1_at	2.68991787
Xl.21487.1.A1_x_at	2.788500237
Xl.21487.1.S1_x_at	3.814161579
Xl.21488.1.A1_at	3.700522842
Xl.21488.1.S1_x_at	2.443900294
Xl.2149.1.A1_at	2.368110035
Xl.21490.1.A1_x_at	4.362788467
Xl.21493.1.S1_at	3.497341981
Xl.21495.1.A1_at	3.154489488
Xl.21495.1.S1_at	3.599671914
Xl.21496.1.A1_at	2.59969205
Xl.21496.1.S1_at	3.26078272
Xl.21497.1.A1_at	3.500492967
Xl.21497.1.S1_at	3.201654755
Xl.21498.1.A1_at	3.402464998
Xl.21498.1.S1_at	4.129792326
Xl.21499.1.A1_s_at	3.10265193
Xl.21499.1.S1_s_at	2.846432005
Xl.215.1.S1_at	3.865424319
Xl.21500.1.A1_at	3.244844671
Xl.21500.1.S1_at	2.740744683
Xl.21501.1.A1_at	3.430343676
Xl.21501.1.S1_at	4.863769268
Xl.21502.1.A1_at	3.230717227
Xl.21502.1.S1_at	2.896089912
Xl.21504.1.S1_at	3.514028627
Xl.21505.1.A1_at	3.942295626
Xl.21505.1.S1_at	2.988913945
Xl.21506.1.A1_at	3.721890948
Xl.21506.1.S1_at	2.998551638
Xl.21507.1.A1_at	3.25251153
Xl.21507.1.S1_at	2.759078313
Xl.21508.1.A1_at	3.120165704
Xl.21508.1.S1_at	2.494168981
Xl.21509.1.A1_at	4.251402286
Xl.21509.1.S1_at	4.421481534
Xl.2151.1.S1_at	3.868809491
Xl.21510.1.A1_at	3.126656461
Xl.21510.1.S1_at	2.747457304
Xl.21511.1.A1_at	3.614433951
Xl.21511.1.S1_at	3.21250422
Xl.21512.1.S1_at	2.867828423
Xl.21513.1.A1_at	3.255807255
Xl.21513.1.S1_at	2.588691488
Xl.21514.1.A1_at	3.524149946
Xl.21514.1.S1_at	3.041491137
Xl.21515.1.A1_at	3.128901254
Xl.21515.1.S1_at	6.807780987
Xl.21516.1.A1_at	3.297056684
Xl.21516.1.S1_at	2.614240083
Xl.21518.1.A1_at	3.276595181
Xl.21518.1.S1_at	2.767496151
Xl.21519.1.A1_at	4.195382041
Xl.21519.1.S1_at	4.063027921
Xl.21520.1.A1_x_at	3.482767418
Xl.21521.1.A1_at	3.671820866
Xl.21521.1.S1_at	3.085968962
Xl.21521.1.S1_s_at	3.302640908
Xl.21522.1.A1_at	3.975517927
Xl.21522.1.S1_at	3.771684323
Xl.21523.1.A1_at	4.127601918
Xl.21523.1.A1_s_at	3.474782892
Xl.21523.1.S1_at	2.639617774
Xl.21524.1.A1_at	4.584051273
Xl.21524.1.S1_s_at	3.348624919
Xl.21525.1.A1_at	2.886877434
Xl.21525.1.S1_at	4.220647307
Xl.21526.1.A1_at	4.275985012
Xl.21526.1.S1_at	3.484607248
Xl.21527.1.A1_at	3.024548327
Xl.21527.1.S1_at	3.167231315
Xl.21528.1.A1_at	2.783562521
Xl.21528.1.S1_at	3.323520259
Xl.21529.1.A1_at	2.921973354
Xl.21529.1.S1_at	3.259937432
Xl.21530.1.S1_s_at	4.057683722
Xl.21531.1.S1_at	3.625523676
Xl.21532.1.A1_at	3.19992735
Xl.21532.1.S1_at	3.073549024
Xl.21534.1.S1_at	5.087752717
Xl.21535.1.A1_at	3.041431846
Xl.21535.1.S1_s_at	3.956320044
Xl.21536.1.S1_at	4.009869572
Xl.21537.1.A1_at	3.032322472
Xl.21537.1.S1_at	3.618628835
Xl.21538.1.A1_at	2.731179406
Xl.21538.1.S1_at	2.524355106
Xl.21539.1.A1_at	3.503579929
Xl.21539.1.S1_at	2.973197239
Xl.2154.1.S1_at	2.368952623
Xl.21540.1.S1_at	2.758342173
Xl.21540.1.S1_s_at	2.672621975
Xl.21541.1.A1_at	3.099782583
Xl.21541.1.S1_at	2.806395639
Xl.21542.1.A1_at	2.981148873
Xl.21542.1.S1_s_at	2.756432723
Xl.21542.1.S1_x_at	2.893007648
Xl.21543.1.A1_at	2.818814384
Xl.21543.1.S1_at	2.655410543
Xl.21544.1.A1_at	3.558830161
Xl.21544.1.S1_at	3.485060343
Xl.21545.1.A1_at	3.387164582
Xl.21545.1.S1_at	3.034291273
Xl.21546.1.S1_at	7.165260092
Xl.21547.1.A1_at	3.066767599
Xl.21547.1.S1_at	3.21706064
Xl.21548.1.A1_at	4.102035826
Xl.21548.1.S1_at	3.793814771
Xl.21549.1.A1_at	3.7548892
Xl.21549.1.S1_at	3.789984925
Xl.21550.1.A1_at	3.292360117
Xl.21550.1.S1_at	4.160044172
Xl.21551.1.A1_at	3.315659586
Xl.21551.1.S1_at	3.974489946
Xl.21552.1.A1_at	2.814448018
Xl.21552.1.S1_at	3.068883931
Xl.21553.1.A1_at	2.971802459
Xl.21553.1.S1_s_at	2.788661849
Xl.21554.1.S1_at	3.547654342
Xl.21555.1.A1_at	3.433743906
Xl.21555.1.S1_at	2.742765366
Xl.21556.1.A1_at	3.509418667
Xl.21556.1.S1_at	2.911575142
Xl.21557.1.A1_at	4.28875643
Xl.21557.1.S1_at	6.503744579
Xl.21558.1.A1_at	4.383212723
Xl.21558.1.S1_at	7.27539725
Xl.21559.1.A1_at	3.110711219
Xl.21559.1.S1_at	3.554500079
Xl.21560.1.A1_at	3.922419472
Xl.21560.1.S1_at	3.104618808
Xl.21561.1.A1_at	4.182326679
Xl.21561.1.S1_at	3.802431958
Xl.21562.1.S1_at	3.466698868
Xl.21563.1.S1_at	3.163574185
Xl.21564.1.A1_at	4.363041396
Xl.21564.1.S1_at	2.742305337
Xl.21565.1.A1_at	3.952905792
Xl.21565.1.S1_at	3.350643258
Xl.21566.1.A1_at	4.829000248
Xl.21566.1.S1_at	4.85488527
Xl.21567.1.A1_at	2.889332662
Xl.21568.1.A1_at	3.515583451
Xl.21568.1.S1_at	3.705523525
Xl.21569.1.S1_at	3.058868605
Xl.21570.1.A1_at	4.194847949
Xl.21570.1.S1_at	3.083984916
Xl.21571.1.S1_at	4.989411134
Xl.21571.1.S1_s_at	8.173905584
Xl.21572.1.S1_at	6.0774934
Xl.21573.1.S1_at	3.201522419
Xl.21574.1.A1_at	2.904571479
Xl.21574.1.S1_at	3.575956027
Xl.21575.1.A1_at	3.139678514
Xl.21575.1.S1_at	2.800694688
Xl.21576.1.A1_at	3.858507763
Xl.21576.1.S1_s_at	5.035595372
Xl.21577.1.S1_at	5.35026759
Xl.21578.1.A1_at	3.498171225
Xl.21578.1.S1_at	3.552740522
Xl.21579.1.A1_at	2.974040446
Xl.21579.1.S1_s_at	3.224087623
Xl.21581.1.S1_at	3.221849769
Xl.21582.1.S1_at	3.083873783
Xl.21583.1.A1_at	3.167521423
Xl.21583.1.S1_at	2.868266302
Xl.21584.1.S1_at	3.226268672
Xl.21585.1.S1_at	2.814760124
Xl.21586.1.A1_at	3.603575827
Xl.21586.1.S1_at	3.297355958
Xl.21588.1.A1_at	3.894039474
Xl.21588.1.S1_at	4.275754215
Xl.21589.1.S1_at	2.556926741
Xl.2159.1.A1_at	2.985877117
Xl.21590.1.A1_at	3.531034347
Xl.21590.1.S1_at	2.840766761
Xl.21591.1.S1_x_at	2.767875128
Xl.21592.1.S1_at	3.715570283
Xl.21593.1.A1_at	2.673261383
Xl.21594.1.A1_s_at	3.246517936
Xl.21594.1.S1_s_at	2.759309701
Xl.21595.1.S1_x_at	5.539655403
Xl.21596.1.A1_at	2.597749224
Xl.21597.1.S1_at	3.367489778
Xl.21597.1.S1_x_at	3.317156756
Xl.21598.1.A1_at	3.579713811
Xl.21598.1.S1_at	5.264291832
Xl.21599.1.A1_at	2.601377284
Xl.21599.1.S1_at	4.838301805
Xl.216.2.S1_a_at	7.144556559
Xl.216.3.A1_at	3.765621517
Xl.2160.1.A1_at	3.875598826
Xl.21600.1.A1_at	3.387439493
Xl.21600.1.S1_at	4.310188824
Xl.21601.1.A1_at	4.468165701
Xl.21601.1.S1_at	3.345419435
Xl.21602.1.A1_at	3.271619344
Xl.21602.1.S1_at	3.100525413
Xl.21603.1.S1_at	2.901964507
Xl.21604.1.A1_at	2.721173598
Xl.21604.1.S1_at	2.832182395
Xl.21605.1.A1_at	2.852033659
Xl.21605.1.S1_at	3.092966448
Xl.21606.1.A1_at	3.951044738
Xl.21606.1.S1_at	4.532930082
Xl.21606.1.S1_x_at	3.556383136
Xl.21607.1.S1_at	3.043177424
Xl.21608.1.S1_at	3.003062974
Xl.21609.1.S1_at	3.108247923
Xl.2161.1.S1_at	7.011586104
Xl.21610.1.S1_at	3.645276546
Xl.21611.1.S1_at	3.231106243
Xl.21612.1.S1_at	3.523261929
Xl.21613.1.S1_at	3.249085024
Xl.21614.1.S1_at	2.930444542
Xl.21615.1.S1_at	3.108699639
Xl.21615.2.A1_at	2.423978421
Xl.21615.2.S1_at	2.741440153
Xl.21616.1.S1_at	2.621160657
Xl.21617.1.S1_at	2.43561245
Xl.21617.1.S1_s_at	2.674781608
Xl.21618.1.A1_x_at	2.873560577
Xl.21618.1.S1_x_at	3.091057577
Xl.21619.1.A1_at	2.930725102
Xl.21619.1.S1_at	2.698537616
Xl.21620.1.A1_at	3.28102229
Xl.21620.1.S1_at	2.788722886
Xl.21621.1.S1_at	2.776254165
Xl.21622.1.A1_at	3.183464971
Xl.21622.1.S1_at	2.962359352
Xl.21623.1.S1_at	4.456448194
Xl.21624.1.A1_at	3.183972994
Xl.21624.1.S1_at	3.015407846
Xl.21625.1.A1_at	2.872418566
Xl.21626.1.A1_at	3.288460094
Xl.21626.1.S1_at	2.58624417
Xl.21627.1.A1_at	2.945065171
Xl.21627.1.S1_at	2.806276115
Xl.21628.1.A1_at	3.392765252
Xl.21628.1.S1_at	3.523669854
Xl.21630.1.A1_at	2.747653322
Xl.21630.1.S1_at	3.169300551
Xl.21631.1.A1_at	2.795956512
Xl.21631.1.S1_at	3.090134468
Xl.21632.1.A1_at	3.296070567
Xl.21632.1.S1_at	2.815791121
Xl.21632.1.S1_s_at	2.726029682
Xl.21633.1.A1_at	3.971832299
Xl.21633.1.S1_at	2.895167688
Xl.21634.1.A1_at	3.705269098
Xl.21634.1.S1_at	5.368949686
Xl.21635.1.S1_at	2.510748608
Xl.21636.1.S1_at	3.404833089
Xl.21637.1.A1_at	3.188122858
Xl.21637.1.S1_at	3.345260274
Xl.21638.1.A1_at	3.63162449
Xl.21638.1.S1_at	2.932810701
Xl.21639.1.A1_at	2.989305192
Xl.21639.1.S1_at	3.075305014
Xl.2164.1.A1_at	2.620468945
Xl.21642.1.S1_at	4.42472082
Xl.21642.1.S1_x_at	4.539584474
Xl.21643.1.A1_at	3.086215611
Xl.21643.1.S1_at	2.901315866
Xl.21645.1.A1_at	2.857175042
Xl.21645.1.S1_at	2.642771924
Xl.21646.1.A1_at	2.891067291
Xl.21646.1.S1_at	3.055204237
Xl.21647.1.A1_a_at	3.293929991
Xl.21647.1.S1_a_at	2.602690229
Xl.21648.1.A1_at	2.98123358
Xl.21648.1.S1_at	2.801257847
Xl.21649.1.A1_at	3.103626549
Xl.21649.1.S1_at	2.598733134
Xl.21650.1.S1_at	4.55756876
Xl.21651.1.A1_at	3.367827442
Xl.21651.1.S1_at	2.830669844
Xl.21652.1.A1_at	5.087163229
Xl.21652.1.S1_s_at	5.18531436
Xl.21661.1.S1_at	3.908073959
Xl.21662.1.A1_at	3.622498852
Xl.21662.1.S1_at	3.23598495
Xl.21668.1.A1_at	4.368268631
Xl.2167.1.A1_at	4.034719499
Xl.21670.1.S1_at	5.314173973
Xl.21673.1.A1_at	7.884368833
Xl.21674.1.S1_at	2.627401302
Xl.21677.1.S1_at	6.607859075
Xl.21677.2.A1_at	3.946940096
Xl.2168.1.S1_s_at	10.16032231
Xl.21682.1.S1_at	4.050778811
Xl.21685.1.A1_at	3.16384061
Xl.21685.1.S1_at	3.733883415
Xl.21686.1.S1_at	8.214691931
Xl.21688.1.A1_at	7.812202769
Xl.21695.1.S1_at	3.97509106
Xl.21696.1.S1_at	8.974511305
Xl.217.1.S1_a_at	5.919643971
Xl.217.2.S1_at	6.481107051
Xl.21702.1.S1_at	4.433972225
Xl.21707.1.S1_at	4.511926764
Xl.21707.2.A1_at	4.616158314
Xl.2171.1.S1_at	7.163384573
Xl.2171.2.A1_at	8.911141325
Xl.21726.1.S1_at	2.681475523
Xl.21729.1.S1_at	5.724629327
Xl.2173.1.A1_at	4.762722972
Xl.21734.1.A1_at	7.653444748
Xl.21739.1.A1_at	2.689887204
Xl.21742.1.S1_at	6.658608825
Xl.21744.1.S1_at	6.647841266
Xl.21747.1.S1_at	3.589291114
Xl.21749.1.S1_at	2.91705918
Xl.21751.1.S1_at	4.405325178
Xl.21753.1.A1_at	4.130977312
Xl.21757.1.S1_at	3.225812119
Xl.2176.1.S1_at	7.145430126
Xl.21766.1.S1_at	7.197295562
Xl.2177.1.A1_at	2.909726794
Xl.21774.1.S1_at	6.858362549
Xl.21777.1.S1_at	3.970853869
Xl.2179.1.A1_at	2.493712347
Xl.21794.1.A1_at	3.256924496
Xl.21794.1.S1_at	3.002361547
Xl.21798.1.S1_at	2.354875835
Xl.218.1.S1_at	5.620049078
Xl.21802.1.A1_at	3.425219052
Xl.21802.1.S1_at	2.739697603
Xl.21802.2.S1_x_at	2.991137765
Xl.21804.1.S1_at	6.981654039
Xl.21804.1.S1_s_at	9.662982309
Xl.21805.1.S1_at	5.932631545
Xl.21806.1.S1_at	2.780493855
Xl.21807.1.S1_at	3.231478476
Xl.21808.1.S1_at	3.262970754
Xl.21809.1.S1_at	7.578708364
Xl.21810.1.S1_at	3.256025644
Xl.21811.1.S1_at	7.489053035
Xl.21813.1.S1_at	5.685388024
Xl.21814.1.S1_at	8.585648461
Xl.21814.1.S1_s_at	9.563580922
Xl.21815.1.S1_at	3.057862594
Xl.21816.1.S1_at	5.468944927
Xl.21817.1.S1_at	7.56587125
Xl.21819.1.A1_at	5.193234894
Xl.21833.1.A1_at	3.868012232
Xl.21838.1.A1_at	6.672536213
Xl.21845.1.S1_at	5.116326143
Xl.21846.1.S1_at	6.184975352
Xl.21848.1.S1_at	8.933219269
Xl.21849.1.S1_at	4.358979541
Xl.21850.1.S1_at	3.906911356
Xl.21852.1.S1_at	8.494289911
Xl.21852.1.S1_s_at	8.231023216
Xl.21855.1.S1_at	2.897617868
Xl.21858.1.S1_at	6.03425498
Xl.21860.1.S1_at	6.903585067
Xl.21861.1.S1_at	10.04802709
Xl.21861.1.S1_s_at	11.20403227
Xl.21863.1.S1_at	4.5920928
Xl.21864.1.S1_at	2.767570321
Xl.21865.1.S1_s_at	7.343667036
Xl.21866.1.S1_at	4.457388999
Xl.21868.1.S1_at	4.432199079
Xl.21869.1.S1_at	3.490957411
Xl.2187.1.A1_at	3.839340249
Xl.21870.1.S1_at	8.43139341
Xl.21871.1.S1_at	5.686144527
Xl.21872.1.S1_at	2.896663914
Xl.21873.1.S1_at	4.890036016
Xl.21874.1.S1_at	5.784277657
Xl.21875.1.S1_at	3.033084033
Xl.21876.1.S1_at	8.238096734
Xl.21877.1.S1_at	2.764681259
Xl.21878.1.S1_at	2.558820191
Xl.21879.1.S1_at	2.78298623
Xl.21880.1.S1_at	10.02131334
Xl.21881.1.S1_at	6.296610232
Xl.21882.1.S1_at	2.717348998
Xl.21883.1.S1_at	8.259969309
Xl.21884.1.S1_at	6.664815908
Xl.21885.1.S1_at	3.588612046
Xl.21886.1.S1_at	6.105116608
Xl.21888.1.S1_at	3.553563352
Xl.21889.1.S1_s_at	7.965890056
Xl.2189.1.A1_at	3.670860019
Xl.21890.1.S1_at	3.066471614
Xl.21891.1.S1_at	2.890857364
Xl.21892.1.S1_at	2.914796587
Xl.21893.1.S1_at	3.943259749
Xl.21895.1.S1_at	6.606036472
Xl.21896.1.S1_at	4.280332879
Xl.21897.1.S1_at	3.187346068
Xl.21898.1.S1_at	7.870100787
Xl.21899.1.S1_at	3.74319069
Xl.21900.1.S1_at	3.54755076
Xl.21901.1.S1_at	3.687093265
Xl.21901.1.S1_s_at	5.120930151
Xl.21902.1.S1_at	4.241724008
Xl.21903.1.S1_at	2.552353524
Xl.21904.1.S1_at	2.561773928
Xl.21905.1.S1_at	2.500312851
Xl.21906.1.S1_at	7.657803914
Xl.21907.1.S1_at	6.990760341
Xl.21908.1.S1_at	4.605381665
Xl.21909.1.S1_at	2.88070908
Xl.2191.1.A1_at	4.110107999
Xl.21910.1.S1_at	3.488695272
Xl.21911.1.S1_at	5.468277264
Xl.21912.1.S1_at	4.527573476
Xl.21913.1.S1_at	3.235924019
Xl.21914.1.S1_at	3.610695105
Xl.21915.1.S1_at	7.726961784
Xl.21916.1.S1_at	3.33869077
Xl.21917.1.S1_at	3.566506033
Xl.21918.1.S1_at	6.374271551
Xl.21918.1.S1_s_at	6.742738622
Xl.21919.1.S1_at	5.909067528
Xl.21920.1.S1_at	4.322489816
Xl.21921.1.S1_at	3.462950283
Xl.21922.1.S1_at	3.457865609
Xl.21923.1.S1_at	3.243372851
Xl.21924.1.S1_at	8.569609392
Xl.21925.1.S1_at	5.498601072
Xl.21926.1.S1_at	4.819083938
Xl.21927.1.S1_at	5.556143058
Xl.21928.1.S1_at	5.245344358
Xl.21929.1.S1_at	3.66602473
Xl.21930.1.S1_at	2.686967382
Xl.21931.1.S1_at	2.87403668
Xl.21932.1.S1_at	5.478432701
Xl.21933.1.S1_at	2.502971041
Xl.21934.1.A1_at	3.718201109
Xl.21934.1.S1_at	3.109043243
Xl.21935.1.S1_at	6.375960149
Xl.21936.1.S1_at	7.424952018
Xl.21937.1.S1_at	6.553307297
Xl.21938.1.S1_at	2.654261606
Xl.21939.1.S1_at	10.31616812
Xl.21939.2.A1_at	9.856097703
Xl.21944.1.S1_at	7.131328799
Xl.21947.1.A1_x_at	5.97107316
Xl.21948.1.S1_at	3.155991914
Xl.21949.1.A1_at	2.851302348
Xl.21949.1.A1_x_at	3.206202344
Xl.21950.1.A1_at	4.550179657
Xl.21951.1.A1_at	5.075712056
Xl.21952.1.S1_at	9.954934447
Xl.21956.1.S1_at	3.077879995
Xl.21957.1.S1_at	5.109648014
Xl.21959.1.A1_at	2.807997441
Xl.21960.1.S1_at	5.301764692
Xl.21962.1.A1_at	6.493955406
Xl.21964.1.A1_at	4.456589369
Xl.21965.1.A1_at	7.320493159
Xl.21969.1.S1_at	7.853871869
Xl.21970.1.S1_at	3.452193598
Xl.21971.1.S1_at	3.154071321
Xl.21972.1.S1_at	3.83795994
Xl.21973.1.S1_at	6.276777101
Xl.21976.1.S1_at	5.603866279
Xl.21978.1.S1_at	11.59352424
Xl.21979.1.S1_at	3.655516816
Xl.2198.1.A1_at	3.406166439
Xl.21982.1.S1_at	4.542081704
Xl.21983.1.S1_at	9.606158519
Xl.21984.1.S1_at	4.766996509
Xl.21985.1.S1_s_at	9.446507045
Xl.21986.1.S1_at	4.526995645
Xl.21987.1.S1_at	3.524576257
Xl.21988.1.S1_at	6.483170523
Xl.21990.1.S1_at	6.815654293
Xl.21991.1.A1_x_at	7.749196239
Xl.21992.1.S1_at	7.06428794
Xl.21993.1.S1_at	6.439516271
Xl.21994.1.S1_at	3.196573068
Xl.21995.1.S1_s_at	11.37480173
Xl.21996.1.S1_at	2.643123206
Xl.21998.1.A1_at	3.258340946
Xl.21999.1.A1_s_at	6.552528942
Xl.21999.1.A1_x_at	5.666392047
Xl.22.1.S1_at	9.937621593
Xl.220.1.S1_at	3.278632621
Xl.2200.1.A1_at	2.885145591
Xl.22006.1.S1_at	2.857395577
Xl.22006.2.A1_at	2.852561995
Xl.2201.1.S1_at	6.679856378
Xl.22015.1.A1_s_at	6.643522164
Xl.22015.1.A1_x_at	6.899605145
Xl.22015.2.S1_at	4.947174101
Xl.22016.1.A1_at	7.396845482
Xl.22016.1.A1_s_at	10.00843677
Xl.2202.1.A1_at	3.790814523
Xl.22023.1.A1_at	7.186887174
Xl.22023.2.S1_a_at	6.292384244
Xl.22023.2.S1_x_at	6.62102206
Xl.22029.1.S1_at	5.917907529
Xl.22029.2.S1_a_at	5.403341494
Xl.2203.1.A1_at	6.126131944
Xl.22032.1.A1_at	5.660591328
Xl.22040.1.A1_a_at	9.53233791
Xl.22040.1.A1_at	7.688752187
Xl.22040.2.A1_at	8.780192599
Xl.22043.1.S1_at	2.850395516
Xl.22046.1.A1_at	9.453156337
Xl.22052.1.A1_at	7.424565243
Xl.22058.1.A1_at	7.286104111
Xl.22059.1.A1_at	5.323013577
Xl.2206.1.S1_at	6.223995435
Xl.2206.1.S1_x_at	7.158425697
Xl.22063.1.S1_at	4.430793946
Xl.22064.1.A1_at	3.657861142
Xl.22066.1.S1_at	7.331156142
Xl.22067.1.A1_at	6.386500262
Xl.22069.1.S1_at	4.426207238
Xl.22070.1.S1_at	6.959109835
Xl.22071.1.S1_at	3.203265771
Xl.22071.1.S1_x_at	3.07378862
Xl.22076.1.A1_at	3.728130035
Xl.22076.1.A1_x_at	4.22339957
Xl.22078.2.A1_s_at	4.866844161
Xl.2208.1.A1_at	6.670038858
Xl.22082.1.S1_a_at	11.16758981
Xl.22083.1.A1_a_at	7.731961828
Xl.22086.1.A1_at	5.961676038
Xl.22087.1.A1_s_at	10.09648256
Xl.22087.1.A1_x_at	7.172532568
Xl.22088.1.S1_at	3.181864407
Xl.2209.1.S1_at	10.45783629
Xl.22091.1.A1_at	3.740383831
Xl.22093.1.A1_at	9.625474019
Xl.22094.1.S1_at	5.414647356
Xl.221.1.S1_at	4.66802858
Xl.22101.1.A1_at	7.125414273
Xl.22105.1.A1_s_at	7.620861792
Xl.22107.1.A1_at	9.400793902
Xl.22108.1.S1_at	3.8559356
Xl.22112.1.S1_at	3.051519134
Xl.22119.1.S1_at	9.356525701
Xl.2212.1.A1_at	2.440838903
Xl.22121.1.S1_x_at	7.606013076
Xl.22122.1.S1_at	2.689878146
Xl.22123.1.S1_at	3.2317899
Xl.22123.2.S1_at	10.77613779
Xl.22127.1.A1_at	2.486606557
Xl.2213.1.A1_at	5.8928967
Xl.22132.1.A1_at	6.068408325
Xl.22138.1.A1_at	2.802858356
Xl.22142.1.A1_at	6.398493588
Xl.22145.1.A1_s_at	4.903519117
Xl.22149.1.S1_at	12.46818458
Xl.2215.1.A1_at	7.558666532
Xl.22150.1.A1_at	6.989786727
Xl.22152.1.S1_at	7.539755466
Xl.22153.1.A1_at	5.201578443
Xl.22153.1.A1_x_at	5.3671029
Xl.22155.1.A1_at	5.697753496
Xl.22158.1.A1_at	2.751047293
Xl.2216.1.A1_at	2.87366289
Xl.22164.1.A1_at	4.617210674
Xl.22165.1.A1_at	3.607298379
Xl.22165.1.A1_s_at	7.045789727
Xl.22172.1.A1_at	2.65943863
Xl.22174.1.A1_at	2.603474596
Xl.22175.1.S1_at	3.537399888
Xl.22176.1.A1_at	4.858550735
Xl.22186.1.A1_at	4.185970192
Xl.22187.1.A1_at	7.09667254
Xl.22191.1.S1_at	3.544529887
Xl.22191.2.A1_at	5.733967731
Xl.22193.1.A1_at	5.358204527
Xl.22199.1.S1_at	2.784276406
Xl.222.1.S1_s_at	3.131912729
Xl.222.1.S2_at	3.923662718
Xl.2220.1.A1_at	4.014363977
Xl.22202.1.S1_at	4.940312608
Xl.22202.1.S1_s_at	4.36440697
Xl.22209.1.S1_at	7.853698067
Xl.22209.3.A1_at	4.681723822
Xl.22215.1.S1_at	5.827960878
Xl.22218.1.A1_at	3.71259928
Xl.22218.2.S1_at	4.517133342
Xl.22218.3.S1_a_at	3.371911524
Xl.22218.3.S1_at	4.338773728
Xl.22219.1.A1_at	3.733330335
Xl.22223.1.S1_at	5.418741274
Xl.22224.1.A1_at	6.407804638
Xl.22225.1.A1_at	3.791206707
Xl.22225.1.A1_x_at	3.798490209
Xl.22226.1.S1_at	4.819553389
Xl.2223.1.A1_at	4.85969278
Xl.22234.1.A1_at	3.220402875
Xl.22235.1.S1_at	2.995636005
Xl.22237.1.S1_at	6.025732897
Xl.22240.1.A1_at	7.330066906
Xl.22244.1.S1_at	2.410155444
Xl.22247.1.S1_at	3.51857037
Xl.22248.1.A1_at	5.270756938
Xl.22248.2.S1_at	5.01194808
Xl.2225.1.S1_at	4.630697915
Xl.22251.1.A1_at	6.784617017
Xl.22252.1.A1_at	5.178559381
Xl.22254.1.S1_at	5.445696507
Xl.22255.1.A1_at	3.206248528
Xl.22257.1.A1_at	5.46166539
Xl.22259.1.A1_a_at	4.014899756
Xl.22259.1.A1_x_at	2.792102207
Xl.22259.2.A1_x_at	3.643004714
Xl.2226.1.S1_at	7.584498045
Xl.22264.1.A1_at	2.657665486
Xl.22265.1.A1_at	6.133095463
Xl.22268.1.S1_at	8.880446402
Xl.2227.1.S1_at	11.53979235
Xl.22272.1.A1_at	2.578055215
Xl.22275.1.S1_at	7.164905483
Xl.22275.1.S1_s_at	8.651808258
Xl.22276.1.S1_at	8.526045065
Xl.2228.1.S1_at	3.08851628
Xl.2228.2.S1_at	3.075426478
Xl.22285.1.A1_at	3.947729228
Xl.2229.1.A1_at	4.041007662
Xl.2229.2.A1_at	6.400036445
Xl.22292.1.S1_at	6.699078106
Xl.22294.1.S1_s_at	3.674687848
Xl.22294.1.S1_x_at	2.798529721
Xl.223.1.S1_at	3.110138824
Xl.2230.1.A1_at	5.53208105
Xl.22300.1.A1_s_at	7.03400438
Xl.22301.1.A1_at	4.8837164
Xl.22302.1.A1_at	8.2537635
Xl.22302.2.A1_at	6.323440955
Xl.22305.1.A1_at	3.529268009
Xl.22307.1.A1_at	3.087319081
Xl.22309.1.S1_at	5.75040449
Xl.2231.1.S1_at	7.881032862
Xl.22311.1.S1_at	6.286489544
Xl.22312.1.S1_at	8.586611239
Xl.22313.1.S1_at	3.510924146
Xl.2232.1.A1_at	4.606379893
Xl.22321.1.A1_at	3.584694646
Xl.22322.1.A1_at	7.387947046
Xl.22322.1.A1_x_at	7.461010618
Xl.22325.1.A1_at	5.330193497
Xl.22328.1.A1_at	8.305267066
Xl.22337.1.A1_at	4.391302288
Xl.22339.1.A1_at	6.339522306
Xl.2234.1.S1_at	8.458808383
Xl.22343.1.A1_at	2.46149297
Xl.2235.1.A1_at	2.908079785
Xl.22352.1.A1_at	7.295678111
Xl.22355.1.A1_at	5.755095805
Xl.22356.1.A1_at	4.837613501
Xl.22356.1.A1_s_at	6.451610567
Xl.22358.1.A1_at	6.659645982
Xl.22359.1.A1_at	3.067344552
Xl.22360.1.A1_at	3.841723284
Xl.22361.1.A1_at	5.605649343
Xl.22369.1.A1_x_at	6.103835437
Xl.2237.1.S1_at	8.231660322
Xl.2237.1.S2_at	9.552809619
Xl.2237.2.A1_at	6.503397879
Xl.22376.1.S1_at	7.009651373
Xl.22379.1.A1_at	3.38537045
Xl.2238.1.S1_at	3.342437102
Xl.22383.1.A1_at	3.652243664
Xl.22385.1.A1_at	4.723686256
Xl.22386.1.S1_at	4.046948883
Xl.22388.1.S1_at	7.454699984
Xl.22389.1.S1_a_at	5.750367056
Xl.22391.1.A1_at	8.164082104
Xl.22394.1.S1_at	6.101327928
Xl.22395.1.S1_at	3.771314723
Xl.22396.1.A1_at	2.868868601
Xl.22397.1.S1_at	4.716764873
Xl.22397.2.S1_a_at	5.361172961
Xl.22397.2.S1_at	4.856983228
Xl.224.1.S1_at	5.030469235
Xl.2240.1.A1_at	6.472683584
Xl.22401.1.S1_at	8.698070296
Xl.22402.1.S1_at	2.711987959
Xl.22403.1.A1_at	2.865740833
Xl.22404.1.S1_at	4.420443119
Xl.22413.2.A1_at	2.627061223
Xl.22421.1.S1_at	5.667585781
Xl.22426.1.A1_at	3.340651677
Xl.22426.1.A1_x_at	3.367642776
Xl.22429.1.A1_at	7.871190466
Xl.2243.1.S1_a_at	10.19576073
Xl.2243.1.S1_at	8.555237517
Xl.2243.1.S1_x_at	9.584995902
Xl.2243.2.S1_at	7.754566845
Xl.22431.1.A1_at	3.906009875
Xl.22432.1.A1_at	2.742436353
Xl.22434.1.A1_at	2.563956751
Xl.22435.1.A1_at	7.4484799
Xl.22438.1.A1_at	3.98400101
Xl.2244.1.A1_at	5.442076543
Xl.22448.1.A1_at	7.269277533
Xl.22449.1.A1_at	7.107185966
Xl.22452.1.A1_at	7.648229902
Xl.22452.1.A1_s_at	8.976918777
Xl.22456.1.S1_at	3.682848619
Xl.22457.1.A1_at	6.678113377
Xl.22458.1.A1_at	9.619663842
Xl.2246.1.A1_at	2.787669265
Xl.22461.1.A1_at	4.659343406
Xl.22468.1.A1_at	2.967115202
Xl.22473.1.S1_at	5.425109467
Xl.22474.1.A1_at	6.691996555
Xl.22475.1.S1_at	3.011957115
Xl.22479.1.S1_at	2.807689006
Xl.22482.1.A1_at	3.857205786
Xl.22487.1.A1_at	5.623804181
Xl.22488.1.A1_at	5.159316252
Xl.22489.1.S1_at	6.850724687
Xl.22492.1.A1_at	3.255735944
Xl.22493.1.A1_at	4.595288542
Xl.22494.1.A1_at	5.017270529
Xl.22496.1.A1_at	5.086759626
Xl.22497.1.S1_at	4.43304109
Xl.225.1.S1_at	2.725496396
Xl.22500.1.A1_at	2.592237045
Xl.22500.2.A1_at	3.910936629
Xl.22502.1.S1_x_at	7.241081966
Xl.22502.2.A1_at	3.090694497
Xl.22504.1.A1_at	3.191444661
Xl.22507.1.A1_at	4.286451191
Xl.2251.1.S1_at	10.89518468
Xl.2251.1.S1_s_at	10.26064572
Xl.22510.1.S1_at	6.310733783
Xl.22514.1.S1_at	2.700131231
Xl.22520.1.S1_at	3.044969793
Xl.22521.1.S1_at	3.808139045
Xl.22522.1.S1_at	5.257261224
Xl.22523.1.S1_at	7.950921473
Xl.22525.1.S1_at	4.979652341
Xl.22527.1.S1_s_at	8.175031139
Xl.22529.1.S1_at	11.87735267
Xl.22530.1.A1_at	2.682148002
Xl.22534.1.A1_at	6.045797251
Xl.22534.2.A1_at	6.982119763
Xl.22548.1.S1_at	5.019625251
Xl.22553.1.A1_at	2.63184857
Xl.22554.1.A1_at	4.033916562
Xl.22559.1.A1_at	2.552231165
Xl.2256.1.S1_at	6.482002789
Xl.22566.1.S1_at	7.009518504
Xl.22568.1.S1_at	4.416881051
Xl.22569.1.S1_at	5.925331814
Xl.2257.1.A1_at	5.163445645
Xl.22572.1.A1_a_at	7.201672678
Xl.22574.1.A1_at	3.442015954
Xl.22576.1.A1_at	6.840894361
Xl.22579.1.A1_at	6.10228533
Xl.22580.1.A1_at	6.594121264
Xl.22585.1.S1_at	4.867697574
Xl.22588.1.A1_at	7.072257164
Xl.22590.1.A1_at	5.390303796
Xl.226.1.S1_at	4.317151929
Xl.22600.1.A1_at	5.096327587
Xl.22602.1.A1_at	5.876786662
Xl.22603.1.A1_at	4.080847695
Xl.22605.1.S1_at	4.468573933
Xl.22605.1.S1_s_at	2.732116471
Xl.22606.1.A1_at	6.986698815
Xl.22607.1.S1_at	2.648137089
Xl.22609.1.S1_at	4.899353522
Xl.22611.1.A1_at	5.229021979
Xl.22613.1.S1_at	9.31877812
Xl.22613.1.S1_s_at	8.460979786
Xl.22629.1.S1_at	3.924888693
Xl.22632.1.A1_at	4.043450964
Xl.22636.1.A1_at	4.808537431
Xl.22640.1.A1_at	2.92950755
Xl.22642.1.A1_at	7.856996352
Xl.22643.1.S1_at	6.841793649
Xl.22643.3.S1_a_at	4.619370908
Xl.22643.3.S1_at	4.889887928
Xl.22644.1.S1_at	4.667987879
Xl.22648.1.S1_at	6.254669721
Xl.22658.1.A1_at	3.426436255
Xl.2266.1.A1_a_at	5.195361774
Xl.2266.3.A1_at	2.954151438
Xl.22661.1.S1_at	4.710521704
Xl.22667.1.A1_at	5.763230326
Xl.22668.1.A1_at	8.600296334
Xl.22675.1.S1_at	2.83557454
Xl.22683.1.S1_at	5.00276525
Xl.22684.1.A1_at	4.562394018
Xl.22688.1.A1_at	5.380143987
Xl.2269.1.A1_at	6.510891797
Xl.22692.1.S1_at	3.700490125
Xl.22693.1.S1_at	3.276313932
Xl.22694.1.A1_at	5.760025894
Xl.22695.1.A1_at	8.65793125
Xl.22696.1.A1_at	6.458191544
Xl.227.1.S1_at	2.481544879
Xl.22701.1.S1_at	3.129928207
Xl.22702.1.A1_at	3.676358859
Xl.22705.1.A1_at	3.190073537
Xl.22706.1.A1_at	3.146468637
Xl.2271.1.S1_at	7.527794072
Xl.2271.2.A1_at	8.128639941
Xl.22710.1.S1_at	2.924631264
Xl.22719.1.S1_at	6.883623918
Xl.2272.1.S1_at	7.04260804
Xl.22720.1.S1_at	4.740616069
Xl.22725.1.A1_at	6.04347926
Xl.22725.2.S1_at	5.577943932
Xl.22727.1.S1_a_at	4.441331629
Xl.22727.1.S1_at	6.450038192
Xl.22733.1.A1_at	6.671197092
Xl.22740.1.A1_at	6.916122982
Xl.22745.1.A1_at	2.510299601
Xl.22746.1.A1_at	5.468016946
Xl.2275.1.A1_at	3.161160423
Xl.22755.2.A1_at	3.183266569
Xl.22762.1.S1_at	7.160243656
Xl.22763.1.A1_at	3.995558553
Xl.22764.2.A1_at	4.237915539
Xl.22766.1.A1_at	3.189990952
Xl.22768.1.A1_at	7.29004578
Xl.22769.1.A1_at	2.455529359
Xl.2277.1.A1_at	2.78878091
Xl.22770.1.A1_at	4.115409765
Xl.22771.1.A1_at	2.850135297
Xl.22771.2.A1_at	3.37218813
Xl.22775.1.A1_at	6.782563305
Xl.22779.1.A1_at	2.462980283
Xl.22782.1.A1_at	4.819629333
Xl.22784.1.S1_at	6.101020988
Xl.22784.2.S1_at	7.500207192
Xl.22789.1.A1_at	6.336797543
Xl.2279.1.S1_at	7.007370776
Xl.2279.1.S2_at	3.215725656
Xl.2279.2.S1_at	8.027627852
Xl.22790.1.A1_at	3.583885878
Xl.22790.1.A1_x_at	3.861987111
Xl.22794.1.A1_at	4.300548065
Xl.22796.1.S1_at	7.721733683
Xl.22798.1.A1_at	5.486972134
Xl.22798.1.A1_x_at	5.748892939
Xl.22799.1.A1_at	4.741884397
Xl.228.1.S1_at	7.260015044
Xl.22802.1.A1_at	5.307242272
Xl.22803.1.A1_at	3.404489218
Xl.22807.1.A1_at	6.988280632
Xl.2281.1.A1_at	3.192923007
Xl.22812.1.A1_at	3.577972838
Xl.22817.1.A1_at	2.632284065
Xl.22818.1.A1_at	5.204132406
Xl.22819.1.A1_at	6.042966423
Xl.22820.1.A1_at	5.818740947
Xl.22820.2.A1_at	5.729030281
Xl.22821.1.A1_at	2.774654901
Xl.22826.1.A1_at	2.639857227
Xl.22827.1.A1_x_at	3.062339899
Xl.22832.1.A1_at	5.370807227
Xl.22834.1.A1_at	5.268187627
Xl.22841.1.A1_at	2.473435129
Xl.22844.2.A1_at	2.6267514
Xl.22847.1.A1_a_at	6.528339391
Xl.22847.1.A1_at	5.415044177
Xl.22847.2.A1_at	3.396587061
Xl.22847.2.A1_x_at	5.238522587
Xl.22848.1.A1_at	7.52821846
Xl.22851.1.A1_at	2.556890949
Xl.22852.1.A1_at	7.633770967
Xl.22853.1.A1_at	3.805406904
Xl.22853.1.A1_x_at	3.857251853
Xl.22857.1.A1_at	4.693445474
Xl.22858.1.A1_at	5.380937359
Xl.22858.2.A1_a_at	7.015796683
Xl.22858.2.A1_at	6.27166222
Xl.22859.1.A1_at	3.506092861
Xl.22860.1.A1_at	2.901110011
Xl.22863.1.A1_at	7.693180492
Xl.22865.1.S1_at	7.908326859
Xl.22868.1.A1_at	2.623420227
Xl.22869.1.A1_at	2.657218943
Xl.22870.1.A1_at	3.08950945
Xl.22874.1.A1_at	3.353602557
Xl.22877.1.A1_at	7.02903593
Xl.22880.1.A1_at	2.678379277
Xl.22882.1.A1_at	5.393981479
Xl.22889.1.A1_at	2.561784123
Xl.22890.1.A1_at	5.132480056
Xl.22891.1.A1_at	3.016135083
Xl.229.1.S1_at	3.535847046
Xl.2290.1.A1_at	3.207307765
Xl.22904.1.S1_at	6.921884747
Xl.22905.1.S1_at	4.948336567
Xl.22905.2.A1_at	6.89264547
Xl.22907.1.S1_at	4.590716185
Xl.22909.2.A1_at	5.546705939
Xl.2291.1.A1_at	3.348900169
Xl.22911.1.A1_at	3.478980122
Xl.22916.1.S1_at	7.660355947
Xl.2292.1.S1_at	6.043499935
Xl.22922.1.A1_at	6.164944398
Xl.22924.1.A1_at	3.257714615
Xl.22929.1.A1_at	3.848878864
Xl.2293.1.A1_at	6.468162344
Xl.22933.1.A1_at	4.805854102
Xl.22934.1.A1_at	2.880605702
Xl.22935.1.A1_at	4.018405799
Xl.2294.1.A1_at	7.396020489
Xl.22941.1.A1_a_at	6.984552988
Xl.22941.1.A1_at	5.385826021
Xl.22941.1.A1_x_at	4.970962847
Xl.22941.2.A1_at	5.036559971
Xl.22945.1.S1_at	7.743223842
Xl.22948.1.S1_at	7.187185814
Xl.22953.1.A1_at	8.804774861
Xl.22956.1.A1_at	5.862954184
Xl.22957.1.S1_at	7.463983756
Xl.22958.1.S1_at	3.276209382
Xl.22960.1.S1_at	3.687512325
Xl.22960.2.A1_at	3.136224343
Xl.2297.1.A1_at	4.142450839
Xl.22980.1.A1_at	7.209297093
Xl.22990.1.S1_at	6.085450589
Xl.22993.1.A1_at	5.916169984
Xl.22995.1.S1_at	9.192027255
Xl.22996.1.S1_at	4.75152694
Xl.23.1.S1_at	12.32090537
Xl.230.1.S1_at	3.440439382
Xl.23001.2.A1_at	2.461345106
Xl.23001.2.A1_x_at	3.827001087
Xl.23009.1.S1_at	3.077479786
Xl.23010.1.A1_at	3.436831392
Xl.23011.1.A1_at	5.623461166
Xl.23012.1.A1_at	3.10639654
Xl.23015.1.A1_at	2.777140356
Xl.23015.2.A1_at	3.088654526
Xl.23017.1.A1_at	2.70574755
Xl.23019.1.S1_at	5.832481804
Xl.2302.1.A1_at	5.604988993
Xl.23021.1.A1_s_at	5.578804325
Xl.23022.1.A1_at	4.792249111
Xl.23026.1.S1_at	7.120101963
Xl.23026.1.S1_s_at	8.99646928
Xl.23035.1.A1_at	3.085839472
Xl.23036.1.A1_at	9.174201031
Xl.23039.1.S1_at	3.625166989
Xl.2304.1.A1_at	3.753312849
Xl.2304.1.A1_s_at	5.391433715
Xl.23043.1.S1_at	7.310095616
Xl.23044.1.A1_at	7.631544329
Xl.23044.1.A1_s_at	6.922403677
Xl.2305.1.A1_at	7.647377411
Xl.23050.1.S1_at	5.970330568
Xl.23056.1.A1_at	2.911531262
Xl.23059.1.A1_at	6.419638966
Xl.23066.1.S1_at	4.848972568
Xl.23067.1.S1_at	3.681278088
Xl.23070.1.A1_at	6.942430028
Xl.23075.1.S1_at	6.912644367
Xl.2308.1.S1_at	5.717632987
Xl.23083.1.A1_at	4.291766626
Xl.23089.1.A1_at	5.592256537
Xl.23091.1.A1_at	6.376964773
Xl.23093.1.S1_at	4.597931326
Xl.23095.1.A1_at	2.427693579
Xl.23105.1.A1_at	3.874366307
Xl.23106.1.S1_at	5.869350782
Xl.23110.1.A1_at	3.541970062
Xl.2312.1.A1_at	4.126353845
Xl.23120.1.S1_at	8.956138136
Xl.23120.2.A1_at	9.053443517
Xl.23124.1.A1_at	2.929759143
Xl.23125.1.A1_at	5.643606748
Xl.23126.1.S1_at	7.1828968
Xl.23130.1.A1_at	4.198928962
Xl.23131.1.S1_at	5.534108939
Xl.23136.1.S1_at	8.999784668
Xl.23136.1.S1_s_at	9.748883323
Xl.23136.1.S2_at	9.847811995
Xl.2314.1.A1_at	2.830674115
Xl.23143.1.S1_at	4.57408957
Xl.23146.1.S1_at	4.985233459
Xl.23146.1.S1_s_at	9.456638774
Xl.23149.1.S1_at	8.884372215
Xl.23151.1.S1_at	6.177227992
Xl.23161.1.S1_at	5.830947023
Xl.2317.1.A1_at	6.311490987
Xl.23170.1.A1_at	2.676746237
Xl.2318.1.A1_at	3.746838099
Xl.23183.1.S1_at	10.10335978
Xl.23184.1.S1_at	7.775819292
Xl.23185.1.A1_at	2.67357647
Xl.23190.1.S1_at	5.389474366
Xl.23194.1.S1_at	6.886823612
Xl.23196.1.S1_at	11.06685898
Xl.23196.1.S2_a_at	11.19320521
Xl.23196.1.S2_at	11.79291135
Xl.232.1.S1_at	3.086037122
Xl.23211.1.S1_at	11.45921334
Xl.23215.1.A1_at	2.436944638
Xl.23218.1.S1_at	9.099489255
Xl.2322.1.A1_at	3.094674662
Xl.23221.1.S1_at	5.087765182
Xl.23223.1.S1_at	5.509020666
Xl.23225.1.S1_at	5.967122064
Xl.23225.1.S1_s_at	7.952037137
Xl.2323.1.A1_at	5.890273924
Xl.23230.1.A1_at	5.942842379
Xl.23236.1.A1_at	3.505547812
Xl.23239.1.A1_at	7.783402106
Xl.23241.1.S1_at	3.974078086
Xl.23242.1.A1_at	2.47461396
Xl.23245.1.S1_at	3.90140927
Xl.23247.1.S1_at	3.696912016
Xl.23250.1.S1_at	3.8747271
Xl.23252.1.S1_at	7.293092208
Xl.23253.1.S1_at	4.792149896
Xl.23255.1.S1_at	3.548401047
Xl.23256.1.S1_at	5.799686012
Xl.23260.1.S1_at	8.405302892
Xl.23261.2.S1_a_at	8.147098969
Xl.23262.1.S1_at	6.083409482
Xl.23262.2.A1_at	6.568132797
Xl.23266.1.S1_at	4.439504917
Xl.23267.1.S1_at	5.205191159
Xl.23270.1.S1_at	3.600203673
Xl.2328.1.A1_at	7.28182761
Xl.23284.1.S1_at	5.557375726
Xl.23284.1.S1_s_at	5.73872939
Xl.23285.1.S1_at	2.895499058
Xl.23286.1.S1_at	3.621255858
Xl.23287.1.S1_at	4.450531722
Xl.23288.1.S1_at	5.154982401
Xl.23289.1.S1_at	2.814350602
Xl.23291.1.S1_at	2.967032571
Xl.23293.1.S1_at	8.008444487
Xl.23295.1.S1_a_at	12.43839205
Xl.23297.1.S1_at	7.663050711
Xl.233.1.S1_at	5.039221358
Xl.233.1.S1_s_at	3.736179588
Xl.23306.1.S1_at	6.285695542
Xl.2331.1.A1_at	3.930655708
Xl.23314.1.S1_at	6.198186277
Xl.23318.1.S1_at	5.455258828
Xl.23319.1.S1_at	3.630865574
Xl.23320.1.S1_at	9.076103901
Xl.23325.1.S1_at	9.365976797
Xl.23326.1.S1_at	9.867308139
Xl.23327.1.S1_at	3.118445623
Xl.23328.1.S1_at	10.30772548
Xl.23335.1.S1_at	6.285442401
Xl.23336.1.S1_at	3.100498929
Xl.2334.1.A1_at	3.505529223
Xl.23345.1.S1_at	3.596278797
Xl.23351.1.S1_at	3.508837358
Xl.23353.1.S1_at	3.331675419
Xl.23370.1.S1_at	4.209628862
Xl.23371.1.S1_at	3.795040995
Xl.23378.1.S1_at	3.714757333
Xl.23389.1.A1_at	3.00951427
Xl.23393.1.S1_at	7.199207717
Xl.23397.1.A1_at	3.260513744
Xl.23399.1.S1_at	2.625347307
Xl.234.1.S1_at	3.270877667
Xl.234.1.S1_s_at	2.827401887
Xl.234.1.S2_at	3.558811285
Xl.23400.1.S1_s_at	11.04760736
Xl.23401.1.S1_at	6.467118342
Xl.23402.1.S1_at	10.08621395
Xl.23405.1.S1_at	6.449211958
Xl.23408.1.S1_at	9.220486054
Xl.23413.1.A1_at	7.74834294
Xl.23419.1.S1_at	6.30925614
Xl.23419.1.S1_s_at	7.733055654
Xl.23425.1.A1_at	3.355130093
Xl.23426.1.A1_a_at	8.153047046
Xl.23426.1.A1_x_at	7.897214782
Xl.23426.2.A1_a_at	8.506456567
Xl.23426.2.A1_x_at	8.16602262
Xl.23426.3.A1_x_at	7.598042403
Xl.23428.1.A1_at	7.409181504
Xl.2343.1.S1_at	3.811201857
Xl.23436.1.A1_at	5.534996504
Xl.23438.1.S1_at	10.8329505
Xl.23438.1.S1_s_at	10.83755234
Xl.23438.1.S2_s_at	11.46455465
Xl.23441.1.A1_at	5.49925672
Xl.23442.1.A1_at	8.058291193
Xl.23446.1.S1_at	6.316099861
Xl.23448.1.S1_at	10.49834012
Xl.23448.2.A1_at	10.00137906
Xl.2345.1.A1_at	4.820575895
Xl.23450.1.S1_at	9.734431994
Xl.23452.1.S1_at	4.75883782
Xl.23453.1.S1_at	7.631274539
Xl.23457.1.S1_at	5.391745264
Xl.23458.1.S1_at	5.486443365
Xl.23459.1.A1_at	3.879851088
Xl.2346.1.S1_at	9.58606815
Xl.2346.1.S1_s_at	12.33995399
Xl.23466.1.A1_at	5.909833532
Xl.23466.1.A1_x_at	6.054481787
Xl.23471.1.S1_at	5.244534797
Xl.23480.1.A1_at	2.980723038
Xl.23483.1.A1_at	8.159843984
Xl.23484.1.A1_at	7.44063851
Xl.23485.1.A1_at	3.475337227
Xl.23488.1.A1_at	6.132207855
Xl.23489.1.S1_at	8.112072582
Xl.23492.1.S1_at	7.760649704
Xl.23492.1.S1_s_at	9.239919344
Xl.23494.1.A1_at	7.398179698
Xl.23496.1.S1_at	7.14920483
Xl.23496.1.S1_s_at	10.31926197
Xl.23498.1.A1_at	9.99505493
Xl.23498.1.A1_x_at	9.860485356
Xl.235.1.S1_at	6.778717617
Xl.23505.1.A1_at	5.670953225
Xl.23505.1.S1_at	4.108282353
Xl.23506.1.A1_at	3.099694921
Xl.23506.1.S1_at	2.417684786
Xl.23506.1.S1_x_at	2.586265617
Xl.23507.1.A1_at	3.015283753
Xl.23507.1.S1_at	3.005328323
Xl.23508.1.A1_at	3.298204799
Xl.23508.1.S1_x_at	2.747275423
Xl.23509.1.S1_at	6.829597065
Xl.2351.1.A1_at	5.934880479
Xl.23510.1.S1_at	3.831818249
Xl.23511.1.S1_at	3.678882141
Xl.23512.1.S1_at	3.259978639
Xl.23514.1.S1_at	4.93457778
Xl.23514.2.A1_at	6.757613181
Xl.23515.1.S1_at	6.591736078
Xl.23516.1.S1_at	5.007464514
Xl.23517.1.S1_at	4.130513001
Xl.23518.1.S1_at	4.352439459
Xl.23519.1.S1_at	3.224693192
Xl.23520.1.S1_at	6.455068028
Xl.23521.1.S1_at	4.807177644
Xl.23522.1.S1_at	3.878747757
Xl.23523.1.S1_at	6.197868477
Xl.23524.1.S1_at	3.247292133
Xl.23525.1.S1_at	3.067375361
Xl.23526.1.S1_at	2.614989483
Xl.23527.1.S1_at	3.643644928
Xl.23528.1.S1_at	4.049924344
Xl.23529.1.S1_at	3.369502655
Xl.2353.1.A1_x_at	2.55253794
Xl.23530.1.S1_at	3.018487813
Xl.23531.1.S1_at	3.97280744
Xl.23532.1.S1_at	2.722895291
Xl.23533.1.S1_at	3.240008654
Xl.23534.1.S1_at	2.660323449
Xl.23535.1.S1_at	3.10204373
Xl.23536.1.S1_at	3.940860122
Xl.23537.1.S1_at	5.650675942
Xl.23538.1.S1_at	3.004801408
Xl.23539.1.S1_at	3.567138995
Xl.23540.1.S1_at	6.853773997
Xl.23541.1.S1_at	3.034950882
Xl.23542.1.S1_at	7.757931412
Xl.23543.1.S1_at	4.847452574
Xl.23544.1.S1_at	5.283238938
Xl.23545.1.S1_at	8.880783731
Xl.23546.1.S1_at	4.125599946
Xl.23547.1.S1_at	5.991039116
Xl.23548.1.S1_at	3.26844535
Xl.23549.1.S1_at	2.558304975
Xl.23550.1.S1_at	3.228138076
Xl.23551.1.S1_at	2.852051106
Xl.23552.1.S1_at	3.907960779
Xl.23553.1.S1_at	3.170833587
Xl.23554.1.S1_at	6.420517172
Xl.23555.1.S1_at	6.30975259
Xl.23556.1.S1_at	2.823238293
Xl.23557.1.S1_at	5.986820408
Xl.23558.1.A1_at	2.682265983
Xl.23558.1.S1_at	2.714146929
Xl.23559.1.S1_at	3.410489706
Xl.2356.1.A1_at	4.163736695
Xl.23560.1.S1_at	7.422850217
Xl.23561.1.S1_at	2.787175172
Xl.23562.1.S1_at	3.541241807
Xl.23563.1.S1_at	4.833126819
Xl.23564.1.S1_at	4.038447854
Xl.23565.1.S1_at	5.530058425
Xl.23566.1.S1_at	6.872858428
Xl.23567.1.S1_at	3.873672841
Xl.23568.1.S1_at	4.283531737
Xl.23569.1.S1_at	2.91236605
Xl.2357.1.A1_at	2.984750152
Xl.23570.1.S1_at	4.506463494
Xl.23571.1.S1_at	8.012141713
Xl.23572.1.S1_at	5.247263832
Xl.23573.1.S1_at	8.968661439
Xl.23574.1.S1_at	6.929021404
Xl.23575.1.S1_at	3.56537923
Xl.23576.1.S1_s_at	5.686435221
Xl.23577.1.S1_at	6.177315695
Xl.23579.1.S1_at	7.69694449
Xl.23580.1.A1_at	3.448823088
Xl.23580.1.S1_at	3.741621776
Xl.23582.1.A1_s_at	3.171258614
Xl.23582.1.S1_s_at	2.501861048
Xl.23583.1.A1_at	3.580633719
Xl.23583.1.S1_at	3.09497743
Xl.23584.1.A1_a_at	2.448153925
Xl.23584.1.S1_a_at	2.926626997
Xl.23584.2.A1_a_at	2.304078384
Xl.23585.1.A1_at	5.487421135
Xl.23585.1.S1_at	3.050624095
Xl.23586.1.A1_at	3.031513837
Xl.23586.1.S1_at	3.832269427
Xl.23587.1.A1_at	3.259030773
Xl.23587.1.S1_at	5.718496978
Xl.23588.1.A1_at	3.090815523
Xl.23588.1.S1_at	2.497032411
Xl.23589.1.A1_at	2.915356883
Xl.23589.1.S1_at	3.01814593
Xl.2359.1.S1_at	2.745131313
Xl.23590.1.S1_at	3.054950114
Xl.23591.1.A1_at	3.462870911
Xl.23591.1.S1_at	4.891907517
Xl.23592.1.A1_at	3.847242476
Xl.23592.1.S1_at	5.320647255
Xl.23593.1.A1_at	4.086448892
Xl.23593.1.S1_at	2.875489388
Xl.23594.1.A1_at	2.584368818
Xl.23594.1.S1_at	3.303762226
Xl.23595.1.A1_x_at	3.761002341
Xl.23595.1.S1_x_at	3.071032923
Xl.23595.2.A1_x_at	2.936160508
Xl.23595.2.S1_x_at	2.975600251
Xl.23596.1.A1_s_at	3.232763271
Xl.23596.1.S1_s_at	2.409044105
Xl.23597.1.A1_at	3.775498233
Xl.23597.1.S1_at	2.930921846
Xl.23598.1.S1_at	3.174615404
Xl.23599.1.S1_at	2.497108289
Xl.236.1.S1_at	2.841329541
Xl.23600.1.A1_at	3.004092329
Xl.23600.1.S1_at	2.41178242
Xl.23601.1.A1_at	2.647602939
Xl.23602.1.S1_at	3.024183325
Xl.23603.1.S1_s_at	2.444500891
Xl.23606.1.A1_at	3.121576308
Xl.23607.1.A1_at	3.751582827
Xl.23607.1.S1_at	3.965704367
Xl.23608.1.A1_x_at	2.836413301
Xl.23609.1.A1_at	3.566632144
Xl.23609.1.S1_at	3.380833156
Xl.2361.1.A1_at	4.478360985
Xl.23611.1.A1_x_at	2.625034561
Xl.23612.1.A1_at	2.726071069
Xl.23612.1.S1_at	2.78644595
Xl.23613.1.S1_x_at	2.84142219
Xl.23617.1.A1_at	2.842097359
Xl.23617.1.S1_at	3.303572665
Xl.23618.1.A1_at	2.943120727
Xl.23618.1.S1_at	3.250114721
Xl.23619.1.A1_at	2.807547148
Xl.23619.1.S1_at	3.307785972
Xl.23621.1.A1_x_at	5.473889533
Xl.23621.1.S1_at	4.001402176
Xl.23622.1.A1_at	4.733138408
Xl.23622.1.S1_s_at	6.866668104
Xl.23623.1.S1_at	3.390225764
Xl.23624.1.A1_at	2.822086596
Xl.23624.1.S1_at	4.022961098
Xl.23625.1.S1_at	8.339304774
Xl.23626.1.A1_at	4.015330713
Xl.23627.1.S1_at	3.009443329
Xl.23628.1.S1_at	6.961647001
Xl.23629.1.S1_at	2.545169322
Xl.23630.1.S1_at	2.769577972
Xl.23631.1.S1_at	2.719370768
Xl.23632.1.S1_at	2.670269841
Xl.23633.1.S1_at	3.394589547
Xl.23634.1.S1_at	6.313860406
Xl.23634.1.S1_s_at	4.914779932
Xl.23635.1.S1_at	2.89309744
Xl.23636.1.S1_at	6.766620002
Xl.23637.1.S1_at	7.72668256
Xl.23638.1.S1_at	2.87145995
Xl.23639.1.S1_at	3.905185666
Xl.23640.1.S1_at	2.823332344
Xl.23641.1.S1_at	2.553507743
Xl.23642.1.S1_at	2.551559886
Xl.23643.1.S1_at	6.026547916
Xl.23644.1.S1_at	6.092097192
Xl.23645.1.S1_at	7.960048477
Xl.23646.1.A1_at	3.580809711
Xl.23646.1.S1_at	4.299835971
Xl.23647.1.S1_at	3.063365236
Xl.23648.1.S1_at	4.849290897
Xl.23649.1.S1_at	5.77554596
Xl.2365.1.A1_at	3.202213661
Xl.23650.1.S1_at	2.950951059
Xl.23652.1.S1_at	2.701973792
Xl.23654.1.A1_at	9.18418654
Xl.23655.1.S1_at	3.735138629
Xl.2366.1.A1_at	5.013736824
Xl.23660.3.S1_a_at	4.997558314
Xl.23662.1.A1_at	3.766153015
Xl.23664.1.A1_s_at	10.80412101
Xl.23667.1.A1_at	3.806363048
Xl.2367.1.S1_at	7.286901725
Xl.23670.1.A1_at	7.661981804
Xl.23673.1.S1_at	3.521315954
Xl.23675.1.A1_at	6.11368901
Xl.23676.1.A1_at	2.738367712
Xl.23679.1.S1_at	7.318925932
Xl.2368.1.A1_at	5.827449144
Xl.23684.1.A1_at	2.689842139
Xl.2369.1.A1_at	2.471061819
Xl.23692.1.A1_at	6.96662208
Xl.23694.1.S1_at	3.742103673
Xl.23695.1.S1_at	5.833203624
Xl.23696.1.S1_at	3.029546851
Xl.23697.1.S1_at	2.642929687
Xl.23698.1.S1_at	6.269924069
Xl.23698.1.S1_s_at	7.773120801
Xl.237.1.S1_at	4.485950886
Xl.2370.1.A1_at	2.638466752
Xl.23700.1.S1_at	10.85653772
Xl.23702.1.S1_at	3.847634561
Xl.23703.1.A1_at	3.191323518
Xl.23704.1.A1_at	2.690917878
Xl.23706.1.A1_at	6.855462948
Xl.23707.1.A1_at	3.921610045
Xl.23708.1.A1_at	7.523252905
Xl.23709.1.A1_at	6.134502428
Xl.23710.1.S1_at	2.611953519
Xl.23712.1.S1_at	4.098018375
Xl.23713.1.A1_at	4.141265302
Xl.23716.1.S1_at	8.134037813
Xl.23717.1.A1_at	7.382957401
Xl.23718.1.A1_at	5.424228106
Xl.23723.1.S1_at	2.835366942
Xl.23724.1.S1_at	7.021192811
Xl.23725.1.A1_at	5.868139061
Xl.23728.1.A1_at	3.343865239
Xl.23729.1.A1_at	7.009214798
Xl.23730.1.S1_at	5.448801283
Xl.23731.1.S1_at	9.854388811
Xl.23732.1.S1_at	7.673068054
Xl.23733.1.A1_at	7.259403201
Xl.23735.1.S1_at	7.310491947
Xl.23736.1.S1_at	3.607354806
Xl.23737.1.S1_at	7.209909339
Xl.23738.1.S1_at	5.276092034
Xl.23739.1.A1_at	2.695524768
Xl.2374.1.A1_at	2.762132901
Xl.23740.1.S1_at	8.019504017
Xl.23742.1.S1_at	6.970096281
Xl.23743.1.S1_at	7.189209792
Xl.23744.1.S1_at	6.189851399
Xl.23745.1.A1_at	7.080562857
Xl.23746.1.S1_at	4.912439813
Xl.23747.1.A1_at	7.749091908
Xl.23748.1.A1_at	6.598099715
Xl.23749.1.S1_at	7.045498445
Xl.2375.1.A1_at	2.836732679
Xl.2375.1.S1_at	2.968301659
Xl.23750.1.S1_at	8.755469318
Xl.23751.1.A1_at	9.373638113
Xl.23752.1.S1_a_at	10.93347342
Xl.23752.1.S1_at	11.01550936
Xl.23752.1.S1_x_at	11.76499974
Xl.23752.2.S1_at	10.8166065
Xl.23752.2.S1_x_at	11.07836786
Xl.23753.1.S1_at	7.273634607
Xl.23754.1.S1_at	6.353059126
Xl.23755.1.S1_at	9.070496454
Xl.23758.1.A1_at	2.631367608
Xl.23759.1.A1_at	3.753709494
Xl.23761.1.A1_at	7.516062737
Xl.23761.2.A1_at	7.17650516
Xl.23763.1.S1_at	5.786775244
Xl.23764.1.A1_at	4.102620887
Xl.23765.1.S1_at	6.365397596
Xl.23765.2.S1_a_at	5.985405402
Xl.23766.1.S1_at	5.773216774
Xl.23767.1.A1_at	2.358733998
Xl.23768.1.A1_at	2.800421692
Xl.2377.1.A1_at	3.876259089
Xl.23770.1.A1_at	7.731266816
Xl.23773.1.A1_at	7.573706708
Xl.23774.1.A1_at	2.601264947
Xl.23776.1.A1_at	5.712308482
Xl.23777.1.S1_at	2.867493673
Xl.23778.1.S1_at	11.02629773
Xl.23779.1.S1_at	3.94877198
Xl.23780.1.S1_at	10.53306026
Xl.23781.1.S1_at	7.447002464
Xl.23782.1.A1_at	4.301982871
Xl.23786.1.S1_at	8.144710131
Xl.23786.2.S1_a_at	9.495247032
Xl.23786.2.S1_x_at	8.644710377
Xl.23786.3.A1_at	4.865750527
Xl.23787.1.A1_at	4.567755024
Xl.23787.2.S1_at	3.128241623
Xl.23787.3.S1_at	3.995407123
Xl.23789.1.A1_at	7.184796721
Xl.23790.1.S1_at	2.873751658
Xl.23791.1.A1_at	3.576687747
Xl.23795.1.A1_at	5.586409271
Xl.23796.1.A1_at	5.087132313
Xl.23798.1.S1_at	5.048265237
Xl.23799.1.A1_at	7.917053233
Xl.238.1.S1_at	7.454455429
Xl.23800.1.A1_at	5.61495955
Xl.23801.1.A1_at	7.748292891
Xl.23801.2.S1_at	8.533330726
Xl.23801.3.S1_a_at	8.621985202
Xl.23801.3.S1_at	8.147841666
Xl.23802.1.S1_at	7.368380119
Xl.23803.1.S1_at	7.330835458
Xl.23806.1.A1_at	7.800733866
Xl.23807.1.A1_at	7.231327406
Xl.23808.1.S1_at	8.763112292
Xl.23810.1.S1_at	2.998339769
Xl.23810.2.A1_at	2.995512454
Xl.23810.2.A1_x_at	3.152461146
Xl.23811.1.A1_at	3.337534016
Xl.23812.1.A1_at	2.9273532
Xl.23815.1.S1_at	4.836307169
Xl.23816.1.S1_at	9.384169802
Xl.23817.1.S1_at	7.911199294
Xl.23819.1.A1_at	7.50813488
Xl.23820.1.A1_at	6.729141312
Xl.23820.2.A1_at	8.543113288
Xl.23820.2.A1_x_at	7.393301923
Xl.23821.1.S1_at	9.863565625
Xl.23822.1.S1_at	6.796609777
Xl.23823.1.S1_a_at	9.849405353
Xl.23823.1.S1_at	7.314345276
Xl.23823.2.A1_at	6.871211163
Xl.23825.1.A1_at	6.730752215
Xl.23825.1.A1_x_at	7.893833034
Xl.23826.1.S1_at	6.269501539
Xl.23827.1.A1_at	3.732967362
Xl.23828.1.A1_at	5.771374555
Xl.23829.1.S1_at	6.413971735
Xl.23830.1.S1_at	6.291007635
Xl.23830.2.A1_at	7.602692959
Xl.23831.1.A1_s_at	2.732914907
Xl.23832.1.S1_at	6.691682694
Xl.23833.1.A1_at	3.014815061
Xl.23834.1.A1_at	7.356699126
Xl.23835.1.A1_s_at	4.091370588
Xl.23836.1.S1_at	9.412651083
Xl.23837.1.A1_at	7.046991758
Xl.23838.1.A1_at	6.330723203
Xl.23839.1.S1_at	5.646821465
Xl.2384.1.A1_at	3.8015599
Xl.23840.1.S1_at	6.800289718
Xl.23841.1.S1_s_at	11.8471526
Xl.23841.1.S1_x_at	10.64706787
Xl.23845.1.A1_a_at	8.950409373
Xl.23845.1.A1_at	8.17027087
Xl.23845.2.S1_at	7.309207735
Xl.23846.1.S1_at	6.247403648
Xl.23848.1.S1_at	7.7895288
Xl.23848.3.A1_at	4.15980119
Xl.23849.1.S1_at	3.224365927
Xl.23853.1.A1_at	5.841014753
Xl.23854.1.A1_at	4.794844946
Xl.23855.1.S1_at	9.153191883
Xl.23858.1.A1_at	4.960636021
Xl.23860.1.S1_at	8.902551862
Xl.23861.1.S1_at	7.696486585
Xl.23862.1.S1_at	6.55725764
Xl.23862.2.A1_at	6.720662651
Xl.23864.2.S1_at	7.278012545
Xl.23864.3.A1_a_at	6.137576081
Xl.23869.1.A1_at	2.751874804
Xl.2387.1.A1_at	3.176137215
Xl.23870.1.A1_at	4.046841176
Xl.23871.1.S1_at	6.390861716
Xl.23872.1.S1_at	8.879637984
Xl.23873.1.S1_at	6.929468206
Xl.23875.1.S1_at	2.567862508
Xl.23876.1.A1_at	4.771602003
Xl.23878.1.A1_at	7.108108426
Xl.23879.1.S1_at	5.001370473
Xl.2388.1.A1_at	2.529619387
Xl.2388.1.S1_x_at	2.294821128
Xl.23880.1.A1_at	4.141509807
Xl.23881.1.S1_at	4.1173887
Xl.23883.1.S1_at	3.965425213
Xl.23883.2.S1_a_at	3.885750644
Xl.23883.2.S1_x_at	3.587919759
Xl.23884.1.S1_at	7.971540832
Xl.23885.1.S1_at	4.008641563
Xl.23886.1.A1_at	8.623306738
Xl.23887.1.A1_at	2.764065141
Xl.23887.2.S1_at	3.441344072
Xl.23888.1.S1_at	6.583614562
Xl.23888.2.S1_a_at	8.443697057
Xl.23888.2.S1_at	7.681690146
Xl.23890.1.S1_at	8.180040652
Xl.23891.1.S1_at	3.948286805
Xl.23892.1.S1_at	7.587536949
Xl.23893.1.A1_at	7.249514072
Xl.23894.1.S1_at	8.63676436
Xl.23895.1.A1_at	8.728918692
Xl.23895.2.S1_at	8.757799829
Xl.23896.1.S1_at	5.919659959
Xl.23897.1.S1_at	6.238894071
Xl.23898.1.A1_at	6.418460435
Xl.23898.1.A1_x_at	6.419247157
Xl.23899.1.S1_at	5.581192552
Xl.239.1.S1_at	6.800013175
Xl.23900.1.A1_at	6.442509579
Xl.23901.1.S1_at	8.009827882
Xl.23902.1.S1_at	2.716063317
Xl.23903.1.S1_at	5.689282253
Xl.23905.1.S1_at	7.010184844
Xl.23906.1.S1_at	7.703272999
Xl.23907.1.S1_a_at	7.137673938
Xl.23907.1.S1_at	4.883325788
Xl.23909.1.A1_at	4.657748706
Xl.2391.1.S1_at	6.739634015
Xl.23910.1.S1_at	8.242698227
Xl.23911.1.S1_at	8.512487388
Xl.23915.1.S1_at	4.708345486
Xl.23916.1.S1_at	5.939431254
Xl.23916.2.A1_at	2.767869025
Xl.23917.1.S1_at	6.692880304
Xl.2392.1.S1_at	2.884693359
Xl.23922.1.S1_a_at	8.425300098
Xl.23922.1.S1_at	7.964146006
Xl.23923.1.A1_at	4.470331588
Xl.23924.1.A1_at	9.136769349
Xl.23926.1.A1_at	7.944598107
Xl.23927.2.A1_at	6.476385383
Xl.23927.2.A1_x_at	7.965867872
Xl.23927.3.S1_a_at	10.11896502
Xl.23928.1.S1_at	2.564610352
Xl.23929.1.S1_at	7.745453471
Xl.23930.1.S1_at	8.897892124
Xl.23931.1.A1_at	7.390803501
Xl.23932.1.S1_at	8.791567355
Xl.23933.1.S1_at	3.193518316
Xl.23934.1.A1_at	7.291378706
Xl.23935.1.A1_at	4.826041069
Xl.23936.1.A1_at	3.22938789
Xl.23937.1.S1_at	2.972612558
Xl.23938.1.A1_at	7.272648102
Xl.23938.2.S1_at	5.22955033
Xl.23940.1.A1_at	7.364083107
Xl.23943.1.A1_at	4.327426929
Xl.23943.3.A1_at	3.878852989
Xl.23944.1.S1_at	4.421314434
Xl.23945.1.A1_at	5.69804094
Xl.23946.1.S1_at	5.972708103
Xl.23947.1.S1_at	4.805403768
Xl.23948.3.A1_a_at	2.889664585
Xl.23949.1.S1_at	3.598512432
Xl.23949.2.S1_a_at	2.635014495
Xl.2395.1.S1_at	4.196715999
Xl.23950.2.A1_at	3.589568255
Xl.23951.1.S1_at	4.960693194
Xl.23952.1.S1_at	8.633173075
Xl.23954.1.A1_at	2.696833515
Xl.23955.1.A1_at	5.436807257
Xl.23956.1.S1_at	6.392587343
Xl.23957.1.S1_at	4.451956106
Xl.23958.1.S1_at	3.874699792
Xl.23959.1.A1_at	5.981035745
Xl.2396.1.S1_at	3.707413337
Xl.23960.1.A1_at	7.450356134
Xl.23961.1.A1_at	7.199390925
Xl.23962.1.S1_at	2.405708398
Xl.23963.1.A1_at	2.548460293
Xl.23965.1.S1_at	3.356659242
Xl.23965.1.S1_s_at	3.834668078
Xl.23966.1.S1_at	2.654903735
Xl.23967.1.S1_at	5.224855134
Xl.23967.2.S1_a_at	3.661567693
Xl.23967.2.S1_at	4.235192721
Xl.23969.1.A1_at	6.409625545
Xl.2397.1.S1_at	3.218875968
Xl.23972.1.A1_at	3.731008206
Xl.23973.1.A1_at	8.841220796
Xl.23976.1.A1_at	4.555212195
Xl.23977.1.S1_at	5.30530258
Xl.23978.1.S1_at	4.257238115
Xl.23979.1.S1_at	12.14395466
Xl.23980.1.A1_at	5.322047369
Xl.23981.1.A1_at	4.952782801
Xl.23982.1.A1_at	5.205200383
Xl.23983.1.A1_at	7.415401191
Xl.23984.1.A1_at	5.763433078
Xl.23986.1.S1_at	8.412526368
Xl.23988.1.S1_at	6.836328565
Xl.2399.1.A1_at	5.578966419
Xl.23990.1.S1_at	8.51356242
Xl.23993.1.A1_at	9.316271028
Xl.23994.1.S1_at	6.069752435
Xl.23994.3.A1_at	4.228628887
Xl.240.1.S1_at	8.963396883
Xl.240.1.S2_at	6.713632271
Xl.2400.1.A1_at	2.830201489
Xl.24000.1.A1_at	5.814199487
Xl.24002.1.A1_at	5.632633053
Xl.24002.1.A1_x_at	6.174637638
Xl.24003.1.S1_at	5.174105741
Xl.24004.1.A1_at	2.957542086
Xl.24005.1.A1_at	5.952690555
Xl.24006.1.S1_at	3.867475683
Xl.24007.1.S1_at	5.009096975
Xl.24008.1.A1_at	8.788459108
Xl.24008.3.S1_at	6.193949981
Xl.24009.1.S1_at	5.489489809
Xl.2401.1.A1_at	2.306685488
Xl.24010.1.S1_at	8.015853002
Xl.24010.2.S1_at	5.869356369
Xl.24011.1.S1_at	4.451448829
Xl.24012.1.S1_at	5.854951796
Xl.24013.1.A1_at	6.139972866
Xl.24014.1.A1_at	6.312542896
Xl.24015.1.S1_at	7.004689209
Xl.24016.1.A1_at	6.234486467
Xl.24018.1.A1_at	7.860460068
Xl.24021.1.S1_at	7.40218905
Xl.24022.1.S1_at	8.251190122
Xl.24023.1.S1_at	5.24706155
Xl.24024.1.S1_at	6.130373039
Xl.24025.1.S1_at	7.174884889
Xl.24026.1.A1_at	4.069923827
Xl.24027.1.S1_at	3.49368048
Xl.24028.1.A1_at	4.486375755
Xl.24029.1.A1_at	5.558536077
Xl.24030.1.S1_at	5.601366418
Xl.24034.1.S1_at	7.25409999
Xl.24035.1.A1_at	3.78059756
Xl.24036.1.A1_at	5.059226516
Xl.24038.1.S1_at	4.53340818
Xl.2404.1.S1_at	2.56680609
Xl.24040.1.S1_at	6.391446684
Xl.24041.1.A1_at	6.082890637
Xl.24043.1.S1_at	6.604128276
Xl.24046.1.A1_at	3.378034418
Xl.24047.1.S1_at	3.438553926
Xl.24048.1.S1_at	3.617328774
Xl.24049.1.A1_at	6.759511705
Xl.2405.1.A1_at	2.883183999
Xl.24050.2.S1_a_at	7.097404127
Xl.24051.1.A1_at	7.438177719
Xl.24052.1.S1_at	8.091524775
Xl.24053.1.A1_at	3.710495727
Xl.24054.1.S1_at	9.620603117
Xl.24055.1.A1_at	5.290478414
Xl.24058.1.S1_at	8.174084163
Xl.2406.1.A1_at	3.94449397
Xl.24060.1.S1_at	3.957637373
Xl.24060.2.S1_a_at	3.889262459
Xl.24060.2.S1_x_at	3.559704006
Xl.24065.1.S1_at	5.653403941
Xl.24066.1.S1_at	6.574967946
Xl.24067.1.A1_at	7.413717405
Xl.24067.2.A1_a_at	7.851102598
Xl.24067.2.A1_x_at	7.182415919
Xl.2407.1.A1_at	5.678038375
Xl.24070.1.S1_at	8.790099857
Xl.24071.1.S1_a_at	7.833776729
Xl.24071.1.S1_at	6.299139818
Xl.24072.1.A1_at	3.463446142
Xl.24073.1.A1_at	4.751789839
Xl.24074.1.S1_at	5.499663458
Xl.24076.1.A1_at	4.094518293
Xl.24077.1.S1_at	6.363183569
Xl.24078.1.S1_at	6.311545337
Xl.2408.1.S1_at	5.253498352
Xl.24080.1.S1_at	7.792179804
Xl.24082.1.A1_a_at	9.955626052
Xl.24082.1.A1_x_at	8.506669732
Xl.24083.1.S1_at	7.828736639
Xl.24085.1.A1_at	5.600278567
Xl.24086.1.A1_at	5.277343561
Xl.24087.1.A1_at	4.278882999
Xl.24088.1.A1_at	5.408060789
Xl.24090.1.A1_at	4.306967906
Xl.24091.1.A1_at	3.664056895
Xl.24092.1.A1_x_at	6.025224041
Xl.24093.1.A1_at	6.385015728
Xl.24093.1.A1_x_at	6.500213567
Xl.24094.1.A1_at	2.990290398
Xl.24095.1.A1_at	3.166741973
Xl.24096.1.A1_at	2.600041593
Xl.24098.1.A1_at	3.068474809
Xl.24099.1.A1_at	4.666743038
Xl.241.1.S1_at	2.622464679
Xl.2410.1.A1_at	7.466044157
Xl.24100.1.A1_s_at	6.090430975
Xl.24101.1.A1_at	6.324422484
Xl.24102.1.A1_at	4.145912254
Xl.24104.1.A1_at	3.08843765
Xl.24105.1.A1_at	6.047004693
Xl.24106.1.S1_at	7.76527437
Xl.24107.1.A1_at	7.306819697
Xl.24109.1.A1_at	3.836420742
Xl.24109.1.A1_s_at	5.20593113
Xl.24111.1.A1_at	2.986609357
Xl.24112.1.A1_at	4.926556846
Xl.24113.1.S1_at	10.77335645
Xl.24115.1.A1_at	3.542672553
Xl.24116.1.A1_at	4.343560241
Xl.24117.1.A1_at	6.354630524
Xl.24118.1.A1_x_at	7.976829165
Xl.24121.1.A1_at	8.494773952
Xl.24123.1.A1_at	4.004010633
Xl.24124.1.A1_at	3.268444721
Xl.24125.1.A1_at	5.472277447
Xl.24127.1.A1_at	2.486447274
Xl.24128.1.S1_at	4.663272743
Xl.2413.1.S1_at	5.760711357
Xl.24130.1.S1_at	6.090251675
Xl.24132.1.S1_at	7.943953037
Xl.24132.2.A1_at	4.840392777
Xl.24133.1.S1_a_at	11.37075626
Xl.24133.1.S1_at	9.977270571
Xl.24133.2.A1_at	11.24946476
Xl.24134.1.A1_at	2.826797453
Xl.24136.1.A1_at	3.168604893
Xl.24137.1.A1_at	2.581424283
Xl.24138.1.A1_at	2.842867168
Xl.24140.1.A1_at	3.68879046
Xl.24140.2.A1_at	4.038110089
Xl.24140.3.A1_at	3.074736873
Xl.24141.1.A1_at	5.179082975
Xl.24142.1.A1_at	5.313137264
Xl.24143.1.A1_at	2.704432358
Xl.24144.1.A1_at	3.155093559
Xl.24145.1.A1_at	3.14461746
Xl.24147.1.A1_at	4.452650769
Xl.24151.1.S1_at	3.549417061
Xl.24153.1.S1_at	9.744167156
Xl.24154.1.A1_at	2.410639469
Xl.24155.1.A1_at	6.132771175
Xl.24156.1.A1_at	2.704731907
Xl.24158.1.A1_at	4.974352613
Xl.24159.1.A1_at	2.30092729
Xl.2416.1.S1_at	3.005550855
Xl.24161.1.A1_at	2.93285363
Xl.24162.1.A1_at	7.102629774
Xl.24163.1.S1_at	4.918414146
Xl.24164.2.S1_a_at	4.973479294
Xl.24165.1.A1_at	3.580140584
Xl.24167.1.S1_at	6.352130499
Xl.24168.2.A1_at	4.389568728
Xl.24169.1.A1_at	7.473380136
Xl.24171.1.S1_at	9.474108057
Xl.24172.1.A1_at	4.79156533
Xl.24173.1.S1_at	6.603360274
Xl.24174.1.A1_at	3.710192271
Xl.24175.1.A1_at	3.688900112
Xl.24177.1.S1_at	3.314881332
Xl.24178.1.A1_at	4.29679956
Xl.24179.1.S1_at	8.3324022
Xl.2418.1.A1_at	5.425534501
Xl.24180.1.A1_at	8.296377301
Xl.24181.1.A1_at	2.589054303
Xl.24182.1.A1_at	4.40949442
Xl.24183.1.S1_at	4.103997402
Xl.24186.1.S1_at	6.754885703
Xl.24187.1.A1_at	4.841058585
Xl.24189.1.A1_at	6.8946935
Xl.2419.1.S1_a_at	9.38104769
Xl.2419.1.S1_at	8.88389307
Xl.2419.1.S1_x_at	9.490451777
Xl.2419.2.S1_at	7.894007543
Xl.2419.2.S1_x_at	8.745411792
Xl.24190.1.A1_at	7.546483617
Xl.24192.1.A1_at	2.532052911
Xl.24193.1.A1_at	9.369482314
Xl.24194.1.S1_at	8.058397329
Xl.24195.1.S1_at	2.759555544
Xl.24196.1.S1_at	4.459840978
Xl.24197.1.S1_at	3.621755431
Xl.24199.1.A1_at	4.174661209
Xl.24199.3.A1_at	4.085197906
Xl.242.1.S1_at	2.961291081
Xl.24200.1.S1_a_at	5.295857155
Xl.24201.1.S1_at	3.77842092
Xl.24203.1.S1_at	6.131234176
Xl.24204.1.A1_at	5.559905786
Xl.24205.1.S1_at	4.370525377
Xl.24209.1.A1_at	5.980643062
Xl.24210.1.A1_at	4.070384997
Xl.24210.1.A1_s_at	5.605589875
Xl.24211.1.A1_at	5.331076512
Xl.24212.1.A1_at	6.080750581
Xl.24213.1.S1_at	9.5052617
Xl.24214.1.S1_at	3.294723774
Xl.24215.1.S1_at	6.473729501
Xl.24216.1.S1_at	6.462277126
Xl.24217.1.A1_at	3.801259223
Xl.24218.1.S1_at	9.981575888
Xl.24219.1.S1_at	7.125831934
Xl.2422.1.S1_at	7.368145369
Xl.24220.1.S1_at	7.507854985
Xl.24221.1.S1_s_at	9.813398416
Xl.24221.2.A1_at	3.17538745
Xl.24222.1.S1_at	3.187121343
Xl.24223.1.A1_at	3.253775531
Xl.24224.1.A1_at	6.566671919
Xl.24225.1.A1_at	2.972252994
Xl.24227.1.A1_at	6.667669483
Xl.24229.1.S1_at	7.136450479
Xl.24232.1.A1_at	6.846572214
Xl.24234.1.A1_at	6.642365848
Xl.24236.1.S1_at	8.26044297
Xl.24238.1.A1_at	3.142060366
Xl.24239.1.S1_at	2.471054481
Xl.24240.1.A1_at	5.995800335
Xl.24242.1.A1_at	3.463734369
Xl.24243.1.A1_at	3.088653587
Xl.24244.1.A1_at	8.511249067
Xl.24246.1.A1_at	7.482847906
Xl.24247.1.A1_at	3.489833947
Xl.24249.1.A1_at	2.505636684
Xl.2425.1.S1_at	7.202080617
Xl.2425.1.S1_s_at	9.321453294
Xl.24253.1.A1_at	7.474650226
Xl.24254.1.A1_at	6.556274449
Xl.24256.1.A1_at	3.198364622
Xl.24257.1.A1_at	4.346382574
Xl.24258.1.A1_at	3.015403404
Xl.2426.1.A1_at	5.806876872
Xl.24263.2.A1_at	4.860984867
Xl.24264.1.A1_at	6.113989966
Xl.24265.1.A1_at	3.106724592
Xl.24266.1.A1_at	4.901630808
Xl.24267.1.A1_at	3.168157915
Xl.24268.1.A1_at	4.047967906
Xl.24269.1.S1_at	8.677402288
Xl.24270.1.A1_at	5.925848587
Xl.24272.1.A1_at	7.544185346
Xl.24274.1.A1_at	8.319220457
Xl.24275.1.S1_at	6.480171729
Xl.24276.1.A1_at	4.758673226
Xl.24277.1.A1_at	4.200185464
Xl.24279.1.S1_at	9.881766664
Xl.24279.2.S1_a_at	9.371941807
Xl.2428.1.A1_at	5.85492725
Xl.24280.1.A1_at	3.287690675
Xl.24281.1.A1_at	5.881970935
Xl.24282.1.S1_a_at	6.656591155
Xl.24283.1.S1_at	5.497753195
Xl.24285.1.A1_at	2.510591953
Xl.24286.3.S1_a_at	6.143107295
Xl.24286.3.S1_at	5.611253417
Xl.24288.1.A1_at	5.605629026
Xl.24289.1.A1_at	6.906241402
Xl.24290.1.A1_at	3.813210675
Xl.24291.1.A1_at	6.896320819
Xl.24293.1.A1_at	4.697255384
Xl.24294.1.S1_at	8.741980817
Xl.24296.1.A1_at	5.341530397
Xl.24297.1.A1_at	2.996254176
Xl.24297.2.S1_at	2.705625085
Xl.24297.3.S1_s_at	3.967161505
Xl.24299.1.S1_at	3.413006778
Xl.243.1.S1_at	3.115555637
Xl.243.2.S1_a_at	2.609760175
Xl.24300.1.A1_at	8.495307006
Xl.24301.1.S1_at	9.03660381
Xl.24302.1.A1_at	8.219900297
Xl.24303.1.A1_at	7.710578769
Xl.24305.1.A1_at	3.491492657
Xl.24305.2.A1_at	2.80771475
Xl.24306.1.A1_at	5.554032881
Xl.24308.1.A1_at	7.405393767
Xl.24309.1.A1_at	5.028457487
Xl.2431.1.S1_at	2.688943165
Xl.24310.1.S1_at	2.767332178
Xl.24311.1.A1_at	7.348672419
Xl.24315.1.A1_at	2.591378791
Xl.24316.1.A1_at	6.148820228
Xl.24317.1.A1_at	4.236802226
Xl.24318.1.S1_x_at	4.590028499
Xl.24318.2.S1_x_at	6.265823999
Xl.24318.3.S1_a_at	7.587940413
Xl.24318.3.S1_at	7.955541543
Xl.24319.1.A1_at	6.35018985
Xl.24321.1.A1_at	3.064534197
Xl.24323.1.A1_at	5.242702742
Xl.24329.1.A1_at	4.41447353
Xl.2433.1.S1_at	3.755419712
Xl.24330.1.S1_at	5.814111984
Xl.24332.1.A1_at	2.939689426
Xl.24334.1.A1_at	3.428187498
Xl.24335.1.A1_at	2.768915488
Xl.24336.1.A1_at	3.806442921
Xl.24337.1.A1_at	2.682300071
Xl.24338.1.A1_at	7.178968259
Xl.2434.1.A1_at	4.058158094
Xl.24340.1.A1_at	9.998202435
Xl.24341.1.A1_at	3.266427433
Xl.24347.1.A1_at	2.685204517
Xl.24349.1.S1_at	3.07618972
Xl.24350.1.S1_at	7.023245685
Xl.24352.1.S1_at	4.818153505
Xl.24353.1.A1_at	3.095177632
Xl.24356.1.S1_at	7.474996556
Xl.24357.1.S1_at	8.109441147
Xl.24358.1.A1_at	5.785559016
Xl.24358.1.A1_x_at	6.797850666
Xl.24359.1.A1_at	3.626357217
Xl.2436.1.S1_at	10.21591516
Xl.24360.1.S1_at	2.360633774
Xl.24361.1.S1_at	8.406465057
Xl.24362.1.A1_at	6.160304596
Xl.24363.1.S1_at	7.376702366
Xl.24365.1.S1_at	3.284000408
Xl.24366.1.S1_at	3.026707548
Xl.24368.1.S1_at	7.469047091
Xl.24370.1.S1_a_at	9.067800039
Xl.24370.1.S1_x_at	8.738915294
Xl.24370.2.S1_x_at	8.856396887
Xl.24371.1.S1_at	5.05744522
Xl.24372.1.A1_at	2.935234256
Xl.24376.1.A1_at	6.276745891
Xl.24377.1.S1_at	4.513687022
Xl.24379.1.S1_at	2.719696282
Xl.2438.1.A1_at	5.981173933
Xl.24380.1.A1_at	3.515592998
Xl.24381.1.A1_at	3.108483715
Xl.24382.1.S1_at	6.345808447
Xl.24383.1.S1_at	3.797498681
Xl.24384.1.A1_at	3.889867723
Xl.24384.2.S1_at	5.890390775
Xl.24384.3.S1_a_at	5.034831947
Xl.24384.3.S1_x_at	5.079471183
Xl.24385.1.S1_at	8.746765923
Xl.24386.1.A1_at	6.371853505
Xl.24387.1.A1_at	7.269079756
Xl.2439.1.A1_at	4.726708092
Xl.24390.1.A1_at	5.088202641
Xl.24391.1.A1_at	7.346281208
Xl.24391.2.A1_at	6.426861401
Xl.24392.1.S1_at	10.33793008
Xl.24394.1.S1_at	5.250553679
Xl.24395.1.A1_at	2.954419118
Xl.24397.1.S1_at	7.727701977
Xl.24398.1.A1_at	5.226706241
Xl.24399.1.A1_at	6.72647386
Xl.24399.2.S1_at	5.772660142
Xl.244.1.S1_at	2.660448286
Xl.2440.1.A1_at	3.162782491
Xl.24400.1.S1_at	8.471321757
Xl.24401.1.A1_at	8.855713267
Xl.24402.1.A1_at	7.383580497
Xl.24403.1.S1_at	7.620826584
Xl.24404.1.S1_at	7.216021661
Xl.24406.1.A1_at	3.934943243
Xl.24407.1.S1_at	7.176993255
Xl.2441.1.A1_at	3.921979854
Xl.24410.1.S1_at	2.987173558
Xl.24412.1.S1_at	6.246296571
Xl.24413.1.S1_at	3.150891173
Xl.24414.1.S1_at	6.380363626
Xl.24416.1.S1_at	5.980489417
Xl.24417.1.A1_at	5.395713818
Xl.24419.1.A1_at	5.027989291
Xl.2442.1.A1_at	3.417561903
Xl.24422.1.S1_at	2.831271626
Xl.24424.1.A1_at	3.3262164
Xl.24425.1.A1_at	3.417275723
Xl.24425.2.A1_at	3.52067084
Xl.24426.1.A1_at	3.496660082
Xl.24427.1.S1_at	2.55709621
Xl.24428.1.S1_at	2.916050509
Xl.24429.1.S1_at	8.991729985
Xl.2443.1.S1_at	5.720644769
Xl.24431.1.S1_at	3.815159528
Xl.24432.1.S1_at	3.031116862
Xl.24432.1.S1_s_at	5.749415469
Xl.24434.1.S1_at	8.344025317
Xl.24437.1.A1_at	8.69484514
Xl.24438.1.S1_at	5.802877768
Xl.24445.1.S1_at	2.907848562
Xl.24446.1.S1_at	3.638713402
Xl.24449.1.S1_at	6.190586398
Xl.2445.1.A1_at	3.081010221
Xl.24450.1.S1_at	3.222732462
Xl.24451.1.S1_at	8.543537443
Xl.24452.1.S1_at	9.81502992
Xl.24453.1.S1_at	6.197774964
Xl.24455.1.S1_a_at	9.986302873
Xl.24455.1.S1_at	11.07007304
Xl.24455.1.S1_x_at	10.48024333
Xl.24456.1.A1_at	5.026945424
Xl.24457.1.S1_at	9.107758426
Xl.24458.1.S1_at	8.233504242
Xl.24459.1.A1_at	7.030346196
Xl.2446.1.S1_at	5.929824766
Xl.24460.1.S1_at	6.35572615
Xl.24460.1.S2_at	7.949536286
Xl.24460.2.A1_at	8.798805604
Xl.24461.1.S1_at	4.552234825
Xl.24462.1.S1_a_at	4.343282706
Xl.24463.1.S1_at	4.116264636
Xl.24464.1.S1_at	3.023951867
Xl.24465.1.S1_at	5.4056759
Xl.24466.1.S1_at	3.684352568
Xl.24467.1.S1_at	8.68113755
Xl.24467.2.A1_at	10.06667443
Xl.24468.1.S1_at	4.159418377
Xl.24470.1.A1_at	4.508401958
Xl.24472.1.A1_at	6.802700586
Xl.24473.1.S1_at	7.056353983
Xl.24473.2.S1_at	5.673688514
Xl.24473.3.A1_at	4.33046614
Xl.24474.1.A1_at	5.686424601
Xl.24475.1.A1_at	2.519031617
Xl.24476.1.A1_at	4.40559128
Xl.24477.1.A1_at	2.934921839
Xl.24478.1.S1_at	3.121680563
Xl.24479.1.A1_at	3.152314971
Xl.2448.1.A1_at	6.658104752
Xl.24480.1.S1_at	3.255334897
Xl.24481.1.A1_at	3.051505305
Xl.24483.1.S1_at	3.751682599
Xl.24484.1.A1_at	3.637880944
Xl.24485.1.S1_at	2.516609259
Xl.24486.1.A1_at	2.755209519
Xl.24487.1.A1_at	3.88070092
Xl.24488.1.A1_at	2.578619238
Xl.24489.1.A1_at	3.584179837
Xl.2449.1.A1_at	2.674448922
Xl.24492.1.S1_at	2.927427327
Xl.24494.1.S1_at	3.912940198
Xl.24496.1.A1_at	6.615445932
Xl.24497.1.A1_at	2.535943123
Xl.24498.1.A1_at	2.619640542
Xl.245.1.S1_at	2.906724262
Xl.24502.1.S1_at	3.047697476
Xl.24506.1.A1_at	8.779936512
Xl.24509.1.A1_at	9.180901054
Xl.24510.1.S1_at	2.925304591
Xl.24512.1.S1_at	3.133309041
Xl.24513.1.A1_at	2.717408056
Xl.24514.1.S1_at	3.437070733
Xl.24515.1.A1_at	2.993196425
Xl.24515.1.S1_at	2.57886601
Xl.24516.1.S1_at	3.347434929
Xl.24517.1.A1_at	3.203353591
Xl.24518.1.A1_at	2.807473275
Xl.24519.1.A1_at	2.863885585
Xl.2452.1.A1_at	5.293748868
Xl.2452.3.S1_a_at	8.310530809
Xl.24520.2.S1_a_at	6.635394177
Xl.24521.1.S1_at	2.475950118
Xl.24522.1.A1_at	2.377844766
Xl.24523.1.S1_at	10.07774694
Xl.24524.1.A1_at	3.173000389
Xl.24525.1.A1_at	5.72886213
Xl.24526.1.A1_at	3.064378421
Xl.24526.2.A1_at	2.948482076
Xl.24527.1.S1_at	2.911340719
Xl.24528.1.A1_at	4.760545133
Xl.24529.1.A1_at	2.639594255
Xl.2453.1.A1_at	2.418221902
Xl.24530.1.S1_at	3.539398675
Xl.24531.1.A1_at	3.070387922
Xl.24533.1.S1_at	7.303401075
Xl.24538.1.A1_at	2.751124628
Xl.24539.1.A1_at	2.966181741
Xl.24542.1.S1_at	7.668635957
Xl.24543.1.A1_at	3.268587558
Xl.24544.1.S1_at	4.457482862
Xl.24545.1.A1_at	3.537483474
Xl.24546.1.A1_at	3.924964594
Xl.24547.1.A1_at	5.380505488
Xl.2455.1.A1_at	6.780061052
Xl.24551.1.A1_at	3.022246329
Xl.24553.1.A1_at	3.135422139
Xl.24554.1.S1_at	7.399554829
Xl.24557.1.A1_at	2.709782386
Xl.24557.1.A1_s_at	2.635669908
Xl.24558.1.S1_at	5.002035531
Xl.24559.1.A1_at	3.644807304
Xl.24560.1.S1_at	4.140436583
Xl.24561.1.A1_at	3.01410361
Xl.24562.1.A1_at	7.567676555
Xl.24564.1.A1_at	3.364112654
Xl.24565.1.A1_at	5.639020725
Xl.24566.1.A1_at	3.292076677
Xl.24569.1.A1_at	2.835336354
Xl.24571.1.A1_at	2.762049425
Xl.24572.1.S1_a_at	2.629746855
Xl.24575.1.S1_s_at	10.93414064
Xl.24575.1.S1_x_at	10.370364
Xl.24576.1.A1_at	3.463296479
Xl.2458.1.A1_at	3.944604577
Xl.24581.1.S1_at	3.847170005
Xl.24583.1.S1_at	2.738997465
Xl.24587.1.A1_at	2.708959752
Xl.24588.1.S1_at	7.663082428
Xl.24588.2.S1_a_at	7.634861017
Xl.24588.2.S1_at	6.245973207
Xl.24589.1.S1_at	2.82786257
Xl.2459.1.S1_at	7.076798734
Xl.24590.1.A1_at	2.734853989
Xl.24591.1.A1_at	3.530318671
Xl.24594.1.S1_at	2.912712116
Xl.24595.1.S1_at	3.070134559
Xl.24596.1.A1_at	2.801908739
Xl.24597.1.A1_at	3.331382846
Xl.24599.1.A1_at	2.620072885
Xl.246.1.S1_at	2.691843074
Xl.24604.1.A1_at	2.978878885
Xl.24605.1.A1_at	2.689822793
Xl.24607.1.S1_at	2.682361275
Xl.24607.2.A1_at	2.933179145
Xl.24608.1.A1_at	3.409995383
Xl.24609.1.A1_at	3.080220706
Xl.2461.1.A1_at	2.721829924
Xl.24610.1.S1_at	2.705858325
Xl.24613.1.S1_at	2.843719442
Xl.2462.1.S1_at	5.999851755
Xl.24620.1.A1_at	3.752517632
Xl.24622.1.A1_at	2.842112909
Xl.24623.1.A1_at	5.08950847
Xl.24623.2.A1_at	4.119917958
Xl.24625.1.A1_at	3.057412262
Xl.24628.1.A1_at	2.528256539
Xl.24630.1.A1_at	2.876343417
Xl.24633.1.A1_at	4.72530468
Xl.24634.1.A1_at	3.383038977
Xl.24635.1.S1_at	3.032161461
Xl.24636.1.S1_at	2.580295422
Xl.2464.1.S1_x_at	6.726796204
Xl.24648.1.A1_s_at	2.623715336
Xl.2465.1.S1_at	3.202267337
Xl.24657.1.A1_at	2.893143795
Xl.2466.1.A1_at	7.247710655
Xl.24660.1.S1_at	5.747572364
Xl.24665.1.A1_at	4.779241229
Xl.24666.1.A1_at	4.345131237
Xl.2467.1.S1_at	3.451040909
Xl.2467.1.S1_x_at	5.912679908
Xl.2467.2.A1_x_at	7.323970783
Xl.2467.2.S1_at	4.741085686
Xl.24670.1.A1_at	2.945705012
Xl.24674.1.A1_at	2.871168566
Xl.24676.1.S1_at	4.031062662
Xl.24676.2.S1_at	3.351968282
Xl.24677.1.A1_at	3.66518795
Xl.24678.1.A1_at	2.730160975
Xl.24679.1.S1_at	4.713755233
Xl.24681.1.A1_at	3.121534347
Xl.24682.1.A1_at	2.902569496
Xl.24685.1.S1_at	3.150370181
Xl.24686.1.S1_at	7.962207488
Xl.24695.1.A1_at	3.305559533
Xl.24698.1.A1_at	4.105935207
Xl.24699.1.S1_at	2.903522734
Xl.247.1.S1_at	2.716124578
Xl.24700.1.S1_at	2.811278027
Xl.24704.1.A1_at	2.962141712
Xl.24706.1.A1_at	2.974921559
Xl.24707.1.A1_at	3.201030905
Xl.24709.1.S1_a_at	3.80304719
Xl.24709.1.S1_x_at	3.563922984
Xl.2471.1.A1_at	6.688184938
Xl.24710.1.A1_at	4.597947878
Xl.24711.1.S1_at	2.99480167
Xl.24715.1.A1_at	2.469875856
Xl.24718.1.S1_at	9.593842548
Xl.2472.1.S1_at	7.7694925
Xl.24720.1.A1_at	2.646807329
Xl.24721.1.S1_at	3.325361735
Xl.24722.1.S1_at	7.008049079
Xl.24723.1.A1_at	8.210439389
Xl.24724.1.S1_at	5.802162899
Xl.24725.1.S1_at	2.730449538
Xl.24726.1.S1_at	8.655064992
Xl.24727.1.S1_at	2.829499177
Xl.24727.2.A1_at	7.735730344
Xl.24728.2.A1_at	4.387915879
Xl.24729.1.A1_at	6.918919158
Xl.24730.1.S1_a_at	6.463608592
Xl.24730.1.S1_at	7.315845516
Xl.24730.2.S1_at	6.531305965
Xl.24731.1.A1_at	7.877649047
Xl.24732.1.S1_at	9.451578863
Xl.24733.1.S1_at	8.163464977
Xl.24733.2.A1_at	7.360026153
Xl.24733.3.A1_at	2.789050621
Xl.24734.1.S1_at	8.426483731
Xl.24735.1.S1_at	8.999509623
Xl.24736.1.S1_at	7.88604842
Xl.24737.1.S1_at	7.966277764
Xl.24738.1.S1_at	3.817027743
Xl.24739.1.S1_at	7.664632016
Xl.2474.1.S1_at	5.93079048
Xl.2474.3.A1_at	3.521144831
Xl.24740.1.S1_at	7.870024967
Xl.24741.1.A1_at	6.824671304
Xl.24742.1.S1_x_at	9.065950215
Xl.24743.1.A1_at	8.934003634
Xl.24744.1.S1_a_at	8.43026512
Xl.24745.1.A1_at	8.139493244
Xl.24746.1.S1_at	6.427259326
Xl.24747.1.A1_at	5.082067362
Xl.24748.1.A1_at	6.820865983
Xl.24749.1.A1_at	4.623559105
Xl.2475.1.S1_a_at	8.0530308
Xl.24752.1.S1_at	3.478545016
Xl.24754.1.S1_a_at	11.77600398
Xl.24755.1.S1_at	6.826593262
Xl.24756.1.S1_at	4.673102027
Xl.24757.1.A1_at	7.867163437
Xl.24758.1.S1_at	5.329865425
Xl.24759.1.S1_at	10.33421035
Xl.24760.1.A1_at	6.913689793
Xl.24761.1.S1_at	8.938410956
Xl.24762.1.S1_at	7.597603158
Xl.24763.1.A1_at	9.229583031
Xl.24764.1.A1_at	7.957929156
Xl.24765.1.A1_at	2.68528333
Xl.24766.1.A1_at	4.57540257
Xl.24767.1.S1_at	5.312009828
Xl.24768.1.S1_at	9.750179054
Xl.24769.1.S1_at	6.409419668
Xl.2477.1.S1_at	3.22025595
Xl.24770.1.A1_at	5.199272391
Xl.24771.1.A1_at	5.34961209
Xl.24772.1.A1_at	2.74434539
Xl.24773.1.S1_at	8.962521002
Xl.24774.1.A1_at	8.91278468
Xl.24776.1.A1_at	7.165248022
Xl.24778.1.S1_at	7.419756106
Xl.24779.1.A1_at	7.366684933
Xl.2478.1.S1_at	7.125898023
Xl.24780.1.A1_at	8.766404949
Xl.24781.1.A1_at	6.966819272
Xl.24782.1.S1_at	10.30429141
Xl.24783.1.S1_at	4.199557012
Xl.24784.1.S1_at	3.459713239
Xl.24785.1.S1_at	7.782400975
Xl.24786.1.S1_at	6.321924506
Xl.24787.1.S1_at	8.754285729
Xl.24788.1.S1_at	8.469389682
Xl.24788.1.S1_s_at	9.032371939
Xl.24790.1.A1_at	8.595954215
Xl.24791.1.A1_at	6.738319536
Xl.24792.1.A1_at	3.47180209
Xl.24793.1.S1_at	6.211097391
Xl.24795.1.S1_at	9.469093348
Xl.24796.1.S1_at	6.16942923
Xl.24797.1.S1_at	7.633014356
Xl.24798.1.S1_at	9.154566783
Xl.24799.1.A1_at	3.19780124
Xl.248.1.S1_at	5.978005737
Xl.2480.1.A1_at	3.158080196
Xl.24802.1.A1_at	5.25413387
Xl.24805.1.S1_at	10.25464318
Xl.24806.1.A1_at	10.91247715
Xl.24807.1.S1_at	9.324551528
Xl.24808.1.S1_at	9.026024107
Xl.2481.1.A1_at	5.583192959
Xl.24810.1.S1_at	6.178470893
Xl.24811.1.S1_at	10.85850061
Xl.24811.2.S1_at	9.503416416
Xl.24812.1.S1_at	4.584241666
Xl.24813.1.A1_at	2.543861386
Xl.24814.1.A1_at	4.649202034
Xl.24815.1.S1_at	2.608272316
Xl.24816.1.S1_at	5.133446003
Xl.24819.1.A1_at	4.336768993
Xl.2482.1.A1_at	2.40354663
Xl.24823.1.A1_at	2.795157396
Xl.24824.1.A1_at	3.393953592
Xl.24826.1.A1_at	6.704974028
Xl.24829.1.A1_at	3.110158448
Xl.2483.1.A1_at	2.771666474
Xl.24832.2.A1_at	3.121826086
Xl.24833.1.A1_at	3.661150649
Xl.24839.1.S1_at	3.210028416
Xl.2484.1.S1_at	6.872200796
Xl.24841.1.A1_at	2.783471069
Xl.24846.1.A1_at	2.862870495
Xl.24847.1.A1_at	7.981665592
Xl.24849.1.A1_at	3.035462904
Xl.24850.1.A1_s_at	2.511960789
Xl.24853.1.A1_at	4.1078224
Xl.24855.1.A1_at	5.581968442
Xl.24856.1.A1_at	2.625427005
Xl.2486.1.A1_at	6.274461356
Xl.24860.1.A1_at	5.955155409
Xl.24861.1.A1_s_at	3.89361208
Xl.24862.1.S1_at	10.30785286
Xl.24868.1.A1_at	2.961827507
Xl.24869.1.A1_at	5.257591248
Xl.2487.1.S1_at	10.47773821
Xl.24871.1.A1_at	3.445901371
Xl.24872.1.A1_at	4.161834477
Xl.24876.1.S1_at	7.092722763
Xl.24877.1.S1_at	6.392828055
Xl.24878.1.A1_at	2.994417844
Xl.24879.1.S1_at	9.607850338
Xl.24880.1.S1_at	3.773900627
Xl.24886.1.A1_at	2.75300861
Xl.2489.1.S1_at	5.551545793
Xl.2489.1.S2_at	6.048189604
Xl.2489.2.A1_at	6.252774338
Xl.24891.1.A1_x_at	2.839178892
Xl.24897.1.A1_at	5.632121566
Xl.249.1.S1_at	4.249690063
Xl.2490.1.S1_at	9.0165872
Xl.24901.1.A1_at	3.254039613
Xl.24901.1.A1_x_at	2.974904597
Xl.24902.1.A1_at	4.175866419
Xl.24906.1.S1_at	3.62599391
Xl.24914.1.S1_a_at	10.35764322
Xl.24914.1.S1_x_at	10.21151096
Xl.24914.2.S1_x_at	10.99932025
Xl.24916.1.A1_at	4.132451579
Xl.24918.1.A1_s_at	2.834197801
Xl.24927.1.S1_at	4.781349598
Xl.24932.1.A1_at	6.333874116
Xl.24933.1.S1_at	2.654705422
Xl.24936.1.A1_at	6.148627129
Xl.24937.1.A1_at	2.735346433
Xl.24942.1.A1_at	5.146619225
Xl.24948.1.A1_at	3.247288573
Xl.24951.1.A1_at	5.537140182
Xl.24953.1.A1_at	5.005906194
Xl.24954.2.A1_a_at	5.359349034
Xl.24959.1.S1_at	7.770150354
Xl.2496.1.S1_at	3.560428654
Xl.24963.1.S1_at	7.11236044
Xl.24964.1.S1_at	8.736993658
Xl.24965.1.S1_at	3.496729379
Xl.24966.1.S1_at	6.002234705
Xl.24971.1.S1_at	8.356400722
Xl.24977.1.S1_at	4.427715413
Xl.24978.1.A1_at	4.527002161
Xl.24979.1.S1_at	2.456359301
Xl.2498.1.A1_at	6.475671022
Xl.24980.1.S1_at	6.888884925
Xl.24987.1.S1_at	8.269306641
Xl.24988.1.A1_at	4.396614922
Xl.24989.1.S1_at	5.35991808
Xl.2499.1.A1_at	2.858111348
Xl.2499.1.A2_at	2.474455574
Xl.2499.2.A1_at	2.499007172
Xl.24991.1.A1_at	7.818111011
Xl.24993.1.A1_x_at	6.689887306
Xl.24994.1.S1_at	9.617743273
Xl.24995.1.A1_at	3.549888323
Xl.25.1.S1_at	3.724332947
Xl.250.1.S1_at	4.938449233
Xl.2500.1.S1_at	3.780926687
Xl.25003.1.S1_at	2.823468514
Xl.25008.1.A1_at	3.345042432
Xl.25010.1.A1_at	3.61575124
Xl.25013.1.A1_at	2.570987341
Xl.25017.1.S1_at	2.924991707
Xl.2502.1.S1_at	3.501707039
Xl.25023.1.A1_at	4.42253228
Xl.25024.1.A1_at	3.249971518
Xl.25029.1.S1_at	10.63721648
Xl.2503.1.S1_at	5.132241797
Xl.25033.1.A1_at	3.456623009
Xl.25035.1.A1_at	4.523313141
Xl.25037.1.S1_at	3.831427179
Xl.25038.1.A1_at	2.736025494
Xl.25041.1.A1_at	2.866565654
Xl.25042.2.A1_at	2.496462452
Xl.25043.1.A1_at	3.32245802
Xl.25044.1.A1_at	4.394849315
Xl.25047.1.A1_at	2.60730649
Xl.2505.1.S1_at	5.940972744
Xl.25059.1.S1_at	3.361620371
Xl.25060.1.S1_at	2.88853902
Xl.25062.1.S1_at	7.312245786
Xl.2507.1.A1_at	3.16226016
Xl.25071.1.S1_at	3.558450462
Xl.25073.1.S1_at	6.115955163
Xl.25075.1.S1_at	4.49075051
Xl.25076.1.S1_at	6.71289355
Xl.25079.1.A1_at	3.380581069
Xl.25080.1.A1_at	2.966135793
Xl.25080.1.A1_s_at	2.907956098
Xl.25081.1.A1_at	2.87958177
Xl.25082.1.S1_at	4.807861394
Xl.25085.1.A1_at	2.50476468
Xl.25088.1.A1_at	2.941871493
Xl.25089.1.A1_at	3.171273853
Xl.2509.1.S1_a_at	7.682510305
Xl.25092.1.A1_at	2.931777324
Xl.25094.1.A1_at	3.147208086
Xl.25097.1.A1_at	2.509735415
Xl.25098.1.A1_at	2.655026349
Xl.251.1.S1_at	5.42834798
Xl.25100.1.A1_at	3.307568692
Xl.25104.1.A1_at	2.769774376
Xl.25105.1.A1_at	2.724761276
Xl.25106.1.A1_at	3.225383841
Xl.25107.1.A1_at	2.520984437
Xl.25108.1.A1_at	3.864319907
Xl.2511.1.S1_at	5.406032833
Xl.2511.1.S1_x_at	8.866358991
Xl.2511.2.S1_x_at	10.18988857
Xl.2511.3.S1_x_at	9.389209881
Xl.2511.4.A1_at	8.766901978
Xl.25111.1.A1_at	2.753292011
Xl.25116.1.A1_at	2.444541876
Xl.25117.1.A1_at	2.627277431
Xl.25118.1.A1_at	2.749859669
Xl.25119.1.A1_at	3.930535494
Xl.2512.1.A1_at	8.401537851
Xl.25122.1.A1_at	3.106094079
Xl.25123.1.A1_at	3.136662138
Xl.25123.1.A1_x_at	3.203689109
Xl.25124.1.A1_at	5.173221597
Xl.25126.1.A1_at	3.167983658
Xl.25129.1.A1_at	2.520814088
Xl.25130.1.A1_at	3.447420097
Xl.25132.1.A1_at	2.993019085
Xl.25135.1.A1_at	4.755121579
Xl.25136.1.A1_at	3.285755642
Xl.25141.1.A1_at	5.136294776
Xl.25142.1.A1_at	6.830199218
Xl.25143.1.A1_at	3.298415314
Xl.25144.1.A1_at	2.791732843
Xl.25149.1.A1_at	2.452295587
Xl.2515.1.S1_at	8.941689638
Xl.25160.1.A1_at	2.617503417
Xl.25161.1.A1_at	3.509863988
Xl.25169.1.A1_at	3.301189429
Xl.25170.1.S1_at	5.790253421
Xl.25172.1.A1_x_at	5.41327606
Xl.25172.1.S1_x_at	2.879442514
Xl.25174.1.S1_at	2.563344312
Xl.25175.1.S1_at	3.930463241
Xl.25176.1.S1_at	4.934928459
Xl.25177.1.A1_at	3.156750675
Xl.25177.1.S1_at	3.145134262
Xl.25178.1.S1_at	8.695950368
Xl.25179.1.S1_at	3.726524842
Xl.2518.1.S1_at	5.156092364
Xl.25181.1.A1_at	6.730536997
Xl.25181.1.A1_x_at	7.865151837
Xl.25182.1.S1_at	7.617294907
Xl.25185.1.A1_at	6.271765875
Xl.25186.1.S1_at	7.101762377
Xl.25188.1.A1_at	6.280815454
Xl.2519.1.A1_at	4.333878344
Xl.25191.1.S1_at	4.774615461
Xl.25197.1.S1_at	5.756023365
Xl.252.1.S1_s_at	3.929629832
Xl.2520.1.S1_at	9.107735211
Xl.25205.1.S1_at	9.051484152
Xl.25209.1.A1_at	5.770895265
Xl.25212.1.S1_at	8.320420585
Xl.25214.1.S1_at	2.933295555
Xl.25215.1.S1_x_at	2.785232927
Xl.25217.1.A1_at	6.110113083
Xl.25219.1.A1_at	7.100362916
Xl.2522.1.A1_at	7.320943869
Xl.25221.1.S1_at	11.04777041
Xl.25221.1.S1_s_at	10.6916699
Xl.25221.2.A1_at	7.951461775
Xl.25224.1.S1_at	8.80877846
Xl.25225.1.A1_at	5.048859582
Xl.25229.1.A1_at	3.800993145
Xl.25231.1.S1_at	9.500789517
Xl.25232.1.A1_at	5.284366004
Xl.25233.1.S1_x_at	5.823029684
Xl.25235.1.S1_at	8.406010221
Xl.25237.1.A1_at	5.769205995
Xl.25238.1.A1_at	6.059567972
Xl.25239.1.A1_at	6.154947238
Xl.2524.1.A1_at	2.915335199
Xl.25241.1.A1_at	3.144649624
Xl.25248.1.S1_at	10.22702032
Xl.25249.1.A1_at	9.13635881
Xl.2525.1.S1_at	11.44323517
Xl.25253.1.A1_at	4.884954337
Xl.25255.1.A1_at	4.220753664
Xl.25257.1.A1_at	6.041428277
Xl.25258.1.A1_at	8.239767991
Xl.25260.1.A1_at	7.364854433
Xl.25262.1.S1_at	4.008124935
Xl.25265.1.A1_at	3.038969925
Xl.25268.1.A1_at	2.77999053
Xl.25269.1.A1_at	2.660814614
Xl.25270.1.A1_at	4.105869738
Xl.25271.1.A1_at	5.076073409
Xl.25271.1.A1_x_at	5.480570234
Xl.25273.1.A1_s_at	2.478085184
Xl.25273.1.A1_x_at	3.380051568
Xl.25274.1.A1_at	4.809957035
Xl.25275.1.A1_at	3.98654914
Xl.25276.1.S1_at	7.566180441
Xl.25278.1.S1_at	7.544443346
Xl.25283.1.S1_s_at	10.7735556
Xl.25286.1.A1_a_at	5.391610793
Xl.25289.1.A1_at	8.100721804
Xl.25294.1.A1_at	4.623836254
Xl.25297.1.S1_at	5.950597401
Xl.25299.1.A1_at	3.176010124
Xl.253.1.S1_at	3.145339891
Xl.2530.1.S1_at	8.421307077
Xl.25300.1.A1_at	6.645403761
Xl.25303.1.A1_at	6.419922983
Xl.25308.1.A1_at	3.892444683
Xl.2531.1.A1_at	3.817651627
Xl.25311.1.S1_at	9.679774197
Xl.25312.1.S1_at	2.928459469
Xl.25315.1.A1_at	3.112670591
Xl.25317.1.A1_at	8.154709504
Xl.25318.1.S1_at	2.905981597
Xl.25320.1.A1_at	3.459196438
Xl.25326.1.A1_at	4.492930153
Xl.25327.1.A1_at	2.720747669
Xl.25329.1.A1_at	5.342111959
Xl.25331.1.A1_at	6.092166307
Xl.25332.1.A1_at	5.81317913
Xl.25334.1.S1_at	4.453888732
Xl.25335.1.A1_at	6.371856709
Xl.25337.1.S1_a_at	7.887608639
Xl.25339.1.A1_at	6.684210488
Xl.25342.1.A1_at	7.385284945
Xl.25344.1.A1_at	4.97465877
Xl.25345.1.A1_at	5.213661077
Xl.25347.1.A1_at	3.5730305
Xl.25352.1.A1_at	3.717973672
Xl.25354.1.S1_at	2.909575922
Xl.25354.1.S1_x_at	3.312495087
Xl.25355.1.S1_at	3.628903427
Xl.25355.1.S1_x_at	4.382924804
Xl.25357.1.A1_at	6.18625948
Xl.25358.1.S1_at	3.376444605
Xl.25358.1.S1_x_at	3.262330129
Xl.25360.1.A1_at	8.14597125
Xl.25362.1.A1_at	8.510150626
Xl.25363.1.A1_at	3.783242599
Xl.25365.1.A1_at	6.828426031
Xl.25367.1.A1_at	5.877858633
Xl.25368.1.A1_at	5.474183031
Xl.25368.2.A1_at	5.454736976
Xl.25369.1.A1_at	3.524082448
Xl.25372.1.A1_at	7.975925969
Xl.25375.1.A1_at	4.084151982
Xl.25377.1.S1_at	9.015203572
Xl.25378.1.A1_at	4.2729386
Xl.25379.1.A1_at	4.062961075
Xl.25380.1.A1_at	4.593790199
Xl.25383.1.A1_at	6.106984767
Xl.25384.1.A1_at	4.371174426
Xl.25385.1.A1_at	3.431274342
Xl.25386.1.A1_at	6.385947506
Xl.25388.1.A1_at	6.903095069
Xl.25389.1.A1_at	6.151314488
Xl.25390.1.A1_at	4.757325051
Xl.25391.1.A1_at	4.948016037
Xl.25392.1.A1_at	3.343100956
Xl.25393.1.A1_a_at	5.266434892
Xl.25394.1.A1_at	5.380553943
Xl.25395.1.A1_at	5.52389934
Xl.25397.1.A1_at	3.123403395
Xl.25399.1.A1_at	7.008535806
Xl.254.1.S1_a_at	8.959087996
Xl.25401.1.A1_at	6.164716336
Xl.25402.1.A1_at	7.496056559
Xl.25405.1.S1_at	9.069772383
Xl.25406.1.A1_at	3.809402787
Xl.2541.1.A1_at	2.959640607
Xl.2541.2.S1_at	2.976577583
Xl.25410.1.A1_at	6.242211123
Xl.25412.1.A1_at	5.273968806
Xl.25413.1.A1_at	2.92696937
Xl.25414.1.A1_at	6.25170821
Xl.25415.1.A1_at	7.356261961
Xl.25416.1.A1_at	3.108178009
Xl.25417.1.A1_at	4.46899349
Xl.25418.1.A1_at	5.377607442
Xl.25419.1.S1_at	6.457420517
Xl.25419.2.A1_at	8.081377089
Xl.2542.1.S1_at	9.497033915
Xl.25420.1.S1_at	2.711343097
Xl.25422.1.A1_at	5.072443803
Xl.25423.1.A1_at	7.469993948
Xl.25424.1.A1_at	5.931463515
Xl.25426.1.S1_s_at	4.464206102
Xl.25427.1.S1_at	5.527732978
Xl.25428.1.A1_at	3.406572075
Xl.25436.1.A1_at	6.363374806
Xl.25438.1.A1_at	2.835444409
Xl.25439.1.A1_at	2.368466687
Xl.2544.1.S1_at	7.640856223
Xl.25440.1.A1_at	5.939110238
Xl.25441.1.S1_at	3.438764697
Xl.25444.1.S1_at	3.02511603
Xl.25445.1.S1_at	4.089837372
Xl.25446.1.A1_at	6.742646305
Xl.25447.1.A1_at	3.158136405
Xl.2545.1.A1_at	2.922087923
Xl.25450.1.A1_s_at	2.646025942
Xl.25454.1.S1_at	4.496683676
Xl.25455.1.S1_at	2.776980016
Xl.25457.1.S1_at	3.681464022
Xl.25457.1.S1_s_at	5.033967973
Xl.25459.1.S1_at	5.600761489
Xl.2546.1.S1_at	9.316545728
Xl.25460.1.A1_at	7.456403117
Xl.25468.1.A1_at	9.185667061
Xl.25469.1.S1_at	4.140186086
Xl.2547.1.S1_at	9.198835538
Xl.25471.1.A1_at	2.734668761
Xl.25478.1.A1_at	3.587104028
Xl.2548.1.S1_at	5.136410849
Xl.25489.1.A1_at	3.41479742
Xl.2549.1.S1_at	2.930516076
Xl.25492.1.S1_a_at	10.43427319
Xl.25493.1.A1_at	6.197127098
Xl.25498.1.A1_at	2.998716297
Xl.25499.1.S1_at	5.581608191
Xl.25499.2.A1_at	6.025194908
Xl.25499.2.A1_x_at	4.638828623
Xl.255.1.S1_at	4.660481744
Xl.25500.1.A1_at	7.696717486
Xl.25501.1.A1_at	6.432946928
Xl.25502.1.A1_at	3.03036031
Xl.25503.1.A1_at	6.276005558
Xl.25505.1.A1_at	4.090838227
Xl.25507.1.S1_at	5.216331269
Xl.25509.1.A1_at	4.25314027
Xl.25512.1.A1_at	7.180891169
Xl.25518.1.S1_at	6.69208011
Xl.25522.1.A1_at	4.212349231
Xl.25524.1.S1_at	8.656005359
Xl.25532.1.A1_at	3.894780757
Xl.25536.1.A1_at	9.844797486
Xl.25537.1.A1_at	6.951650537
Xl.25538.1.A1_at	3.784584917
Xl.2554.1.A1_at	2.8714356
Xl.25540.1.S1_at	11.5471423
Xl.25540.2.S1_at	9.494127272
Xl.25540.2.S1_x_at	9.391664879
Xl.25540.3.A1_at	8.609779958
Xl.25541.1.S1_at	9.885579762
Xl.25542.1.A1_at	9.511157615
Xl.25545.1.S1_at	11.15292844
Xl.25546.1.S1_at	6.98837622
Xl.25547.1.A1_at	7.539386407
Xl.25548.1.A1_at	7.806649366
Xl.25549.1.S1_at	8.485068679
Xl.2555.1.S1_s_at	6.112657426
Xl.25550.1.A1_at	5.20516052
Xl.25552.1.A1_x_at	5.54459456
Xl.25553.1.S1_a_at	11.67282055
Xl.25553.1.S1_at	10.84125727
Xl.25553.1.S1_x_at	11.30450145
Xl.25553.2.S1_x_at	11.4863141
Xl.25554.1.A1_at	2.770675171
Xl.25556.1.S1_at	4.035590301
Xl.25556.2.S1_at	7.863937739
Xl.25557.1.S1_at	2.332243939
Xl.25558.1.A1_at	6.875102741
Xl.25558.1.A1_x_at	5.728103398
Xl.25559.1.S1_at	7.493313346
Xl.25559.2.A1_at	6.819703408
Xl.2556.1.A1_at	4.36984774
Xl.25560.1.S1_at	7.185594928
Xl.25562.1.S1_at	9.469428821
Xl.25563.1.S1_at	7.13193825
Xl.25564.1.S1_at	6.446099294
Xl.25567.1.A1_at	7.92587701
Xl.25568.1.A1_at	2.894344097
Xl.2557.1.S1_at	3.865089416
Xl.25573.1.A1_at	3.678690186
Xl.25574.1.A1_at	6.248402534
Xl.25576.1.A1_at	5.192642725
Xl.25577.1.A1_at	7.521952472
Xl.25578.1.A1_at	4.786834542
Xl.25579.1.A1_at	6.81960645
Xl.25582.1.A1_at	3.012456273
Xl.25584.1.A1_at	4.371785219
Xl.25586.2.A1_at	3.489785191
Xl.25586.3.A1_at	2.876316076
Xl.25587.1.A1_at	6.065998236
Xl.25590.1.A1_at	3.135988189
Xl.25596.1.A1_at	3.739963987
Xl.25598.1.S1_at	5.607665427
Xl.25599.1.A1_at	3.950144563
Xl.256.1.S1_at	7.96269446
Xl.2560.1.A1_at	3.134886232
Xl.25600.1.S1_at	5.981508797
Xl.25602.1.A1_at	5.601668716
Xl.25605.1.A1_at	7.681424127
Xl.25607.1.A1_at	5.814393543
Xl.2561.1.A1_at	2.650907706
Xl.25610.1.A1_at	5.945350219
Xl.25611.1.A1_at	5.499697238
Xl.25613.1.S1_at	6.664863437
Xl.2562.1.S1_at	10.4250509
Xl.25623.1.A1_at	7.177006067
Xl.25624.1.A1_at	5.093608034
Xl.25626.1.A1_at	8.797770353
Xl.25627.1.A1_at	8.242178185
Xl.25628.1.S1_at	4.663933634
Xl.25628.2.A1_at	5.484332658
Xl.2563.1.A1_at	3.977613801
Xl.25632.1.S1_at	6.427025394
Xl.25634.1.S1_at	5.784535267
Xl.25636.1.S1_at	8.591988631
Xl.25637.1.S1_at	7.62973436
Xl.25638.1.A1_at	4.31339177
Xl.25639.1.S1_at	3.389213282
Xl.25641.1.S1_at	9.496174482
Xl.25642.1.A1_at	6.483905031
Xl.25644.1.A1_at	6.417518091
Xl.25645.1.A1_at	3.322557644
Xl.25648.1.A1_at	5.60809886
Xl.25648.2.A1_at	6.101291737
Xl.2565.1.S1_a_at	10.77913397
Xl.2565.1.S1_at	11.09782851
Xl.2565.1.S1_x_at	11.63276222
Xl.2565.2.S1_at	3.402884894
Xl.2565.3.S1_at	11.22937806
Xl.2565.3.S1_x_at	11.36311108
Xl.2565.4.S1_x_at	3.478002133
Xl.2565.5.A1_s_at	10.89592858
Xl.25650.1.A1_at	3.944783145
Xl.25653.1.S1_at	4.862273968
Xl.25654.1.A1_at	7.403534869
Xl.25655.1.A1_at	4.118139203
Xl.25657.1.S1_at	2.660014563
Xl.2566.1.A1_at	3.269946415
Xl.25660.1.S1_at	3.6743143
Xl.25660.2.S1_at	4.11097023
Xl.25662.1.A1_at	5.715356124
Xl.25664.1.A1_at	4.439294757
Xl.25665.1.S1_at	4.415214013
Xl.25667.1.A1_at	5.142338348
Xl.25671.1.A1_at	4.647974352
Xl.25673.1.A1_at	4.486349339
Xl.25675.1.A1_at	8.178617214
Xl.25677.1.A1_at	3.288471105
Xl.25678.1.A1_at	5.855534897
Xl.2568.1.S1_at	6.806407847
Xl.25681.1.S1_at	8.493415943
Xl.25682.1.A1_at	3.684149267
Xl.25684.1.S1_at	2.76886239
Xl.25685.1.S1_at	6.767327384
Xl.25686.1.S1_at	9.143625299
Xl.25687.1.S1_at	3.619533674
Xl.25688.1.S1_at	3.44498109
Xl.25689.1.S1_at	5.845155182
Xl.2569.1.S1_at	7.237558017
Xl.25690.1.A1_at	7.170354077
Xl.25695.1.A1_at	7.536776273
Xl.25696.1.S1_at	4.519824621
Xl.25698.1.A1_at	6.011121331
Xl.257.1.S1_at	2.7347328
Xl.25702.1.S1_at	3.901562895
Xl.25703.1.A1_at	7.080940878
Xl.25705.1.A1_at	9.273622611
Xl.25707.1.S1_at	9.991330204
Xl.2571.1.S1_at	3.425964787
Xl.25710.1.S1_at	2.906664796
Xl.25710.1.S1_s_at	4.951889565
Xl.25711.1.A1_at	8.179521134
Xl.25715.1.A1_at	3.431097021
Xl.25715.2.A1_at	7.603639116
Xl.25717.1.A1_at	7.393699548
Xl.25718.1.A1_at	7.600529377
Xl.25720.1.A1_at	3.052936235
Xl.25722.1.A1_at	4.551828402
Xl.25723.1.A1_at	6.737717277
Xl.25724.1.S1_at	3.418499152
Xl.25724.1.S2_at	2.445610514
Xl.25728.1.A1_at	4.358767514
Xl.25731.1.S1_at	7.04091492
Xl.25732.1.A1_at	5.566251557
Xl.25734.1.S1_at	8.58678507
Xl.25734.2.S1_at	5.412137618
Xl.25735.1.S1_at	3.500433007
Xl.25736.1.A1_at	6.229036167
Xl.25737.1.S1_at	4.089690192
Xl.25739.1.S1_at	5.552430484
Xl.2574.1.A1_at	7.874257927
Xl.25742.1.S1_at	3.394306817
Xl.25743.1.S1_at	2.707764064
Xl.25743.2.A1_at	2.617855484
Xl.25743.3.S1_at	6.092636378
Xl.25745.1.S1_at	7.474361773
Xl.25746.1.A1_at	7.918574925
Xl.25747.1.S1_at	9.244810463
Xl.25748.1.S1_at	4.922800835
Xl.25749.1.A1_at	7.310969693
Xl.25750.1.S1_at	8.553992518
Xl.25751.1.A1_at	4.394908179
Xl.25752.1.A1_at	4.427127673
Xl.25755.1.A1_at	6.463815092
Xl.25756.1.S1_at	9.94199483
Xl.25757.1.S1_at	7.256783001
Xl.25758.1.S1_at	9.747470217
Xl.2576.1.A1_a_at	2.658787375
Xl.2576.1.A1_x_at	2.50679287
Xl.2576.2.S1_x_at	2.81363148
Xl.25760.1.A1_at	2.910355648
Xl.25761.1.A1_at	8.411656847
Xl.25764.1.A1_at	4.166646496
Xl.25766.1.A1_at	8.278651879
Xl.2577.1.A1_at	2.674449985
Xl.25770.1.S1_a_at	6.393879984
Xl.25770.1.S1_at	4.764283415
Xl.25770.2.S1_at	6.563078714
Xl.25770.3.A1_at	3.886641302
Xl.25771.1.S1_at	7.681442235
Xl.25773.1.A1_at	7.600960256
Xl.25774.1.A1_at	3.258216047
Xl.25775.1.A1_at	3.393619122
Xl.25776.1.S1_at	8.11306919
Xl.25777.1.S1_at	3.293345188
Xl.25778.1.S1_at	7.081727499
Xl.25778.2.A1_at	3.607549807
Xl.2578.1.A1_at	4.07181034
Xl.25780.1.S1_at	2.623607877
Xl.25785.1.A1_at	3.964160219
Xl.25786.1.A1_at	6.650775465
Xl.25789.1.A1_at	2.823194128
Xl.2579.1.S1_at	7.94848353
Xl.25790.1.A1_at	7.399318348
Xl.25792.1.A1_at	4.787857005
Xl.25793.1.S1_at	6.6211828
Xl.25794.1.S1_at	3.683485217
Xl.25795.1.A1_x_at	3.792014582
Xl.258.1.S1_at	3.116984027
Xl.2580.1.A1_at	4.44385118
Xl.25800.1.A1_at	5.141614049
Xl.25801.1.A1_at	7.920281572
Xl.25802.1.A1_at	5.396492536
Xl.25803.1.S1_at	7.092971704
Xl.25805.1.A1_at	7.290702258
Xl.25807.1.S1_at	8.782194798
Xl.25808.1.A1_at	5.018708828
Xl.25809.1.A1_at	5.448799545
Xl.2581.1.A1_at	5.053891897
Xl.25810.1.A1_at	7.128330661
Xl.25811.1.S1_x_at	9.92305611
Xl.25811.2.S1_a_at	10.36925898
Xl.25816.1.A1_at	7.800246207
Xl.25819.1.S1_at	8.70632339
Xl.2582.1.S1_at	8.970504465
Xl.25820.1.S1_at	7.320419294
Xl.25822.1.S1_at	11.28472446
Xl.25824.1.S1_at	10.65064266
Xl.25825.1.A1_at	4.355791912
Xl.25825.2.A1_at	4.884418381
Xl.25825.3.S1_at	7.063726486
Xl.25826.1.A1_at	5.158086042
Xl.25826.3.A1_at	3.922293583
Xl.25828.1.A1_at	8.13802302
Xl.2583.1.S1_at	8.213512996
Xl.25832.1.A1_at	7.755480825
Xl.25834.1.A1_at	3.926868963
Xl.25836.1.S1_at	10.98398118
Xl.25839.1.A1_at	6.579000265
Xl.25840.1.S1_at	4.812431213
Xl.25841.1.S1_at	8.308504661
Xl.25842.1.S1_at	2.885508725
Xl.25843.1.S1_at	7.85272644
Xl.25844.1.S1_at	3.545143144
Xl.25845.1.S1_at	2.949468418
Xl.25846.1.S1_at	3.330604119
Xl.25847.1.S1_at	9.641622554
Xl.25848.1.S1_at	3.086148826
Xl.25849.1.S1_at	4.601194151
Xl.2585.1.S1_at	3.114141082
Xl.25850.1.S1_at	3.114928498
Xl.25850.1.S2_at	2.984634564
Xl.25851.1.S1_at	2.988320792
Xl.25855.1.A1_at	2.826758572
Xl.2586.1.S1_at	5.287191617
Xl.25861.1.S1_at	3.2322975
Xl.25863.1.A1_at	2.92930032
Xl.25863.1.A1_s_at	7.645694045
Xl.25865.1.A1_at	4.921009649
Xl.25865.1.A1_x_at	5.138307026
Xl.25872.1.S1_at	2.729365187
Xl.25873.1.A1_at	5.493223535
Xl.25874.1.A1_s_at	4.587451051
Xl.25874.1.A1_x_at	3.307949031
Xl.25877.1.S1_at	2.957886901
Xl.25884.1.A1_x_at	6.237005109
Xl.25886.1.A1_at	3.91263561
Xl.2589.1.A1_at	7.016036754
Xl.25890.1.A1_at	6.70919906
Xl.25891.1.A1_at	8.278369608
Xl.25892.1.A1_at	5.066136214
Xl.25895.1.A1_at	3.897498964
Xl.25897.1.A1_at	5.067439398
Xl.25898.1.A1_at	6.248143376
Xl.259.1.S1_at	3.578418524
Xl.2590.1.S1_at	6.640945286
Xl.25901.1.A1_at	2.674721457
Xl.25902.1.A1_at	2.81544309
Xl.25909.1.S1_at	3.214350203
Xl.25909.2.A1_at	3.114120815
Xl.25913.1.S1_at	6.912539256
Xl.25915.1.S1_at	3.725307562
Xl.25917.1.A1_at	7.669022901
Xl.25917.3.S1_at	3.649511721
Xl.25919.1.A1_at	3.099312741
Xl.2592.1.A1_at	5.798169305
Xl.25920.1.S1_at	9.237964624
Xl.25921.1.S1_at	8.263005329
Xl.25923.1.A1_at	6.738383494
Xl.25926.1.A1_s_at	6.686371614
Xl.25927.1.A1_at	5.118306021
Xl.2593.1.S1_at	5.474952077
Xl.25930.1.S1_at	2.903642715
Xl.25932.2.A1_s_at	7.914381298
Xl.25936.1.A1_at	9.062760814
Xl.25937.1.A1_at	2.643437702
Xl.25938.1.A1_at	5.884633451
Xl.25940.1.S1_at	9.304971255
Xl.25941.1.A1_at	4.394107273
Xl.25942.1.A1_at	7.138115826
Xl.25944.1.A1_at	8.757916666
Xl.25945.1.A1_at	10.19557952
Xl.25949.1.S1_at	11.60574624
Xl.2595.1.S1_at	10.5885162
Xl.25952.1.S1_at	8.548371564
Xl.25953.1.S1_at	4.446775541
Xl.25957.1.S1_at	4.816440272
Xl.25958.1.A1_at	2.679466714
Xl.25959.1.S1_at	3.171330351
Xl.25963.1.A1_at	3.140843817
Xl.2597.1.S1_at	8.747711809
Xl.25970.1.S1_at	7.410049107
Xl.25975.1.A1_at	5.682413982
Xl.25977.1.S1_x_at	8.833317461
Xl.25977.2.A1_at	4.05194433
Xl.25977.2.S1_a_at	7.950304739
Xl.25977.2.S1_at	3.282247157
Xl.25977.2.S1_x_at	5.060326177
Xl.25978.1.A1_at	2.534500273
Xl.25979.1.A1_at	2.381423201
Xl.25982.1.S1_at	2.655280876
Xl.25983.1.A1_at	2.807609024
Xl.25984.1.A1_at	7.975485998
Xl.25985.1.A1_at	4.451287476
Xl.25987.1.A1_at	2.382225493
Xl.25988.1.A1_at	3.303832076
Xl.25989.1.A1_at	3.786765477
Xl.2599.1.S1_at	10.78396092
Xl.25991.1.S1_at	6.549390926
Xl.25992.1.A1_at	3.343481967
Xl.25993.1.S1_a_at	3.588103468
Xl.25993.1.S1_at	2.976964406
Xl.25993.1.S1_x_at	3.349901686
Xl.25993.2.S1_x_at	4.259742368
Xl.25994.1.S1_a_at	8.250201819
Xl.25994.2.S1_x_at	7.396074189
Xl.25995.1.A1_at	4.222965422
Xl.25999.1.A1_at	6.397722922
Xl.26.1.S1_at	5.935081255
Xl.26.1.S1_x_at	5.787361884
Xl.2600.1.A1_at	5.240870769
Xl.26000.1.A1_at	4.848889167
Xl.26001.1.A1_a_at	2.66395772
Xl.26001.1.A1_at	3.244571116
Xl.26001.2.S1_at	2.69518429
Xl.26003.1.S1_at	10.91354372
Xl.26003.2.S1_at	11.02836828
Xl.26005.1.A1_at	6.842492721
Xl.26005.2.A1_at	10.58421555
Xl.26008.1.S1_at	3.026789067
Xl.2601.1.S1_at	7.548060968
Xl.26015.1.A1_at	3.85790566
Xl.26019.1.S1_at	2.678341601
Xl.26024.1.S1_at	3.072087285
Xl.26028.1.S1_at	3.526453538
Xl.2603.1.A1_a_at	2.971334279
Xl.2603.1.A1_at	3.356708432
Xl.26031.1.S1_at	3.527927453
Xl.26044.1.A1_at	3.197130838
Xl.26049.1.S1_at	3.181361569
Xl.2605.1.S1_at	11.09264006
Xl.26058.2.A1_at	2.510299601
Xl.26062.1.S1_at	3.167343449
Xl.26070.1.S1_at	7.594804995
Xl.26071.1.S1_at	10.48575489
Xl.26072.1.S1_a_at	9.319592096
Xl.26072.1.S1_at	9.626791384
Xl.26072.1.S1_x_at	10.05215553
Xl.26072.2.S1_x_at	8.757189326
Xl.26073.1.A1_a_at	8.633510102
Xl.26073.1.A1_at	9.788218499
Xl.26073.2.S1_at	9.099434341
Xl.26077.1.S1_at	2.976386672
Xl.26082.1.S1_at	11.09284195
Xl.26083.1.A1_at	6.394308725
Xl.26083.1.A1_x_at	6.325596818
Xl.26083.2.S1_a_at	5.489450077
Xl.26083.2.S1_at	5.626277556
Xl.26085.1.S1_at	7.992311976
Xl.26087.1.S1_at	2.901674833
Xl.26088.1.S1_at	9.0043473
Xl.26090.1.S1_at	9.447933268
Xl.26091.1.S1_at	4.50579653
Xl.26093.1.S1_at	6.852239507
Xl.26095.1.S1_at	11.45915138
Xl.26096.1.A1_at	6.012070182
Xl.26096.2.S1_at	10.86538255
Xl.26097.1.S1_at	2.793768969
Xl.261.1.S1_at	2.77682531
Xl.2610.1.S1_at	8.865285199
Xl.26100.1.S1_s_at	7.874685447
Xl.26103.1.S1_at	7.285265674
Xl.26103.1.S1_s_at	7.85582619
Xl.26104.1.A1_x_at	2.64539999
Xl.26105.1.S1_at	3.482120863
Xl.26107.1.S1_at	5.322077639
Xl.26108.1.A1_at	6.160665296
Xl.2611.1.A1_at	4.609533445
Xl.26110.1.A1_at	7.447308236
Xl.26110.1.A1_x_at	7.271539868
Xl.26111.1.A1_at	2.567590216
Xl.26112.1.A1_at	5.82434247
Xl.26114.1.A1_at	7.241229903
Xl.26116.1.A1_at	5.728367094
Xl.26117.1.A1_at	7.104719581
Xl.26119.1.A1_at	7.278716124
Xl.2612.1.A1_at	7.582812014
Xl.2612.3.S1_a_at	6.081864375
Xl.26120.1.A1_at	7.738531315
Xl.26120.2.A1_a_at	5.718570714
Xl.26120.2.A1_s_at	11.2553079
Xl.26121.1.A1_at	3.91946243
Xl.26122.1.S1_at	6.242473939
Xl.26123.1.A1_at	3.926380975
Xl.26124.1.A1_at	3.233621039
Xl.26125.1.A1_at	5.945821094
Xl.26126.1.A1_at	7.544606134
Xl.26127.1.A1_at	6.075838686
Xl.26128.1.A1_at	3.021415954
Xl.26129.1.A1_at	3.318685996
Xl.2613.1.S1_at	10.35338844
Xl.26130.1.S1_a_at	9.050675289
Xl.26131.1.A1_at	5.079367659
Xl.26132.1.A1_at	6.324152534
Xl.26133.1.A1_at	2.903483631
Xl.26134.1.S1_at	2.935039358
Xl.26135.1.A1_at	3.468062442
Xl.26137.2.A1_a_at	6.155750527
Xl.26138.1.S1_at	3.541312242
Xl.2614.1.A1_at	3.244481326
Xl.26141.1.S1_at	4.380403984
Xl.26142.1.A1_at	4.93340359
Xl.26143.1.A1_at	4.771798537
Xl.26144.1.A1_at	5.171343152
Xl.26145.1.A1_at	3.588671075
Xl.26146.1.A1_at	3.036028198
Xl.26147.1.A1_at	10.67440373
Xl.26147.1.A1_s_at	12.29978034
Xl.26148.1.S1_x_at	4.283416102
Xl.26149.1.S1_s_at	10.81365274
Xl.2615.1.S1_at	6.597814458
Xl.26150.1.S1_at	3.6219636
Xl.26151.1.S1_at	5.473951091
Xl.26153.1.A1_at	5.676757023
Xl.26156.1.A1_at	6.853098099
Xl.26157.1.A1_at	2.849937818
Xl.26158.1.S1_at	4.840469661
Xl.26159.1.S1_s_at	8.569187538
Xl.26159.2.A1_at	7.19042426
Xl.26161.1.S1_at	3.305949291
Xl.26162.1.S1_at	7.35136207
Xl.26164.1.S1_at	7.206946887
Xl.26165.1.A1_at	3.160342735
Xl.26168.1.A1_at	6.782430716
Xl.2617.1.S1_at	11.35913465
Xl.2617.2.S1_a_at	10.888135
Xl.26170.1.A1_at	3.914836393
Xl.26171.1.A1_at	2.894100532
Xl.26171.1.A1_s_at	3.859629877
Xl.26172.1.S1_at	3.241918814
Xl.26173.1.A1_at	2.841265459
Xl.26176.1.S1_at	3.076806441
Xl.26177.1.A1_at	2.996006343
Xl.26178.1.S1_at	4.199340938
Xl.26179.1.A1_at	3.928331503
Xl.2618.1.A1_at	6.249900929
Xl.2618.1.A1_x_at	6.491605167
Xl.2618.2.A1_a_at	8.45015784
Xl.2618.2.A1_at	3.654611114
Xl.26180.1.A1_at	5.335888635
Xl.26182.1.A1_at	2.670774828
Xl.26183.1.A1_at	3.811203019
Xl.26184.1.A1_at	2.437613234
Xl.26185.1.A1_at	2.413511966
Xl.26186.1.A1_at	2.818923866
Xl.26187.1.A1_at	2.776584771
Xl.26188.1.A1_at	3.499496143
Xl.26189.1.A1_at	2.674401589
Xl.2619.1.S1_at	4.418899522
Xl.26190.1.A1_at	6.298072307
Xl.26191.1.A1_at	3.946259318
Xl.26192.1.A1_at	3.562763147
Xl.26193.1.A1_at	2.986937188
Xl.26194.1.A1_at	2.520408681
Xl.26195.1.A1_at	2.952567656
Xl.26196.1.A1_at	6.185250693
Xl.26197.1.A1_at	3.816734635
Xl.262.1.S1_at	8.416817792
Xl.2620.1.S1_at	7.031244655
Xl.2620.1.S1_s_at	8.473067175
Xl.26200.1.A1_at	4.337863786
Xl.26201.1.A1_at	2.543542113
Xl.26202.1.A1_at	2.525764016
Xl.26203.1.A1_s_at	9.203315695
Xl.26204.1.S1_a_at	11.42548832
Xl.26205.1.S1_at	8.798398089
Xl.26206.1.A1_at	3.680837497
Xl.26208.1.A1_at	7.253622
Xl.26209.1.S1_at	6.482280258
Xl.26210.1.S1_at	7.847669223
Xl.26212.1.S1_at	5.55196583
Xl.26213.1.S1_at	4.209530598
Xl.26213.1.S2_at	3.26366319
Xl.26214.1.A1_at	7.00726039
Xl.26215.1.S1_at	3.496972323
Xl.26215.2.A1_at	3.059974018
Xl.26216.1.S1_a_at	11.92610305
Xl.26216.2.S1_x_at	11.12284055
Xl.26216.3.A1_at	6.377423512
Xl.26217.1.A1_at	3.051451109
Xl.26218.1.A1_at	3.744539606
Xl.26219.1.A1_at	3.334503113
Xl.2622.1.S1_at	11.4362249
Xl.2622.1.S1_x_at	11.38392823
Xl.2622.2.S1_at	11.79005416
Xl.26220.1.A1_at	4.59591239
Xl.26221.1.A1_at	2.873996235
Xl.26223.1.A1_at	2.650941809
Xl.26224.1.S1_at	3.293890786
Xl.26225.1.S1_at	2.771486822
Xl.26226.1.S1_at	3.060109227
Xl.26227.1.A1_at	2.48638532
Xl.26229.1.S1_at	2.885166237
Xl.26239.1.A1_at	4.041135756
Xl.2624.1.A1_s_at	9.513963676
Xl.2624.1.A1_x_at	8.787196846
Xl.26248.1.A1_at	2.992238565
Xl.26249.1.S1_at	3.627090393
Xl.2625.1.A1_at	4.786917509
Xl.26251.1.S1_at	3.120579583
Xl.26257.1.A1_at	4.148294271
Xl.26258.1.A1_at	3.473458831
Xl.26260.1.A1_at	5.930300264
Xl.26261.1.A1_at	7.685855547
Xl.26262.1.A1_at	4.250931023
Xl.26263.1.S1_at	3.411915704
Xl.26265.1.S1_at	4.435864661
Xl.26266.1.A1_at	3.777407288
Xl.26267.1.A1_at	4.640263792
Xl.26268.1.A1_at	2.926498239
Xl.2627.1.A1_at	3.512772633
Xl.26273.1.A1_at	3.757048458
Xl.26274.1.A1_at	2.700920337
Xl.26275.1.A1_at	3.055403629
Xl.26277.1.A1_at	3.550912274
Xl.26278.1.A1_at	5.125580364
Xl.26279.1.A1_at	3.692237869
Xl.2628.1.A1_at	4.329668088
Xl.26280.1.S1_at	2.975184679
Xl.26282.1.A1_at	2.881315622
Xl.26283.1.A1_at	3.695223242
Xl.26284.1.S1_at	3.067666389
Xl.26285.1.A1_at	3.935698629
Xl.26287.1.A1_at	4.574900033
Xl.26288.1.A1_at	3.745653212
Xl.26290.1.S1_at	3.382617734
Xl.26291.1.S1_at	3.377799917
Xl.26292.1.S1_at	6.536389002
Xl.26293.1.A1_at	3.480499007
Xl.26294.1.A1_s_at	4.82938503
Xl.26294.1.A1_x_at	2.967804244
Xl.26295.1.A1_at	3.182003726
Xl.26296.1.A1_at	3.278785571
Xl.26297.1.S1_at	3.530721887
Xl.26299.1.A1_at	3.280128617
Xl.263.1.S1_at	3.998669198
Xl.2630.1.A1_at	4.761909154
Xl.26300.1.A1_at	3.372777338
Xl.26301.1.A1_at	5.045122239
Xl.26302.1.A1_at	3.125113014
Xl.26303.1.A1_at	2.642119482
Xl.26305.1.A1_at	3.014355232
Xl.26308.1.A1_at	3.825294003
Xl.26310.1.A1_at	5.021804368
Xl.26311.1.A1_at	2.733954071
Xl.26311.1.A1_s_at	3.847504145
Xl.26314.1.A1_at	4.707406609
Xl.26315.1.A1_at	4.075408444
Xl.26316.1.S1_at	2.737014354
Xl.26317.1.A1_at	6.145269024
Xl.2632.1.A1_at	7.368724531
Xl.26320.1.A1_at	3.858789406
Xl.26321.1.S1_at	4.722841587
Xl.26323.1.A1_at	4.609370457
Xl.26324.1.A1_at	5.331290801
Xl.26325.1.S1_at	3.849236511
Xl.26326.1.A1_at	2.872034029
Xl.26327.1.A1_at	3.377486495
Xl.26328.1.A1_at	2.867689773
Xl.26329.1.A1_at	3.761348023
Xl.26330.1.A1_at	3.491587951
Xl.26331.1.A1_at	4.696882678
Xl.26333.1.A1_at	3.585706036
Xl.26336.1.A1_at	3.211598213
Xl.26337.1.A1_at	3.698889867
Xl.26338.1.A1_at	3.454601898
Xl.26339.1.A1_at	6.934545127
Xl.26342.1.A1_at	3.369038406
Xl.26344.1.S1_at	3.601656371
Xl.26347.1.A1_at	2.698579069
Xl.26349.1.S1_at	2.974149392
Xl.2635.1.S1_at	3.383062711
Xl.26350.1.A1_at	2.850881015
Xl.26355.1.S1_at	3.032319205
Xl.26355.1.S1_s_at	3.069803698
Xl.26356.1.A1_at	8.025387345
Xl.26358.1.S1_at	3.482490025
Xl.26359.1.A1_at	5.741605882
Xl.2636.1.A1_at	3.880538983
Xl.26360.1.A1_at	2.932569533
Xl.26361.1.A1_at	3.973168525
Xl.26362.1.A1_at	2.742193072
Xl.26364.1.A1_at	3.065905708
Xl.26365.1.A1_at	2.672287797
Xl.26366.1.S1_at	2.740776841
Xl.26369.1.A1_at	2.787349936
Xl.26371.1.A1_at	2.857347925
Xl.26375.1.A1_at	2.946097543
Xl.26378.1.A1_at	3.631060841
Xl.2638.1.A1_at	6.351128891
Xl.26380.1.A1_at	6.208799049
Xl.26382.1.S1_at	2.703079177
Xl.26389.1.S1_at	3.167320062
Xl.2639.1.S1_at	10.51849152
Xl.26390.1.A1_at	5.613579445
Xl.26392.1.A1_at	2.670619436
Xl.26393.1.A1_at	2.568826229
Xl.26396.1.A1_at	2.915761392
Xl.26397.1.A1_at	4.137631228
Xl.26399.1.A1_at	2.837825159
Xl.264.1.S1_at	3.699814956
Xl.26400.1.A1_at	3.609446041
Xl.26402.1.S1_at	6.002852848
Xl.26404.1.A1_at	6.641649992
Xl.26407.1.A1_at	2.86508086
Xl.26408.1.A1_at	3.201880957
Xl.2641.1.A1_at	3.681088373
Xl.26410.1.A1_at	2.708394455
Xl.26413.1.A1_at	2.784871473
Xl.26415.1.S1_at	4.100078259
Xl.26417.1.A1_at	3.906490124
Xl.26420.1.A1_at	4.964013938
Xl.26421.1.A1_at	2.886864033
Xl.26422.1.A1_at	3.397383642
Xl.26423.1.A1_at	6.578450931
Xl.26427.1.S1_at	3.343723317
Xl.26429.1.A1_at	6.731711708
Xl.26431.1.A1_at	4.649350956
Xl.26432.1.A1_at	4.601241107
Xl.26433.1.A1_at	3.644059585
Xl.26434.1.S1_at	4.429525598
Xl.26435.1.A1_at	2.529693343
Xl.26436.1.A1_at	2.668449929
Xl.26437.1.S1_at	2.989574915
Xl.26438.1.S1_at	2.814793036
Xl.2644.1.A1_at	4.685897615
Xl.26440.1.A1_at	3.614713628
Xl.26443.1.A1_at	3.590071115
Xl.26444.1.A1_at	5.590193284
Xl.26445.1.A1_at	4.767498964
Xl.26447.1.A1_at	5.815572945
Xl.2645.1.S1_at	8.120009712
Xl.26450.1.A1_at	6.783115813
Xl.26451.1.A1_at	8.258510971
Xl.26454.1.A1_at	6.222104764
Xl.26455.1.A1_at	7.041907743
Xl.26457.1.A1_at	3.602054342
Xl.26460.1.S1_at	3.595217561
Xl.26461.1.S1_at	11.23967206
Xl.26462.1.A1_at	5.952438394
Xl.26463.1.A1_at	5.804860905
Xl.26464.1.A1_at	3.570404833
Xl.26465.1.A1_at	2.804030305
Xl.26468.1.S1_at	3.063265542
Xl.26469.1.S1_at	2.541700379
Xl.26470.1.S1_at	2.59267596
Xl.2648.1.A1_at	6.929802448
Xl.2649.1.A1_at	7.995938419
Xl.265.1.S1_at	5.580914575
Xl.2650.1.S1_at	6.836348571
Xl.2650.2.A1_at	4.629150286
Xl.2651.1.A1_at	3.782452628
Xl.2652.1.S1_at	7.186664074
Xl.2653.1.A1_at	5.820896303
Xl.2656.1.A1_at	2.636057868
Xl.2657.1.S1_at	11.00987511
Xl.2659.1.S1_at	3.109952545
Xl.266.1.S1_at	3.474028895
Xl.266.2.A1_at	3.390236844
Xl.266.2.S1_a_at	3.573179703
Xl.266.2.S1_at	2.700433058
Xl.2662.1.A1_at	3.314099074
Xl.2665.1.S1_at	3.55197492
Xl.2665.2.A1_at	2.473180722
Xl.2666.1.A1_at	6.439229617
Xl.2668.1.S1_at	5.688181931
Xl.2669.1.A1_at	2.72447156
Xl.2670.1.A1_at	8.154088132
Xl.2671.1.A1_at	8.85496692
Xl.2672.1.A1_at	3.405213889
Xl.2673.1.A1_at	2.429951811
Xl.2675.1.S1_at	4.376325282
Xl.268.1.S1_at	7.203657773
Xl.2680.1.A1_at	4.267582156
Xl.2681.1.S1_at	6.667948219
Xl.2686.1.S1_at	6.372208944
Xl.2687.1.A1_at	3.164248855
Xl.2688.1.S1_at	3.568459627
Xl.269.1.S1_at	5.613651241
Xl.269.1.S2_a_at	6.956867083
Xl.269.1.S2_at	5.805212649
Xl.269.1.S2_x_at	6.57730128
Xl.269.2.S1_at	8.136058074
Xl.2693.1.S1_at	8.679361511
Xl.2695.1.A1_at	5.62850093
Xl.2698.1.S1_at	3.3628155
Xl.2699.1.A1_at	2.558304975
Xl.27.1.S1_at	7.499620737
Xl.270.1.S1_at	2.788791115
Xl.2700.1.A1_at	2.651536567
Xl.2701.1.A1_x_at	2.648928631
Xl.2702.1.A1_at	5.849193194
Xl.2708.1.A1_at	8.231148231
Xl.2709.1.A1_at	6.974133383
Xl.2711.1.S1_at	5.237839841
Xl.2712.1.A1_at	3.405839652
Xl.2714.1.S1_s_at	6.582180428
Xl.2715.1.S1_at	2.804523349
Xl.2716.1.S1_a_at	3.799900899
Xl.2717.1.A1_at	6.565980958
Xl.2719.1.A1_at	2.949470875
Xl.272.1.S1_at	4.768757248
Xl.2720.1.A1_at	3.127317152
Xl.2723.1.A1_at	5.101065007
Xl.2725.1.S1_at	7.671069157
Xl.2725.2.A1_at	6.597988629
Xl.2726.1.A1_at	3.740642747
Xl.2727.1.S1_a_at	6.304855071
Xl.273.1.S1_at	6.52266207
Xl.2732.1.A1_at	7.838521618
Xl.2736.1.S1_at	9.201293132
Xl.2737.1.A1_at	4.840634171
Xl.2738.1.S1_at	4.841349224
Xl.2738.2.A1_at	3.375363405
Xl.2739.1.S1_at	5.421947287
Xl.274.1.S1_at	7.688383016
Xl.2741.1.S1_at	3.772563556
Xl.2742.1.A1_at	4.897402939
Xl.2742.1.A1_s_at	6.543142357
Xl.2742.1.A1_x_at	5.02748654
Xl.2743.1.A1_at	6.849290034
Xl.2747.1.S1_s_at	10.66095725
Xl.2747.1.S1_x_at	9.338220505
Xl.2747.1.S2_a_at	11.17787983
Xl.2749.1.A1_at	7.25180375
Xl.2750.1.A1_at	5.578315118
Xl.2751.1.S1_at	8.795942135
Xl.2754.1.S1_at	3.739805435
Xl.2755.1.S1_a_at	8.346403055
Xl.2755.1.S1_at	5.54047247
Xl.2755.2.A1_at	8.132771744
Xl.2756.1.A1_at	8.546041586
Xl.2757.1.S1_at	4.267115652
Xl.2758.1.A1_at	6.130174974
Xl.2759.1.S1_at	3.226569241
Xl.276.1.S1_at	3.239093939
Xl.2763.1.S1_at	7.53711337
Xl.2766.1.A1_at	6.268449155
Xl.2767.1.S1_at	4.084960214
Xl.2768.1.A1_at	6.033668674
Xl.2769.1.S1_at	2.9278621
Xl.277.1.S1_at	2.577007707
Xl.2770.1.S1_at	5.266956467
Xl.2771.1.S1_at	6.413474982
Xl.2777.1.S1_at	2.850771415
Xl.278.1.S1_at	3.311863196
Xl.2780.1.S1_at	8.298231554
Xl.2782.1.S1_at	5.939130914
Xl.2782.1.S1_x_at	6.041980483
Xl.2784.1.S1_at	2.582687348
Xl.2789.1.A1_at	8.313664409
Xl.279.1.S1_at	6.231661405
Xl.2790.1.S1_at	7.563443582
Xl.2791.1.A1_at	6.224800366
Xl.2792.1.A1_at	7.432674618
Xl.2793.1.S1_at	7.591041104
Xl.28.1.S1_at	3.00624709
Xl.280.1.S1_at	2.671783448
Xl.2800.1.A1_at	3.68918197
Xl.2801.1.A1_at	3.225575873
Xl.2803.1.S1_at	4.854825507
Xl.2804.1.S1_at	3.078124243
Xl.2805.1.S1_a_at	4.226179841
Xl.2805.1.S1_at	3.460267053
Xl.2805.2.S1_at	3.100483312
Xl.2807.1.A1_at	3.770426824
Xl.2808.1.S1_at	8.948437122
Xl.2809.1.A1_at	4.963291436
Xl.281.1.S1_at	6.979771577
Xl.2810.1.S1_at	8.981624401
Xl.2812.1.A1_at	5.547527911
Xl.2815.1.S1_at	5.340590011
Xl.2815.2.A1_at	4.379162198
Xl.2817.1.S1_at	3.393164954
Xl.2818.1.A1_at	8.441857757
Xl.2819.1.A1_at	4.332885423
Xl.282.1.S1_at	3.409131385
Xl.2821.1.S1_at	6.838943275
Xl.2823.1.S1_at	7.485302391
Xl.2824.1.A1_at	3.861902798
Xl.2825.1.A1_at	3.967141691
Xl.283.1.A1_at	3.715734919
Xl.283.1.S1_at	2.91121334
Xl.2830.2.S1_a_at	4.30219168
Xl.2831.1.A1_at	4.163248179
Xl.2832.1.S1_at	3.910130472
Xl.2832.2.A1_at	4.745854243
Xl.2836.1.S1_at	2.584581667
Xl.2837.1.A1_at	9.700382956
Xl.2839.1.S1_at	11.04169064
Xl.284.1.S1_a_at	7.148468856
Xl.2842.1.S1_at	7.653658374
Xl.2842.2.A1_at	5.967415073
Xl.2843.1.A1_at	6.482809171
Xl.2844.1.S1_at	8.513038782
Xl.2845.1.A1_at	7.099037805
Xl.2847.1.A1_at	6.145916353
Xl.2847.2.S1_at	4.165238166
Xl.2848.1.S1_at	3.514257997
Xl.2848.2.A1_at	4.536711342
Xl.2849.1.S1_at	6.73860858
Xl.285.1.S1_at	3.177008542
Xl.2851.1.S1_at	3.231255947
Xl.2852.1.A1_at	3.964190778
Xl.2854.1.S1_at	4.990041381
Xl.2855.1.A1_at	8.472102196
Xl.2858.1.A1_at	4.701965847
Xl.286.1.S1_at	3.239411367
Xl.2861.1.A1_a_at	10.16838128
Xl.2861.2.S1_x_at	9.92855322
Xl.2861.3.S1_at	7.72553868
Xl.2862.1.S1_at	10.3416507
Xl.2865.1.A1_at	3.463220442
Xl.2866.1.A1_at	3.503497201
Xl.2867.1.A1_at	2.9706648
Xl.2867.2.A1_a_at	2.898936791
Xl.2867.2.A1_at	2.505627144
Xl.2867.2.A1_s_at	3.657778819
Xl.2867.2.S1_at	2.53220463
Xl.2868.1.A1_at	4.691269982
Xl.2868.1.A1_s_at	4.228354109
Xl.2869.1.A1_at	3.895879479
Xl.2870.1.S1_at	6.105067532
Xl.2871.1.A1_at	3.594406047
Xl.2873.1.A1_at	3.308221404
Xl.2873.1.A1_x_at	3.254743085
Xl.2874.1.S1_at	3.212636125
Xl.2877.1.A1_at	9.076359119
Xl.2879.1.S1_at	8.688335224
Xl.2881.1.S1_at	6.099043391
Xl.2882.1.A1_at	4.253671133
Xl.2883.1.A1_at	3.804391901
Xl.2888.1.A1_at	3.269136226
Xl.2889.1.A1_at	3.353380644
Xl.289.1.S1_a_at	3.476628025
Xl.2890.1.A1_at	7.78073423
Xl.2891.1.A1_at	4.460965309
Xl.2893.1.S1_at	4.45897528
Xl.2894.1.A1_at	3.169994424
Xl.2895.1.A1_at	3.335193289
Xl.2897.1.A1_at	5.6716468
Xl.2898.1.A1_at	5.761987538
Xl.2899.1.S1_at	4.51225301
Xl.29.1.S1_at	4.442023272
Xl.290.1.S1_a_at	5.749455742
Xl.290.1.S1_x_at	6.090991168
Xl.290.2.S1_x_at	6.943582829
Xl.2900.1.S1_at	3.211671782
Xl.2902.1.S1_at	8.477103512
Xl.2907.1.S1_at	3.260625909
Xl.2908.1.A1_at	3.106821772
Xl.291.1.S1_at	3.498572527
Xl.2911.1.A1_at	3.70026067
Xl.2913.1.S1_at	3.094299829
Xl.2916.1.A1_at	7.117202869
Xl.2917.1.A1_at	3.17554628
Xl.2918.1.A1_at	3.009214642
Xl.2919.1.S1_at	5.245258383
Xl.292.1.S1_at	4.274033791
Xl.2921.1.S1_at	9.530903026
Xl.2922.1.A1_at	2.783158693
Xl.2923.1.S1_at	9.136463983
Xl.2924.1.S1_at	8.317804025
Xl.2925.1.A1_at	4.745003108
Xl.293.1.S1_at	2.989893514
Xl.2930.1.A1_at	3.283978449
Xl.2932.1.A1_at	3.512051728
Xl.2934.1.A1_at	2.939703252
Xl.2935.1.A1_at	3.572698309
Xl.2936.2.S1_a_at	4.093306825
Xl.2936.2.S1_x_at	3.285497915
Xl.2937.1.S1_at	3.254307867
Xl.2937.1.S2_at	5.706040527
Xl.2939.1.A1_at	2.673155814
Xl.294.1.S1_at	3.235089629
Xl.2940.1.A1_at	2.825644148
Xl.2946.1.A1_at	3.395989153
Xl.295.1.S1_at	9.87068663
Xl.2952.1.S1_at	7.140108084
Xl.2953.1.S1_at	2.472593877
Xl.2954.1.A1_at	2.609098713
Xl.2955.1.A1_at	3.488795624
Xl.2956.1.S1_at	4.077986333
Xl.2959.1.A1_at	2.821066949
Xl.296.1.S1_at	6.102174784
Xl.2961.1.A1_at	3.701104641
Xl.2964.1.S1_at	6.290763602
Xl.2965.1.A1_at	3.198875268
Xl.2967.1.A1_at	6.007137329
Xl.2968.1.S1_at	6.158118103
Xl.297.1.S1_a_at	6.506778036
Xl.297.2.A1_at	6.624737491
Xl.2971.1.S1_at	7.702305129
Xl.2973.1.A1_at	4.160119597
Xl.2974.1.A1_at	6.852744732
Xl.2975.1.A1_at	8.703206171
Xl.2976.1.A1_at	4.987154683
Xl.2977.1.A1_at	2.379537399
Xl.298.1.S1_at	3.902065862
Xl.2984.1.A1_at	5.255299707
Xl.2986.1.S1_at	3.531829848
Xl.2986.1.S1_x_at	3.230570271
Xl.2990.1.A1_at	7.455420061
Xl.2990.1.A1_x_at	7.852017381
Xl.2991.1.S1_at	3.034862775
Xl.2991.1.S1_s_at	5.411526187
Xl.2993.1.A1_at	3.774967085
Xl.2997.1.A1_at	7.324393086
Xl.30.1.S1_at	3.684306529
Xl.300.1.S1_at	3.396367656
Xl.3000.1.A1_at	6.692095932
Xl.3001.1.A1_at	7.126353315
Xl.3001.2.A1_at	4.473500239
Xl.3002.1.A1_at	4.158356176
Xl.3003.1.S1_at	2.509187135
Xl.3004.1.A1_at	8.018778756
Xl.3005.1.S1_at	7.252175467
Xl.3005.2.A1_at	3.95252098
Xl.3005.2.S1_a_at	6.981950629
Xl.3006.1.A1_at	3.099109845
Xl.3008.1.A1_at	5.073770014
Xl.3009.1.A1_at	3.649158046
Xl.3009.1.S1_at	4.710298521
Xl.301.1.S1_at	5.315704949
Xl.3010.1.A1_at	6.24614984
Xl.3011.1.A1_at	6.974161867
Xl.3012.1.A1_at	4.761298837
Xl.3013.1.A1_at	5.103240949
Xl.3014.1.A1_at	2.868862347
Xl.3015.1.S1_at	6.42226337
Xl.3016.1.S1_at	6.742270418
Xl.3018.1.A1_at	4.319899221
Xl.3019.1.A1_at	6.08309256
Xl.302.1.S1_at	7.712591289
Xl.3023.1.A1_at	7.296404567
Xl.3026.1.S1_at	3.542895624
Xl.3027.1.S1_at	7.676134514
Xl.3029.1.A1_at	7.944397538
Xl.303.1.S1_at	3.119396803
Xl.3030.1.A1_at	5.705074045
Xl.3032.1.A1_at	3.518625394
Xl.3033.1.A1_at	3.181396385
Xl.3033.2.A1_at	2.979969784
Xl.3035.1.S1_at	5.290056466
Xl.3036.1.A1_at	3.794104047
Xl.3037.1.A1_at	5.01335395
Xl.3040.1.A1_at	4.52967363
Xl.3040.3.A1_at	5.577775645
Xl.3043.1.S1_at	7.891589279
Xl.3045.1.S2_at	8.214379825
Xl.3045.2.S1_a_at	7.667984058
Xl.3045.3.A1_at	7.153495471
Xl.3046.1.A1_at	3.157690261
Xl.3047.1.A1_at	6.864415733
Xl.3049.1.A1_at	7.000984957
Xl.305.1.S1_at	2.819741626
Xl.3052.1.S1_at	7.175428114
Xl.3054.1.S1_at	6.482345937
Xl.3057.1.S1_at	6.227236466
Xl.3057.2.S1_a_at	6.08683803
Xl.3057.2.S1_at	4.271631586
Xl.306.1.S1_at	2.692755003
Xl.3060.1.A1_at	2.741814139
Xl.3062.1.A1_at	7.137263511
Xl.3069.1.A1_at	6.449166964
Xl.3069.2.A1_at	3.020479912
Xl.307.1.A1_at	2.899198963
Xl.3071.1.S1_at	3.978905473
Xl.3073.1.A1_at	6.010837438
Xl.3074.1.A1_at	3.084468094
Xl.3075.1.A1_at	6.414641348
Xl.3076.1.A1_at	3.176422281
Xl.3077.1.S1_at	9.483442122
Xl.3079.1.S1_at	6.679471064
Xl.3080.1.A1_at	5.691788571
Xl.3081.1.A1_at	2.924170165
Xl.3083.1.A1_at	3.456275532
Xl.3084.1.S1_at	6.173440886
Xl.3085.1.S1_at	3.508383959
Xl.3087.1.A1_at	4.937538951
Xl.3088.1.A1_at	5.12794472
Xl.3088.3.S1_a_at	4.843433115
Xl.3088.3.S1_at	5.74740787
Xl.309.1.S1_at	3.668107207
Xl.3091.1.A1_at	4.426303063
Xl.3092.1.S1_at	8.817961835
Xl.3095.1.A1_at	9.422850935
Xl.3096.1.A1_at	3.096540318
Xl.3098.1.A1_at	4.332074639
Xl.310.1.S1_at	2.781548009
Xl.3101.1.A1_at	3.463833764
Xl.3103.1.A1_at	5.979659466
Xl.3104.1.A1_at	6.484628541
Xl.3107.1.A1_at	2.90935543
Xl.3108.1.A1_at	2.590033945
Xl.3109.1.S1_at	4.932001819
Xl.311.1.S1_at	3.172943325
Xl.3111.1.A1_at	6.579559327
Xl.3112.1.A1_at	3.616562473
Xl.3113.1.A1_at	6.991896281
Xl.3115.1.A1_at	4.741512526
Xl.312.1.S1_at	9.6796104
Xl.312.1.S2_at	9.342276309
Xl.3120.1.A1_at	3.332905212
Xl.3126.1.A1_at	5.572233751
Xl.3127.1.A1_at	7.835395935
Xl.3128.1.A1_at	6.141509855
Xl.3129.1.A1_at	4.863603343
Xl.313.1.S1_a_at	3.29414033
Xl.3130.1.S1_at	3.471772248
Xl.3132.1.S1_at	3.391704989
Xl.3133.1.S1_at	3.004560446
Xl.3133.1.S1_x_at	3.971868912
Xl.3134.1.S1_at	6.592549436
Xl.3135.1.S1_at	7.703692725
Xl.3136.1.S1_at	9.404130351
Xl.3138.1.S1_at	5.984055632
Xl.3139.1.A1_at	8.482598918
Xl.314.1.S1_at	3.884845872
Xl.314.1.S1_x_at	5.508003685
Xl.314.2.S1_at	3.946231444
Xl.3142.1.A1_at	4.004155714
Xl.3143.1.A1_at	4.103584904
Xl.3144.1.S1_at	3.014368835
Xl.3144.1.S1_s_at	2.750803824
Xl.3147.1.S1_at	5.897245222
Xl.3148.1.A1_at	2.450265762
Xl.3149.1.S1_at	7.982350466
Xl.315.1.S1_at	2.699060557
Xl.3150.1.S1_at	6.004813217
Xl.3152.1.S1_at	9.462404439
Xl.3153.1.S1_at	2.541830675
Xl.3157.1.A1_at	4.250951194
Xl.3158.1.S1_at	3.984319066
Xl.316.1.S1_at	8.529962847
Xl.3160.1.A1_at	4.036205119
Xl.3161.1.A1_at	2.722586157
Xl.3161.2.A1_at	2.589358038
Xl.3162.1.A1_at	5.06599108
Xl.3167.1.S1_at	5.787705551
Xl.317.1.S1_at	4.660636053
Xl.3170.1.A1_at	3.304986848
Xl.3173.2.S1_a_at	8.441892576
Xl.3175.1.S1_at	7.121975927
Xl.3176.1.S1_at	7.399861368
Xl.3177.1.A1_at	6.231324392
Xl.3178.1.A1_at	5.370612377
Xl.3179.1.A1_at	3.028559111
Xl.318.1.S1_at	2.908732439
Xl.3181.1.A1_at	7.29553792
Xl.3182.1.A1_at	2.926608933
Xl.3185.1.A1_at	3.594054273
Xl.3188.1.A1_at	4.930945314
Xl.3189.1.S1_at	11.56810194
Xl.3189.2.A1_at	10.99268466
Xl.319.1.S1_s_at	10.09748944
Xl.3190.1.S1_at	9.372102964
Xl.3194.1.A1_at	7.327398405
Xl.3194.1.A1_x_at	7.255848752
Xl.3195.1.S1_at	4.971306599
Xl.3198.1.A1_at	2.951237428
Xl.32.1.S1_at	4.208814439
Xl.320.1.S1_at	3.235609226
Xl.3200.1.A1_at	3.332250859
Xl.3201.1.A1_at	5.6077949
Xl.3202.1.A1_at	6.480866235
Xl.3204.1.S1_at	8.790630911
Xl.3205.1.S1_at	8.598936774
Xl.3208.1.A1_at	8.837093412
Xl.3209.1.S1_at	9.421448113
Xl.321.1.S1_at	4.433110901
Xl.3210.1.S1_at	5.845736485
Xl.3212.1.A1_at	7.22851843
Xl.3213.1.A1_at	4.007689138
Xl.3214.1.S1_at	7.036957817
Xl.3216.1.A1_at	7.302978663
Xl.3219.1.S1_a_at	11.21908208
Xl.3219.2.A1_at	10.9857844
Xl.3219.3.S1_at	4.702806382
Xl.322.1.S1_at	4.4703426
Xl.3220.1.S1_at	8.552521811
Xl.3223.1.A1_at	3.284117584
Xl.3228.1.A1_at	3.259446966
Xl.3229.1.S1_at	4.692936835
Xl.323.1.S1_at	4.028109225
Xl.3234.1.S1_at	7.815386774
Xl.3238.1.S1_at	2.557768137
Xl.3239.1.S1_at	5.476393435
Xl.324.1.S1_at	3.985831901
Xl.3240.1.S1_at	7.763812096
Xl.3241.1.A1_at	2.480770043
Xl.3242.1.S1_at	3.172443149
Xl.3243.1.A1_at	7.4203547
Xl.3245.1.A1_at	6.491527744
Xl.325.1.S1_at	4.031056676
Xl.3255.1.S1_at	7.716711312
Xl.3257.1.S1_at	3.061342598
Xl.3258.1.A1_at	4.009594188
Xl.326.1.S1_at	3.198835861
Xl.3261.1.A1_at	3.000541046
Xl.3265.1.S1_at	10.9831365
Xl.3265.1.S2_at	6.830687915
Xl.327.1.S1_at	3.289616173
Xl.3271.1.A1_at	8.570932511
Xl.3273.1.A1_at	3.674688257
Xl.3275.1.S1_at	3.099264799
Xl.3276.1.A1_at	3.601467339
Xl.328.1.S1_at	2.67370971
Xl.3285.1.S1_at	4.018526082
Xl.3289.1.A1_at	3.703146165
Xl.329.1.A1_at	3.677622923
Xl.3290.1.S1_at	4.646703115
Xl.3294.1.S1_at	6.706938046
Xl.3295.1.A1_at	5.066406308
Xl.330.1.S1_at	4.40452674
Xl.3301.1.S1_at	7.462101371
Xl.3303.1.A1_at	4.524698789
Xl.3304.1.S1_at	3.21329971
Xl.3305.1.S1_a_at	5.449622858
Xl.3305.1.S1_x_at	5.172809902
Xl.3305.2.A1_at	6.376323493
Xl.3306.1.S1_at	9.304574679
Xl.3307.1.S1_at	8.257634182
Xl.3308.1.S1_at	3.592252692
Xl.3309.1.A1_at	4.972340817
Xl.331.1.S1_at	8.309520686
Xl.331.1.S1_s_at	8.816962312
Xl.3310.1.A1_at	3.581428059
Xl.3312.1.S1_at	6.9864967
Xl.3313.1.S1_at	7.453071807
Xl.3314.1.S1_at	7.900987196
Xl.3315.1.A1_at	3.345041929
Xl.3316.1.A1_at	2.926072621
Xl.3317.1.S1_at	3.171023155
Xl.3317.2.S1_at	8.968310764
Xl.3318.1.A1_at	4.203016206
Xl.3319.1.A1_at	6.06189091
Xl.332.1.S1_at	6.163564617
Xl.3320.1.A1_at	2.561959734
Xl.3322.1.A1_at	7.628260132
Xl.3325.1.A1_at	6.138134763
Xl.3326.2.S1_a_at	3.586919776
Xl.3328.1.A1_at	3.097786097
Xl.3329.1.A1_at	5.977126133
Xl.333.1.S1_at	5.507672237
Xl.3330.1.A1_at	2.619351791
Xl.3330.1.A1_x_at	2.63053875
Xl.3332.1.A1_s_at	6.770381509
Xl.3333.1.S1_at	10.91410611
Xl.3334.1.A1_at	6.150239176
Xl.3336.1.S1_at	8.983578284
Xl.3337.1.S1_at	5.127488255
Xl.3337.1.S2_at	8.946818218
Xl.3338.1.A1_at	8.630114257
Xl.334.1.S1_at	8.352960963
Xl.334.2.A1_at	7.396743209
Xl.3340.1.S1_at	7.182769985
Xl.3342.1.A1_at	7.448248606
Xl.3343.1.A1_at	3.198632193
Xl.3344.1.A1_at	4.117481906
Xl.3349.1.S1_at	8.788146445
Xl.335.1.S1_at	7.209850852
Xl.3351.1.S1_at	8.083327868
Xl.3352.1.S1_at	4.14847416
Xl.3354.1.A1_at	8.228834688
Xl.3355.1.A1_at	3.382082128
Xl.3356.1.A1_at	7.540568481
Xl.3357.1.A1_at	3.762265219
Xl.3358.1.S1_at	5.884266642
Xl.3359.1.A1_at	9.217135794
Xl.336.1.S1_at	8.60170461
Xl.3360.1.S1_a_at	11.67540927
Xl.3362.1.S1_at	4.235064455
Xl.3363.1.S1_at	6.605549271
Xl.3364.1.A1_at	6.91268431
Xl.3365.1.A1_at	9.052033597
Xl.3366.1.A1_at	4.32214875
Xl.3368.1.A1_at	6.586048938
Xl.337.1.S1_at	6.058802618
Xl.337.2.S1_a_at	8.003089593
Xl.337.3.S1_at	10.40774264
Xl.3370.1.S1_at	4.081651337
Xl.3371.1.S1_at	5.03007116
Xl.3372.1.A1_at	3.574797821
Xl.3373.2.A1_at	3.286691212
Xl.3374.1.A1_at	6.393127967
Xl.3375.1.A1_at	8.020002647
Xl.3378.1.S1_at	8.9320462
Xl.3379.1.S1_at	7.222103651
Xl.338.1.A1_at	4.717294378
Xl.3381.1.S1_at	8.122453099
Xl.3382.1.A1_at	2.647389419
Xl.3383.1.A1_at	8.723504608
Xl.3384.1.A1_at	5.85382904
Xl.3386.1.A1_at	5.673109427
Xl.3392.1.S1_at	7.51050309
Xl.3393.1.S1_at	7.695783354
Xl.3394.1.A1_at	3.452680485
Xl.3397.1.A1_at	2.687280766
Xl.3398.1.A1_at	2.884578675
Xl.34.1.S1_at	4.629669532
Xl.340.1.S1_at	4.980060165
Xl.3401.1.A1_at	8.168855083
Xl.3401.2.A1_at	8.404283536
Xl.3401.2.A2_at	6.533288793
Xl.3403.2.S1_a_at	3.292783977
Xl.3403.3.S1_at	5.139460656
Xl.3404.1.S1_at	8.633256331
Xl.341.1.S1_at	5.019992515
Xl.3413.1.A1_at	9.016981734
Xl.3415.1.A1_at	4.210019017
Xl.3416.1.S1_at	9.978757693
Xl.3416.1.S1_s_at	11.93485775
Xl.3417.1.S1_at	10.0288643
Xl.3418.1.A1_at	8.771922596
Xl.342.1.S1_at	4.673792891
Xl.3421.1.S1_at	11.67718964
Xl.3422.1.S1_at	4.69145134
Xl.3423.1.S1_at	6.039502131
Xl.3425.1.S1_a_at	11.39327583
Xl.3425.1.S1_at	10.85087132
Xl.3425.2.S1_x_at	10.88173792
Xl.3428.1.A1_at	9.810880818
Xl.343.1.S1_at	2.713543046
Xl.3433.1.A1_at	2.920940261
Xl.3435.1.A1_at	4.705662146
Xl.3435.1.A1_x_at	5.30647904
Xl.3436.1.A1_at	7.508690043
Xl.3437.1.A1_at	4.693320018
Xl.3439.1.S1_at	10.13433706
Xl.344.1.S1_at	2.70806366
Xl.3440.1.S1_at	7.741193198
Xl.3441.1.S1_at	7.188368392
Xl.3444.1.S1_at	4.10015187
Xl.3445.1.A1_a_at	10.90114323
Xl.3445.1.A1_at	9.259748863
Xl.3446.1.S1_at	9.656245514
Xl.3447.1.S1_a_at	10.73081493
Xl.3447.1.S1_x_at	10.80346661
Xl.3447.1.S2_a_at	9.21648489
Xl.3447.1.S2_at	8.816898948
Xl.3447.2.S2_at	10.18575941
Xl.345.1.S1_at	2.654642145
Xl.3452.1.A1_at	6.344326956
Xl.3454.1.S1_at	10.98408948
Xl.3460.1.A1_at	2.885650246
Xl.3463.2.S1_a_at	11.56880489
Xl.3464.1.A1_at	5.132852185
Xl.3467.1.A1_at	7.609021848
Xl.3468.1.S1_at	7.018579574
Xl.347.1.S1_at	3.218428546
Xl.3473.1.S1_at	5.097286808
Xl.3477.1.A1_at	6.591461564
Xl.3479.1.A1_at	7.230639617
Xl.348.1.S1_at	3.066268731
Xl.3480.1.A1_at	3.119239123
Xl.3481.1.S1_at	2.995547335
Xl.3483.1.S1_at	2.692484147
Xl.3484.1.A1_at	5.140444929
Xl.3485.1.S1_at	4.558319231
Xl.3487.1.S1_at	2.780171231
Xl.3489.1.A1_at	7.347198463
Xl.349.1.S1_at	3.740729186
Xl.3493.1.A1_at	5.85939864
Xl.3494.1.A1_at	8.194920546
Xl.3495.1.A1_at	3.0475314
Xl.3497.1.A1_at	6.125570582
Xl.3498.1.A1_at	8.42786083
Xl.3499.1.A1_at	2.755938507
Xl.35.1.S1_at	6.706544611
Xl.350.1.S1_at	2.845122124
Xl.3500.1.A1_at	3.462857559
Xl.3502.1.A1_a_at	6.907979293
Xl.3502.1.A1_at	5.94219049
Xl.3502.1.A1_x_at	5.932773813
Xl.3502.2.S1_at	5.141858117
Xl.3505.1.A1_at	7.052815734
Xl.351.1.S1_at	2.564307518
Xl.3510.1.S1_at	7.711678655
Xl.3511.1.A1_at	3.363291621
Xl.3515.1.A1_at	5.568568942
Xl.3516.1.A1_at	8.61738221
Xl.3519.1.S1_at	8.235579223
Xl.352.1.S1_at	3.359456366
Xl.3520.1.S1_at	3.20763577
Xl.3521.1.A1_at	3.144689822
Xl.3522.1.A1_at	7.227685978
Xl.3525.1.S1_at	7.729519831
Xl.3526.1.S1_at	5.46031654
Xl.3527.1.A1_at	3.839342374
Xl.3527.3.A1_at	4.113572534
Xl.3528.1.A1_at	3.003485128
Xl.3529.1.A1_at	6.649221732
Xl.353.1.S1_at	3.211036186
Xl.3531.1.A1_at	7.58767385
Xl.3531.1.A1_x_at	8.572082033
Xl.3531.2.S1_at	6.658771454
Xl.3532.1.A1_at	6.03199405
Xl.3533.1.S1_a_at	7.673627228
Xl.3533.1.S1_at	7.224538795
Xl.3533.2.A1_x_at	7.277274072
Xl.3534.1.A1_at	3.280168698
Xl.3535.1.A1_at	7.68690037
Xl.3536.1.S1_x_at	9.997412878
Xl.3536.2.S1_a_at	9.832860235
Xl.3536.2.S1_x_at	10.27924686
Xl.3537.1.A1_at	5.796778145
Xl.3538.1.S1_at	5.888846151
Xl.3539.1.A1_at	7.210547429
Xl.354.1.A1_at	2.794249253
Xl.3540.1.S1_at	4.847323611
Xl.3542.1.A1_at	3.819345303
Xl.3544.1.S1_at	6.868323082
Xl.3545.1.S1_at	9.844163039
Xl.3546.1.S1_at	9.182596609
Xl.3547.1.S1_at	9.43252736
Xl.3549.1.S1_at	6.732695271
Xl.3549.1.S2_at	6.625033227
Xl.355.2.S1_a_at	5.327278306
Xl.3556.1.S1_at	8.211496406
Xl.3557.1.A1_at	8.108698688
Xl.3558.1.S1_at	6.969039592
Xl.3559.1.A1_at	3.170545467
Xl.356.1.S1_at	3.215432457
Xl.3560.1.S1_at	10.80999866
Xl.3563.1.S1_at	7.877450904
Xl.3564.1.S1_at	2.591255169
Xl.3565.1.A1_at	5.320500108
Xl.3566.1.A1_at	3.088520242
Xl.3567.1.A1_a_at	3.642225898
Xl.3567.1.A1_x_at	3.892662685
Xl.3567.2.A1_x_at	3.541177082
Xl.3569.1.A1_at	9.073516157
Xl.357.1.S1_at	4.583117672
Xl.3572.1.A1_at	2.636892156
Xl.3573.1.A1_at	12.00267518
Xl.3574.1.A1_at	4.085052325
Xl.3577.1.A1_at	5.296632218
Xl.3578.1.A1_at	6.143232777
Xl.3579.1.S1_at	9.147339462
Xl.3579.2.A1_at	7.976294269
Xl.358.1.S1_at	2.973118094
Xl.3582.1.S1_at	9.61866301
Xl.3583.1.A1_at	6.801357081
Xl.3585.1.A1_at	8.451642932
Xl.3586.1.A1_at	3.033162888
Xl.3587.1.A1_at	4.840640145
Xl.3589.1.S1_at	7.055408246
Xl.359.1.S1_at	2.886672036
Xl.3590.1.S1_s_at	9.022707404
Xl.3593.1.A1_at	2.980147262
Xl.3594.1.S1_a_at	8.887949156
Xl.3595.1.A1_at	6.581565325
Xl.3598.1.A1_at	3.592533743
Xl.3599.1.A1_at	2.554404972
Xl.36.1.S1_at	2.751102831
Xl.360.1.S1_at	3.169769636
Xl.3601.1.A1_at	8.301021539
Xl.3601.2.S1_at	7.528647718
Xl.3602.2.S1_at	4.323867495
Xl.3604.1.S1_at	8.729232646
Xl.3606.1.S1_at	2.501728553
Xl.3607.1.S1_at	3.391876403
Xl.3608.1.A1_at	5.003423162
Xl.3609.1.A1_at	9.014656982
Xl.361.1.S1_at	3.081337792
Xl.3611.1.S1_at	9.117723341
Xl.3612.1.S1_at	5.080397109
Xl.3614.1.A1_s_at	7.249006661
Xl.3616.1.A1_at	7.594626468
Xl.3617.1.S1_at	7.373300171
Xl.3618.1.A1_at	2.805272111
Xl.362.1.S1_at	2.541338176
Xl.3620.1.A1_at	2.707971435
Xl.3622.1.S1_at	11.10341705
Xl.3625.1.S1_at	8.182005855
Xl.3626.1.S1_at	10.5318832
Xl.3627.1.A1_at	2.609488158
Xl.3628.1.A1_at	4.179897831
Xl.363.1.S1_at	2.833474027
Xl.3630.1.S1_at	7.539088425
Xl.3630.2.S1_a_at	6.522680291
Xl.3631.1.A1_at	6.423507633
Xl.3631.2.A1_at	5.294948548
Xl.3635.1.A1_at	8.728408631
Xl.3636.1.A1_at	7.048978109
Xl.3637.1.S1_at	9.344146158
Xl.3639.1.S1_at	8.612395673
Xl.364.1.S1_at	3.20654426
Xl.3640.1.A1_at	3.38162343
Xl.3641.1.S1_s_at	8.330832449
Xl.3642.1.A1_a_at	6.392520786
Xl.3642.1.A1_x_at	6.840485902
Xl.3642.2.S1_at	5.038771565
Xl.3642.2.S1_x_at	5.277307975
Xl.3645.1.S1_at	8.751273456
Xl.3647.1.S1_a_at	9.581186621
Xl.3647.1.S1_s_at	9.642281334
Xl.3647.1.S2_at	10.26634214
Xl.3647.2.S1_at	9.892408601
Xl.3647.3.A1_at	5.872030022
Xl.3647.3.S1_a_at	8.762571545
Xl.365.1.S1_at	4.805468951
Xl.3651.1.S1_at	9.825949158
Xl.3652.1.S1_at	9.620260134
Xl.3654.1.S1_at	7.197055532
Xl.3656.1.S1_at	8.64234533
Xl.3658.1.A1_at	6.108243592
Xl.3659.1.S1_at	7.570724409
Xl.366.1.S1_x_at	5.007818056
Xl.3661.1.S1_at	3.930509528
Xl.3663.1.S1_at	5.684355766
Xl.3663.1.S1_s_at	7.54196031
Xl.3664.1.S1_s_at	10.60691931
Xl.3665.1.S1_at	5.511069124
Xl.3666.1.S1_a_at	9.597877777
Xl.3666.2.S1_at	10.62084102
Xl.3667.1.S1_a_at	9.922032609
Xl.3667.1.S1_at	10.36695888
Xl.3667.2.S1_at	11.02120888
Xl.3668.1.S1_at	3.340590221
Xl.3668.2.S1_at	6.371365877
Xl.3669.1.A1_at	6.64945344
Xl.367.1.S1_at	3.110207648
Xl.3673.1.A1_at	5.684457823
Xl.3675.1.A1_at	8.899991223
Xl.3676.1.A1_at	5.306537262
Xl.3677.1.A1_at	5.499530323
Xl.3678.1.A1_at	4.64480973
Xl.3679.1.S1_at	6.454331039
Xl.368.1.S1_at	3.323630103
Xl.3680.1.A1_at	5.949154048
Xl.3681.1.A1_at	3.119601768
Xl.3682.1.A1_at	5.37633055
Xl.3683.1.S1_at	4.12237063
Xl.3684.1.A1_at	5.118971887
Xl.3685.1.S1_at	8.559596734
Xl.3688.1.A1_at	5.212807223
Xl.3689.1.A1_at	6.201755683
Xl.369.1.S1_at	3.380822357
Xl.3690.1.A1_at	8.290493631
Xl.3691.1.A1_at	5.642715193
Xl.3693.1.S1_at	8.679385021
Xl.3695.1.A1_at	3.5314514
Xl.3697.1.A1_at	5.379783591
Xl.3698.1.A1_at	6.088083068
Xl.37.1.S1_at	2.739140437
Xl.370.1.S1_at	3.465471414
Xl.370.1.S2_at	3.741145636
Xl.3700.1.A1_at	7.338817056
Xl.3701.1.A1_at	6.908139054
Xl.3702.1.A1_at	6.755488334
Xl.3703.1.A1_at	5.880489118
Xl.3706.1.A1_at	6.129926924
Xl.3707.1.A1_at	5.584299033
Xl.3708.1.S1_at	5.987976264
Xl.3709.1.A1_a_at	7.230931634
Xl.3709.1.A1_x_at	5.511366255
Xl.371.1.S1_at	6.918807864
Xl.3711.1.A1_at	3.520812742
Xl.3711.2.A1_at	2.827095629
Xl.3713.1.A1_at	5.7051736
Xl.3714.1.A1_at	6.304353933
Xl.3715.1.A1_at	4.47362098
Xl.3719.1.A1_at	5.514889754
Xl.372.1.S1_at	5.235496882
Xl.3720.1.A1_at	5.748826447
Xl.3721.1.A1_at	6.672633229
Xl.3721.3.S1_at	4.29456717
Xl.3721.3.S1_x_at	4.572697716
Xl.3723.1.A1_at	8.696632435
Xl.3726.1.S1_at	7.469033219
Xl.3727.1.A1_at	5.644810623
Xl.3728.1.A1_at	5.734685019
Xl.3729.1.S1_at	4.005442513
Xl.3729.2.A1_at	3.577714245
Xl.373.1.S1_at	3.483695953
Xl.3733.1.A1_at	6.581273052
Xl.3734.1.A1_at	7.783079073
Xl.3735.1.A1_at	5.418216909
Xl.3736.1.A1_at	7.337296509
Xl.3739.1.A1_at	6.443956472
Xl.374.1.S1_at	3.500858852
Xl.3740.1.A1_at	5.756669188
Xl.3742.1.A1_at	7.139907648
Xl.3743.1.A1_at	7.929054699
Xl.3746.1.A1_at	3.036407017
Xl.375.1.S1_at	4.043487202
Xl.3750.1.S1_at	7.544349091
Xl.3751.1.A1_at	7.256605879
Xl.3752.1.A1_at	6.177055264
Xl.3753.1.A1_at	5.633603784
Xl.3754.1.A1_at	6.541440594
Xl.3756.1.S1_at	7.498845474
Xl.3757.1.A1_at	3.890400403
Xl.3758.1.A1_at	3.498941248
Xl.3758.1.A1_s_at	4.35680484
Xl.3759.1.A1_at	5.872989767
Xl.3760.1.A1_at	5.037348082
Xl.3761.1.A1_at	4.082760992
Xl.3762.1.A1_at	4.623913273
Xl.3765.1.A1_at	3.680803362
Xl.3766.1.S1_at	6.425362981
Xl.3767.1.A1_at	4.148531528
Xl.3769.1.A1_at	6.235276621
Xl.377.1.S1_at	3.348157381
Xl.377.2.A1_at	4.911405306
Xl.377.2.S1_a_at	10.09668245
Xl.377.2.S1_at	3.307518383
Xl.3770.1.A1_at	4.360344183
Xl.3771.1.A1_a_at	6.682243098
Xl.3773.1.S1_at	8.741982309
Xl.3774.1.A1_at	6.414800611
Xl.3776.1.S1_at	8.095330211
Xl.3777.1.A1_at	7.220202173
Xl.3778.1.A1_at	5.115391339
Xl.3779.1.S1_at	6.199990767
Xl.378.1.S1_at	2.761732175
Xl.3780.1.A1_at	5.997463862
Xl.3780.1.A1_s_at	5.389784468
Xl.3781.1.A1_at	9.122661918
Xl.3783.1.S1_a_at	10.960383
Xl.3783.2.S1_x_at	11.22046053
Xl.3786.1.S1_at	2.834470974
Xl.3788.1.S1_at	10.96358051
Xl.3789.1.S1_at	2.938609692
Xl.379.1.S1_at	3.973886677
Xl.3792.1.S1_s_at	9.911552193
Xl.3792.1.S1_x_at	10.1997575
Xl.3793.1.S1_at	3.129685596
Xl.3793.2.S1_a_at	2.743156593
Xl.3793.2.S1_x_at	3.521888607
Xl.3796.1.A1_at	3.367535425
Xl.3799.1.S1_at	8.665365134
Xl.38.1.S1_at	3.462220354
Xl.380.1.S1_at	6.100014931
Xl.3801.1.S1_at	3.779801708
Xl.3804.1.A1_at	5.479336542
Xl.3805.1.S1_at	9.70299412
Xl.3809.1.A1_at	7.052205894
Xl.381.1.S1_at	3.395469412
Xl.3810.1.A1_at	7.624017676
Xl.3812.1.A1_at	3.036006748
Xl.3813.1.A1_at	2.894284676
Xl.3814.1.S1_at	9.175830764
Xl.3815.1.S1_a_at	8.882755846
Xl.3816.1.A1_at	7.112762597
Xl.3818.1.S1_at	4.831873229
Xl.3819.1.A1_at	2.730239005
Xl.382.1.S1_at	9.50992253
Xl.3820.1.A1_a_at	5.940881659
Xl.3820.1.A1_at	7.624305566
Xl.3820.2.A1_at	7.186253475
Xl.3821.1.A1_at	7.572058699
Xl.3822.1.S1_at	3.905467271
Xl.3824.1.A1_at	6.614041186
Xl.3825.1.S1_at	8.741490882
Xl.3826.1.S1_at	3.137467743
Xl.3827.1.A1_at	5.443472708
Xl.3829.1.S1_at	7.84298989
Xl.383.1.S1_at	9.829235375
Xl.3831.1.S1_at	3.053358694
Xl.3832.1.A1_at	3.988899274
Xl.3833.1.A1_at	5.239502073
Xl.3834.1.A1_at	6.859259591
Xl.3834.2.A1_at	8.083968076
Xl.3834.3.A1_at	7.831347625
Xl.3835.1.S1_at	9.479975436
Xl.3835.2.S1_a_at	9.40459286
Xl.3835.2.S1_at	9.099959602
Xl.3836.1.S1_at	6.761368351
Xl.3837.1.A1_at	5.064583613
Xl.384.1.S1_at	2.678435166
Xl.3841.1.A1_at	6.030152057
Xl.3842.1.A1_at	4.582873906
Xl.3843.1.S1_at	5.623742047
Xl.3846.1.A1_at	7.307644222
Xl.3847.1.S1_at	4.08899493
Xl.3848.1.A1_at	2.921639817
Xl.385.1.S1_at	7.124351772
Xl.3851.1.A1_at	5.49742939
Xl.3852.1.A1_at	7.641648534
Xl.3855.1.S1_at	3.682812882
Xl.3859.1.A1_at	9.594322599
Xl.386.1.S1_at	9.548378448
Xl.3861.1.A1_at	8.007414671
Xl.3861.2.S1_at	7.163254839
Xl.3861.3.S1_at	6.175285648
Xl.3862.1.S1_a_at	10.18895877
Xl.3862.1.S1_x_at	11.03889221
Xl.3862.2.S1_x_at	9.953454673
Xl.3863.1.S1_at	7.848565506
Xl.3864.1.S1_a_at	7.660163883
Xl.3864.2.S1_at	5.89730575
Xl.3864.2.S2_at	9.334689374
Xl.3867.1.S1_at	8.520631769
Xl.3868.1.S1_at	4.700999712
Xl.3869.1.S1_at	7.635975442
Xl.387.1.S1_at	8.921671073
Xl.3871.1.S1_at	6.303912312
Xl.3871.1.S1_s_at	7.294283605
Xl.3872.1.S1_at	3.46084586
Xl.3873.1.S1_at	7.062715356
Xl.3876.1.S1_at	6.952642579
Xl.3877.1.S1_at	7.028742547
Xl.3878.1.A1_at	5.067763654
Xl.388.1.S1_at	8.738671472
Xl.3880.1.A1_at	5.515447622
Xl.3881.1.S1_at	7.141573843
Xl.3882.1.A1_at	7.013065128
Xl.3885.1.A1_at	7.11935293
Xl.3887.1.S1_at	7.586612166
Xl.3888.1.S1_at	5.510212446
Xl.389.1.S1_at	7.726097857
Xl.3893.1.S1_at	8.715335933
Xl.3896.1.A1_at	6.604290376
Xl.3898.1.A1_at	5.462667081
Xl.3899.1.A1_at	4.114740504
Xl.39.1.S1_at	5.616451294
Xl.390.1.S1_at	2.620148598
Xl.3900.1.A1_at	5.195246564
Xl.3901.1.A1_at	2.722273927
Xl.3902.1.A1_at	3.438923821
Xl.3904.1.A1_at	7.268862655
Xl.3905.1.S1_at	11.15347186
Xl.3906.1.A1_at	6.334768655
Xl.3907.1.S1_at	5.229174021
Xl.3908.1.A1_at	5.512424317
Xl.3909.1.S1_at	5.495108642
Xl.391.1.S1_at	2.616803714
Xl.3910.1.A1_at	6.240863557
Xl.3915.1.A1_at	5.913536663
Xl.3915.2.A1_at	7.77897329
Xl.3917.1.A1_at	3.936592764
Xl.3919.1.A1_at	3.226359756
Xl.3920.1.A1_at	7.725169956
Xl.3921.1.A1_at	4.651516232
Xl.3922.1.A1_at	2.556678218
Xl.3923.1.A1_at	2.758541377
Xl.3924.1.A1_at	6.34171739
Xl.3925.1.A1_at	3.394838141
Xl.393.1.S1_at	3.342413272
Xl.393.1.S2_at	2.586279371
Xl.3931.1.A1_at	5.684859343
Xl.3932.1.A1_at	4.915192202
Xl.3934.1.A1_at	4.768848631
Xl.3935.1.A1_at	4.968610138
Xl.3937.1.S1_at	5.427383546
Xl.3939.1.S1_at	5.267430196
Xl.394.1.S1_at	7.34976915
Xl.3940.1.S1_at	4.316348238
Xl.3942.1.A1_at	2.886779766
Xl.3944.1.A1_at	3.321658089
Xl.3945.1.A1_at	3.223696525
Xl.3946.1.A1_at	4.068954417
Xl.3947.1.A1_at	5.043120354
Xl.395.1.S1_at	2.440306027
Xl.395.2.S1_x_at	2.550021313
Xl.3950.1.A1_at	3.133291389
Xl.3951.1.S1_at	3.688238273
Xl.3952.1.A1_at	4.837241848
Xl.3956.1.S1_at	7.719264479
Xl.3957.1.S1_at	6.878365821
Xl.3958.1.A1_at	2.797099791
Xl.3959.1.A1_at	8.193984646
Xl.396.1.S1_at	5.066360005
Xl.3960.1.A1_a_at	4.36970194
Xl.3962.1.A1_at	5.816451498
Xl.3963.1.A1_at	3.236795028
Xl.3964.1.A1_at	6.802400971
Xl.3965.1.A1_at	6.516709526
Xl.3966.1.S1_at	9.139230744
Xl.3969.1.S1_at	8.370546683
Xl.3969.1.S2_at	10.51514798
Xl.397.1.S1_at	2.852363569
Xl.3971.1.A1_at	2.724489284
Xl.3972.1.S1_at	6.799172301
Xl.3974.1.A1_at	5.091004886
Xl.3975.1.A1_at	6.109399347
Xl.3978.1.A1_at	3.953270887
Xl.3979.1.A1_at	5.603674542
Xl.3979.2.S1_at	4.855829337
Xl.398.1.S1_at	2.7304049
Xl.3980.1.S1_at	2.797075136
Xl.3982.1.A1_at	5.700191641
Xl.3983.1.A1_at	5.325539097
Xl.3984.1.A1_at	3.196145334
Xl.3988.1.S1_at	2.746434956
Xl.3989.1.A1_at	5.04134316
Xl.399.1.S1_at	2.650454413
Xl.3990.1.A1_at	5.042145658
Xl.3991.1.S1_at	6.031277423
Xl.3994.1.A1_at	6.55296952
Xl.3995.1.A1_at	4.857706916
Xl.3996.1.A1_at	4.179764529
Xl.3997.1.A1_at	4.27702821
Xl.40.1.S1_at	5.844048302
Xl.400.1.S1_at	3.424888403
Xl.4001.1.A1_at	3.525663655
Xl.4005.1.A1_at	3.328357069
Xl.4006.1.A1_at	5.047923929
Xl.4007.1.A1_at	3.101317338
Xl.4008.1.A1_at	5.305523375
Xl.4009.1.A1_at	2.844695117
Xl.401.1.S1_at	3.41341934
Xl.4011.1.A1_at	2.772708396
Xl.4012.1.A1_at	5.270569615
Xl.4017.1.A1_at	6.939107006
Xl.4019.1.A1_at	3.928277393
Xl.4020.1.A1_at	5.356484582
Xl.4022.1.S1_at	7.743940615
Xl.4024.1.A1_at	3.039950807
Xl.4026.1.A1_at	6.127360807
Xl.4028.1.S1_at	5.702462747
Xl.403.1.S1_at	6.411543809
Xl.4032.1.A1_at	4.847047533
Xl.4032.1.A1_s_at	6.532211936
Xl.4032.1.A1_x_at	5.311437896
Xl.4033.1.A1_at	7.219821079
Xl.4034.1.A1_at	2.756505021
Xl.4037.1.A1_at	7.151534133
Xl.4038.1.A1_at	7.266140178
Xl.404.1.S1_at	6.806660878
Xl.4041.1.S1_at	6.130946412
Xl.4042.2.A1_at	2.763613374
Xl.4043.1.S1_at	10.85966967
Xl.4045.1.A1_at	7.084449693
Xl.4046.1.A1_at	3.752625599
Xl.4048.1.S1_at	9.941575834
Xl.405.1.S1_at	3.467882749
Xl.4050.1.A1_at	5.976672775
Xl.4052.1.A1_at	3.988932323
Xl.4054.1.A1_at	3.838607515
Xl.4055.1.A1_at	4.914401899
Xl.4057.1.A1_at	3.458906973
Xl.406.1.S1_a_at	5.938699111
Xl.406.2.S1_a_at	5.771144706
Xl.4061.1.A1_at	3.308813953
Xl.4062.1.S1_at	7.299379073
Xl.4064.1.S1_at	7.204984999
Xl.4065.1.A1_at	7.598189891
Xl.4066.1.S1_at	5.381947955
Xl.4067.1.A1_at	3.039197281
Xl.4068.1.A1_at	3.113444697
Xl.407.1.S1_at	2.815955586
Xl.4070.1.A1_at	2.860903027
Xl.4072.1.A1_at	5.423382874
Xl.4072.1.A1_x_at	5.340086648
Xl.4073.1.A1_at	9.232421166
Xl.4074.1.S1_at	11.26295673
Xl.4077.1.A1_a_at	5.444713829
Xl.4077.1.A1_at	3.535255671
Xl.4077.2.A1_at	2.895512234
Xl.4077.2.A1_x_at	3.722832742
Xl.408.1.S1_at	3.03608863
Xl.4080.1.S1_at	5.106133886
Xl.4082.1.S1_s_at	9.274670081
Xl.4083.1.S1_at	6.639194788
Xl.4086.1.A1_at	3.537218141
Xl.4087.1.A1_at	8.10791255
Xl.409.1.S1_at	8.060995906
Xl.4090.1.A1_at	6.45629362
Xl.4091.1.A1_at	5.716341806
Xl.4093.1.A1_at	4.839486734
Xl.4094.1.S1_at	8.707723641
Xl.4095.1.A1_at	3.730602808
Xl.410.1.S1_at	4.024734358
Xl.4100.1.A1_at	6.028604485
Xl.4101.1.S1_at	9.639360581
Xl.4102.1.A1_at	4.988429432
Xl.4103.1.S1_at	7.797001281
Xl.4107.1.A1_at	2.791257746
Xl.4109.1.A1_at	4.762650972
Xl.411.1.A1_at	3.938281366
Xl.411.1.A1_s_at	3.128514596
Xl.4110.1.S1_at	8.170516437
Xl.4111.1.S1_at	12.25342684
Xl.4113.1.A1_at	5.88486224
Xl.4114.1.S1_at	8.01972066
Xl.4115.1.S1_a_at	8.632893857
Xl.4115.1.S1_at	7.602356672
Xl.4115.1.S1_x_at	8.412789915
Xl.4115.2.A1_at	8.698480888
Xl.4115.2.A1_x_at	8.848701275
Xl.4116.1.A1_at	5.841370154
Xl.4118.1.A1_at	8.264925453
Xl.4119.1.A1_at	3.49948948
Xl.412.1.S1_at	8.159166261
Xl.4120.1.S1_a_at	7.199295506
Xl.4120.1.S1_at	4.519694132
Xl.4121.1.A1_at	5.140096234
Xl.4122.1.A1_at	4.870443386
Xl.4123.1.A1_at	3.889643389
Xl.4125.1.A1_at	6.167074084
Xl.4126.1.A1_at	8.76291237
Xl.4127.1.A1_at	4.672653522
Xl.4127.1.A1_x_at	4.710818554
Xl.4128.1.S1_at	6.758836667
Xl.4129.1.A1_at	4.926170642
Xl.4129.1.A1_x_at	4.546044271
Xl.413.1.S1_at	3.466275448
Xl.4131.1.A1_at	3.841205849
Xl.4132.1.A1_at	3.62136364
Xl.4134.1.A1_at	2.656274215
Xl.4135.1.S1_x_at	11.85593647
Xl.4135.2.S1_a_at	12.38032979
Xl.4136.1.A1_at	5.80900172
Xl.4138.2.S1_at	11.59734227
Xl.4138.2.S1_x_at	11.60411001
Xl.4139.1.A1_at	3.407031908
Xl.414.1.S1_at	3.34106722
Xl.4141.1.A1_at	3.68044223
Xl.4143.1.A1_at	6.286190335
Xl.4145.1.A1_at	6.61340075
Xl.4146.1.A1_at	3.270696048
Xl.4149.1.A1_at	3.991631085
Xl.415.1.S1_at	3.159738427
Xl.4150.1.S1_at	12.30435738
Xl.4151.1.A1_at	3.71849209
Xl.4152.1.A1_at	4.991212234
Xl.4155.1.A1_at	4.058982603
Xl.4157.1.A1_at	2.79541374
Xl.4159.1.A1_at	6.609044511
Xl.416.1.S1_at	8.102446976
Xl.4160.1.A1_at	2.693108782
Xl.4161.1.A1_at	4.593835191
Xl.4162.1.S1_at	9.823241665
Xl.4165.1.A1_at	5.166922545
Xl.4166.1.A1_at	3.898439653
Xl.4168.1.S1_at	10.73840367
Xl.4168.1.S2_at	10.44227353
Xl.4169.1.S1_at	6.942607628
Xl.417.1.S1_at	2.848769982
Xl.417.2.S1_at	2.616194468
Xl.4170.1.S1_at	7.316049339
Xl.4170.2.A1_at	6.504226596
Xl.4171.1.S1_at	8.653361229
Xl.4174.1.S1_at	4.347921423
Xl.4174.2.A1_at	6.317388458
Xl.4175.1.A1_at	5.23979281
Xl.4175.2.A1_at	5.802382718
Xl.4176.1.S1_at	6.83420288
Xl.4176.1.S1_x_at	7.727557092
Xl.4176.2.A1_at	2.880766234
Xl.4176.2.A1_x_at	3.983819603
Xl.4179.1.A1_at	5.671653246
Xl.418.1.S1_at	7.260406976
Xl.418.1.S2_at	8.823029827
Xl.4180.1.A1_at	8.095500799
Xl.4181.1.S1_at	3.286323068
Xl.4183.1.S1_at	6.530270431
Xl.4183.1.S1_s_at	8.656021354
Xl.4183.2.A1_at	5.396548898
Xl.4184.1.A1_at	3.771059428
Xl.4185.1.A1_at	3.764480119
Xl.4188.1.A1_at	3.97841128
Xl.419.1.S1_at	7.127958334
Xl.4191.1.A1_at	6.625693169
Xl.4192.1.A1_at	3.46657355
Xl.4192.2.S1_a_at	5.925412772
Xl.4192.2.S1_at	3.90751371
Xl.4193.1.A1_at	5.03336684
Xl.4194.1.A1_at	3.90537911
Xl.4195.1.A1_at	5.214801171
Xl.4196.1.A1_at	4.001754948
Xl.4198.1.A1_at	6.533464673
Xl.42.1.A1_at	7.825204238
Xl.4200.1.S1_at	7.680171537
Xl.4202.1.S1_at	6.365256355
Xl.4203.1.S1_at	9.388522061
Xl.4204.1.S1_at	8.210328342
Xl.4204.2.A1_a_at	9.369252195
Xl.4204.2.A1_x_at	9.708883081
Xl.4204.3.S1_a_at	7.081025448
Xl.4204.3.S1_at	8.758389944
Xl.4204.3.S1_x_at	9.210203875
Xl.4206.1.A1_at	7.597899367
Xl.4207.1.A1_at	7.183922883
Xl.4208.1.S1_at	6.256455576
Xl.421.1.S1_at	7.802468931
Xl.4210.1.A1_at	5.780741952
Xl.4211.1.S1_at	5.824288466
Xl.4212.1.S1_at	9.148632608
Xl.4212.2.S1_at	8.187310199
Xl.4216.1.S1_at	2.934185124
Xl.4217.1.A1_at	4.956839706
Xl.4218.1.A1_at	6.158268249
Xl.4219.1.S1_at	9.744077623
Xl.4219.2.A1_at	8.465695288
Xl.422.1.S1_at	6.691516622
Xl.4221.1.S1_at	6.635346952
Xl.4222.1.S1_at	3.902717854
Xl.4223.1.S1_a_at	11.04040896
Xl.4223.1.S1_at	11.29408775
Xl.4223.2.S1_at	10.82476734
Xl.4224.1.S1_a_at	11.34477559
Xl.4224.2.A1_at	5.147572464
Xl.4224.3.A1_at	6.253811656
Xl.4225.1.S1_at	4.015960277
Xl.4227.1.S1_at	7.177829581
Xl.423.1.S1_at	3.056628686
Xl.4230.2.S1_s_at	10.05671411
Xl.4231.1.S1_at	11.07032747
Xl.4235.1.A1_at	7.365627438
Xl.4236.1.S2_at	2.748237423
Xl.4237.1.A1_at	2.421057943
Xl.4239.1.A1_at	2.630954683
Xl.424.1.S1_at	3.08345641
Xl.4240.1.A1_at	2.50888123
Xl.4241.1.S1_at	3.323039096
Xl.4243.1.A1_at	3.969028183
Xl.4244.1.A1_at	5.507819134
Xl.4245.1.A1_at	2.919977193
Xl.4246.1.S1_at	7.650311876
Xl.425.1.S1_at	4.622479047
Xl.4252.1.A1_at	5.793428821
Xl.4255.1.A1_at	2.870081089
Xl.4259.1.A1_at	2.48401948
Xl.426.1.S1_at	3.62344783
Xl.426.2.A1_at	4.122659879
Xl.426.2.S1_a_at	4.000800608
Xl.4260.1.A1_at	2.51607039
Xl.4261.1.A1_at	2.525076165
Xl.4262.1.A1_at	6.504243817
Xl.4265.1.A1_at	2.682483579
Xl.4267.1.S1_at	4.147981783
Xl.4267.2.A1_at	4.746244853
Xl.4269.1.A1_at	3.161336743
Xl.4271.1.S1_at	10.59086684
Xl.4272.1.S1_at	7.658535921
Xl.4275.1.S1_at	8.222194983
Xl.4275.2.S1_a_at	5.502511878
Xl.4276.1.S1_at	3.779548679
Xl.4277.1.S1_at	6.828583097
Xl.428.1.A1_at	3.41859357
Xl.428.1.S1_at	3.501672382
Xl.4280.1.A1_at	7.495210389
Xl.4282.1.A1_at	2.82061964
Xl.4283.1.S1_at	5.980152954
Xl.4285.1.A1_at	6.743762989
Xl.4286.1.A1_at	4.005208662
Xl.4287.1.S1_at	4.891415943
Xl.4288.1.A1_at	6.203567465
Xl.4289.1.A1_at	3.718724353
Xl.429.1.S1_at	3.267159584
Xl.4290.1.S1_at	7.636418975
Xl.4293.1.A1_at	7.542000034
Xl.4294.1.A1_at	5.620635681
Xl.4294.3.A1_at	3.081335104
Xl.4295.1.A1_at	4.774277668
Xl.4297.1.S1_at	10.18924853
Xl.4299.1.S1_at	7.683219035
Xl.43.1.S1_at	2.601986555
Xl.4300.1.S1_at	8.944535757
Xl.4301.1.A1_at	8.417669452
Xl.4302.1.A1_at	8.252826921
Xl.4303.1.S1_at	6.140426966
Xl.4303.2.A1_at	7.223255046
Xl.4304.1.S1_at	8.180324773
Xl.4305.1.S1_at	10.93450436
Xl.4306.1.S1_at	6.675149683
Xl.4307.1.A1_at	6.20053458
Xl.4309.1.A1_at	7.720120568
Xl.431.1.S1_at	3.87477419
Xl.4310.1.S1_at	7.397635598
Xl.4311.1.A1_at	2.608310598
Xl.4312.1.A1_at	8.552101941
Xl.4312.1.A1_x_at	8.671185445
Xl.4314.1.S1_at	7.121988412
Xl.4315.1.A1_at	7.817982006
Xl.4316.1.A1_at	6.89116473
Xl.4319.1.S1_at	7.054372382
Xl.4320.1.S1_at	4.999467511
Xl.4321.1.S1_at	7.635080703
Xl.4323.1.A2_at	6.423945391
Xl.4326.1.A1_at	4.850435677
Xl.4328.1.S1_at	7.581459427
Xl.4328.1.S1_x_at	7.649867574
Xl.4328.1.S2_at	5.067852405
Xl.4329.2.S1_a_at	10.01444964
Xl.433.1.S1_a_at	2.956602622
Xl.433.1.S1_s_at	2.618369501
Xl.433.2.S1_a_at	3.180965106
Xl.433.2.S1_at	3.154229977
Xl.4330.1.A1_at	3.706471566
Xl.4331.1.A1_at	7.104494644
Xl.4332.1.S1_at	8.911846837
Xl.4334.1.S1_at	9.109496033
Xl.4335.1.A1_at	4.953938436
Xl.4336.1.A1_at	6.111166441
Xl.4337.1.A1_at	4.032740834
Xl.434.1.S1_at	6.43473161
Xl.4340.1.A1_at	7.006086424
Xl.4341.1.A1_at	3.87019366
Xl.4342.1.A1_at	6.376023313
Xl.4345.1.A1_at	5.445943986
Xl.4346.1.A1_at	8.423220359
Xl.4347.1.S1_at	8.876587374
Xl.4348.1.A1_at	2.646259907
Xl.4350.1.S1_at	7.893223089
Xl.4351.1.S1_at	5.228684683
Xl.4352.1.S1_at	4.638387206
Xl.4353.1.A1_at	5.990925009
Xl.4356.1.A1_at	3.191443773
Xl.4358.1.A1_at	6.350792539
Xl.4359.1.A1_at	3.978199221
Xl.436.1.S1_a_at	2.789064767
Xl.4361.1.A1_at	5.916418635
Xl.4361.2.S1_at	4.866542951
Xl.4363.1.A1_at	2.944158895
Xl.4364.1.S1_at	5.112532582
Xl.4366.1.A1_at	8.810608316
Xl.437.1.S1_at	2.914039861
Xl.4371.1.A1_s_at	6.344056596
Xl.4372.1.A1_at	5.079973604
Xl.4374.1.A1_at	5.200074268
Xl.4375.1.A1_at	2.636834927
Xl.4377.1.S1_at	8.50181024
Xl.438.1.S1_at	5.388172808
Xl.4380.1.A1_at	5.33066544
Xl.4381.1.A1_at	6.385676966
Xl.4384.1.S1_at	6.391456984
Xl.4386.1.A1_at	4.587894714
Xl.4387.1.S1_at	7.523381872
Xl.4388.1.S1_at	5.238366755
Xl.4389.1.S1_at	5.644157526
Xl.439.1.S1_at	4.226580753
Xl.4390.1.A1_s_at	7.666564136
Xl.4391.1.A1_at	4.644337205
Xl.4392.1.A1_at	4.457131065
Xl.4393.1.S1_at	8.93812221
Xl.4393.2.A1_at	4.480245119
Xl.4394.1.A1_at	6.649929669
Xl.4395.1.S1_at	10.2224331
Xl.4398.1.A1_at	4.213764554
Xl.4399.1.A1_at	3.59374719
Xl.44.1.S1_at	4.713361871
Xl.44.1.S1_s_at	3.835425549
Xl.440.1.S1_at	7.811998076
Xl.4400.1.A1_at	7.460108102
Xl.4402.1.A1_at	6.556358014
Xl.4403.1.S1_at	8.481409393
Xl.4404.1.A1_at	3.09765135
Xl.4406.1.A1_at	5.80748044
Xl.4409.1.A1_at	2.801335665
Xl.441.1.S1_at	2.626734164
Xl.4410.1.A1_at	6.188292125
Xl.4414.1.A1_at	2.548501722
Xl.4416.1.A1_at	8.802851011
Xl.4418.1.A1_at	3.589025451
Xl.4419.1.S1_at	5.095564375
Xl.442.1.S1_at	6.460930691
Xl.4420.1.A1_at	8.134282466
Xl.4421.1.S1_at	8.59089649
Xl.4422.1.S1_at	8.831215526
Xl.4423.2.S1_a_at	11.28670516
Xl.4423.3.S1_at	10.03274472
Xl.4425.1.A1_at	5.932584712
Xl.4426.1.A1_at	6.239635904
Xl.4427.1.A1_at	6.353191493
Xl.4433.1.S1_at	7.954608496
Xl.4436.1.A1_at	5.027705277
Xl.4438.2.A1_at	2.776992886
Xl.4439.1.A1_at	8.487309237
Xl.444.1.S1_a_at	6.721869823
Xl.444.3.A1_at	3.260480951
Xl.4440.1.S1_at	6.875033739
Xl.4441.1.A1_at	3.917290547
Xl.4443.1.A1_at	6.543874565
Xl.4444.1.A1_at	2.632679568
Xl.4445.1.S1_at	8.006145206
Xl.4446.1.A1_at	2.804011079
Xl.4447.1.A1_at	7.474578815
Xl.4448.1.S1_at	8.37157442
Xl.4448.2.S1_at	8.017654573
Xl.4448.2.S1_x_at	8.131355452
Xl.4449.1.S1_at	7.647731015
Xl.445.1.S1_at	8.562071066
Xl.4451.1.A1_at	3.716667731
Xl.4452.1.S1_at	3.571229705
Xl.4453.1.S1_at	3.708314517
Xl.4454.1.A1_at	6.401510715
Xl.4455.1.A1_at	8.309085502
Xl.4456.1.A1_at	4.066506708
Xl.4457.1.A1_at	4.652765945
Xl.4458.1.A1_at	5.322886056
Xl.4459.1.A1_at	6.572582464
Xl.446.1.S1_at	6.240476618
Xl.4460.1.A1_at	6.664151559
Xl.4461.1.A1_at	10.10034534
Xl.4461.1.A2_at	7.167787363
Xl.4464.2.A1_at	2.993025992
Xl.4465.1.A1_at	6.635703924
Xl.4468.1.S1_at	6.351266832
Xl.4469.1.S1_at	4.819937615
Xl.447.1.S1_at	4.024033615
Xl.4470.1.A1_at	5.019094435
Xl.4472.1.A1_at	8.513628141
Xl.4473.1.A1_at	5.48928453
Xl.4474.1.A1_at	5.006030248
Xl.4475.1.A1_at	8.710917147
Xl.4475.2.A1_at	3.911199616
Xl.4479.1.A1_at	7.154697935
Xl.448.1.S1_at	2.614460255
Xl.4480.1.A1_at	3.394694249
Xl.4483.1.S1_at	4.407509533
Xl.4484.1.A1_at	4.809286381
Xl.4484.1.A1_s_at	5.05357867
Xl.4485.1.A1_at	6.437598746
Xl.4488.1.S1_at	7.763980008
Xl.4489.1.A1_a_at	4.395342344
Xl.449.1.S1_at	3.841914482
Xl.4490.1.A1_at	7.522433845
Xl.4492.1.A1_at	6.527728728
Xl.4495.1.A1_at	5.231712816
Xl.4498.1.A1_at	3.353231489
Xl.45.1.S1_at	6.828423203
Xl.450.1.S1_at	4.906443473
Xl.4502.1.S1_at	2.983284065
Xl.4502.2.A1_at	2.920528831
Xl.4503.1.S1_at	5.580349843
Xl.4504.1.A1_at	7.834263047
Xl.4506.1.S1_at	9.816271432
Xl.4507.1.A1_at	7.208598842
Xl.4509.1.S1_at	3.316437793
Xl.4513.1.S1_at	4.592705808
Xl.4514.1.S1_at	9.953289625
Xl.4514.2.A1_at	6.766979228
Xl.4514.3.S1_at	7.225892727
Xl.4515.1.S1_at	12.60912442
Xl.4515.1.S2_a_at	8.916344047
Xl.4516.1.A1_at	7.270427293
Xl.4517.1.S1_at	9.232283415
Xl.4519.1.S1_at	3.875681995
Xl.452.1.S1_at	6.147314584
Xl.4522.1.S1_at	6.325071569
Xl.4524.1.S1_at	5.524490583
Xl.453.1.S1_at	2.80253559
Xl.4530.1.S1_at	6.943162538
Xl.4533.1.A1_at	3.71215788
Xl.4535.1.S1_at	9.178540317
Xl.4535.2.S1_a_at	8.944433703
Xl.4535.2.S1_at	9.602052102
Xl.4540.1.S1_at	9.028790822
Xl.4541.1.A1_at	7.287031596
Xl.4543.1.A1_at	5.994667203
Xl.4544.1.S1_at	7.990154562
Xl.4548.1.A1_at	5.397820576
Xl.455.1.S1_a_at	7.039512093
Xl.455.2.S1_at	7.608018556
Xl.4552.1.S1_at	11.49638123
Xl.4554.1.S1_at	11.10793764
Xl.4557.1.A1_s_at	7.47574459
Xl.4557.1.A1_x_at	7.024511876
Xl.4558.1.S1_at	6.786893958
Xl.456.1.S1_at	5.205995823
Xl.4562.1.S1_at	7.41050337
Xl.4563.1.S1_at	9.647170901
Xl.4564.1.S1_at	3.202952687
Xl.4567.1.S1_at	8.948507344
Xl.4568.1.A1_at	3.703386793
Xl.4569.1.A1_at	2.821431785
Xl.457.1.S1_at	3.628597162
Xl.4572.1.A1_at	7.589730983
Xl.4573.1.S1_at	9.573829242
Xl.4575.1.A1_at	3.265129854
Xl.4576.1.S1_at	6.780719556
Xl.4577.1.S1_at	4.676610821
Xl.4577.2.S1_at	11.10143686
Xl.4577.3.S1_at	6.0428339
Xl.4579.1.S1_x_at	5.797328938
Xl.4579.2.S1_at	3.149599668
Xl.4579.2.S1_x_at	3.876341486
Xl.458.1.S1_at	6.877327072
Xl.4581.1.A1_at	3.731566357
Xl.4582.1.A1_at	4.169734389
Xl.4584.1.S1_at	10.0395637
Xl.4586.1.A1_at	5.919386073
Xl.4587.1.A1_at	5.801936174
Xl.4588.1.A1_at	7.319258424
Xl.4589.1.S1_at	7.565455404
Xl.4589.2.S1_a_at	6.855300974
Xl.459.1.S1_at	2.984113805
Xl.4590.1.A1_at	8.148542788
Xl.4591.1.S1_at	8.592892281
Xl.4592.1.S1_at	5.905785113
Xl.4592.2.A1_at	9.112936259
Xl.4593.1.A1_at	6.852559028
Xl.4593.3.A1_at	2.983210285
Xl.4594.1.S1_at	9.575562703
Xl.4594.1.S2_at	9.07519283
Xl.4596.1.A1_at	4.933942042
Xl.4597.1.S1_at	3.828540893
Xl.4598.1.A1_at	7.060814917
Xl.46.1.S1_at	5.988694699
Xl.460.1.S1_at	4.277756689
Xl.4600.1.S1_at	4.320494515
Xl.4601.1.S1_at	8.453525688
Xl.4603.1.S1_at	7.895525252
Xl.4605.1.A1_at	5.075302665
Xl.4605.2.S1_a_at	9.365289763
Xl.4605.2.S1_at	9.005194525
Xl.4606.1.S1_at	6.892338036
Xl.4608.1.S1_at	3.356074429
Xl.4609.1.A1_at	6.575135304
Xl.461.1.S1_at	7.058480963
Xl.4611.1.S1_at	7.394576568
Xl.4613.1.A1_at	4.788848096
Xl.4615.1.S1_at	9.973608666
Xl.4616.1.A1_at	3.269579588
Xl.4617.1.S1_at	7.449151782
Xl.4618.1.S1_a_at	12.89857798
Xl.4619.1.S1_s_at	6.528216239
Xl.462.1.S1_at	7.751018676
Xl.4620.1.A1_at	5.320812875
Xl.4621.1.A1_at	7.346536633
Xl.4623.1.A1_at	8.254400004
Xl.4624.1.A1_a_at	7.917825416
Xl.4625.1.A1_at	2.874276899
Xl.4626.1.A1_at	5.368777778
Xl.4627.1.A1_at	7.295087819
Xl.4629.1.S1_at	3.08620135
Xl.463.1.S1_at	3.589212766
Xl.4630.1.A1_at	2.824763146
Xl.4631.1.S1_at	7.320329123
Xl.4631.2.A1_at	9.138233054
Xl.4631.3.A1_at	10.76092256
Xl.4632.1.A1_at	7.367734786
Xl.4633.1.A1_at	3.169113389
Xl.4634.1.S1_at	8.350524674
Xl.4635.1.S1_at	11.46085022
Xl.4636.1.S1_at	6.992838462
Xl.4637.1.S1_at	5.11835681
Xl.464.1.S2_at	9.635401585
Xl.464.3.A1_at	6.184220602
Xl.464.3.S1_a_at	7.947072036
Xl.4641.1.S1_at	5.790659639
Xl.4643.1.S1_at	8.249093085
Xl.4645.1.A1_at	6.965237183
Xl.4646.1.A1_at	4.327128539
Xl.4647.1.S1_at	3.377343122
Xl.4649.1.A1_at	7.590152644
Xl.4651.1.A1_at	2.607559291
Xl.4652.1.A1_at	8.250655431
Xl.4654.1.A1_at	5.864777599
Xl.4655.1.A1_at	4.110716924
Xl.4656.1.A1_at	4.897335582
Xl.4656.1.A1_x_at	5.492681552
Xl.4657.1.A1_at	3.545070424
Xl.4658.1.A1_at	4.621218462
Xl.4659.1.A1_at	3.648248597
Xl.4660.1.A1_at	2.938086475
Xl.4661.1.S1_at	3.120034204
Xl.4664.1.S1_at	3.379984545
Xl.4665.1.A1_at	5.601685928
Xl.4667.1.A1_at	5.026503417
Xl.4668.1.A1_at	2.705611275
Xl.467.1.S1_at	3.055295934
Xl.4670.1.A1_at	6.130045172
Xl.4672.1.S1_at	8.072565888
Xl.4673.1.S1_at	7.094843346
Xl.4675.1.A1_at	5.800744409
Xl.4676.1.A1_at	2.598173322
Xl.4677.1.S1_at	5.010628313
Xl.4677.2.A1_at	8.909815281
Xl.4678.1.A1_at	4.924991804
Xl.468.1.S1_at	4.320350495
Xl.4680.1.A1_at	3.476315074
Xl.4681.1.S1_at	8.528978237
Xl.4683.1.S1_at	4.160013057
Xl.4684.1.A1_at	3.290263511
Xl.4685.1.A1_at	6.310533355
Xl.4687.1.A1_at	4.188946861
Xl.4688.1.A1_at	5.435395605
Xl.469.1.S1_at	4.295371629
Xl.4690.1.A1_at	3.442813738
Xl.4691.1.S1_at	6.920799126
Xl.4694.1.A1_at	2.699592253
Xl.4695.1.A1_at	3.113309385
Xl.4696.1.A1_at	3.065234358
Xl.4697.1.S1_at	7.38623748
Xl.4698.1.S1_at	6.691175813
Xl.4699.1.S1_at	8.791837665
Xl.470.1.S1_a_at	3.405909141
Xl.4701.1.S1_at	6.196173945
Xl.4704.1.S1_at	7.446764326
Xl.4705.1.A1_at	3.026068853
Xl.4708.1.S2_a_at	10.62431723
Xl.4708.1.S2_at	9.349122914
Xl.4708.2.A1_at	8.319937162
Xl.4709.1.A1_at	2.590453045
Xl.471.1.S1_at	6.367766871
Xl.4711.1.S1_at	7.238030121
Xl.4712.1.A1_s_at	5.328290251
Xl.4713.1.S1_at	7.772410908
Xl.4715.1.S1_at	4.053315164
Xl.4715.1.S1_s_at	6.245092797
Xl.4716.1.A1_at	3.517034194
Xl.4717.1.S1_at	11.12163662
Xl.4718.1.A1_at	5.315476077
Xl.472.1.S1_at	9.114137826
Xl.4720.1.S1_at	9.862618838
Xl.4722.1.S1_at	2.772248787
Xl.4724.1.A1_at	5.190686028
Xl.4725.1.S1_at	7.828761176
Xl.4726.1.S1_a_at	10.85972352
Xl.4727.1.S1_at	7.461998676
Xl.4728.2.S1_a_at	9.278445938
Xl.4729.1.S1_at	3.403648415
Xl.4730.1.S1_at	7.428950725
Xl.4734.1.S1_at	8.204750433
Xl.4734.2.A1_at	8.731711565
Xl.4736.1.S1_at	8.575351826
Xl.4737.1.A1_at	2.688235671
Xl.4738.1.S1_at	7.260996192
Xl.4738.2.S1_a_at	6.755227465
Xl.4739.1.A1_at	6.781184227
Xl.474.1.S1_at	3.323488704
Xl.4741.1.A1_at	4.041657415
Xl.4741.1.A1_x_at	5.44926506
Xl.4742.1.A1_at	2.826194023
Xl.4742.1.A1_s_at	6.247101255
Xl.4744.1.S1_at	5.408567988
Xl.4748.1.A1_at	3.896866599
Xl.4749.1.S1_at	7.070055515
Xl.475.1.S1_s_at	8.407467389
Xl.4750.1.S1_at	2.988367797
Xl.4752.1.A1_at	3.725931968
Xl.4753.1.A1_at	5.625320056
Xl.4756.1.A1_at	6.853414215
Xl.476.1.S1_at	6.154406232
Xl.4761.1.A1_at	2.677804394
Xl.4763.1.A1_at	3.975244182
Xl.4764.1.A1_at	5.304823465
Xl.4768.1.S1_at	9.584369172
Xl.477.1.S1_at	6.756200651
Xl.4772.1.S1_at	5.350309759
Xl.4773.1.S1_s_at	2.717635537
Xl.4774.1.A1_at	5.092907702
Xl.4775.1.A1_at	2.746299109
Xl.4777.1.A1_s_at	2.700300711
Xl.4779.1.A1_at	8.592400992
Xl.478.1.S1_at	6.231082166
Xl.4780.1.A1_at	4.753812157
Xl.4781.1.S1_at	6.0132662
Xl.4782.1.A1_at	6.453924553
Xl.4788.2.A1_at	2.717021704
Xl.4789.1.S1_at	4.831250553
Xl.4792.1.A1_at	3.219592058
Xl.4795.1.A1_at	4.035022672
Xl.4796.1.A1_at	4.93818446
Xl.4797.1.A1_at	4.605393315
Xl.4798.1.A1_at	4.170475933
Xl.480.1.S1_at	3.360082077
Xl.4801.1.S1_at	3.855428406
Xl.4802.1.S1_at	4.951853036
Xl.4804.1.A1_at	3.306289256
Xl.4805.1.A1_at	2.564138
Xl.4807.1.A1_at	4.877282032
Xl.4809.1.A1_at	3.791224697
Xl.481.1.S1_at	4.720130176
Xl.481.1.S1_s_at	6.17018152
Xl.4812.1.A1_at	6.447613489
Xl.4813.1.S1_at	2.910772829
Xl.4814.1.A1_at	9.207748792
Xl.4815.1.A1_at	3.701210152
Xl.4816.1.S1_at	3.479208642
Xl.4819.1.S1_at	3.886706041
Xl.482.1.S1_at	2.766068418
Xl.4822.1.A1_at	6.058222545
Xl.4825.1.A1_at	5.874195906
Xl.4826.1.A1_at	2.614387645
Xl.4828.1.A1_at	7.884677946
Xl.4829.1.A1_at	7.571691665
Xl.483.1.S1_at	2.811577319
Xl.4830.1.A1_at	7.139901091
Xl.4832.1.A1_at	3.97643436
Xl.4833.1.A1_at	4.698071419
Xl.4834.1.A1_at	8.753257185
Xl.4836.1.A1_s_at	7.122160765
Xl.4837.1.A1_at	6.840861921
Xl.4839.1.S1_at	7.402502142
Xl.484.1.S1_at	2.999769886
Xl.4840.1.S1_at	8.03236726
Xl.4841.1.A1_at	3.235061911
Xl.4843.1.S1_at	6.910036546
Xl.4844.1.A1_at	5.059540372
Xl.4845.1.A1_a_at	6.233283526
Xl.4845.1.A1_at	6.742628227
Xl.4845.1.A1_x_at	6.882808911
Xl.4846.1.A1_at	4.504806194
Xl.4847.1.A1_at	5.034218605
Xl.4849.1.A1_at	5.813786813
Xl.4851.1.A1_at	4.104888165
Xl.4852.1.A1_at	2.731537903
Xl.4853.1.A1_at	8.096079506
Xl.4854.1.S1_at	5.504656628
Xl.4856.1.S1_at	7.874428726
Xl.4857.1.S1_at	3.762251051
Xl.4858.1.S2_at	7.462863611
Xl.486.1.S1_s_at	2.874739281
Xl.4861.1.A1_at	5.427612168
Xl.4862.1.A1_at	7.647127949
Xl.4863.1.A1_at	2.519110674
Xl.4868.1.A1_at	6.070672198
Xl.4868.2.S1_a_at	6.265834994
Xl.4868.2.S1_at	5.447093496
Xl.487.1.S1_at	3.363727667
Xl.4872.1.A1_at	5.694140625
Xl.4873.1.S1_at	9.665818151
Xl.4875.1.A1_at	7.299494115
Xl.4877.1.A1_at	5.730961253
Xl.4879.1.A1_at	5.879384878
Xl.488.1.S1_at	5.116534504
Xl.4880.2.S1_a_at	7.96657929
Xl.4881.1.A1_at	4.279090122
Xl.4882.1.S1_at	8.374017213
Xl.4885.1.A1_at	3.951901951
Xl.4885.1.A1_x_at	4.022592848
Xl.4888.2.A1_at	3.529390241
Xl.4889.1.A1_at	3.637012257
Xl.489.1.S1_at	5.194828677
Xl.4890.1.A1_at	3.724606856
Xl.4891.1.A1_at	3.877573496
Xl.4892.1.A1_at	2.628540453
Xl.4893.1.A1_at	7.481345533
Xl.4896.1.A1_at	3.459717326
Xl.4897.1.A1_at	2.633364396
Xl.4898.1.S1_at	6.225226177
Xl.49.1.S1_at	3.603172901
Xl.490.1.S1_at	3.102320297
Xl.4900.1.A1_at	6.418576862
Xl.4901.1.A1_at	2.469245924
Xl.4902.1.A1_at	2.760922099
Xl.4903.1.A1_at	7.270534636
Xl.4904.1.S1_at	6.54391457
Xl.4905.1.S1_at	6.665419591
Xl.491.1.S1_at	3.819829786
Xl.4910.1.S1_at	6.784341986
Xl.4911.1.A1_at	7.949559017
Xl.4912.1.A1_at	6.355942554
Xl.4914.1.A1_at	7.012629977
Xl.4916.1.A1_at	5.412433139
Xl.4918.1.A1_at	6.644274093
Xl.4919.1.A1_at	3.733083305
Xl.492.1.S1_at	6.771131584
Xl.4920.1.S1_at	7.794427181
Xl.4921.1.A1_at	3.126948316
Xl.4924.1.A1_at	5.216900155
Xl.4925.1.A1_at	3.080603811
Xl.4927.1.S1_at	4.679882501
Xl.4927.2.A1_at	2.501369477
Xl.4928.1.S1_at	5.125200966
Xl.493.1.S1_at	4.500717402
Xl.4930.1.A1_at	4.922504963
Xl.4931.1.S1_at	7.295415713
Xl.4935.1.A1_at	4.218213026
Xl.4936.1.S1_at	3.588393119
Xl.4938.1.S1_at	8.434766361
Xl.494.1.S1_at	3.013948131
Xl.4940.1.A1_at	5.496693974
Xl.4943.1.A1_at	5.613051647
Xl.4945.1.A1_at	6.110983729
Xl.4946.1.A1_at	4.034206442
Xl.4947.1.S1_at	8.057215705
Xl.4949.1.A1_at	6.634056181
Xl.495.1.S1_at	2.788415951
Xl.4951.1.S1_at	8.095206066
Xl.4955.1.A1_at	6.614050592
Xl.4956.1.A1_at	5.530087146
Xl.4957.1.S1_at	3.829491635
Xl.4958.1.S1_a_at	7.385443145
Xl.4958.1.S1_at	7.305599536
Xl.4959.1.S1_at	9.52297572
Xl.496.1.S1_at	2.944436275
Xl.4960.1.S1_at	6.094130071
Xl.4963.1.A1_at	6.992406787
Xl.4964.1.S1_at	3.685668568
Xl.4965.1.S1_at	8.917077506
Xl.4966.1.S1_at	6.177270934
Xl.4966.2.A1_at	9.484181631
Xl.4967.1.S1_at	8.482593119
Xl.4968.3.S1_a_at	3.00947154
Xl.4968.3.S1_at	3.680092997
Xl.4969.1.S1_a_at	7.920783508
Xl.4969.1.S1_at	6.072225703
Xl.4969.2.S1_at	5.918221276
Xl.497.1.S1_at	2.720326769
Xl.4975.1.A1_at	4.692683672
Xl.4977.1.A1_at	4.760131869
Xl.4978.1.A1_at	9.260333779
Xl.498.1.S1_at	2.901418854
Xl.4980.1.A1_at	4.849866118
Xl.4980.2.A1_at	3.294112455
Xl.4982.1.S1_at	5.470074967
Xl.4983.1.A1_at	6.834582159
Xl.4985.1.S1_a_at	5.744502881
Xl.4985.1.S1_x_at	5.364351024
Xl.4986.1.A1_at	8.352719271
Xl.4986.1.A1_s_at	9.751083377
Xl.4988.1.S1_at	6.018856935
Xl.499.1.S1_at	3.301610343
Xl.4991.1.A1_at	6.514653119
Xl.4992.1.S1_a_at	8.968823939
Xl.4992.1.S1_at	8.573620711
Xl.4992.2.A1_at	8.359203327
Xl.4993.1.A1_at	7.983105966
Xl.4995.1.A1_at	2.622440342
Xl.500.1.S1_at	2.614475511
Xl.5000.1.A1_at	4.540726046
Xl.5002.1.S1_at	4.34315967
Xl.5002.2.S1_at	4.135779977
Xl.5005.1.A1_at	6.787732549
Xl.5005.3.A1_a_at	7.107916003
Xl.5005.3.A1_x_at	4.17873422
Xl.5008.1.S1_at	5.123028061
Xl.5009.1.S1_at	8.367041987
Xl.501.1.S1_at	3.43119129
Xl.5010.1.A1_at	2.678467426
Xl.5011.1.S1_at	2.894908264
Xl.5012.1.S1_at	3.360719698
Xl.5013.1.S1_at	4.869142546
Xl.5014.1.A1_at	4.387709576
Xl.5014.2.S1_a_at	5.711392041
Xl.5014.2.S1_at	4.129542997
Xl.5014.2.S1_x_at	4.737184825
Xl.5016.1.A1_at	5.557874919
Xl.5017.1.A1_at	6.185265709
Xl.5018.1.S1_at	7.75289
Xl.502.1.S1_at	4.004907529
Xl.5021.1.S1_a_at	8.458947694
Xl.5021.2.S1_a_at	9.244563159
Xl.5025.1.A1_at	4.242825285
Xl.5028.1.S1_a_at	3.346252657
Xl.5029.1.A1_at	3.332210851
Xl.503.1.S1_at	2.560894766
Xl.5033.1.S1_at	3.109053628
Xl.5035.1.A1_at	4.29275155
Xl.5036.1.A1_at	8.70855094
Xl.5039.1.S1_at	3.551640522
Xl.504.1.S1_at	6.851081251
Xl.5040.1.A1_a_at	3.888567714
Xl.5040.1.A1_at	2.952497213
Xl.5040.2.A1_at	4.108065698
Xl.5041.1.S1_at	3.125001847
Xl.5042.1.A1_at	8.387242455
Xl.5044.1.A1_at	8.040787991
Xl.5046.1.A1_at	4.319879932
Xl.5047.1.A1_at	2.415791354
Xl.5049.1.S1_at	3.482832696
Xl.5052.1.A1_at	6.779176021
Xl.5053.1.A1_at	7.895560663
Xl.5053.1.A1_x_at	8.062943236
Xl.5054.1.A1_at	4.600857577
Xl.5056.1.A1_at	3.304735689
Xl.5057.1.A1_at	6.753680547
Xl.5058.1.A1_at	2.900685231
Xl.506.1.S1_at	4.566602351
Xl.5060.1.S1_at	4.713416538
Xl.5061.1.A1_at	2.905483222
Xl.5062.1.S1_at	3.225019171
Xl.5064.1.A1_at	2.463596886
Xl.5066.1.A1_at	3.137499842
Xl.5069.1.A1_at	2.40164196
Xl.5070.1.A1_at	3.618155193
Xl.5071.1.A1_at	2.935907488
Xl.5076.1.S1_at	8.475825792
Xl.5077.1.A1_at	2.720177985
Xl.5078.1.A1_at	4.697101157
Xl.508.1.S1_at	3.312334644
Xl.5080.1.S1_at	2.531857883
Xl.5082.1.A1_at	4.184355171
Xl.5083.1.A1_at	5.620054635
Xl.5084.1.A1_at	4.283996262
Xl.5085.1.A1_at	3.514622345
Xl.5086.2.A1_at	3.824653755
Xl.5087.1.A1_at	5.006823599
Xl.5089.1.S1_at	6.757389517
Xl.509.1.S1_at	8.619117479
Xl.5091.1.S1_at	7.134909288
Xl.5092.1.A1_at	9.36820482
Xl.5095.1.S1_at	2.572302671
Xl.5095.1.S2_a_at	2.866005677
Xl.5098.1.A1_at	2.514548162
Xl.5099.1.A1_at	2.533478525
Xl.51.1.S1_at	4.570779899
Xl.510.1.S1_at	4.141136525
Xl.5100.1.S1_at	9.039988921
Xl.5103.1.A1_at	2.737090307
Xl.5104.1.A1_at	2.780209138
Xl.5107.1.S1_at	2.823808979
Xl.511.1.S1_at	7.145458562
Xl.5111.1.A1_at	3.992119985
Xl.5112.1.A1_at	3.137296933
Xl.5114.1.A1_at	4.977485358
Xl.5116.2.A1_at	2.629608781
Xl.512.1.S1_at	7.992930204
Xl.5120.1.A1_at	6.810152336
Xl.5123.1.S1_at	5.376304517
Xl.5124.1.S1_at	2.964853772
Xl.5125.1.S1_at	6.424980077
Xl.5127.1.S1_at	7.209669043
Xl.5128.1.A1_at	3.378407751
Xl.5128.1.S1_at	3.682433261
Xl.513.1.S1_at	7.475977107
Xl.5130.1.A1_at	5.465343574
Xl.5131.1.S1_at	5.873875048
Xl.5132.1.S1_at	8.046393179
Xl.5134.1.S1_at	6.647571585
Xl.5134.2.A1_at	5.936673469
Xl.5135.1.A1_at	4.682327398
Xl.5136.1.A1_at	4.26116791
Xl.5137.1.S1_at	8.760607107
Xl.5139.1.A1_at	4.77907624
Xl.514.1.S1_at	3.138947203
Xl.5140.1.A1_at	5.969520574
Xl.5143.1.S1_at	2.767561242
Xl.5143.2.A1_at	4.205933465
Xl.5145.1.S1_at	4.657635952
Xl.5146.1.A1_at	3.399809135
Xl.5148.3.A1_a_at	5.563005393
Xl.5148.3.A1_x_at	4.911238687
Xl.5149.1.S1_at	3.669228743
Xl.5149.2.S1_at	4.361269271
Xl.5149.2.S2_at	5.18926941
Xl.515.1.S1_at	3.788402487
Xl.5151.1.A1_at	2.471649549
Xl.5152.1.S1_at	8.586583815
Xl.5153.1.A1_at	2.891940666
Xl.5154.1.A1_at	3.139011005
Xl.5155.1.A1_at	2.576126673
Xl.5158.1.A1_at	2.876743763
Xl.5159.1.A1_at	6.577865933
Xl.516.1.S1_at	9.424269707
Xl.516.1.S1_s_at	10.34141854
Xl.5160.1.S1_at	9.22984526
Xl.5161.1.S1_at	5.012856056
Xl.5162.1.A1_at	3.345635826
Xl.5163.1.A1_at	5.940080267
Xl.5164.1.A1_at	5.781114412
Xl.5165.1.A1_at	2.601442278
Xl.5165.2.A1_at	2.885804532
Xl.5166.1.S1_at	11.67303731
Xl.5168.1.S1_at	3.21087055
Xl.5169.1.S1_at	2.729796215
Xl.517.1.S1_at	7.894369921
Xl.517.1.S2_at	7.317896749
Xl.5172.1.S1_at	7.247116583
Xl.5173.1.A1_at	5.589541454
Xl.5175.1.A1_at	3.051862162
Xl.5176.1.S1_at	8.816821346
Xl.5177.1.S1_at	6.460811084
Xl.5178.1.S1_a_at	7.380088131
Xl.5178.1.S1_at	7.7782331
Xl.5178.2.A1_at	8.472771557
Xl.5178.2.A1_x_at	8.201171446
Xl.5179.1.A1_at	2.984139302
Xl.518.1.S1_at	4.192191407
Xl.5180.1.S1_a_at	6.604316528
Xl.5180.1.S1_at	6.119292078
Xl.5180.1.S1_x_at	6.055867818
Xl.5180.2.A1_at	7.543995072
Xl.5180.2.A1_x_at	7.745980249
Xl.5182.1.A1_at	7.36589469
Xl.5182.2.A1_at	3.372318214
Xl.5183.1.S1_at	8.42036588
Xl.5185.1.A1_at	3.504476593
Xl.5187.1.S1_at	7.491702133
Xl.5188.1.A1_at	2.819173428
Xl.5188.1.A2_a_at	3.925440636
Xl.5188.1.A2_at	2.816957607
Xl.5188.2.A1_at	2.668621504
Xl.519.1.S1_at	4.138823138
Xl.5191.1.S1_at	9.115973768
Xl.5193.1.A1_at	5.733467431
Xl.5193.2.A1_at	4.870194979
Xl.5194.1.S1_at	5.021101798
Xl.5196.1.S1_at	8.643988256
Xl.5197.1.A1_at	2.897106837
Xl.5198.1.S1_at	8.696423048
Xl.52.1.S1_at	2.787386429
Xl.520.1.S1_at	8.298555143
Xl.5200.1.S1_at	4.186555003
Xl.5201.1.A1_at	3.451979135
Xl.5202.1.A1_at	6.349386921
Xl.5203.1.S1_at	4.610760294
Xl.521.2.S1_a_at	7.277622781
Xl.5212.1.A1_at	2.782664331
Xl.5214.1.S1_at	8.334956252
Xl.5216.1.S1_at	2.593630313
Xl.5217.1.A1_at	7.541065959
Xl.522.1.S1_at	6.911518174
Xl.5221.1.A1_at	6.517735116
Xl.5223.1.S1_at	4.735278956
Xl.5225.1.S1_at	10.68857561
Xl.5226.1.S1_at	7.351099443
Xl.5227.1.S1_at	7.5135741
Xl.5228.1.S1_at	8.376658634
Xl.5229.1.S1_at	6.23545179
Xl.523.1.S1_at	4.869048937
Xl.5230.1.A1_at	7.026763962
Xl.5231.1.A1_at	5.37608393
Xl.5232.1.S1_at	4.117178334
Xl.5236.1.S1_x_at	10.72554492
Xl.5236.2.S1_a_at	10.16961252
Xl.5236.2.S1_x_at	8.821296147
Xl.524.1.S1_at	5.823289984
Xl.524.1.S2_at	4.712895399
Xl.5240.1.A1_at	5.822428904
Xl.5241.1.A1_at	6.004636764
Xl.5242.1.A1_at	3.838533465
Xl.5245.1.A1_at	7.484985152
Xl.5248.1.S1_at	7.797215532
Xl.5249.1.S1_at	8.247701965
Xl.525.1.S1_at	4.677421998
Xl.5251.1.S1_at	7.455380419
Xl.5252.1.A1_at	4.607501218
Xl.5253.1.A1_at	8.42532961
Xl.5255.1.A1_at	7.057202174
Xl.5257.1.A1_at	6.714070167
Xl.526.1.S1_at	2.590228586
Xl.5260.1.A1_at	6.517530163
Xl.5262.1.A1_at	5.772150919
Xl.5263.1.A1_at	9.038809422
Xl.5264.1.A1_at	5.631539867
Xl.5265.1.A1_at	5.513313706
Xl.5266.1.S1_at	3.990072707
Xl.5269.1.S1_at	11.87319521
Xl.5270.1.A1_a_at	9.304929998
Xl.5273.1.S1_at	5.449251191
Xl.5274.1.S1_at	4.25353908
Xl.5276.1.A1_at	6.794739669
Xl.5277.1.A1_at	4.231622079
Xl.528.1.S1_at	6.287431791
Xl.5282.1.S1_at	7.047838974
Xl.5284.1.A1_at	7.408402772
Xl.5285.1.A1_at	2.959543923
Xl.5286.1.S1_at	7.887884968
Xl.5287.1.S1_at	6.184477804
Xl.5288.1.S1_at	3.212170106
Xl.5289.1.S1_at	5.240777019
Xl.529.1.S1_at	3.012936319
Xl.5290.1.A1_at	6.463359042
Xl.5291.1.S1_at	5.108511884
Xl.5294.1.A1_at	5.401533313
Xl.5295.1.A1_at	3.758239436
Xl.5296.1.A1_at	4.590929802
Xl.5298.1.S1_at	4.610525506
Xl.5299.1.S1_at	3.853734896
Xl.53.1.S1_at	2.973923081
Xl.530.1.S1_at	6.990722015
Xl.5300.1.A1_at	2.66330167
Xl.5306.1.S1_at	5.669532691
Xl.5307.1.S1_at	6.510493294
Xl.5308.1.S1_at	5.143060792
Xl.531.1.S1_at	5.083484746
Xl.5311.1.A1_at	3.14738867
Xl.5312.1.A1_at	3.318677183
Xl.5313.1.S1_a_at	2.808656854
Xl.5315.1.A1_at	8.210234491
Xl.5317.1.A1_at	2.74462344
Xl.532.1.S1_at	3.835746278
Xl.5320.1.S1_at	6.729664504
Xl.5321.1.A1_s_at	5.830729253
Xl.5322.1.S1_at	7.730543382
Xl.5323.1.A1_at	8.53450877
Xl.5324.1.S1_at	7.088645183
Xl.5325.1.A1_at	4.398983612
Xl.5326.1.A1_at	6.802253174
Xl.5329.1.S1_at	6.552849015
Xl.533.1.S1_at	9.584984726
Xl.5330.1.A1_at	4.969905149
Xl.5332.1.S1_at	3.912150363
Xl.5334.1.A1_at	7.807989794
Xl.5336.1.A1_at	5.205896668
Xl.5338.1.A1_at	5.474799335
Xl.534.1.S1_at	3.333575796
Xl.5340.1.A1_at	4.770655158
Xl.5341.1.A1_at	5.419169075
Xl.5343.1.A1_at	6.378195332
Xl.5347.1.S1_at	8.198083691
Xl.5348.1.A1_at	4.560567379
Xl.5349.1.A1_at	3.966509549
Xl.535.1.S1_at	3.132591679
Xl.535.2.S1_a_at	2.813615259
Xl.5350.1.S1_a_at	4.560184776
Xl.5350.1.S1_x_at	4.626773855
Xl.5350.2.A1_a_at	4.395306448
Xl.5350.2.A1_x_at	4.880138728
Xl.5351.1.A1_at	4.491125858
Xl.5353.1.A1_at	3.453084046
Xl.5356.1.A1_at	6.375778951
Xl.5358.1.S1_at	9.177477565
Xl.5359.1.S1_at	3.569178176
Xl.536.1.S1_at	2.912143854
Xl.5361.1.A1_at	7.717045745
Xl.5362.1.A1_at	3.292787577
Xl.5363.1.S1_at	7.345912399
Xl.5364.1.A1_at	2.964635429
Xl.5366.1.S1_at	10.16135391
Xl.5369.1.S1_at	4.49660822
Xl.537.1.S1_at	7.40124662
Xl.5370.1.S1_at	6.28884948
Xl.5372.1.A1_at	7.251625995
Xl.5373.1.A1_at	3.575303219
Xl.5375.1.A1_at	6.403418092
Xl.5376.1.A1_at	3.105156241
Xl.5377.1.S1_at	10.45899691
Xl.5377.1.S2_at	7.220731086
Xl.5377.2.S1_at	7.5924155
Xl.5378.1.S1_at	9.516571632
Xl.538.1.S1_at	5.110441348
Xl.5381.1.A1_at	6.70198146
Xl.5383.1.A1_at	5.465673116
Xl.5386.1.A1_at	7.296882626
Xl.5387.1.A1_at	5.315453437
Xl.5389.1.S1_at	12.42886209
Xl.539.1.S1_at	4.376446083
Xl.5390.1.A1_at	6.805608004
Xl.5391.1.A1_at	3.074963623
Xl.5392.1.A1_at	6.176865162
Xl.5394.1.S1_at	5.972340201
Xl.5396.1.A1_at	3.278830055
Xl.5397.1.S1_at	7.69256436
Xl.5397.2.A1_at	8.604376179
Xl.5399.1.A1_at	8.152204488
Xl.54.1.S1_at	2.892487539
Xl.540.1.S1_at	3.396899106
Xl.5400.1.A1_at	6.984201992
Xl.5405.1.A1_at	7.357758298
Xl.5406.1.A1_at	3.189487467
Xl.5407.1.A1_at	4.262704675
Xl.5408.1.A1_at	7.313367355
Xl.5409.1.A1_at	5.725499213
Xl.541.1.S1_s_at	3.152400223
Xl.5412.1.A1_at	7.418844868
Xl.5415.1.S1_at	8.664085179
Xl.5416.1.S1_at	7.057390836
Xl.5418.1.A1_at	7.659056426
Xl.5418.2.A1_at	3.710375808
Xl.542.1.S1_at	3.274286985
Xl.5421.1.S1_at	6.66931937
Xl.5423.1.A1_at	7.330743699
Xl.5424.1.A1_at	7.552143928
Xl.5425.1.A1_at	7.996651514
Xl.5425.1.A1_x_at	7.990486874
Xl.5427.1.S1_at	9.640059255
Xl.5428.1.A1_at	8.131618385
Xl.5429.1.A1_at	7.434702526
Xl.543.1.S1_at	6.618965334
Xl.5431.1.A1_at	2.81223335
Xl.5432.1.A1_at	3.969625723
Xl.5437.1.A1_at	3.913514512
Xl.5439.1.A1_at	3.442597625
Xl.544.1.S1_at	4.163607255
Xl.5440.1.S1_at	9.470058877
Xl.5441.1.S1_at	9.345654336
Xl.5442.1.A1_at	7.675825586
Xl.5443.1.S1_at	6.608205195
Xl.5445.1.A1_at	8.533994316
Xl.5447.1.A1_at	3.482543199
Xl.5449.1.A1_at	6.285256691
Xl.545.1.S1_at	8.05316583
Xl.5450.1.S1_at	8.89052059
Xl.5451.1.A1_at	9.687025587
Xl.5454.1.S1_at	6.293727012
Xl.5454.1.S2_at	5.733298569
Xl.5456.1.A1_at	8.388917844
Xl.5457.1.S1_at	4.391874174
Xl.5458.1.A1_at	7.221106567
Xl.546.1.S1_at	3.679698094
Xl.5460.1.S1_at	4.917858012
Xl.5461.1.S1_at	3.29679869
Xl.5465.1.S1_at	7.581126099
Xl.5466.1.A1_at	7.022034385
Xl.5468.1.S1_at	8.94153684
Xl.547.1.S1_at	4.08874247
Xl.5470.1.A1_at	6.808890681
Xl.5472.1.S1_at	2.804895342
Xl.5473.1.A1_at	6.173125368
Xl.5475.1.S1_at	4.955954667
Xl.5476.1.S1_at	8.926548256
Xl.5477.1.S1_a_at	10.43153768
Xl.5479.1.A1_at	5.654172748
Xl.548.1.S1_at	10.06187254
Xl.5480.1.A1_at	7.177798874
Xl.5481.1.S1_s_at	6.591941286
Xl.5482.1.S1_at	9.140140531
Xl.5486.1.A1_at	9.006809924
Xl.5488.1.S1_s_at	11.84390072
Xl.549.1.S1_at	2.859351584
Xl.5490.1.A1_at	9.146567494
Xl.5491.1.S1_at	3.000779817
Xl.5492.1.S1_at	8.764814668
Xl.5493.1.A1_at	6.645096262
Xl.5496.1.A1_at	4.919504774
Xl.5498.1.S1_at	3.794674398
Xl.5499.1.S1_a_at	10.95804974
Xl.5499.1.S1_at	11.27271189
Xl.5499.1.S1_x_at	11.34802056
Xl.5499.2.S1_at	8.415453004
Xl.55.1.S1_at	2.739179619
Xl.550.1.S1_at	5.678567539
Xl.5500.1.A1_at	3.841988856
Xl.5501.1.A1_at	4.262840748
Xl.5502.1.S1_at	6.701980445
Xl.5503.1.A1_at	2.722125271
Xl.5504.1.A1_at	5.956886089
Xl.5507.1.A1_at	5.818937674
Xl.5509.1.S1_at	5.12419101
Xl.5509.2.A1_at	6.821964737
Xl.551.1.S1_at	4.165228577
Xl.5512.1.S1_at	4.428223007
Xl.5514.1.A1_at	5.424321989
Xl.5514.2.S1_at	5.792302292
Xl.5515.1.S1_at	3.296718194
Xl.5516.1.S1_a_at	7.665696302
Xl.5517.1.S1_at	2.850422131
Xl.5518.1.S1_at	5.582431067
Xl.5519.1.S1_at	4.00443217
Xl.552.1.S1_at	2.926588807
Xl.5521.1.A1_at	8.321568368
Xl.5522.1.A1_at	2.864473402
Xl.5523.1.A1_at	6.686444681
Xl.5524.1.S1_at	4.172973478
Xl.5526.1.A1_at	7.371469968
Xl.5528.1.A1_at	7.92580949
Xl.5529.1.A1_at	5.511097235
Xl.553.1.S1_at	5.472935648
Xl.553.1.S1_x_at	5.909185084
Xl.5533.1.A1_at	3.016628676
Xl.5534.1.S1_at	8.16329767
Xl.5536.1.S1_at	5.829660996
Xl.5537.1.A1_at	6.807403715
Xl.5537.2.A1_at	9.683743125
Xl.5537.2.A1_x_at	10.03647925
Xl.554.1.S1_at	7.891701034
Xl.554.2.A1_at	7.79152418
Xl.5541.1.S1_at	6.690704293
Xl.5543.1.S1_at	8.175152328
Xl.5544.1.S1_at	7.361053963
Xl.5545.1.S1_at	4.647875137
Xl.5546.1.A1_at	2.646656378
Xl.5547.1.S1_at	8.805789029
Xl.5548.1.A1_at	6.84503279
Xl.5551.1.S1_at	5.353923341
Xl.5553.1.A1_at	2.642610064
Xl.5554.1.A1_at	6.399563667
Xl.5556.1.A1_at	5.790615047
Xl.5557.1.A1_at	7.643288461
Xl.5559.1.S1_at	8.173553079
Xl.556.1.S1_s_at	3.42901484
Xl.5561.1.A1_at	3.288307826
Xl.5562.1.S1_at	3.425875057
Xl.5563.1.A1_at	7.492413212
Xl.5565.1.S1_at	6.277131951
Xl.5566.1.A1_at	4.856553295
Xl.5567.1.S1_at	8.251318014
Xl.5568.2.A1_a_at	8.658180665
Xl.5569.1.A1_at	2.9153854
Xl.5570.1.A1_at	7.37348367
Xl.5571.1.S1_at	5.440009143
Xl.5572.1.A1_at	5.303151466
Xl.5573.1.S1_at	5.768811064
Xl.5574.1.A1_at	3.469237798
Xl.5575.1.S1_at	5.89343107
Xl.5578.1.S1_at	6.381235242
Xl.558.1.S1_at	3.218806583
Xl.5582.1.A1_at	3.500916408
Xl.5583.1.S1_at	3.145938178
Xl.5587.1.A1_at	10.2344674
Xl.5588.1.S1_at	10.83820714
Xl.559.1.S1_at	3.467794623
Xl.559.1.S2_at	5.692540618
Xl.5591.1.A1_at	2.586737322
Xl.5592.1.A1_at	4.778451827
Xl.5593.1.S1_at	10.27607593
Xl.5594.1.A1_at	6.995421499
Xl.5596.2.A1_at	2.592665072
Xl.5598.1.A1_at	4.271953678
Xl.56.1.S1_at	7.16037864
Xl.560.1.S1_at	7.330176327
Xl.5601.1.A1_at	2.71014703
Xl.5603.1.A1_at	6.009351677
Xl.5604.1.A1_at	7.356064044
Xl.5608.1.S1_at	7.341446993
Xl.561.1.S1_at	5.423736857
Xl.5611.1.S1_at	9.820775438
Xl.5611.2.A1_at	9.626168938
Xl.5612.1.A1_at	6.556792739
Xl.5614.1.S1_at	3.300175207
Xl.562.1.S1_at	3.267150485
Xl.562.2.A1_at	3.963435664
Xl.562.2.S1_at	8.179058102
Xl.5622.1.S1_at	4.50016391
Xl.5623.1.A1_at	6.389102352
Xl.5624.1.A1_at	7.763432455
Xl.5629.1.S1_at	7.953667368
Xl.563.1.S1_at	4.558566786
Xl.563.1.S2_at	5.218431291
Xl.5630.1.A1_at	5.555831155
Xl.5630.1.S1_a_at	9.085827429
Xl.5630.1.S1_x_at	8.158629883
Xl.5630.2.S1_at	11.034109
Xl.5631.1.S1_at	6.981099076
Xl.5633.1.A1_at	5.187059879
Xl.564.1.S1_at	4.347609206
Xl.5640.1.A1_at	3.666040698
Xl.5641.1.S1_at	6.14518935
Xl.5641.2.A1_at	5.575910846
Xl.565.1.S1_at	3.30381613
Xl.5653.1.S1_at	7.303531899
Xl.5656.1.A1_at	5.472272822
Xl.5659.1.S1_at	7.509427579
Xl.5659.2.S1_at	7.465022752
Xl.566.1.S1_at	2.659115076
Xl.566.2.S1_at	3.665532117
Xl.5662.1.A1_at	6.47476369
Xl.567.1.S1_at	4.328427938
Xl.5675.1.S1_at	5.583060375
Xl.5679.1.S1_at	6.975237413
Xl.568.1.S1_at	3.709189245
Xl.5692.1.S1_at	5.776706697
Xl.5695.1.A1_at	3.983897539
Xl.5697.1.S1_at	4.790611175
Xl.5697.2.A1_at	5.514984689
Xl.5698.1.A1_at	4.803760558
Xl.57.1.S1_s_at	12.3768605
Xl.570.1.S1_at	2.874186268
Xl.5701.1.S1_at	4.441595759
Xl.5703.1.S1_at	10.30310871
Xl.5703.1.S2_at	7.50760412
Xl.571.1.S1_at	6.106632209
Xl.5712.1.S1_at	3.142763795
Xl.5714.1.S1_at	7.602795278
Xl.572.1.S1_at	2.653512527
Xl.5727.1.A1_at	3.546648807
Xl.5728.1.A1_at	2.726840604
Xl.5729.1.A1_at	5.156658652
Xl.573.1.S1_at	7.091185957
Xl.573.2.S1_a_at	6.201382043
Xl.5731.1.A1_at	4.698893633
Xl.5732.1.A1_at	6.25450005
Xl.5734.1.A1_at	4.994983225
Xl.5735.1.A1_at	6.786734723
Xl.5737.1.A1_at	8.088787891
Xl.5738.1.A1_at	2.409515934
Xl.5739.1.S1_at	9.551078578
Xl.574.1.S1_at	3.055650742
Xl.574.1.S1_s_at	2.72012008
Xl.5740.1.S1_at	5.196175108
Xl.5740.1.S2_at	5.934754101
Xl.5741.1.A1_at	2.632345778
Xl.5743.1.A1_at	7.00837208
Xl.5744.1.A1_at	7.553651421
Xl.5745.1.A1_at	7.278745387
Xl.5746.1.S1_at	5.392305368
Xl.5747.1.S1_at	9.255568579
Xl.5748.1.S1_at	5.506013578
Xl.5749.1.A1_at	8.706214061
Xl.575.1.S1_at	5.051455005
Xl.5752.1.A1_at	8.451057353
Xl.5755.1.A1_at	3.009469791
Xl.5757.1.A1_at	8.170201635
Xl.576.1.S1_at	3.333419764
Xl.5761.1.S1_at	7.376581292
Xl.5762.1.A1_at	3.133490887
Xl.5763.1.A1_at	6.932225197
Xl.5764.1.A1_at	6.908287825
Xl.5765.1.A1_at	3.857528165
Xl.5769.1.A1_at	7.818550531
Xl.577.1.S1_at	3.404798603
Xl.5772.1.S1_at	8.850789528
Xl.5774.2.S1_a_at	6.407962557
Xl.5774.2.S1_at	7.306886587
Xl.5774.2.S1_x_at	7.922888046
Xl.5776.1.A1_at	8.367876784
Xl.5777.1.S1_at	8.545759598
Xl.5778.1.S1_at	5.818829574
Xl.5779.1.A1_at	4.252523909
Xl.578.1.S1_at	3.161193427
Xl.5780.2.S1_at	3.939430253
Xl.5784.1.S1_at	4.780064703
Xl.5786.1.A1_at	4.415101765
Xl.5789.1.A1_at	4.266254619
Xl.579.1.S1_at	3.114529273
Xl.5791.1.S1_at	6.680717992
Xl.5792.1.A1_at	4.16529302
Xl.5794.1.A1_at	5.645847709
Xl.5795.1.A1_at	7.131931147
Xl.5796.1.A1_at	4.098680186
Xl.5797.1.S1_at	10.10026976
Xl.5798.2.S1_a_at	8.897240027
Xl.58.1.S1_at	8.790960313
Xl.580.1.S1_at	7.675693013
Xl.5800.1.A1_at	7.592523999
Xl.5801.1.S1_at	4.181239455
Xl.5802.1.A1_x_at	2.689964237
Xl.5804.1.A1_at	7.037905138
Xl.5804.2.S1_at	5.252857081
Xl.5805.1.S1_at	7.052039721
Xl.5808.1.A1_at	8.468599483
Xl.5813.1.S1_at	2.785023004
Xl.5815.1.A1_at	8.744225671
Xl.5815.2.S1_at	7.562243129
Xl.5817.1.A1_at	6.574460327
Xl.582.1.S1_at	7.689621366
Xl.582.1.S2_at	8.661081685
Xl.5823.1.S1_a_at	3.503269913
Xl.5826.1.A1_at	6.661731179
Xl.5830.1.A1_at	6.282848479
Xl.5831.1.S1_at	3.165480541
Xl.5831.2.A1_at	2.481842045
Xl.5832.1.A1_at	4.38914226
Xl.5834.1.S1_at	4.295455283
Xl.5835.1.A1_at	6.808453891
Xl.5839.1.S1_at	8.54193371
Xl.5845.1.A1_at	7.791505163
Xl.5846.1.S1_at	2.778660152
Xl.5846.10.S1_at	11.61831471
Xl.5846.11.A1_at	9.054672273
Xl.5846.12.S1_at	7.360043703
Xl.5846.13.S1_at	8.168553861
Xl.5846.13.S1_s_at	9.472541094
Xl.5846.14.S1_at	3.300974784
Xl.5846.15.S1_at	3.60223387
Xl.5846.16.S1_at	9.047946015
Xl.5846.17.A1_at	5.615829376
Xl.5846.18.S1_at	2.481110327
Xl.5846.18.S1_x_at	2.580533155
Xl.5846.19.S1_at	6.240905834
Xl.5846.2.A1_at	11.1205013
Xl.5846.20.S1_at	2.718880211
Xl.5846.20.S1_x_at	2.526129357
Xl.5846.3.S1_x_at	10.34000544
Xl.5846.4.S1_at	9.540641754
Xl.5846.5.A1_at	2.408101655
Xl.5846.6.S1_at	12.54616377
Xl.5846.6.S1_x_at	11.74681512
Xl.5846.7.S1_at	11.49498321
Xl.5846.8.S1_at	10.64962858
Xl.5846.9.S1_at	10.50701082
Xl.5847.1.S1_at	9.544918708
Xl.5849.1.S1_at	7.120766577
Xl.585.1.S1_at	4.143727482
Xl.5851.1.S1_at	9.912923045
Xl.5852.1.A1_at	8.335356769
Xl.5854.1.A1_at	10.30114025
Xl.5858.1.S1_at	5.073512057
Xl.5859.1.S1_at	6.657856449
Xl.586.1.S1_at	6.2027858
Xl.5860.1.S1_a_at	3.382685372
Xl.5860.1.S1_x_at	3.555995907
Xl.5860.2.S1_x_at	3.259170003
Xl.5861.1.S1_at	7.163567938
Xl.5862.1.S1_at	9.406628258
Xl.5865.1.A1_at	7.814103902
Xl.5865.2.S1_at	6.746274153
Xl.5866.1.S1_at	8.853432018
Xl.5868.1.S1_at	6.388295919
Xl.5868.2.A1_at	6.804851079
Xl.5869.1.S1_at	6.190522597
Xl.587.1.S1_at	2.762390431
Xl.5871.1.S1_at	3.135938764
Xl.5873.1.A1_at	5.467905173
Xl.5875.1.S1_at	9.451725194
Xl.5876.1.A1_at	2.970582302
Xl.5876.3.A1_at	2.801358509
Xl.5877.1.S1_at	5.91184341
Xl.5878.1.A1_at	9.288426755
Xl.588.1.S1_at	3.775850567
Xl.5880.1.A1_at	6.597673862
Xl.5881.1.A1_at	4.721426291
Xl.5883.1.A1_at	3.796992241
Xl.5885.1.S1_at	9.158144752
Xl.5886.1.S1_at	6.003453205
Xl.5888.1.S1_a_at	6.584630113
Xl.5888.1.S1_at	6.837450463
Xl.5888.1.S1_x_at	7.054316003
Xl.5888.2.S1_at	7.051819033
Xl.589.1.S1_at	3.434596601
Xl.5891.1.S1_a_at	8.598847756
Xl.5891.1.S1_at	4.456357219
Xl.5891.2.S1_at	8.331104075
Xl.5891.3.A1_at	5.416568142
Xl.5894.1.A1_at	8.656310324
Xl.5894.2.S1_at	3.91775853
Xl.5895.1.S1_at	5.195876017
Xl.5897.1.S1_at	8.003847605
Xl.5898.1.A1_at	6.001512272
Xl.59.1.S1_at	6.306165073
Xl.590.1.S1_at	2.885574016
Xl.5900.1.A1_at	2.541041013
Xl.5902.1.S1_at	9.85492977
Xl.5904.1.S1_a_at	9.268879734
Xl.5904.1.S1_x_at	8.898471261
Xl.5904.2.S1_at	7.363317566
Xl.5905.1.A1_at	7.542106031
Xl.5906.1.A1_at	4.903525477
Xl.5906.2.A1_at	5.045692504
Xl.5907.1.A1_at	7.109844355
Xl.5908.1.S1_s_at	8.444691531
Xl.5908.1.S1_x_at	9.304275631
Xl.5908.2.A1_at	8.230675256
Xl.5909.1.S1_at	12.03233526
Xl.591.1.S1_at	2.611185349
Xl.5910.1.S1_at	4.367118149
Xl.5912.1.A1_at	8.571821979
Xl.5913.1.A1_at	2.852809419
Xl.5914.1.S1_at	8.648140558
Xl.5915.1.S1_at	2.465494135
Xl.5916.1.A1_at	2.718023768
Xl.5917.1.A1_at	3.208453657
Xl.5918.1.A1_at	3.94796642
Xl.592.1.S1_at	2.513627649
Xl.5923.1.A1_at	3.687233907
Xl.5924.1.A1_at	2.498554802
Xl.5926.1.A1_at	3.144423921
Xl.5927.1.A1_at	3.885164556
Xl.5928.1.S1_at	8.078440867
Xl.593.1.S1_at	4.3820778
Xl.5930.1.A1_at	5.11291037
Xl.5931.1.S1_at	7.383652406
Xl.5932.1.S1_at	6.569075474
Xl.5932.2.A1_at	8.398227553
Xl.5935.2.A1_a_at	7.348837662
Xl.5936.1.A1_at	4.50073056
Xl.5938.1.S1_at	8.40251471
Xl.5938.2.S1_at	9.253285602
Xl.5940.1.A1_at	6.009944643
Xl.5942.1.A1_at	5.517135694
Xl.5943.1.A1_at	8.516750171
Xl.5943.3.A1_at	7.42360719
Xl.5946.1.S1_at	8.154998902
Xl.5948.1.S1_at	2.748000284
Xl.5949.1.S1_at	6.16626984
Xl.595.1.S1_at	3.757037317
Xl.5950.1.A1_at	7.031421133
Xl.5951.1.A1_at	5.753926154
Xl.5951.1.A1_x_at	6.047180447
Xl.5953.1.S1_at	7.218446095
Xl.5954.1.A1_at	4.91597051
Xl.5955.1.S1_at	8.873389926
Xl.5956.1.S1_at	9.048070341
Xl.5958.1.A1_at	2.890243082
Xl.5959.1.S1_a_at	8.177703012
Xl.5959.1.S1_at	8.840658016
Xl.5959.2.S1_at	7.750009071
Xl.596.1.S1_at	4.7802204
Xl.5960.1.A1_at	4.698772332
Xl.5961.1.A1_at	7.338169746
Xl.5961.3.S1_a_at	6.432450565
Xl.5961.3.S1_at	5.418002824
Xl.5961.3.S1_x_at	6.072616728
Xl.5962.1.S1_at	5.046226371
Xl.5963.1.A1_at	6.355801174
Xl.5964.1.A1_at	4.146152168
Xl.5965.1.S1_at	7.976378595
Xl.5967.1.A1_at	3.669746032
Xl.5968.1.S1_at	6.514846582
Xl.5968.2.S1_a_at	4.154726085
Xl.5968.2.S1_at	6.388885704
Xl.5969.1.S1_at	7.242764483
Xl.597.1.S1_at	4.568390542
Xl.5971.1.A1_at	3.325695335
Xl.5974.1.S1_at	6.383007641
Xl.5975.1.S1_a_at	8.267297218
Xl.5975.1.S1_at	7.734544525
Xl.5975.2.A1_at	7.698905239
Xl.5978.1.A1_at	6.739101226
Xl.5979.1.A1_at	2.803287917
Xl.598.1.S1_at	3.022313179
Xl.5981.1.S1_at	7.188443139
Xl.5983.1.S1_at	6.315300737
Xl.5983.1.S1_x_at	7.996037702
Xl.5983.2.A1_a_at	10.1182946
Xl.5983.2.A1_at	8.945279843
Xl.5985.1.S1_at	8.108724304
Xl.5987.1.S1_at	5.897402552
Xl.5988.1.A1_at	7.479604566
Xl.599.1.S1_at	4.836960701
Xl.599.1.S2_at	6.294642351
Xl.5990.1.A1_at	5.81396876
Xl.5994.1.A1_at	9.165048907
Xl.5996.1.S1_at	6.335603875
Xl.5997.1.A1_at	4.209518211
Xl.5999.1.A1_at	2.923114312
Xl.6.1.S1_at	10.36063709
Xl.6.1.S1_s_at	11.40916937
Xl.600.1.S1_at	8.152452715
Xl.6000.1.A1_at	6.024683164
Xl.6001.1.S1_at	8.238876927
Xl.6002.1.A1_at	3.9412739
Xl.6003.1.S1_at	8.846282693
Xl.6004.1.A1_at	6.14292628
Xl.6005.1.S1_at	10.85248542
Xl.6006.1.A1_at	4.401745744
Xl.6007.1.A1_at	5.500247875
Xl.6008.1.S1_at	9.460824832
Xl.6009.1.S1_at	8.914001754
Xl.601.1.S1_at	9.437182849
Xl.6010.1.A1_at	7.945921693
Xl.6011.1.A1_at	7.542005004
Xl.6012.1.A1_at	6.983170942
Xl.6014.1.A1_at	5.108193728
Xl.6015.1.A1_at	6.93368478
Xl.6017.1.S1_at	6.839310534
Xl.602.1.S1_at	7.597812095
Xl.6022.1.A1_at	3.54209989
Xl.6023.1.S1_at	8.922178983
Xl.6023.2.S1_at	9.203240511
Xl.6024.1.S1_at	2.805989177
Xl.6027.1.A1_a_at	8.295334156
Xl.6027.1.A1_at	7.098741967
Xl.6029.1.A1_at	8.538585257
Xl.603.1.S1_at	6.61794384
Xl.6030.1.S1_at	2.722204735
Xl.6031.1.S1_at	9.491631815
Xl.6031.2.A1_at	5.503662536
Xl.6032.1.S1_at	9.314406498
Xl.6034.1.A1_at	2.7613529
Xl.6035.1.A1_at	7.874309225
Xl.6036.1.S1_at	12.0341854
Xl.6038.1.S1_at	9.660271735
Xl.6039.1.A1_at	8.737810687
Xl.604.1.S1_at	5.475147586
Xl.604.1.S2_at	7.844522403
Xl.6043.1.S1_at	7.495659325
Xl.6043.1.S1_s_at	9.308299996
Xl.6044.1.A1_at	6.560812403
Xl.6045.1.S1_at	9.512447871
Xl.6046.1.S1_at	7.784541333
Xl.6048.1.S1_at	6.428541715
Xl.6051.1.S1_a_at	11.76879026
Xl.6051.1.S1_x_at	11.3363123
Xl.6051.2.S1_x_at	11.59894037
Xl.6052.1.S1_at	8.696196189
Xl.6053.1.A1_at	6.882346416
Xl.6054.1.A1_at	5.049310853
Xl.6057.1.A1_at	5.964268553
Xl.6058.1.A1_at	8.896510883
Xl.606.1.S1_s_at	3.211442288
Xl.6060.1.S1_a_at	9.891283491
Xl.6060.2.A1_x_at	9.831079727
Xl.6061.1.A1_at	7.09809096
Xl.6062.1.S1_at	7.427581462
Xl.6063.1.A1_at	5.893340434
Xl.6064.1.S1_a_at	7.451576739
Xl.6064.1.S1_at	7.502323827
Xl.6065.1.S1_at	9.953221388
Xl.6067.1.A1_at	3.907901496
Xl.6069.1.A1_at	7.17680532
Xl.607.1.S1_a_at	3.116243587
Xl.607.2.S1_a_at	3.803195859
Xl.6070.1.A1_at	9.113503912
Xl.6071.1.A1_at	2.721129646
Xl.6072.1.A1_at	3.033465149
Xl.6074.1.A1_at	6.049146008
Xl.6075.1.A1_at	8.61710269
Xl.6076.1.A1_at	4.10622085
Xl.608.1.S1_at	6.428623565
Xl.6080.1.S1_at	8.577781361
Xl.6081.1.A1_at	7.037703212
Xl.6082.1.A1_at	8.867298682
Xl.6083.1.S1_at	7.15761069
Xl.6085.1.A1_at	5.906969018
Xl.6088.1.A1_at	6.950660269
Xl.609.1.S1_at	3.095886438
Xl.6091.1.A1_at	4.615460222
Xl.6092.1.A1_s_at	8.223779121
Xl.6095.1.S1_at	7.433315299
Xl.6097.1.S1_at	9.191886534
Xl.6099.1.A1_at	7.466829563
Xl.61.1.S1_at	6.376516884
Xl.61.1.S1_s_at	9.501451562
Xl.610.1.S1_at	7.275550324
Xl.6100.1.A1_at	4.227241175
Xl.6101.1.A1_at	4.416878912
Xl.6104.1.A1_at	6.172364383
Xl.6105.1.A1_at	6.12539738
Xl.6106.1.A1_at	8.739782409
Xl.6107.1.A1_at	8.169597457
Xl.6108.1.A1_at	7.622095649
Xl.6109.1.A1_at	6.157232561
Xl.611.1.S1_at	4.487129157
Xl.6112.1.A1_a_at	8.390681145
Xl.6112.1.A1_at	8.600341277
Xl.6112.3.S1_at	6.047381564
Xl.6113.1.A1_at	7.141960503
Xl.6114.3.A1_at	2.931528735
Xl.6115.1.A1_at	5.382519842
Xl.6116.1.A1_at	3.560690614
Xl.6117.1.S1_at	7.314270083
Xl.6118.1.S1_at	11.30485351
Xl.6119.1.A1_a_at	9.601445965
Xl.612.1.S1_at	3.511962252
Xl.612.2.S1_at	4.354089358
Xl.6120.1.A1_at	6.054125541
Xl.6121.3.A1_a_at	6.099931594
Xl.6122.1.A1_at	8.940411978
Xl.6125.1.S1_at	3.512715016
Xl.6127.1.S1_at	3.870253354
Xl.6128.1.A1_at	5.837045784
Xl.613.1.S1_at	5.452550283
Xl.6132.3.S1_a_at	6.086581782
Xl.6133.1.S1_a_at	12.79562707
Xl.6133.1.S1_at	6.123114739
Xl.6133.2.A1_x_at	12.28316497
Xl.6133.3.A1_x_at	11.7616226
Xl.6134.1.A1_at	3.268396227
Xl.6135.1.A1_at	7.085368351
Xl.6136.1.A1_at	3.940505036
Xl.6138.1.A1_at	5.074690998
Xl.6139.1.A1_at	8.184440502
Xl.614.1.S1_at	8.412393683
Xl.6140.1.S1_at	9.436319065
Xl.6142.1.S1_at	5.775711092
Xl.6143.1.S1_at	10.781884
Xl.6143.1.S2_at	9.404827123
Xl.6144.1.A1_at	7.005084957
Xl.6145.1.A1_at	2.558377018
Xl.6146.1.S1_at	8.627142147
Xl.6148.1.S1_at	7.470620976
Xl.6149.1.A1_a_at	7.251347831
Xl.6149.1.A1_x_at	6.411919553
Xl.6149.2.A1_at	6.388929759
Xl.6149.2.A1_x_at	6.310712024
Xl.6155.1.A1_at	4.997175543
Xl.6156.1.S1_at	6.212945713
Xl.6157.1.S1_at	6.704951853
Xl.6157.2.S1_a_at	8.357223556
Xl.6157.2.S1_x_at	6.139205475
Xl.6159.1.S1_at	5.395428571
Xl.616.1.S1_at	2.992216998
Xl.6160.1.S1_at	4.82300237
Xl.6161.1.A1_at	10.07016514
Xl.6164.1.S1_at	5.513143676
Xl.6165.1.A1_at	7.545842166
Xl.6165.2.S1_at	7.016687281
Xl.6167.1.A1_at	3.279958883
Xl.6168.1.S1_at	7.361589156
Xl.6168.2.S1_a_at	5.068025162
Xl.6169.1.A1_at	6.898363279
Xl.617.1.S1_at	9.084083881
Xl.6171.1.S1_at	4.278155987
Xl.6172.1.A1_at	5.723258681
Xl.6173.1.A1_at	3.159500752
Xl.6174.1.A1_at	8.606943951
Xl.6176.1.S1_at	9.507472672
Xl.6177.1.A1_at	4.202324843
Xl.6179.1.A1_at	7.07125117
Xl.618.1.S1_at	2.686027603
Xl.6180.1.S1_at	3.343583415
Xl.6181.1.S1_at	4.759473132
Xl.6182.1.A1_at	3.484155816
Xl.6183.1.A1_at	3.007024733
Xl.6184.1.A1_at	6.968485467
Xl.6185.1.A1_at	6.82119871
Xl.6186.1.A1_a_at	9.740238108
Xl.6186.1.A1_x_at	9.112604459
Xl.6186.3.S1_at	9.627421589
Xl.6187.1.S1_at	2.76780188
Xl.6189.1.A1_at	7.215037421
Xl.619.1.S1_at	5.471705202
Xl.619.1.S2_at	3.596915241
Xl.6191.1.S1_at	7.423607305
Xl.6192.1.S1_at	6.47003235
Xl.6193.1.S1_at	9.017249845
Xl.6194.1.S1_at	2.902046392
Xl.6194.2.S1_a_at	8.781056511
Xl.6194.2.S1_x_at	8.915957091
Xl.6195.1.A1_at	3.855945019
Xl.6198.1.S1_at	10.37766165
Xl.6199.1.A1_x_at	5.13035212
Xl.62.1.S1_at	7.250709418
Xl.620.1.S1_at	2.414851838
Xl.620.1.S1_s_at	3.218612061
Xl.6200.1.A1_at	3.983763878
Xl.6201.1.S1_at	8.695508199
Xl.6202.1.S1_at	8.284870116
Xl.6203.1.A1_at	2.872760074
Xl.6203.1.A1_s_at	3.356212065
Xl.6209.1.A1_at	7.033063681
Xl.621.1.S1_at	7.01571648
Xl.6213.1.S1_at	6.33148274
Xl.6215.1.S1_at	8.603835071
Xl.6215.2.S1_a_at	9.184506917
Xl.6215.2.S1_at	8.187719681
Xl.6217.1.A1_at	3.339227532
Xl.6218.1.A1_at	3.311601103
Xl.622.1.S1_at	2.756365956
Xl.6226.1.S1_at	7.29926859
Xl.623.1.S1_at	3.631109181
Xl.624.1.S1_a_at	6.597852721
Xl.6240.1.A1_at	5.770865616
Xl.6244.1.S1_at	4.147653183
Xl.6244.2.A1_at	7.696737081
Xl.6247.1.S1_at	6.768932387
Xl.6248.1.S1_at	7.922548246
Xl.6249.1.A1_at	2.607551594
Xl.625.1.S1_at	3.800763743
Xl.6253.1.A1_at	4.891268402
Xl.6255.1.A1_at	7.170985662
Xl.6256.1.S1_at	5.305717981
Xl.6256.2.S1_a_at	7.802232422
Xl.6256.2.S1_x_at	7.98550764
Xl.6258.1.S1_at	9.800312452
Xl.6259.1.S1_at	9.055987623
Xl.626.1.S1_at	4.642767856
Xl.6261.1.A1_at	6.950638805
Xl.6263.1.S1_at	3.545139708
Xl.6266.1.S1_at	10.30298758
Xl.6267.1.S1_a_at	12.60156576
Xl.6269.1.S1_a_at	10.38419188
Xl.627.1.S1_at	9.170678065
Xl.6271.1.S1_at	11.53345973
Xl.6272.1.A1_at	6.056096457
Xl.6273.1.S1_at	6.367758078
Xl.6276.1.A1_at	6.145162988
Xl.628.1.S1_at	3.558320125
Xl.6280.1.S1_at	2.87684306
Xl.6281.1.S1_s_at	3.691346555
Xl.6282.1.S1_at	3.415257371
Xl.6285.1.S1_at	5.117262937
Xl.6286.1.S1_at	8.550184367
Xl.6288.1.A1_at	5.704510898
Xl.6289.1.S1_at	6.609131395
Xl.6290.1.A1_at	7.772154127
Xl.6291.1.A1_at	9.829302369
Xl.6292.1.S1_at	9.801482593
Xl.6294.1.S1_at	10.9068288
Xl.6295.1.S1_a_at	10.99492242
Xl.6295.1.S1_at	11.44925415
Xl.6295.2.S1_at	10.06063808
Xl.6298.1.A1_x_at	9.863018443
Xl.6299.1.S1_at	10.03114419
Xl.63.1.S1_at	12.98538143
Xl.63.1.S1_s_at	11.87801314
Xl.630.1.S1_a_at	2.90094571
Xl.630.3.S1_x_at	2.757987608
Xl.630.4.A1_x_at	2.913623903
Xl.630.4.S1_x_at	2.535061101
Xl.630.5.A1_a_at	2.616481123
Xl.630.5.S1_x_at	2.958693561
Xl.6300.1.S1_at	2.764761015
Xl.6302.1.A1_at	7.583169726
Xl.6303.1.A1_at	5.183671845
Xl.6307.1.S1_at	10.07992645
Xl.6308.1.A1_at	3.901671682
Xl.6309.1.A1_at	4.394616675
Xl.6315.1.S1_at	5.058845061
Xl.632.1.S1_at	4.82306727
Xl.6320.1.S1_at	3.275670023
Xl.6322.1.S1_at	4.098350031
Xl.6324.1.A1_at	5.765478922
Xl.633.1.S1_a_at	5.326211954
Xl.633.1.S1_at	4.919554774
Xl.633.1.S2_at	7.477580319
Xl.633.2.S1_at	5.576149866
Xl.633.2.S2_at	7.542313316
Xl.6337.1.A1_at	7.89165145
Xl.6340.1.A1_at	5.064568995
Xl.6349.1.A1_at	6.85722815
Xl.635.1.S1_at	6.648069737
Xl.6353.1.S1_at	6.741137326
Xl.6358.1.A1_at	4.100930968
Xl.636.1.S1_at	8.311668033
Xl.6360.1.S1_at	8.027268426
Xl.6363.1.S1_a_at	7.172981521
Xl.6363.1.S1_at	4.380796391
Xl.6363.2.A1_at	7.606910166
Xl.6367.1.A1_at	6.857353063
Xl.6369.1.A1_at	6.923037564
Xl.637.1.A1_at	8.296247324
Xl.6372.1.A1_at	4.492240819
Xl.6374.1.S1_at	8.660849827
Xl.638.1.S1_at	3.137635519
Xl.6382.1.S1_at	2.936290766
Xl.6383.1.A1_at	5.919957926
Xl.6388.1.A1_at	4.561038574
Xl.639.1.S1_at	6.580438208
Xl.6392.1.A1_at	3.690125861
Xl.6393.1.S1_at	7.415103715
Xl.6396.1.A1_at	6.778321469
Xl.64.1.A1_at	4.157526651
Xl.64.1.S1_at	4.562325718
Xl.6400.1.S1_at	7.441563283
Xl.6403.1.S1_at	4.730825616
Xl.6405.1.S1_at	7.295231328
Xl.6406.1.S1_at	9.390657215
Xl.6408.1.A1_at	7.673569545
Xl.641.1.S1_at	4.033546433
Xl.6411.1.S1_at	4.774467641
Xl.6413.1.A1_at	8.179982249
Xl.6415.1.A1_at	7.390596352
Xl.6418.1.S1_at	6.47107547
Xl.6418.2.A1_at	8.596116613
Xl.642.1.S1_at	3.999631738
Xl.6421.1.A1_at	3.670435483
Xl.6422.1.A1_at	5.962396844
Xl.6425.1.S1_at	6.445535072
Xl.6426.1.A1_at	6.948185054
Xl.6427.1.S1_at	6.486654376
Xl.6428.1.A1_at	5.076979754
Xl.6429.1.A1_at	8.249869478
Xl.643.1.S1_at	2.813414637
Xl.6432.1.A1_at	5.834923845
Xl.6434.1.S1_at	6.145385562
Xl.6436.1.S1_at	3.269595556
Xl.6437.1.A1_at	4.691344321
Xl.6438.1.A1_at	7.541509017
Xl.644.1.S1_at	4.84343083
Xl.6440.1.A1_at	7.189189703
Xl.6441.1.S1_at	8.628781604
Xl.6444.1.S1_at	7.693628561
Xl.6445.1.S1_at	4.352159418
Xl.645.1.S1_at	5.572445687
Xl.6450.1.S1_at	6.267369328
Xl.6453.1.S1_a_at	3.890198348
Xl.6453.1.S1_x_at	5.656213329
Xl.6453.2.S1_at	2.632623394
Xl.6455.1.A1_at	3.648123938
Xl.6456.1.S1_at	6.744435063
Xl.6457.1.A1_at	9.37998869
Xl.6458.1.S1_at	6.569948611
Xl.646.1.S1_at	3.967032102
Xl.6461.1.S1_at	4.447221172
Xl.6464.1.S1_at	7.280434062
Xl.6465.1.S1_at	8.266026542
Xl.6468.1.S1_at	8.425615896
Xl.647.1.S1_a_at	9.443358182
Xl.647.2.S2_at	3.214613023
Xl.647.3.S1_x_at	9.000159599
Xl.647.4.S1_x_at	9.307809636
Xl.647.6.S1_x_at	8.158629826
Xl.647.7.S1_at	8.831394673
Xl.6473.1.S1_at	9.609914786
Xl.6474.1.S1_a_at	8.15413468
Xl.6475.1.A1_at	8.172020154
Xl.6476.1.A1_at	5.451977166
Xl.6478.1.S1_at	9.345011278
Xl.6479.1.S1_at	6.853947635
Xl.6479.1.S2_at	8.287368025
Xl.648.1.S1_at	10.34271569
Xl.6480.2.S1_a_at	6.961378348
Xl.6481.1.S1_at	9.389749153
Xl.6482.1.A1_at	3.087256118
Xl.6483.1.A1_at	2.417429882
Xl.6489.1.A1_at	2.76986801
Xl.649.1.S1_at	9.169302034
Xl.6493.1.S1_at	3.96493621
Xl.6495.1.A1_at	2.940720578
Xl.6496.1.S1_at	11.09063457
Xl.6498.1.A1_at	6.045619618
Xl.6499.1.S1_at	6.967656684
Xl.6499.1.S2_at	5.49710226
Xl.6499.2.A1_at	7.648668073
Xl.65.1.S1_at	2.940749934
Xl.6504.1.S1_at	9.100705589
Xl.6507.1.A1_at	9.032822593
Xl.6508.1.S1_at	7.54915106
Xl.651.1.S1_at	3.175189265
Xl.6510.1.A1_at	6.37906017
Xl.6511.1.S1_at	6.562686896
Xl.6514.1.A1_at	6.861834182
Xl.6517.1.S1_at	8.898690135
Xl.652.1.S1_at	2.996662368
Xl.652.1.S2_at	3.3115434
Xl.6522.1.A1_at	7.025107315
Xl.6524.1.A1_at	6.172452284
Xl.653.1.S1_at	3.654406482
Xl.6530.1.S1_at	6.198390578
Xl.6534.1.A1_at	6.811063432
Xl.6536.2.S1_at	3.744368969
Xl.6538.1.A1_at	3.30781751
Xl.6538.3.S1_a_at	2.841424586
Xl.6539.1.S1_at	4.407856559
Xl.654.1.S1_at	3.021239329
Xl.6540.1.S1_at	5.98368283
Xl.6546.1.S1_at	4.399746411
Xl.6548.1.S1_at	3.429509776
Xl.655.1.S1_at	10.60953008
Xl.6551.1.S1_at	4.594750885
Xl.6552.1.A1_at	4.333173605
Xl.6553.1.S1_at	9.941566418
Xl.6554.1.S1_at	7.13811083
Xl.6557.1.S1_at	5.04470418
Xl.6558.1.A1_at	7.422251682
Xl.6558.3.A1_at	4.486660022
Xl.656.1.S1_at	2.865884287
Xl.6561.1.S1_at	8.48306538
Xl.6561.1.S1_s_at	8.696576452
Xl.6561.1.S1_x_at	8.942902917
Xl.6562.1.A1_at	7.99564751
Xl.6563.1.S1_at	6.480440661
Xl.6564.1.S1_at	6.932053354
Xl.6566.1.A1_at	5.968563851
Xl.6567.1.S1_at	7.095410014
Xl.6569.1.A1_at	4.303625497
Xl.657.1.S1_at	10.0288258
Xl.6570.1.S1_at	9.103125285
Xl.6571.1.S1_at	6.136168148
Xl.6573.1.S1_at	4.790959894
Xl.6575.1.S1_at	5.471921517
Xl.6576.1.A1_at	6.187630855
Xl.6576.2.S1_at	5.679968708
Xl.6577.1.S1_at	3.178063372
Xl.6578.1.A1_at	5.691835901
Xl.6578.2.S1_at	6.092431589
Xl.658.1.S1_at	8.417066285
Xl.658.1.S2_at	5.512350299
Xl.6581.1.S1_at	3.989609379
Xl.6583.1.S1_at	5.176046186
Xl.6584.1.A1_at	8.406274127
Xl.6585.1.S1_at	8.98596459
Xl.6589.1.S1_at	5.86167227
Xl.659.1.S1_at	6.733909525
Xl.6592.1.A1_at	5.540710082
Xl.6594.1.A1_at	4.387316115
Xl.6596.2.S1_a_at	5.715996768
Xl.6596.2.S1_at	3.779272341
Xl.6596.2.S1_x_at	4.031125629
Xl.6598.1.S1_at	4.035202047
Xl.66.1.S1_at	6.264292215
Xl.66.1.S2_at	7.726753128
Xl.660.1.S1_at	7.56627256
Xl.6601.1.S1_at	4.860915706
Xl.6602.1.A1_at	5.089276166
Xl.6605.1.A1_at	6.744455073
Xl.6607.1.S1_at	10.95920871
Xl.6608.1.A1_at	2.634825803
Xl.661.1.S1_at	5.888068228
Xl.6611.1.S1_at	6.341672293
Xl.6612.1.S1_at	5.913149442
Xl.6613.1.S1_at	4.772245272
Xl.6614.1.S1_at	8.940114402
Xl.6615.1.A1_at	8.263855978
Xl.6616.1.S1_at	8.38603484
Xl.6617.1.S1_at	8.787153333
Xl.6618.1.S1_at	4.353825127
Xl.6619.1.A1_at	4.799922096
Xl.662.1.S1_at	3.001357039
Xl.6620.1.A1_s_at	4.136810171
Xl.6621.1.S1_at	9.142383211
Xl.6623.1.S1_at	7.258872075
Xl.6623.1.S1_x_at	8.026649178
Xl.6627.1.A1_at	7.793732627
Xl.663.1.S1_at	3.208036036
Xl.6630.1.S1_at	8.053815843
Xl.6633.1.A1_at	7.488517982
Xl.6636.1.S1_at	4.07248172
Xl.6638.1.S1_at	5.031993466
Xl.6639.1.S1_at	6.056043347
Xl.664.1.S1_at	5.001110089
Xl.6642.1.A1_at	4.151428224
Xl.6643.1.S1_at	5.890815801
Xl.6647.1.S1_at	7.249422601
Xl.6649.1.S1_at	7.897490536
Xl.665.1.S1_at	7.871770804
Xl.6650.1.S1_at	5.529869038
Xl.6652.1.S2_at	9.293812033
Xl.6654.1.S1_at	4.020704791
Xl.6656.1.A1_at	5.277972331
Xl.6657.1.S1_at	5.398856141
Xl.666.1.S1_at	5.55923987
Xl.6660.1.A1_at	6.964405148
Xl.6662.1.S1_at	8.761188751
Xl.6663.1.S1_at	5.162929831
Xl.6664.1.S1_at	4.573629762
Xl.6665.1.S1_at	6.255710913
Xl.6666.1.A1_at	7.088510642
Xl.6667.1.S1_at	5.385447239
Xl.6668.1.S1_at	6.242918395
Xl.6669.1.S1_at	6.956207384
Xl.667.1.S1_at	3.025537784
Xl.6671.1.A1_at	8.440853605
Xl.6672.1.S1_at	8.494569663
Xl.6673.1.A1_at	6.208424085
Xl.6674.1.S1_at	4.978074313
Xl.6675.1.A1_at	3.667471137
Xl.6677.1.S1_a_at	5.441509201
Xl.6677.1.S2_at	5.383171293
Xl.6677.2.S1_a_at	6.062863806
Xl.6678.1.A1_at	6.870874697
Xl.6679.1.S1_at	7.462815459
Xl.6679.1.S2_at	6.605659983
Xl.6679.2.A1_a_at	8.603054852
Xl.6679.2.A1_at	7.69255017
Xl.6680.1.S1_x_at	7.468423115
Xl.6680.1.S2_x_at	7.347627425
Xl.6681.1.S1_at	8.170211061
Xl.6682.1.A1_at	5.417833492
Xl.6684.1.S1_at	8.392761237
Xl.6686.1.S1_at	8.404737584
Xl.6687.1.S1_at	7.248129516
Xl.6689.1.S1_at	3.127088683
Xl.6690.1.A1_at	4.359557933
Xl.6692.1.S1_at	5.493767496
Xl.6693.1.S1_at	7.712558376
Xl.6693.2.S1_a_at	6.564693108
Xl.6693.2.S1_at	2.558881189
Xl.6693.2.S1_x_at	3.502150378
Xl.6694.1.S1_at	9.627322393
Xl.6696.1.S1_at	7.563457507
Xl.6697.1.S1_at	8.614167454
Xl.6698.1.A1_at	5.826038164
Xl.67.1.S1_at	6.288317089
Xl.670.1.S1_at	3.495741008
Xl.6702.1.S1_at	6.780113677
Xl.6708.1.S1_a_at	9.228283509
Xl.6708.1.S1_at	7.996458867
Xl.6708.1.S1_x_at	7.946348385
Xl.6708.2.S1_at	8.145866251
Xl.6709.1.A1_at	7.787510079
Xl.671.1.S1_at	4.194105092
Xl.6711.1.A1_at	5.748508551
Xl.6713.1.A1_at	6.208232807
Xl.6714.1.S1_at	2.653440394
Xl.6717.1.S1_at	4.903972948
Xl.6717.1.S2_at	4.027071322
Xl.6717.2.A1_at	5.444882199
Xl.6719.1.S1_at	7.907949167
Xl.672.1.S1_at	8.687665404
Xl.6721.1.A1_at	4.623396911
Xl.6722.1.S1_at	8.337461844
Xl.6724.1.S1_at	9.611927626
Xl.6724.1.S1_x_at	9.73614255
Xl.6725.1.A1_at	5.751686408
Xl.6727.1.A1_at	5.243173617
Xl.6728.3.A1_at	7.281403592
Xl.673.1.S1_at	2.741267817
Xl.6730.1.A1_at	5.463795602
Xl.6731.1.S1_at	2.787087945
Xl.6732.1.A1_at	8.362622421
Xl.6733.1.S1_at	6.315935195
Xl.6733.2.A1_at	6.266549367
Xl.6734.1.S1_at	5.846115093
Xl.6738.1.A1_at	4.316963758
Xl.674.1.S1_at	2.765476784
Xl.6740.1.A1_at	7.182532838
Xl.6742.1.S1_at	5.012202964
Xl.6746.1.A1_at	2.574682354
Xl.6747.1.A1_at	8.162580976
Xl.6748.1.S1_at	9.457219892
Xl.6748.1.S2_at	8.971679723
Xl.6749.1.A1_at	7.821061255
Xl.6751.1.A1_at	6.410565988
Xl.6752.1.S1_at	7.848905544
Xl.6752.1.S2_at	6.456854186
Xl.6752.2.A1_at	8.26454604
Xl.6753.1.S1_at	6.527375469
Xl.6754.1.A1_at	8.396033514
Xl.6757.1.S1_at	5.325794924
Xl.6758.1.A1_a_at	8.440327205
Xl.6758.1.A1_at	7.961238023
Xl.6758.1.A1_x_at	7.998638034
Xl.6759.1.A1_at	5.310559228
Xl.676.1.S1_at	9.790588269
Xl.6761.1.S1_at	5.844246454
Xl.6763.1.S1_at	8.391505207
Xl.6767.1.S1_at	6.644495516
Xl.677.1.S1_at	5.438270607
Xl.6770.1.S1_at	8.884927399
Xl.6772.1.S1_at	6.964614134
Xl.6773.1.S1_a_at	3.32780388
Xl.6773.1.S1_at	4.944671848
Xl.6774.1.A1_at	7.450518378
Xl.6776.1.A1_at	7.304646773
Xl.6777.1.A1_at	8.132838182
Xl.678.1.S1_at	5.444029416
Xl.6781.1.S1_at	4.487967309
Xl.6783.1.A1_at	5.654337898
Xl.6787.1.S1_at	8.234429945
Xl.6788.1.A1_at	3.59751972
Xl.679.1.S1_at	3.226249075
Xl.6790.1.S1_a_at	7.42105719
Xl.6790.1.S1_at	7.661652157
Xl.6790.2.A1_at	7.431619861
Xl.6790.2.A1_x_at	7.793743209
Xl.6791.1.S1_at	3.505115965
Xl.6796.1.A1_at	6.386529552
Xl.6797.1.S1_at	3.284263457
Xl.6799.1.A1_at	9.197925143
Xl.68.1.S1_at	4.187224104
Xl.680.1.S1_at	3.468127032
Xl.6800.1.A1_at	8.694843026
Xl.6802.1.S1_at	7.724396861
Xl.6804.1.A1_at	5.013950202
Xl.6805.1.A1_at	5.306319806
Xl.6806.1.A1_at	7.233697062
Xl.6807.1.S1_a_at	7.999790679
Xl.6807.1.S1_at	6.204980046
Xl.6807.1.S1_x_at	8.170768906
Xl.6807.2.S1_at	7.210842874
Xl.6807.2.S1_x_at	8.531837437
Xl.6809.1.S1_at	6.819691322
Xl.681.1.S1_at	3.203429906
Xl.6811.1.A1_at	7.269977951
Xl.6813.1.S1_at	8.092437649
Xl.6814.1.S1_at	4.746783136
Xl.6815.1.A1_at	3.142125465
Xl.6817.1.S1_at	6.493252808
Xl.6818.1.A1_at	4.189255168
Xl.6819.1.S1_at	3.478883317
Xl.6819.1.S2_at	3.721789245
Xl.6824.1.S1_at	9.828264668
Xl.6827.1.A1_at	2.865613435
Xl.6828.1.A1_at	7.968528854
Xl.683.1.S1_at	6.496585173
Xl.6831.1.S1_at	8.584288256
Xl.6832.1.A1_at	8.238314453
Xl.6833.1.S1_at	9.606934179
Xl.6834.1.A1_at	6.504422855
Xl.6835.1.S1_at	7.299355401
Xl.6836.1.A1_at	2.440568049
Xl.6837.1.S1_at	5.797084298
Xl.6838.1.S1_at	9.132500307
Xl.6839.1.A1_at	4.297745912
Xl.684.1.S1_at	5.4757109
Xl.6840.1.S1_at	3.007523516
Xl.6841.1.A1_at	4.41974768
Xl.6842.1.S1_at	5.452596128
Xl.6844.1.A1_at	5.362204168
Xl.6845.1.A1_at	11.33249988
Xl.6847.1.S2_at	8.435693994
Xl.6849.1.A1_at	6.348435646
Xl.685.1.S1_at	8.489253529
Xl.6852.1.S1_at	4.834517375
Xl.6854.1.S1_at	7.142214803
Xl.6855.1.S1_at	8.249635728
Xl.6856.1.S1_at	3.475551198
Xl.6859.1.S1_a_at	7.663937279
Xl.6859.1.S1_x_at	7.902271835
Xl.686.1.S1_at	4.166500288
Xl.6860.1.A1_at	4.765884793
Xl.6861.1.S1_at	8.317345318
Xl.6862.1.S1_at	6.210224068
Xl.6863.1.A1_at	7.734807627
Xl.6866.1.A1_at	4.818468317
Xl.6866.2.S1_at	8.51391472
Xl.6868.1.A1_at	6.704211616
Xl.6869.1.A1_at	4.662687757
Xl.687.1.S1_at	4.246301801
Xl.6873.1.A1_at	2.602392068
Xl.6874.1.S1_at	10.77978463
Xl.6874.2.A1_at	4.208952324
Xl.6876.1.S1_at	6.805384806
Xl.6879.1.S1_at	5.075106391
Xl.688.1.S1_at	7.308007354
Xl.6881.1.S1_at	7.069965133
Xl.6884.1.S1_at	6.415148886
Xl.6885.1.A1_at	8.546558878
Xl.6886.1.A1_at	5.452819081
Xl.6887.1.S1_at	2.852665086
Xl.689.1.S1_at	3.551642538
Xl.6890.1.A1_at	7.222938001
Xl.6891.1.A1_at	2.741752589
Xl.6893.1.S1_at	5.149697362
Xl.6896.1.A1_at	4.961556911
Xl.69.1.S1_at	6.433098877
Xl.690.1.S1_at	2.860674069
Xl.690.1.S2_at	4.271023506
Xl.6901.1.A1_at	6.448268651
Xl.6902.1.A1_at	2.791559961
Xl.6903.1.A1_at	2.845545747
Xl.6904.1.S1_at	5.072490717
Xl.6905.1.S1_at	5.816308339
Xl.6906.1.A1_at	8.257877477
Xl.6907.1.A1_at	5.487404278
Xl.6908.1.A1_at	3.404168339
Xl.6909.1.S1_at	4.290513349
Xl.691.1.S1_at	6.832777045
Xl.691.1.S2_at	7.406605561
Xl.691.2.A1_x_at	3.5672369
Xl.6911.1.S1_at	5.787279035
Xl.6913.1.S1_at	7.457615265
Xl.6920.1.A1_at	7.145364347
Xl.6922.1.A1_at	4.927426241
Xl.6923.1.S1_at	10.31207597
Xl.6926.1.S1_at	4.681774232
Xl.6927.1.S1_at	7.316254985
Xl.6928.1.S1_at	5.980227415
Xl.6929.1.S1_at	9.958696219
Xl.693.1.S1_at	3.887116343
Xl.693.10.S1_x_at	4.226204475
Xl.693.11.S1_x_at	5.379403075
Xl.693.16.A1_a_at	4.450939099
Xl.693.16.A1_x_at	3.833869675
Xl.693.16.S1_x_at	4.177690738
Xl.693.17.A1_x_at	3.323635588
Xl.693.17.S1_x_at	3.614274529
Xl.693.18.S1_x_at	3.758293945
Xl.693.19.S1_x_at	3.536535541
Xl.693.2.S1_a_at	6.549491357
Xl.693.20.S1_x_at	3.766823286
Xl.693.21.S1_x_at	4.364583212
Xl.693.22.S1_x_at	3.544131469
Xl.693.23.A1_x_at	3.189388992
Xl.693.23.S1_x_at	4.576776724
Xl.693.5.A1_a_at	3.990241355
Xl.693.5.S1_a_at	4.368968561
Xl.693.5.S1_x_at	4.153362793
Xl.693.6.S1_a_at	3.845046936
Xl.693.7.S1_a_at	4.59376253
Xl.693.8.S1_x_at	4.911239122
Xl.693.9.S1_x_at	5.743483789
Xl.6930.1.A1_at	3.579301006
Xl.6931.1.S1_at	9.834731645
Xl.6933.1.A1_at	4.874022289
Xl.6934.1.A1_at	4.866002659
Xl.6935.1.A1_at	7.088906347
Xl.6937.1.S1_at	7.411351234
Xl.6938.1.S1_at	7.271815679
Xl.694.1.S1_at	4.906022188
Xl.6942.1.S1_at	5.784990075
Xl.6942.2.A1_at	2.92939586
Xl.6943.1.S1_at	4.268876063
Xl.6944.1.S1_at	3.371715487
Xl.6944.1.S1_s_at	2.75939486
Xl.6944.1.S1_x_at	3.817350402
Xl.6945.1.A1_at	7.135432368
Xl.6946.1.A1_at	8.710173957
Xl.6946.1.A1_x_at	8.626730832
Xl.6946.2.S1_at	7.358245114
Xl.6946.2.S1_x_at	7.240801119
Xl.695.1.S1_at	3.417245372
Xl.6950.1.A1_at	3.458602037
Xl.6953.1.A1_at	5.244863206
Xl.6954.1.S1_at	3.881591542
Xl.6955.1.A1_at	3.165307999
Xl.6955.2.S1_a_at	4.86328582
Xl.6956.1.S1_at	6.745459955
Xl.6959.1.S1_at	4.654905114
Xl.696.1.S1_at	7.479043706
Xl.6960.1.A1_at	6.752029788
Xl.6961.1.S1_at	8.903187092
Xl.6961.1.S2_at	7.835334892
Xl.6964.1.A1_at	4.639893983
Xl.6965.2.S1_a_at	8.134667585
Xl.6966.1.S1_at	7.889784382
Xl.6967.1.S1_at	7.966854682
Xl.6969.1.A1_at	3.557060816
Xl.697.1.S1_at	5.695599177
Xl.6970.1.S1_at	7.667315612
Xl.6971.1.S1_at	3.651403106
Xl.6972.1.A1_at	7.873513196
Xl.6973.1.S1_at	3.93060318
Xl.6974.1.S1_at	5.691354766
Xl.6975.1.S1_a_at	7.484151216
Xl.6975.1.S1_at	8.317239809
Xl.6975.2.S1_at	6.415015085
Xl.6977.1.S1_at	8.062455278
Xl.6979.1.A1_at	3.316776549
Xl.6980.1.A1_at	6.961704857
Xl.6981.1.S1_at	6.363990268
Xl.6982.1.A1_at	6.800335439
Xl.6984.1.S1_at	10.45313469
Xl.6985.1.S1_at	6.288307551
Xl.6986.1.S1_at	8.646210455
Xl.6988.1.A1_at	5.431392408
Xl.6989.1.S1_a_at	7.182809404
Xl.6989.1.S1_at	5.906989459
Xl.699.1.S1_at	4.463006763
Xl.699.1.S1_s_at	7.035909819
Xl.6990.1.S1_at	3.104549192
Xl.6992.1.A1_at	7.419855479
Xl.6993.1.S1_at	5.583413988
Xl.6994.1.S1_at	3.824483518
Xl.6994.2.A1_at	6.314701534
Xl.6995.1.A1_at	5.710667437
Xl.6996.1.A1_at	5.22158374
Xl.6997.1.S1_at	4.343762609
Xl.7.1.S1_at	8.562684858
Xl.70.1.S1_at	3.811834469
Xl.700.1.S1_at	5.885695596
Xl.7001.1.A1_at	5.868845023
Xl.7002.1.A1_at	7.842026577
Xl.7004.1.A1_at	5.863227983
Xl.7006.1.S1_at	8.063860911
Xl.7007.1.S1_at	5.705951714
Xl.701.1.S1_at	3.394776411
Xl.7010.1.A1_at	5.780258482
Xl.7012.1.A1_at	6.027365692
Xl.7013.2.A1_at	4.948177942
Xl.7014.1.A1_a_at	7.004715974
Xl.7014.1.A1_x_at	5.28163546
Xl.7015.1.A1_at	5.671578854
Xl.7016.1.A1_at	7.935747789
Xl.7017.1.S1_at	10.53540464
Xl.7018.1.S1_at	8.129211012
Xl.7019.1.A1_at	8.222395563
Xl.702.1.S1_a_at	8.698793601
Xl.702.1.S1_at	8.395365638
Xl.702.2.S1_at	8.356898317
Xl.7020.1.A1_at	6.04421964
Xl.7022.1.S1_at	7.311058929
Xl.7025.1.S1_at	8.171203891
Xl.7026.1.A1_at	3.14398389
Xl.7027.1.S1_at	9.508958326
Xl.703.1.S1_at	8.646468443
Xl.7031.1.A1_at	6.64959116
Xl.7032.1.S1_at	4.458902769
Xl.7032.2.A1_at	4.441463179
Xl.7032.2.A1_x_at	3.530743571
Xl.7033.1.A1_at	6.222186418
Xl.7033.1.A1_s_at	6.87809763
Xl.7034.1.S1_at	4.994772039
Xl.7035.1.S1_at	4.311989806
Xl.7036.1.A1_at	3.954267646
Xl.7037.1.A1_at	4.377431615
Xl.7037.3.S1_a_at	5.980491291
Xl.7037.3.S1_x_at	5.653946701
Xl.7039.1.S1_at	4.428002731
Xl.7040.1.S1_at	5.773509557
Xl.7040.2.A1_at	6.830325887
Xl.7041.1.A1_at	6.010021281
Xl.7042.1.S1_at	9.035706811
Xl.7043.1.S1_at	3.49252305
Xl.7045.1.S1_a_at	4.049467201
Xl.7045.1.S1_x_at	3.965902295
Xl.7046.1.S1_at	3.03432149
Xl.7048.1.A1_at	5.778648553
Xl.705.1.S1_at	2.654069673
Xl.7050.1.S1_at	4.313966275
Xl.7051.1.A1_at	5.983727182
Xl.7053.2.S1_a_at	7.249566748
Xl.7054.1.S1_at	4.073031608
Xl.7056.1.S1_a_at	8.075611482
Xl.7056.1.S1_at	6.933538357
Xl.7056.1.S1_x_at	7.012291897
Xl.7056.2.A1_at	7.024792153
Xl.7056.2.A1_x_at	7.369927828
Xl.7058.1.A1_at	4.634653951
Xl.706.1.S1_at	5.177068509
Xl.7060.1.A1_at	6.666235882
Xl.7062.1.A1_at	6.102291711
Xl.7063.1.S1_at	5.501932114
Xl.7064.1.A1_at	6.775104836
Xl.7065.1.S1_a_at	6.98766738
Xl.7065.1.S1_at	6.9659055
Xl.7065.1.S1_x_at	7.298722059
Xl.7065.2.A1_at	8.464692129
Xl.7068.1.S1_at	9.35199178
Xl.7069.1.A1_at	7.9613071
Xl.7070.1.S1_at	6.359124111
Xl.7071.1.S1_at	11.58127767
Xl.7071.1.S2_at	10.51377655
Xl.7075.1.S1_at	5.822426908
Xl.7076.1.S1_at	6.845861874
Xl.7078.1.S1_at	7.438118538
Xl.7078.2.S1_a_at	8.925321583
Xl.708.1.S1_at	3.327367653
Xl.7080.1.S1_at	5.296765462
Xl.7081.1.S1_at	8.560172477
Xl.7082.1.S1_at	3.574344214
Xl.7083.1.S1_at	7.085307741
Xl.7084.1.A1_a_at	7.684003021
Xl.7084.1.A1_x_at	6.589331601
Xl.7084.2.S1_x_at	7.094300138
Xl.7085.1.S1_at	5.863213802
Xl.7087.1.A1_at	5.304271078
Xl.7089.1.A1_at	3.234914878
Xl.7091.1.A1_at	5.144817942
Xl.7092.1.A1_at	7.056337307
Xl.7093.1.S1_at	6.34366478
Xl.7094.1.S1_a_at	3.628633518
Xl.7097.1.S1_at	4.050335099
Xl.7098.1.A1_at	6.211625093
Xl.7099.1.A1_at	7.301624492
Xl.71.1.S1_at	2.991225393
Xl.7100.1.A1_at	7.657839749
Xl.7103.1.S1_at	5.405190735
Xl.7108.1.A1_at	6.642888573
Xl.711.1.S1_at	3.157363484
Xl.7111.1.S1_at	6.946035765
Xl.7112.1.S1_at	10.22082511
Xl.7113.1.S1_at	4.189729924
Xl.7116.1.S1_at	8.94733306
Xl.7118.1.S1_at	4.359686713
Xl.7118.3.A1_at	3.005817572
Xl.7119.1.S1_at	6.54790478
Xl.712.1.S1_at	6.126357432
Xl.7121.1.S1_at	5.399137717
Xl.7121.1.S2_at	5.350980789
Xl.7122.1.S1_at	7.217263712
Xl.7123.2.A1_a_at	6.135527418
Xl.7124.1.A1_at	3.971179412
Xl.7125.1.S1_at	10.28094863
Xl.7126.1.S1_at	3.084018637
Xl.7128.1.A1_at	4.076712021
Xl.7129.1.S1_at	8.724065608
Xl.7130.1.S1_at	4.959855425
Xl.7132.1.A1_at	8.355712374
Xl.7133.1.S1_at	5.931881453
Xl.7137.1.S1_at	7.680677247
Xl.7139.1.S1_at	6.636524207
Xl.714.1.S1_s_at	5.913687975
Xl.7142.1.A1_at	3.434409052
Xl.7143.1.S1_at	5.470447373
Xl.7144.1.A1_at	3.30338398
Xl.7145.1.S1_at	3.7908942
Xl.7148.1.S1_at	7.248716841
Xl.7149.1.A1_at	8.799103044
Xl.715.1.S1_a_at	7.746135255
Xl.715.1.S1_x_at	8.033238679
Xl.715.1.S2_at	8.271952068
Xl.715.2.A1_a_at	8.09345322
Xl.715.2.A1_at	8.518329335
Xl.715.2.A1_x_at	8.997914516
Xl.7150.1.A1_at	7.552676534
Xl.7151.1.S1_at	4.555546439
Xl.7152.1.A1_at	3.500492214
Xl.7155.1.S1_at	7.495260142
Xl.7156.1.S1_at	3.541026083
Xl.7157.1.S1_at	7.247450982
Xl.7158.1.A1_at	7.830719513
Xl.716.1.S1_at	8.071245523
Xl.7160.1.A1_at	3.952791656
Xl.7162.1.A1_at	5.21868447
Xl.7164.1.S1_at	4.390547152
Xl.7166.1.S1_at	6.838158744
Xl.7167.1.S1_at	8.319499251
Xl.717.1.S1_at	6.106903482
Xl.7171.1.S1_at	4.188482146
Xl.7172.1.S1_at	6.796853034
Xl.7175.1.S1_at	6.255677479
Xl.7177.1.S1_at	8.282235231
Xl.7178.1.A1_at	5.926337559
Xl.718.1.S1_at	4.392072692
Xl.7181.1.S1_at	9.170105395
Xl.7183.1.S1_at	3.736538644
Xl.7186.1.S1_at	4.971374554
Xl.7188.1.S1_at	2.656575551
Xl.7189.1.A1_a_at	6.824010074
Xl.719.1.S1_at	2.527497376
Xl.7190.1.A1_at	5.758744531
Xl.7191.1.S1_at	6.675742664
Xl.7193.1.A1_at	5.204328695
Xl.7194.1.S1_at	5.974379961
Xl.7195.1.S1_a_at	8.133956964
Xl.7195.2.S1_at	5.712417059
Xl.7196.1.A1_at	8.456429333
Xl.7197.1.A1_at	3.896830375
Xl.7198.1.S1_at	3.803072028
Xl.72.1.S1_at	2.890390178
Xl.720.1.S1_at	3.091429584
Xl.7200.1.S1_at	8.963004755
Xl.7201.1.S1_at	7.367489956
Xl.7202.1.S1_at	9.599138786
Xl.7203.1.A1_at	4.620004823
Xl.7204.1.S1_at	9.132085755
Xl.7206.1.S1_at	7.957059271
Xl.721.1.S1_at	4.240591829
Xl.7211.1.A1_at	2.985659606
Xl.7213.1.S1_at	4.272529757
Xl.7213.2.A1_at	8.063924024
Xl.7213.3.S1_a_at	8.437499705
Xl.7217.1.S1_at	6.733157375
Xl.722.1.S1_at	5.817812769
Xl.7223.1.A1_at	6.053971239
Xl.7224.1.S1_at	5.003907212
Xl.7226.1.S1_at	6.705303403
Xl.7228.1.S1_at	6.893163072
Xl.7229.1.S1_at	7.368483462
Xl.723.1.S1_at	8.34410132
Xl.7230.1.S1_at	5.653652445
Xl.7230.2.S1_a_at	5.179352353
Xl.7230.2.S1_x_at	6.578481868
Xl.7233.1.A1_at	6.731966332
Xl.7234.1.S1_at	8.614249241
Xl.7235.1.A1_at	7.327154555
Xl.7236.1.S1_at	8.599982499
Xl.7236.2.A1_at	9.415993609
Xl.7237.1.S1_at	6.097164307
Xl.724.1.S1_at	5.616690511
Xl.724.1.S2_at	3.878960404
Xl.7240.1.S1_at	11.17912365
Xl.7241.1.A1_at	5.61177611
Xl.7244.1.S1_at	7.269588356
Xl.7245.1.S1_at	4.063008077
Xl.7246.1.S1_at	2.68515501
Xl.7248.1.A1_at	3.584896672
Xl.725.1.S1_at	3.461162118
Xl.725.1.S2_at	3.176023685
Xl.7250.1.A1_at	3.562164933
Xl.7251.1.A1_at	6.530568296
Xl.7252.1.S1_at	2.468383849
Xl.7253.1.S1_at	6.035504166
Xl.7254.1.A1_at	7.541866207
Xl.7257.1.A1_at	6.078296635
Xl.7259.1.S1_at	9.278108566
Xl.726.1.S1_at	5.325321105
Xl.7260.1.S1_at	9.5089311
Xl.7262.1.S1_at	5.151157572
Xl.7265.1.S1_at	3.117861677
Xl.7266.1.S1_at	6.830618766
Xl.7269.1.S1_at	8.419447382
Xl.727.1.S1_s_at	3.139050216
Xl.7272.1.S1_at	4.68731711
Xl.7273.1.S1_at	9.704992639
Xl.7274.1.S1_at	4.180105051
Xl.7276.1.S1_at	6.45121573
Xl.7277.1.S1_at	6.511980842
Xl.7278.1.A1_at	7.774887473
Xl.7279.1.A1_at	6.133392869
Xl.728.1.S1_at	2.732703624
Xl.7281.1.S1_s_at	11.00495526
Xl.7284.1.A1_at	7.337207589
Xl.7285.1.A1_at	7.595809077
Xl.729.1.S1_at	3.676985078
Xl.7291.1.S1_at	8.275834054
Xl.7292.1.A1_at	6.800903167
Xl.7293.1.S1_at	6.692298321
Xl.7294.1.A1_at	7.009463336
Xl.7295.1.S1_at	8.035250811
Xl.7296.1.S1_at	6.113043902
Xl.7298.1.S1_at	6.230784097
Xl.7299.1.S1_at	2.803645277
Xl.73.1.S1_at	2.797544648
Xl.730.1.S1_at	5.343170998
Xl.7300.1.A1_at	8.528855717
Xl.7302.1.S1_at	7.507644516
Xl.7305.1.S1_at	8.319066804
Xl.7306.1.S1_at	7.414145653
Xl.7307.1.S1_at	8.616412102
Xl.7308.1.A1_at	8.083265636
Xl.7309.1.S1_at	7.036799508
Xl.731.1.S1_at	6.612530715
Xl.7310.1.A1_at	5.137446157
Xl.7311.1.A1_at	3.983095517
Xl.7316.1.S1_at	4.947836127
Xl.7319.1.A1_at	8.744732941
Xl.732.1.S1_at	3.925163418
Xl.7321.1.A1_at	3.739663072
Xl.7322.1.A1_at	6.511971057
Xl.7323.1.A1_at	4.024004637
Xl.7324.1.S1_at	7.578365527
Xl.7325.1.S1_at	7.324983376
Xl.7326.1.S1_a_at	7.796367073
Xl.7326.1.S1_x_at	8.616011639
Xl.7326.2.S1_x_at	8.575784802
Xl.7327.1.S1_at	4.869438939
Xl.7328.1.A1_at	8.230503308
Xl.733.1.S1_at	8.437062969
Xl.7334.1.S1_at	5.857667148
Xl.7335.1.A1_at	5.427238352
Xl.7337.1.A1_at	5.536917825
Xl.7338.1.S1_at	7.376799164
Xl.734.1.S1_at	8.361642005
Xl.7340.1.S1_at	7.944435127
Xl.7341.1.S1_at	10.15881471
Xl.7342.1.A1_at	6.358059656
Xl.7344.1.A1_at	5.121970031
Xl.7345.1.S1_at	4.724198534
Xl.7346.1.A1_at	8.714387802
Xl.7347.1.A1_at	4.84576367
Xl.7348.1.S1_at	3.056246048
Xl.735.1.S1_at	4.010095677
Xl.735.1.S2_at	2.885866358
Xl.735.1.S3_at	3.605601332
Xl.7350.1.S1_at	7.346872719
Xl.7350.2.A1_a_at	7.124530624
Xl.7350.2.A1_at	5.468226432
Xl.7352.1.S1_at	8.165958743
Xl.7354.1.A1_at	5.538685049
Xl.7355.1.S1_at	9.099127018
Xl.7357.1.A1_at	7.994377329
Xl.7359.1.A1_at	8.324050576
Xl.736.1.S1_at	7.616681371
Xl.7362.1.S1_at	7.657845844
Xl.7363.1.A1_at	7.614889598
Xl.7364.1.A1_at	6.193046846
Xl.7364.3.S1_at	4.823169004
Xl.7365.1.S1_at	7.259651673
Xl.7365.1.S1_x_at	7.373156328
Xl.7367.1.S1_at	5.491239218
Xl.7368.1.S1_at	4.688375741
Xl.7368.2.S1_a_at	4.374212573
Xl.7369.1.S1_at	6.249797396
Xl.737.1.S1_at	3.194201193
Xl.7370.1.S1_at	7.669416828
Xl.7371.1.A1_at	4.662317504
Xl.7372.1.S1_at	5.845341985
Xl.7373.1.A1_at	4.62714485
Xl.7373.1.A1_x_at	3.952472477
Xl.7373.2.S1_at	3.957813677
Xl.7376.1.S1_at	6.097529481
Xl.7377.1.A1_at	4.382283973
Xl.7377.3.S1_at	2.961334816
Xl.738.1.S1_at	2.936216272
Xl.7382.1.S1_at	2.709289623
Xl.7383.1.S1_at	4.74829801
Xl.7384.1.A1_at	5.173365358
Xl.7387.1.A1_at	3.383787654
Xl.7388.1.A1_at	9.659072831
Xl.7389.1.A1_at	5.004359855
Xl.739.1.S1_at	5.965233375
Xl.7390.1.A1_at	9.168436677
Xl.7393.1.S1_at	5.206189566
Xl.7394.1.A1_at	9.043765279
Xl.7396.1.S1_at	4.07222902
Xl.7399.1.S1_at	4.038315468
Xl.74.1.S1_at	2.630080485
Xl.740.1.S1_at	5.176179981
Xl.7400.1.A1_at	6.506427338
Xl.7402.1.A1_at	7.364326288
Xl.7404.1.A1_at	7.487343197
Xl.7405.1.S1_at	7.795792613
Xl.7406.1.S1_at	5.670265107
Xl.7407.1.S1_at	3.762318844
Xl.7409.1.S1_at	6.766915549
Xl.741.1.S1_at	2.741488339
Xl.7412.1.A1_at	7.577216256
Xl.7413.1.A1_at	5.455831447
Xl.7415.1.A1_at	4.238047316
Xl.7417.1.S1_at	6.578348408
Xl.7418.1.S1_at	3.08308645
Xl.7419.1.A1_at	6.939355296
Xl.742.1.S1_at	2.644289693
Xl.7420.1.S1_at	8.385977921
Xl.7420.2.A1_at	8.726878831
Xl.7422.1.A1_at	2.992942452
Xl.7423.1.A1_at	3.080964398
Xl.7424.1.A1_at	4.565831046
Xl.743.1.S1_at	6.361300819
Xl.7430.1.A1_at	4.766851266
Xl.7432.1.S1_at	5.925113218
Xl.7433.2.A1_a_at	8.512751502
Xl.7434.1.A1_at	5.986027364
Xl.7435.1.S1_at	7.719056129
Xl.7437.1.S1_at	5.660346668
Xl.7438.1.S1_at	9.281934944
Xl.7439.1.A1_at	3.387672316
Xl.7439.2.S1_at	4.031027894
Xl.744.1.S1_at	9.930291376
Xl.744.1.S1_s_at	11.51220586
Xl.7441.1.A1_at	4.981210247
Xl.7445.1.A1_at	5.86758873
Xl.7447.1.A1_at	7.642085559
Xl.7449.1.S1_a_at	4.499789721
Xl.7449.1.S1_at	7.873904793
Xl.7451.1.S1_at	6.729424162
Xl.7452.1.S1_at	6.697166582
Xl.7453.1.S1_at	12.49033157
Xl.7456.1.A1_at	3.26425179
Xl.7459.1.A1_at	6.817560045
Xl.7461.1.A1_at	6.252873431
Xl.7462.1.A1_at	7.341866102
Xl.7463.1.S1_at	7.053542359
Xl.7464.1.A1_at	6.164464873
Xl.7465.1.S1_at	4.535921536
Xl.7466.1.S1_at	3.058793799
Xl.7467.1.A1_at	5.51970824
Xl.7468.1.A1_at	4.403034574
Xl.7469.1.A1_at	8.219873462
Xl.747.1.S1_at	2.656854093
Xl.7470.1.S1_at	5.427540226
Xl.7472.1.S1_at	9.282465257
Xl.7473.1.S1_at	12.10053429
Xl.7474.1.S1_at	3.842849887
Xl.7474.2.A1_at	8.387074431
Xl.7475.1.S1_at	5.220206534
Xl.7478.1.S1_at	9.283892923
Xl.7479.1.A1_at	4.220174969
Xl.748.1.S1_at	3.825810208
Xl.7480.1.S1_at	4.111611643
Xl.7482.1.S1_a_at	8.957404152
Xl.7482.1.S1_at	8.881864119
Xl.7482.1.S1_x_at	9.304080222
Xl.7482.2.A1_at	8.774306388
Xl.7482.2.A1_x_at	9.092417689
Xl.7483.1.S2_at	4.702950073
Xl.7484.1.A1_at	6.174239
Xl.7484.2.S1_at	6.697948332
Xl.7487.1.S1_at	9.001220162
Xl.7488.1.S1_at	6.372573147
Xl.749.1.S1_at	3.507081664
Xl.749.2.S1_a_at	3.653120478
Xl.7492.1.A1_at	5.038459215
Xl.7493.1.A1_at	8.072861049
Xl.7494.1.A1_at	5.215878705
Xl.7495.1.S1_at	5.63420415
Xl.7496.1.S1_at	8.48089888
Xl.7498.1.S1_at	4.442206396
Xl.7499.1.A1_at	5.999776777
Xl.75.1.S1_at	3.037951512
Xl.750.1.S1_at	3.364016831
Xl.7500.1.A1_at	3.92583606
Xl.7502.1.A1_at	4.199996067
Xl.7504.1.S1_at	7.703532658
Xl.7505.1.A1_at	5.555582452
Xl.7509.1.S1_at	10.14719505
Xl.7509.1.S2_at	8.174575746
Xl.7509.2.A1_at	9.253684727
Xl.751.1.S1_at	2.578553096
Xl.751.1.S1_s_at	3.450178123
Xl.7510.1.A1_at	2.972821033
Xl.7512.1.S1_at	9.246582135
Xl.7514.1.S1_at	3.603650874
Xl.7516.1.A1_at	4.241281205
Xl.7517.1.A1_at	6.345671169
Xl.7517.2.A1_at	4.904608613
Xl.7518.1.S1_at	7.23540498
Xl.7519.1.S1_at	5.759656276
Xl.7521.1.A1_at	3.974057524
Xl.7522.1.S1_at	7.951569265
Xl.7523.1.S1_at	5.751372782
Xl.7523.2.A1_at	8.214470544
Xl.7527.1.S1_at	8.247629823
Xl.7528.1.A1_at	8.301714226
Xl.7529.1.A1_at	7.60505492
Xl.753.1.S1_at	2.843014984
Xl.753.1.S2_at	2.844143793
Xl.7530.1.S1_at	9.691023453
Xl.7531.1.S1_at	10.14217699
Xl.7533.1.A1_at	6.725520224
Xl.7535.1.A1_at	5.663034596
Xl.7538.1.A1_at	2.936430239
Xl.7539.1.S1_at	6.050693003
Xl.754.1.S1_at	7.573883278
Xl.7540.1.S1_at	7.488877162
Xl.7541.1.A1_at	7.575527844
Xl.7545.1.S1_at	3.726025956
Xl.755.1.S1_at	11.32077464
Xl.7550.1.A1_at	4.037046941
Xl.7551.1.S1_x_at	11.49617673
Xl.7551.2.S1_a_at	11.62646438
Xl.7551.2.S1_x_at	11.68524482
Xl.7553.1.S1_at	7.163569116
Xl.7553.2.A1_at	6.115141062
Xl.7556.1.S1_at	5.69020702
Xl.7557.1.A1_at	6.391483453
Xl.7558.1.S1_at	3.501438577
Xl.7559.1.S1_at	6.006985566
Xl.756.1.S1_at	3.715537264
Xl.7563.1.S1_at	5.632391442
Xl.7564.1.S1_at	6.102602456
Xl.7566.1.A1_at	5.972627679
Xl.7568.1.S1_at	8.184654433
Xl.7569.1.A1_at	5.450290802
Xl.757.1.S1_at	4.003173761
Xl.7570.1.S1_at	7.516829964
Xl.7571.1.A1_at	8.5317602
Xl.7574.1.A1_at	6.076381075
Xl.7575.1.A1_at	8.835795969
Xl.7576.1.A1_at	7.186090335
Xl.7577.1.S1_at	3.470768919
Xl.7578.1.A1_at	6.335986339
Xl.7579.1.S1_at	4.639954195
Xl.7580.1.A1_at	3.527622598
Xl.7581.1.A1_at	4.483937688
Xl.7582.1.S1_at	7.463360213
Xl.7583.1.S1_x_at	7.836017181
Xl.7585.1.S1_at	6.53672451
Xl.7586.1.S1_at	7.303738965
Xl.7587.1.S1_at	8.292664171
Xl.7587.2.S1_at	7.709764395
Xl.759.1.S1_at	4.288475537
Xl.7590.1.S1_a_at	4.841680567
Xl.7590.2.A1_at	6.20561426
Xl.7590.2.A1_x_at	6.565916317
Xl.7591.1.S1_at	9.840451591
Xl.7592.1.A1_at	4.145158166
Xl.7594.1.S1_at	5.860617687
Xl.7595.1.A1_at	7.130030059
Xl.7596.1.S1_at	6.403081163
Xl.76.1.S1_at	3.136178679
Xl.760.1.S1_at	4.549841541
Xl.7601.1.A1_at	4.47657265
Xl.7602.1.S2_at	6.540183307
Xl.7604.1.S1_at	6.482895882
Xl.7606.1.S1_at	5.275989181
Xl.7608.1.S1_at	5.566196461
Xl.7609.1.S1_at	7.981073333
Xl.761.1.S1_at	11.40129834
Xl.7610.1.A1_at	7.290931496
Xl.7611.1.S1_a_at	4.305417949
Xl.7613.1.S1_at	3.530639881
Xl.7614.1.S1_at	8.173809546
Xl.7615.1.A1_at	5.052306706
Xl.7616.1.S1_at	6.827579057
Xl.7617.1.S1_at	9.236688661
Xl.7618.2.A1_a_at	4.931444442
Xl.7619.1.S1_a_at	5.523392209
Xl.7619.1.S1_at	4.967970022
Xl.7619.2.A1_at	3.433177635
Xl.762.1.S1_at	5.404947065
Xl.7620.1.S1_at	7.899978154
Xl.7623.1.S1_at	8.52123311
Xl.7625.1.S1_at	9.656414496
Xl.7626.1.S1_at	5.67014359
Xl.7627.1.S1_at	6.800521592
Xl.7631.1.A1_at	8.126219445
Xl.7631.1.A2_at	7.466485811
Xl.7632.1.A1_a_at	8.043152128
Xl.7634.1.S1_at	7.341966733
Xl.7635.1.A1_at	6.040257883
Xl.7636.1.A1_at	2.96338755
Xl.7638.1.S1_at	5.727434028
Xl.764.1.S1_at	2.35979134
Xl.764.1.S1_s_at	2.682938742
Xl.7640.1.S1_at	8.273925897
Xl.7641.1.S1_at	5.531146408
Xl.7642.1.A1_at	4.215025766
Xl.7643.1.S1_at	6.703480921
Xl.7644.1.S1_at	9.421506656
Xl.7645.1.S1_x_at	8.359541118
Xl.7645.2.S1_a_at	9.100298579
Xl.7645.2.S1_x_at	9.888868331
Xl.7647.1.A1_at	8.404167355
Xl.765.1.A1_at	3.648365155
Xl.765.1.S1_at	3.353695583
Xl.7652.1.S1_at	5.734555106
Xl.7654.1.S1_at	8.452523257
Xl.7654.1.S1_x_at	8.839075191
Xl.7655.1.S1_at	7.245879509
Xl.7656.1.A1_at	7.731247648
Xl.7657.1.S1_at	6.568551315
Xl.7658.1.A1_at	6.646847715
Xl.7659.1.A1_at	3.628682024
Xl.7660.1.S1_at	8.054019705
Xl.7661.1.S1_at	9.24597501
Xl.7663.1.A1_at	7.876035568
Xl.7664.1.A1_at	4.824826456
Xl.7665.1.S1_at	6.525576461
Xl.767.1.S1_at	2.880962555
Xl.7670.1.S1_a_at	6.394246522
Xl.7670.1.S1_at	6.569715114
Xl.7670.2.S1_at	7.406625191
Xl.7671.1.A1_at	3.089940248
Xl.7672.1.S1_at	3.255641353
Xl.7673.1.A1_at	3.163909485
Xl.7674.1.S1_at	4.2120407
Xl.7675.1.A1_at	6.937588812
Xl.7677.1.S1_at	7.29117302
Xl.7678.1.A1_at	9.544825128
Xl.7679.1.S1_at	9.561587178
Xl.7679.1.S2_at	7.498400334
Xl.768.1.S1_at	2.69769752
Xl.7680.1.A1_at	9.389776686
Xl.7682.2.A1_at	3.020895854
Xl.7683.1.S1_at	4.26638518
Xl.7684.1.S1_at	9.488981115
Xl.7684.2.A1_at	9.131795699
Xl.7685.1.A1_at	7.308122647
Xl.7688.1.S1_at	7.860422901
Xl.7689.1.A1_at	5.592771575
Xl.769.1.S1_at	3.463776851
Xl.7691.1.S1_at	6.215869064
Xl.7692.1.S1_at	7.72386045
Xl.7695.1.A1_at	3.79569955
Xl.7695.1.S1_at	8.26008358
Xl.7696.1.A1_at	7.711156032
Xl.7697.1.S1_at	3.134906018
Xl.7698.1.S1_at	6.836437576
Xl.77.1.S1_at	3.413583319
Xl.770.1.S1_at	3.038757946
Xl.7704.1.S1_at	10.0549864
Xl.7705.1.S1_at	8.481423165
Xl.7706.1.S1_at	5.997596974
Xl.7708.1.S1_at	6.926994861
Xl.7709.1.A1_at	8.183004607
Xl.771.1.S1_at	3.200475197
Xl.7710.1.S1_at	5.905650428
Xl.7710.2.S1_a_at	5.794518718
Xl.7710.2.S1_at	5.328458735
Xl.7711.1.S1_at	4.783853107
Xl.7713.1.A1_at	3.162661345
Xl.7715.1.S1_at	7.649476712
Xl.7717.1.A1_at	6.333686068
Xl.7718.1.A1_at	8.609659518
Xl.772.1.S1_at	4.778310525
Xl.7720.1.A1_at	2.930701991
Xl.7721.1.A1_at	8.156314293
Xl.7723.1.S1_a_at	8.880232144
Xl.7723.1.S1_at	8.323192349
Xl.7723.2.A1_at	8.829901449
Xl.7724.1.A1_at	3.993615514
Xl.7726.1.A1_at	6.293243402
Xl.7727.1.A1_at	4.744691902
Xl.773.1.S1_at	3.168656059
Xl.7731.1.S1_at	5.719967652
Xl.7733.1.S1_at	5.909573725
Xl.7734.1.A1_at	3.07344505
Xl.7735.1.A1_at	3.729633822
Xl.7737.1.S1_at	9.554358704
Xl.7740.1.A1_at	7.692384276
Xl.7741.1.A1_at	5.077076534
Xl.7743.1.S1_at	5.735198506
Xl.7743.2.S1_a_at	6.647889162
Xl.7745.1.S1_at	8.785215137
Xl.7745.2.A1_at	9.373540057
Xl.7747.1.A1_a_at	4.938170563
Xl.7747.1.A1_at	4.842768789
Xl.7747.2.A1_at	2.668047838
Xl.7747.2.A1_x_at	3.028176715
Xl.7747.3.A1_at	2.678117427
Xl.7748.1.S1_at	7.933057725
Xl.7749.1.A1_at	4.663199142
Xl.775.1.S1_at	6.356027237
Xl.7750.1.S1_a_at	3.791496831
Xl.7750.1.S1_x_at	3.811525342
Xl.7750.1.S2_at	4.736392139
Xl.7750.2.S1_a_at	5.318504222
Xl.7750.2.S1_s_at	4.435549381
Xl.7751.1.S1_at	3.033578751
Xl.7753.1.A1_at	7.578419429
Xl.7756.1.S1_at	6.422076307
Xl.7759.1.S1_a_at	9.506270529
Xl.7760.1.A1_at	4.64724399
Xl.7762.1.A1_at	2.861904301
Xl.7766.1.A1_at	7.171689837
Xl.777.1.S1_at	3.808092038
Xl.7771.1.S1_at	9.389995377
Xl.7773.1.S1_at	7.796860761
Xl.7774.1.A1_at	3.252803476
Xl.7776.1.S1_at	8.788004278
Xl.7778.1.A1_at	7.262244622
Xl.778.1.S1_at	3.906893905
Xl.7780.1.S2_at	2.633747681
Xl.7780.3.S1_a_at	7.25757084
Xl.7781.1.A1_at	7.972911766
Xl.7782.1.S1_at	4.708795277
Xl.7783.1.A1_at	3.270044326
Xl.7784.1.A1_at	7.351373856
Xl.7785.1.A1_at	3.875953177
Xl.7787.1.S1_at	8.798886034
Xl.7789.1.A1_at	6.180290649
Xl.779.1.S1_at	3.830222598
Xl.7792.1.S1_at	5.634487376
Xl.7793.1.S1_at	7.959777907
Xl.7794.1.A1_at	4.991023897
Xl.7796.1.A1_at	6.55797664
Xl.7797.1.A1_at	6.175610086
Xl.78.1.S1_at	5.592589474
Xl.780.1.S1_at	6.302125676
Xl.7800.1.A1_at	6.530018091
Xl.7802.1.A1_at	8.530517531
Xl.7803.1.A1_at	6.886126239
Xl.7804.1.A1_at	6.327322856
Xl.7809.1.A1_at	4.077659382
Xl.781.1.S1_at	9.031053934
Xl.7810.1.A1_at	7.761653787
Xl.7811.1.S1_at	7.753288539
Xl.7813.1.S1_at	11.42726233
Xl.7814.1.S1_a_at	10.55662809
Xl.7814.3.S1_a_at	10.99883879
Xl.7814.4.S1_at	7.751865032
Xl.7814.5.A1_at	8.994971755
Xl.7815.1.A1_at	5.34406256
Xl.7817.1.S1_at	4.148880723
Xl.7817.1.S2_at	3.810296395
Xl.7819.1.S1_at	10.07671072
Xl.782.1.S1_at	4.079407397
Xl.7820.1.S1_a_at	11.64049181
Xl.7820.1.S1_x_at	11.76847097
Xl.7820.1.S2_at	6.747797256
Xl.7820.2.A1_a_at	11.53584033
Xl.7820.2.A1_x_at	11.09245195
Xl.7820.3.A1_x_at	11.45197747
Xl.7821.1.S1_at	8.95708664
Xl.7821.2.A1_at	8.444125397
Xl.7822.1.A1_at	7.657762059
Xl.7823.1.S1_at	7.581573349
Xl.7824.1.A1_at	4.750629103
Xl.7825.1.S1_at	5.612466926
Xl.7828.1.A1_at	10.17551324
Xl.7829.1.A1_at	6.260554257
Xl.783.1.S1_at	3.43859477
Xl.7830.1.A1_at	6.82805217
Xl.7833.1.S1_at	6.349226508
Xl.7834.1.A1_at	6.252602685
Xl.7837.1.A1_at	6.699346278
Xl.7837.3.A1_a_at	6.438735798
Xl.7839.1.S1_at	8.579056504
Xl.7841.1.A1_at	8.839857081
Xl.7842.1.S1_at	4.486091547
Xl.7843.1.S1_at	7.661934315
Xl.7847.1.S1_s_at	7.94731117
Xl.7847.1.S1_x_at	7.249783009
Xl.7848.1.A1_at	7.119420682
Xl.7849.1.S1_at	8.289791419
Xl.785.1.S1_at	2.7134442
Xl.7852.1.S1_at	8.836389037
Xl.7856.1.S1_a_at	8.592645014
Xl.7857.1.A1_at	4.165753513
Xl.786.1.S1_at	6.396147082
Xl.7860.1.A1_at	8.420115998
Xl.7861.1.A1_at	2.977978767
Xl.7862.1.A1_at	5.51508527
Xl.7863.1.S1_at	2.891446024
Xl.7864.1.A1_at	2.782234562
Xl.7867.1.S1_at	3.431655135
Xl.7868.1.S1_at	5.683006127
Xl.787.1.S1_at	5.993474375
Xl.7870.1.S1_at	3.268742981
Xl.7871.1.A1_at	8.434507096
Xl.7873.1.S1_at	9.427934489
Xl.7873.1.S1_x_at	9.213670807
Xl.7874.1.A1_at	3.870181959
Xl.7875.1.S1_a_at	12.30607739
Xl.7877.1.A1_at	3.242267573
Xl.7878.1.A1_at	2.544236687
Xl.788.1.S1_at	3.428992964
Xl.7880.1.A1_at	3.292754816
Xl.7882.1.A1_at	5.052110051
Xl.7888.1.A1_at	6.369426264
Xl.7889.1.A1_at	4.79048038
Xl.789.1.S1_at	3.610334542
Xl.7890.1.A1_at	6.069292634
Xl.7892.1.A1_at	8.451937742
Xl.7893.1.S1_at	7.492875157
Xl.7894.1.A1_at	6.077426008
Xl.7895.1.A1_at	4.572242422
Xl.7896.1.A1_at	5.418768317
Xl.7897.1.A1_at	4.741234416
Xl.7899.1.S1_a_at	6.947181511
Xl.7899.1.S1_at	3.68654892
Xl.79.1.S1_at	4.397324895
Xl.790.1.S1_at	7.156492566
Xl.790.1.S1_s_at	8.570372703
Xl.7900.1.A1_at	7.945766667
Xl.7903.1.S1_at	7.318342132
Xl.7904.1.S1_at	6.43785205
Xl.7905.1.S1_at	6.765190778
Xl.7908.1.A1_at	8.764621956
Xl.791.1.S1_at	3.081144016
Xl.7910.1.A1_at	6.480015791
Xl.7912.1.A1_at	5.49002332
Xl.7913.1.S1_at	6.930217064
Xl.7914.1.S1_a_at	6.906673016
Xl.7914.1.S1_x_at	6.993463681
Xl.7914.2.A1_at	5.861348282
Xl.7915.1.A1_at	4.509641587
Xl.7916.1.S1_at	4.55729633
Xl.7916.1.S1_s_at	4.17974576
Xl.7919.1.S1_at	6.138282726
Xl.792.1.S1_at	5.228790345
Xl.7920.1.S1_at	6.390877567
Xl.7922.1.A1_at	3.626503211
Xl.7925.1.S1_at	6.817739509
Xl.7927.1.A1_at	3.245549556
Xl.7928.1.S1_at	6.356358886
Xl.793.1.A1_at	3.916598883
Xl.7930.1.A1_at	3.705130515
Xl.7932.1.A1_at	5.892402442
Xl.7933.1.S1_at	11.10695187
Xl.7935.1.S1_at	9.45140073
Xl.7935.1.S2_a_at	9.526836939
Xl.7938.1.S1_at	2.718633125
Xl.794.1.A1_at	5.057977661
Xl.7940.1.A1_at	5.708877252
Xl.7942.1.A1_at	5.538180928
Xl.7943.1.S1_at	7.771977735
Xl.7944.1.A1_at	2.899714463
Xl.7945.1.A1_at	3.514711257
Xl.7945.2.A1_at	5.276510525
Xl.7946.1.A1_at	6.204985442
Xl.7947.1.A1_at	8.202001533
Xl.7948.1.A1_at	4.9944059
Xl.7948.2.A1_at	3.13385896
Xl.7948.3.S1_at	2.779423442
Xl.7949.1.S1_at	9.337718945
Xl.7949.2.A1_at	10.07094493
Xl.7952.1.S1_at	8.181555342
Xl.7956.1.A1_at	5.709758769
Xl.7957.1.S1_at	2.602535374
Xl.7959.1.A1_at	5.311593243
Xl.7960.1.S1_at	9.789416404
Xl.7961.1.A1_at	3.395603155
Xl.7962.1.A1_at	6.07503709
Xl.7965.1.S1_at	7.502259113
Xl.7966.1.A1_at	2.956068707
Xl.7967.1.A1_at	4.204968913
Xl.7968.1.A1_at	5.848861194
Xl.7969.1.S1_at	7.419498859
Xl.797.1.S1_at	4.988244937
Xl.7971.1.A1_at	8.195902557
Xl.7972.1.S1_at	8.207071092
Xl.7973.1.A1_at	3.69888679
Xl.7974.1.S1_at	8.985284699
Xl.7976.1.S1_at	3.053187049
Xl.7977.1.S1_at	11.32440855
Xl.7979.1.A1_at	3.305031308
Xl.798.1.S1_at	5.530619147
Xl.7980.1.A1_at	9.476528267
Xl.7981.1.S1_at	10.09113107
Xl.7983.1.S1_at	9.040570802
Xl.7988.1.S1_at	6.470889392
Xl.799.1.S1_at	4.066547683
Xl.7993.1.A1_at	8.030384727
Xl.7994.1.A1_at	3.35160925
Xl.800.1.S1_at	6.560461574
Xl.800.1.S2_at	2.811984263
Xl.8004.1.S1_at	4.949677019
Xl.8006.1.A1_at	9.362573762
Xl.8007.1.A1_at	6.615318545
Xl.8009.1.S1_at	7.94420896
Xl.801.1.A1_at	3.839801368
Xl.801.1.S1_at	6.765248481
Xl.801.1.S1_s_at	7.289558357
Xl.8010.1.A1_at	5.0568905
Xl.8012.1.A1_at	2.515059896
Xl.8013.1.S1_at	8.085169503
Xl.8014.1.A1_at	7.11073819
Xl.8017.1.S1_at	6.622571214
Xl.8018.1.A1_at	7.728003636
Xl.802.1.S1_at	3.279403918
Xl.8023.1.S1_at	5.557706528
Xl.8024.1.S1_at	7.774103353
Xl.8025.1.S1_at	5.767278901
Xl.8026.1.A1_at	4.82817746
Xl.8028.1.S1_at	9.285742722
Xl.8029.1.S1_at	5.784938281
Xl.803.1.S1_at	2.602355193
Xl.8031.1.S1_at	4.611821815
Xl.8034.1.S1_at	11.78966182
Xl.8036.1.S1_at	5.516738598
Xl.8037.1.S1_at	7.125889179
Xl.8038.1.S1_at	10.57185609
Xl.8041.1.S1_at	7.035083942
Xl.8043.1.A1_at	7.594977856
Xl.8044.1.S1_at	9.388836477
Xl.8045.1.S1_at	2.842392598
Xl.8046.1.S1_at	7.168450886
Xl.8047.1.S1_at	5.586409116
Xl.8048.1.A1_at	2.415908528
Xl.8049.1.S1_a_at	7.064405217
Xl.8049.1.S1_at	2.996050321
Xl.8049.2.S1_at	7.530323518
Xl.8052.1.S1_at	11.18680597
Xl.8053.1.A1_at	7.196516703
Xl.8054.1.A1_at	3.912824435
Xl.8056.1.S1_at	10.02761478
Xl.8057.1.A1_at	4.060291635
Xl.8060.1.S1_at	9.378738577
Xl.8063.1.S1_at	5.699250546
Xl.8065.1.A1_at	2.700322861
Xl.8066.1.A1_at	3.272598005
Xl.8067.1.A1_at	7.891600555
Xl.807.1.S1_at	2.525359588
Xl.8071.1.A1_at	8.994222741
Xl.8072.1.A1_at	8.824587671
Xl.8074.1.A1_at	9.083658268
Xl.8075.1.S1_at	8.182812692
Xl.8076.1.A1_at	6.718617974
Xl.8078.1.A1_at	5.355645276
Xl.8079.1.S1_at	5.597357949
Xl.8081.1.S1_at	8.652258271
Xl.8082.1.S1_at	6.953680779
Xl.8083.1.A1_at	3.621747285
Xl.8084.1.A1_at	7.306904518
Xl.8086.1.A1_at	8.723912491
Xl.8087.1.A1_at	5.882213244
Xl.8089.1.A1_at	3.037392818
Xl.8091.1.S1_at	8.982192128
Xl.8091.2.A1_at	7.894011649
Xl.8093.1.S1_at	11.16666062
Xl.8094.1.S1_at	8.591533203
Xl.8095.1.S1_at	11.14379818
Xl.8096.1.A1_at	5.676658788
Xl.8097.1.S1_at	7.211687861
Xl.8098.1.A1_at	6.426555513
Xl.8101.1.S1_at	5.815823555
Xl.8103.1.A1_at	9.386943073
Xl.8104.1.A1_at	7.335894428
Xl.8107.1.S1_at	9.95021404
Xl.8108.1.A1_at	5.837883501
Xl.8111.1.S1_at	7.896925091
Xl.8113.1.S1_at	8.620563911
Xl.8114.1.A1_at	3.478085678
Xl.8117.1.S1_at	7.376833781
Xl.8118.1.A1_at	5.209559733
Xl.8119.1.S1_at	9.218528497
Xl.8121.1.A1_at	8.176340357
Xl.8124.1.S1_at	9.112878109
Xl.8125.1.A1_at	3.491292447
Xl.8126.1.A1_at	3.721373232
Xl.8127.1.S1_at	9.824663268
Xl.8128.1.S1_at	8.113454992
Xl.813.1.A1_at	3.038853204
Xl.8131.1.S1_a_at	10.50378187
Xl.8134.1.S1_at	7.331290226
Xl.8137.1.A1_at	7.538030878
Xl.8138.1.S1_at	11.84265237
Xl.8139.1.S1_at	9.232349581
Xl.8139.2.A1_at	8.171849181
Xl.814.1.S1_at	2.619825587
Xl.8141.1.S1_at	2.995265858
Xl.8143.1.A1_at	7.972791658
Xl.8143.3.S1_a_at	9.711979627
Xl.8144.1.A1_at	7.579044759
Xl.8146.1.S1_at	7.335751791
Xl.815.1.S1_at	3.714061183
Xl.8150.1.S1_at	8.54987994
Xl.8151.1.S1_at	13.01547626
Xl.8151.1.S2_at	8.880696651
Xl.8153.1.S1_at	8.613407736
Xl.8155.1.A1_at	4.165136082
Xl.8156.1.S1_at	11.81527948
Xl.8158.1.S1_s_at	11.66611467
Xl.8160.1.S1_at	3.74685453
Xl.8162.1.S1_at	7.95316677
Xl.8164.1.A1_at	8.718247861
Xl.8165.1.S1_at	2.93635033
Xl.8166.1.S1_at	8.138065842
Xl.8168.1.S1_at	4.408448355
Xl.817.1.S1_at	3.181467659
Xl.8170.1.S1_at	6.08865506
Xl.8173.1.S1_at	6.468893432
Xl.8174.1.A1_at	7.954111085
Xl.8175.1.S1_at	7.621503656
Xl.8176.1.S1_at	2.858563994
Xl.8177.1.S1_at	11.54397525
Xl.8177.1.S1_s_at	9.883866584
Xl.8177.1.S2_at	8.283785142
Xl.8179.1.A1_at	6.042423999
Xl.818.1.S1_at	4.738169133
Xl.8181.1.S1_at	8.011129872
Xl.8181.1.S2_at	7.621367506
Xl.8183.1.S1_at	9.451087306
Xl.8186.1.S2_at	9.043015506
Xl.8187.1.A1_at	5.326575668
Xl.8188.1.A1_at	5.90231178
Xl.819.1.S1_at	3.321121004
Xl.8190.1.S1_at	3.579557033
Xl.8191.1.A1_at	3.116702635
Xl.8191.1.A1_x_at	3.798428852
Xl.8191.2.A1_a_at	5.535174806
Xl.8191.2.A1_at	4.635211945
Xl.8192.1.A1_at	5.460035882
Xl.8193.1.A1_at	3.779600991
Xl.8196.1.A1_at	4.45457295
Xl.8197.1.S1_at	9.184092018
Xl.8198.1.A1_at	8.436266412
Xl.8199.1.S1_at	6.532821898
Xl.820.1.S1_at	2.955370165
Xl.8200.1.S1_at	7.07268047
Xl.8203.1.S1_at	8.405605095
Xl.8204.1.A1_at	6.678978634
Xl.8207.1.A1_at	5.300908131
Xl.8208.1.S1_at	7.938240679
Xl.821.1.S1_at	2.941481507
Xl.8210.1.A1_at	7.340596261
Xl.8212.1.A1_at	6.624541263
Xl.8213.1.S1_at	6.774579337
Xl.8214.1.A1_at	6.580992898
Xl.8217.1.S1_at	8.147934734
Xl.8219.1.S1_at	3.316702275
Xl.8219.2.S1_at	8.221236634
Xl.822.1.S1_at	2.991685599
Xl.8222.1.S1_at	3.167895868
Xl.8222.2.S1_at	8.508532508
Xl.8222.3.S1_at	9.470069793
Xl.8223.1.A1_at	6.008602126
Xl.8225.1.A1_at	11.36961666
Xl.8226.1.A1_at	5.082584566
Xl.8228.1.A1_at	2.893718019
Xl.8229.1.S1_at	9.822522251
Xl.823.1.S1_at	3.596169676
Xl.8230.1.S1_at	9.874685737
Xl.8231.1.A1_at	3.530739509
Xl.8232.1.S1_at	8.602665921
Xl.8232.2.S1_at	10.27888064
Xl.8232.3.A1_at	7.972658673
Xl.8233.1.S1_at	7.791470942
Xl.8235.1.A1_a_at	9.741707034
Xl.8235.2.A1_x_at	7.672738285
Xl.8238.1.A1_at	6.344940378
Xl.8239.1.S1_at	6.068237658
Xl.824.1.S1_at	2.850799432
Xl.8240.1.A1_at	3.375364935
Xl.8243.1.S1_at	8.373566995
Xl.8244.1.A1_at	3.816834734
Xl.8245.1.S1_at	7.781249499
Xl.8246.1.A1_at	2.74119694
Xl.8248.1.A1_at	4.546994705
Xl.8249.1.S1_at	9.270767543
Xl.825.1.S1_at	3.746252992
Xl.8250.1.S1_at	9.473808052
Xl.8251.1.A1_at	6.86506713
Xl.8253.1.A1_at	4.759975371
Xl.8255.1.A1_at	6.698327487
Xl.8256.1.A1_at	8.457661597
Xl.8257.1.S1_at	11.87376366
Xl.8258.1.A1_at	7.851183965
Xl.8258.2.A1_at	4.006187822
Xl.826.1.S1_x_at	6.26965303
Xl.826.2.S1_x_at	9.695017982
Xl.826.3.S1_x_at	7.696338749
Xl.8260.1.S1_a_at	6.477398561
Xl.8260.3.A1_at	6.195508925
Xl.8261.1.S1_at	4.076973864
Xl.8263.1.S1_at	5.991162252
Xl.8263.1.S2_at	5.960455525
Xl.8264.1.S1_at	7.015619525
Xl.8264.2.A1_at	4.844638016
Xl.8265.1.S1_at	2.780292389
Xl.8266.1.S1_at	10.69700863
Xl.8267.1.A1_at	6.261213033
Xl.8268.1.A1_at	6.691468458
Xl.8269.1.A1_at	7.303374436
Xl.827.1.S1_at	4.524824481
Xl.8270.1.A1_at	7.807696463
Xl.8270.2.S1_at	8.369838039
Xl.8271.1.S1_at	8.84344863
Xl.8272.1.S1_at	4.863586519
Xl.8272.2.S1_a_at	6.419248398
Xl.8272.2.S1_at	6.409290886
Xl.8272.2.S1_x_at	6.963150277
Xl.8273.1.A1_at	4.464114024
Xl.8275.1.S1_at	3.54956369
Xl.8276.1.A1_at	7.406181652
Xl.8277.1.A1_at	3.918245865
Xl.8277.2.S1_at	3.346317509
Xl.8278.1.S1_at	5.106776272
Xl.8278.1.S1_x_at	6.166980902
Xl.8278.2.A1_x_at	7.274973662
Xl.828.1.S1_at	2.45626578
Xl.8282.1.S1_at	5.143064461
Xl.8283.1.A1_s_at	6.747292488
Xl.8284.1.A1_at	5.659775967
Xl.8285.1.S1_a_at	9.177058515
Xl.8285.1.S1_at	7.142577386
Xl.8285.2.S1_at	8.84411142
Xl.8287.1.A1_at	7.653964124
Xl.8288.1.A1_at	8.094021683
Xl.829.1.S2_at	8.01868222
Xl.8290.1.S1_at	6.99086894
Xl.8292.1.S1_at	5.893136222
Xl.8293.1.A1_at	8.949375652
Xl.8295.1.A1_at	8.52027242
Xl.8297.1.S1_at	3.493584877
Xl.8299.1.A1_at	4.960947837
Xl.83.1.S2_at	5.897027133
Xl.830.1.S1_at	2.751743962
Xl.8301.1.S1_at	5.241359001
Xl.8302.1.A1_at	6.060068707
Xl.8303.1.A1_at	6.432308669
Xl.8304.1.S1_at	6.250031792
Xl.8306.1.S1_at	7.811954977
Xl.8309.1.A1_at	2.4668331
Xl.831.1.S1_at	2.507101072
Xl.831.1.S1_s_at	2.908560679
Xl.8310.1.S1_at	6.994223828
Xl.8311.1.S1_at	8.067596007
Xl.8312.1.S1_at	7.01650786
Xl.8313.1.S1_at	7.524564268
Xl.8314.1.A1_at	9.13022381
Xl.8315.1.A1_at	5.618290342
Xl.8316.1.S1_at	8.166461328
Xl.8317.1.A1_at	6.467953267
Xl.8318.1.S1_at	9.127419345
Xl.8318.2.S1_a_at	8.378744208
Xl.8318.2.S1_x_at	7.059346891
Xl.8319.1.S1_at	7.843597393
Xl.832.1.S1_at	2.661600062
Xl.8320.1.A1_at	3.265499199
Xl.8323.1.A1_at	6.592367736
Xl.8324.1.S1_at	7.696031106
Xl.8325.1.A1_at	6.205621301
Xl.8327.1.S1_at	8.912780595
Xl.833.1.S1_at	3.826451423
Xl.8331.1.A1_at	7.678373315
Xl.8332.1.A1_at	3.091290723
Xl.8332.1.A1_x_at	3.068671685
Xl.8333.1.A1_at	8.313130741
Xl.8334.1.S1_at	11.91928222
Xl.8335.1.S1_at	8.333900395
Xl.8337.1.S1_at	11.09481088
Xl.834.1.S1_at	6.553394547
Xl.8340.1.S1_at	4.467586403
Xl.8340.2.A1_a_at	7.245233606
Xl.8341.1.A1_at	8.206490398
Xl.8341.2.S1_at	7.171895064
Xl.8343.1.S1_at	7.606624635
Xl.8344.1.S1_at	8.610020947
Xl.8346.1.S1_at	6.376318637
Xl.8347.1.S1_at	4.705695507
Xl.8348.1.A1_at	3.822516331
Xl.8349.1.S1_at	8.41196183
Xl.835.1.S1_at	3.390767676
Xl.8351.1.A1_s_at	4.714802045
Xl.8351.1.A1_x_at	3.808158061
Xl.8352.1.S1_at	4.952364284
Xl.8353.1.A1_at	8.032624867
Xl.8354.1.S1_at	9.921703856
Xl.8355.1.S1_at	3.903615288
Xl.8356.1.A1_at	7.713534022
Xl.8358.1.A1_at	9.407037328
Xl.836.1.S1_at	9.193601679
Xl.8360.1.A1_at	7.085977304
Xl.8361.1.A1_at	7.514335652
Xl.8362.1.S1_at	6.940725243
Xl.8363.1.S1_at	6.969444029
Xl.8364.1.S1_a_at	8.578945044
Xl.8364.1.S2_at	9.427777905
Xl.8364.3.A1_at	8.67848311
Xl.8366.1.S1_at	8.316957498
Xl.8367.1.S1_at	6.421554138
Xl.8369.1.S1_at	11.28892896
Xl.837.1.S1_at	3.412610725
Xl.8370.1.S1_a_at	9.362162024
Xl.8370.1.S1_at	8.873012099
Xl.8370.2.A1_at	8.790572973
Xl.8373.1.A1_at	2.826262436
Xl.8376.1.A1_at	6.625230695
Xl.8378.1.A1_at	3.018430341
Xl.8379.1.S1_at	7.50226532
Xl.838.1.S1_at	7.381022416
Xl.8380.1.A1_at	5.729602877
Xl.8381.1.S1_at	11.5763879
Xl.8382.1.A1_at	7.667998861
Xl.8383.1.S1_at	11.69346275
Xl.8384.1.A1_at	3.877334276
Xl.8386.2.A1_a_at	7.437087887
Xl.8387.1.S1_at	7.055428346
Xl.8388.1.S1_a_at	6.883447498
Xl.8388.1.S1_at	5.516362342
Xl.8388.2.S1_at	8.011208131
Xl.8391.1.A1_at	2.745071612
Xl.8397.1.A1_at	5.754120462
Xl.84.1.S1_at	4.896367203
Xl.840.1.S1_at	8.680901262
Xl.840.1.S1_s_at	11.19433088
Xl.841.1.S1_a_at	4.472088863
Xl.841.3.S1_a_at	4.005811583
Xl.8414.1.S1_at	7.281581809
Xl.8421.1.S1_at	7.101682524
Xl.8422.1.S1_at	2.870856639
Xl.843.1.S1_at	2.363033445
Xl.843.1.S1_x_at	2.492223169
Xl.8434.1.A1_at	6.038077469
Xl.8436.1.S1_at	3.925439872
Xl.8437.1.A1_at	4.085092037
Xl.8438.1.A1_at	6.70415283
Xl.844.1.S1_at	2.512633001
Xl.8440.1.S1_at	6.809316565
Xl.8443.1.S1_at	7.346797323
Xl.8448.1.S1_a_at	8.420281638
Xl.8448.1.S1_at	7.094819092
Xl.845.1.S1_at	4.035982286
Xl.8456.1.A1_at	3.219321215
Xl.8458.1.S1_at	4.420505386
Xl.846.1.S1_at	6.150203279
Xl.8464.1.A1_at	8.335366485
Xl.8467.1.S1_at	3.078579768
Xl.847.1.S1_at	4.179763526
Xl.847.1.S1_s_at	6.136729448
Xl.8471.1.S1_at	8.741297183
Xl.8473.1.S1_at	6.29521404
Xl.8474.1.S1_at	8.162731494
Xl.8476.1.A1_at	2.964209466
Xl.848.1.S1_at	11.06843089
Xl.848.1.S1_s_at	11.53506197
Xl.8480.1.S1_at	5.06211971
Xl.8482.1.S1_at	3.215319527
Xl.8485.1.S1_at	9.609354864
Xl.8485.1.S2_at	6.150657086
Xl.8488.1.A1_at	3.453379805
Xl.8490.1.A1_at	7.311983041
Xl.85.1.S1_a_at	7.717251035
Xl.850.1.S1_at	8.058001339
Xl.8505.1.A1_at	2.798669076
Xl.8507.1.A1_at	2.820070071
Xl.851.1.S1_at	9.826550917
Xl.8515.2.S1_a_at	3.149760361
Xl.8516.1.A1_at	3.333155827
Xl.852.1.S1_at	8.120089269
Xl.8522.1.S1_at	2.634873432
Xl.8524.1.S1_at	4.081899573
Xl.8526.1.S1_at	6.560912582
Xl.8529.1.S1_at	9.497958867
Xl.853.1.S1_at	9.299378678
Xl.853.1.S1_s_at	10.26996706
Xl.8532.1.A1_at	7.730541099
Xl.854.1.S1_at	10.38684692
Xl.8543.1.A1_at	6.339527845
Xl.855.1.S1_at	11.66493931
Xl.8559.1.A1_at	3.246640806
Xl.856.1.A1_at	5.182478654
Xl.8560.1.A1_at	4.982382897
Xl.8563.1.S1_at	7.503317065
Xl.8564.1.S1_at	4.303165818
Xl.8565.1.A1_a_at	7.255962658
Xl.8565.1.A1_x_at	7.081767109
Xl.8572.1.A1_at	5.47031144
Xl.8573.1.S1_at	6.606555712
Xl.8573.2.S1_a_at	7.615699743
Xl.8573.2.S1_at	5.8143886
Xl.8573.2.S1_x_at	7.227375736
Xl.8574.1.S1_at	4.797688936
Xl.858.1.S1_at	5.046683612
Xl.858.1.S1_s_at	6.62030004
Xl.8583.1.S1_at	4.574763969
Xl.8589.1.S1_at	9.733248168
Xl.8589.2.A1_at	9.86893074
Xl.859.1.S1_at	4.711682317
Xl.8592.1.S1_at	6.952296051
Xl.8593.1.S1_at	8.528772331
Xl.8594.1.S1_at	3.453281627
Xl.8596.1.A1_at	8.452788523
Xl.8596.3.A1_at	6.892127547
Xl.86.1.S1_at	2.912900675
Xl.860.1.S1_at	4.399253495
Xl.8606.1.S1_at	6.511381507
Xl.8608.1.A1_at	3.364707852
Xl.8609.1.S1_a_at	9.369258903
Xl.8609.1.S1_at	9.950072673
Xl.861.1.S1_at	2.629214575
Xl.8611.1.A1_at	2.852606005
Xl.8611.1.S1_at	3.415112895
Xl.8613.1.A1_at	7.547208906
Xl.862.1.S1_at	3.276868686
Xl.8624.1.S2_at	4.790359657
Xl.8625.1.S1_at	7.998485592
Xl.8625.2.A1_at	8.591139428
Xl.8628.1.S1_at	9.278191933
Xl.863.1.S1_s_at	3.346391974
Xl.8630.1.S1_at	3.358286591
Xl.8630.1.S1_s_at	5.848233902
Xl.8631.1.A1_at	5.993793463
Xl.8637.1.A1_at	7.387383971
Xl.8637.2.A1_at	5.373174161
Xl.864.1.S1_at	2.657917009
Xl.865.1.S1_at	4.835766874
Xl.8653.1.S1_at	5.601904485
Xl.8658.1.A1_x_at	4.021694197
Xl.8659.1.A1_at	7.408900515
Xl.866.1.S2_at	6.411819244
Xl.8660.1.A1_at	3.164520775
Xl.8663.1.S1_at	6.327885749
Xl.8668.1.S1_at	7.027184361
Xl.8670.1.A1_at	3.215599128
Xl.8671.1.S1_at	4.87306412
Xl.8672.1.S1_at	10.49657383
Xl.868.1.S1_at	2.944857509
Xl.8685.1.A1_at	3.048586698
Xl.8686.1.S1_at	3.126300561
Xl.869.1.S2_at	2.853532857
Xl.8693.1.A1_at	3.692289978
Xl.8697.1.A1_at	4.347964233
Xl.8699.1.S1_at	8.91234632
Xl.87.1.S1_at	5.954652304
Xl.870.1.S1_at	4.050649238
Xl.8700.1.S1_at	5.844062897
Xl.8701.1.S1_a_at	5.182434749
Xl.8703.1.A1_at	6.598012581
Xl.8705.1.S1_at	5.190632738
Xl.8707.1.S1_at	4.878876698
Xl.8709.1.S1_at	9.568125518
Xl.871.1.S1_at	6.188397223
Xl.8715.1.A1_at	5.383951815
Xl.8717.1.S1_a_at	9.283752069
Xl.8717.1.S1_at	5.690684312
Xl.8717.2.A1_at	9.0985394
Xl.8719.1.S1_at	5.759926333
Xl.872.1.S1_at	3.116970061
Xl.8720.1.S1_at	5.474112533
Xl.8720.1.S1_s_at	4.303912707
Xl.8721.1.S1_at	6.146529275
Xl.8724.1.A1_at	5.524583898
Xl.8728.1.S1_at	6.710168203
Xl.873.1.S1_a_at	3.326900548
Xl.874.1.S1_s_at	5.834852705
Xl.8740.1.S1_at	7.223575363
Xl.8741.1.S1_at	7.88551208
Xl.875.1.S1_at	3.277928307
Xl.8753.1.A1_at	3.813220958
Xl.8755.1.A1_at	2.596280645
Xl.8757.1.S1_a_at	8.344666323
Xl.8757.1.S1_at	9.39766234
Xl.8757.2.A1_at	8.200676663
Xl.8759.1.S1_at	3.526792695
Xl.876.1.S1_at	3.638984761
Xl.8760.1.S1_at	3.447679358
Xl.8761.1.S1_at	7.429813783
Xl.8765.1.S1_at	4.542542476
Xl.8767.1.A1_at	7.056464764
Xl.877.1.A1_at	3.414358118
Xl.877.1.S1_at	3.59023415
Xl.8774.1.S1_at	3.608241432
Xl.8775.1.S1_at	9.188846476
Xl.8775.2.A1_at	8.932556155
Xl.878.1.S1_at	2.987445975
Xl.8781.1.S1_at	7.576818131
Xl.8782.1.A1_at	6.450858008
Xl.8784.1.A1_at	7.722464752
Xl.8785.1.S1_at	8.310456061
Xl.879.1.S1_s_at	7.530388269
Xl.8793.1.A1_at	4.006538857
Xl.8794.1.A1_at	2.883838264
Xl.8794.1.S1_at	3.419664541
Xl.88.1.S1_at	3.520428319
Xl.880.1.S1_at	3.93130186
Xl.8805.1.S1_at	9.098046096
Xl.8805.1.S1_s_at	11.03694418
Xl.8808.1.S1_at	3.57692613
Xl.881.1.S1_at	5.329840414
Xl.8812.1.S1_at	7.882984786
Xl.8819.1.S1_at	7.46665285
Xl.8819.2.A1_at	4.746978257
Xl.882.1.S1_at	4.215787957
Xl.8820.1.S1_at	9.764499207
Xl.8820.1.S2_at	6.096746676
Xl.8821.1.A1_at	3.005943637
Xl.8824.1.S1_at	7.462813175
Xl.8828.1.S1_at	5.394026807
Xl.883.1.A1_at	7.141382012
Xl.8836.1.S1_at	3.261541097
Xl.884.1.S1_at	7.034570512
Xl.884.1.S2_at	7.250312719
Xl.8842.2.A1_at	5.644698751
Xl.8842.2.S1_a_at	11.48011479
Xl.8842.3.S1_at	9.028644568
Xl.8842.4.A1_at	6.342044593
Xl.8846.1.S1_at	3.814605707
Xl.8849.1.S1_at	4.853420334
Xl.885.1.S1_at	6.287256822
Xl.885.1.S2_at	7.45784136
Xl.8851.1.S1_at	8.395669997
Xl.8852.1.S1_at	8.686180365
Xl.886.2.S1_a_at	3.322845457
Xl.8860.1.S1_at	12.11694239
Xl.8868.1.A1_at	4.281163482
Xl.887.1.S1_at	4.462845694
Xl.8872.1.A1_at	3.519160229
Xl.8872.1.A1_x_at	4.525488548
Xl.8873.1.A1_at	6.184190112
Xl.8876.1.S1_at	9.561833674
Xl.8877.1.S1_x_at	10.1040336
Xl.8878.1.S1_at	4.926581776
Xl.888.1.S1_at	4.589534935
Xl.8880.1.S1_at	6.411344544
Xl.8880.2.A1_at	5.052922844
Xl.8883.1.A1_at	5.05015326
Xl.8886.1.S1_at	4.993309751
Xl.8887.1.S1_at	4.325015935
Xl.889.1.S1_at	2.734398504
Xl.8895.1.A1_at	3.486345894
Xl.89.1.S1_at	5.637415981
Xl.890.1.S1_at	2.791454703
Xl.8900.1.A1_at	5.740975861
Xl.8902.1.S1_a_at	11.31276809
Xl.8902.1.S1_at	11.16965438
Xl.8902.2.S1_a_at	11.8663149
Xl.8902.2.S1_at	7.824930265
Xl.8902.2.S2_at	6.558029986
Xl.8903.1.S1_a_at	10.5985723
Xl.8903.1.S1_at	10.2656783
Xl.8903.2.S1_at	7.105717309
Xl.8907.1.S1_at	9.878401238
Xl.8908.1.S1_at	6.743748971
Xl.891.1.S1_at	10.97520985
Xl.891.2.S1_a_at	7.691092273
Xl.8910.1.S1_at	9.30490525
Xl.8911.1.S1_at	11.13007884
Xl.8912.1.S1_at	6.557057398
Xl.8913.1.S1_at	2.618786188
Xl.8914.1.A1_at	5.776778036
Xl.8916.1.S1_at	7.534482507
Xl.8917.1.S1_at	8.400747562
Xl.8919.1.S1_x_at	10.60837702
Xl.8919.1.S2_at	10.34881599
Xl.8919.2.S1_x_at	9.432685598
Xl.8919.3.S1_x_at	8.928679417
Xl.892.1.S1_a_at	4.730427585
Xl.892.2.S1_at	2.645771538
Xl.8921.1.A1_s_at	5.588968651
Xl.8922.1.A1_at	6.419166588
Xl.8923.1.A1_at	6.425082232
Xl.8924.1.A1_at	7.169557267
Xl.8925.1.A1_at	3.324333774
Xl.8926.1.A1_at	5.149346528
Xl.8927.1.A1_at	8.408721976
Xl.8928.1.A1_at	6.749841253
Xl.8929.1.A1_at	2.676957468
Xl.8929.2.A1_at	2.481596472
Xl.893.1.S1_at	2.948792337
Xl.8930.1.A1_at	2.883238333
Xl.8931.1.A1_at	3.867401548
Xl.8932.1.A1_at	4.539680238
Xl.8933.1.A1_at	8.508069817
Xl.8934.1.A1_s_at	5.22345981
Xl.8934.2.S1_at	5.001544469
Xl.8935.1.A1_at	3.867169864
Xl.8936.1.A1_at	2.78780848
Xl.8937.1.A1_at	2.792714208
Xl.8939.1.A1_at	3.232515878
Xl.894.1.S1_at	3.034373169
Xl.8940.1.A1_at	7.61797212
Xl.8942.1.A1_at	5.245202105
Xl.8943.1.A1_at	5.726801266
Xl.8944.1.A1_at	4.096457098
Xl.8945.1.S1_at	12.08032041
Xl.8945.1.S2_at	5.818675505
Xl.8946.1.S1_at	3.193714528
Xl.8947.1.S1_a_at	12.21757919
Xl.8947.1.S1_x_at	11.58673029
Xl.8947.2.S1_x_at	12.0598083
Xl.8949.1.S1_at	9.27642118
Xl.895.1.S1_at	3.715826403
Xl.8950.1.S1_x_at	8.523679632
Xl.8950.1.S2_x_at	7.743961966
Xl.8951.1.S1_at	10.08862424
Xl.8953.1.A1_at	5.651232106
Xl.8955.1.A1_at	8.58561562
Xl.8955.2.S1_a_at	6.390710134
Xl.8955.2.S1_x_at	5.678512513
Xl.8956.1.A1_at	8.316687952
Xl.8958.1.A1_at	5.324008915
Xl.8959.1.A1_at	3.352358583
Xl.896.1.S1_at	7.612781279
Xl.8962.1.A1_at	2.670734079
Xl.8963.1.A1_at	2.914387418
Xl.8968.1.A1_at	3.22417709
Xl.897.1.S1_at	9.579870792
Xl.8971.1.A1_at	3.531833759
Xl.8974.1.S1_at	3.297927503
Xl.8975.1.A1_at	3.72184011
Xl.8976.1.S1_at	7.179990039
Xl.8977.1.A1_at	7.63067719
Xl.8979.1.A1_at	2.831375016
Xl.898.1.S1_at	2.618464235
Xl.898.1.S1_s_at	3.334521804
Xl.8980.1.S1_at	2.81276193
Xl.8981.1.A1_at	6.245374682
Xl.8983.1.S1_at	2.957782695
Xl.8984.1.A1_at	3.926934716
Xl.8985.1.A1_at	3.032289406
Xl.899.1.S1_at	8.636490204
Xl.8991.1.A1_at	5.895719818
Xl.8992.1.A1_at	5.884785843
Xl.90.1.S1_at	2.972278241
Xl.900.1.S1_at	2.69267955
Xl.9003.1.S1_at	2.859007156
Xl.9006.1.S1_at	3.071414008
Xl.901.1.S1_s_at	3.401946223
Xl.9019.1.A1_at	5.578687712
Xl.902.1.S1_a_at	4.434675764
Xl.902.2.S1_a_at	4.217334024
Xl.9022.1.A1_at	2.899061659
Xl.9027.1.A1_at	9.611880649
Xl.9028.1.A1_at	7.063219621
Xl.9028.2.S1_at	6.133279134
Xl.903.1.S1_at	2.60819683
Xl.9031.1.A1_x_at	2.840670969
Xl.9036.1.A1_at	7.286405859
Xl.904.1.S1_at	5.492439509
Xl.9041.1.A1_at	4.588749741
Xl.9043.1.A1_at	2.749894903
Xl.9045.1.A1_at	7.302137839
Xl.9050.1.A1_at	2.721210109
Xl.9051.1.S1_at	9.124337524
Xl.9052.1.A1_at	6.063132753
Xl.9058.1.A1_at	3.408067362
Xl.906.1.S1_at	4.527157963
Xl.9062.1.A1_at	4.298454927
Xl.9066.1.A1_at	6.048564472
Xl.9068.1.S1_at	3.525900182
Xl.907.1.S1_at	4.256740353
Xl.9070.1.S1_at	9.311135863
Xl.9071.1.A1_at	5.069842909
Xl.9073.1.A1_at	2.676335023
Xl.9074.1.A1_at	6.171252241
Xl.9075.1.A1_at	6.217903736
Xl.9076.1.S1_at	6.883897115
Xl.9077.1.A1_at	3.857440104
Xl.9078.1.S1_at	3.415771447
Xl.9079.1.S1_at	3.225976322
Xl.908.1.S1_at	9.106561323
Xl.9080.1.A1_at	6.321700378
Xl.9082.1.A1_at	5.850529766
Xl.9083.1.A1_at	3.476966961
Xl.9087.1.A1_at	3.393858325
Xl.9088.1.A1_at	3.263550074
Xl.9089.1.A1_at	3.246777117
Xl.909.1.S1_at	8.442795316
Xl.9091.1.A1_at	5.835283714
Xl.9092.1.A1_at	4.333545594
Xl.9094.1.A1_at	3.584890967
Xl.9098.1.A1_at	2.930556473
Xl.9098.1.A1_s_at	3.111064049
Xl.9099.1.A1_at	3.113926896
Xl.91.1.S1_s_at	3.363420672
Xl.910.1.S1_at	7.828237748
Xl.9100.1.A1_at	2.630017865
Xl.9102.1.A1_at	2.927090144
Xl.9104.1.A1_x_at	2.8474422
Xl.9104.2.A1_a_at	11.27224934
Xl.9104.2.A1_at	9.289179035
Xl.9106.1.S1_at	3.905322922
Xl.9107.1.A1_at	5.258730532
Xl.911.1.S1_at	2.904867108
Xl.9110.1.A1_at	3.402328051
Xl.9112.1.A1_at	2.524015519
Xl.9113.1.A1_at	5.518837049
Xl.9114.1.A1_at	2.501602786
Xl.9115.1.A1_x_at	3.266357373
Xl.9115.2.A1_a_at	3.891821019
Xl.9115.2.A1_at	2.753377287
Xl.9115.2.A1_x_at	3.627134306
Xl.9116.1.A1_at	6.481953967
Xl.9118.1.A1_at	2.868303731
Xl.9119.1.A1_at	2.393216187
Xl.9121.1.A1_at	2.477833811
Xl.9121.1.A1_x_at	2.594115191
Xl.9122.1.A1_at	4.217651951
Xl.9122.2.S1_at	3.609858711
Xl.9123.1.A1_at	3.603845855
Xl.9124.1.A1_at	2.598526946
Xl.9125.1.A1_at	7.767237757
Xl.9127.1.A1_at	2.743980488
Xl.9131.1.A1_at	3.357408051
Xl.9133.1.A1_at	4.749158364
Xl.9135.1.A1_at	2.590770966
Xl.9136.1.A1_at	4.936285984
Xl.9137.1.A1_at	9.09126083
Xl.9139.1.A1_at	2.726307945
Xl.914.1.S1_at	6.722963949
Xl.9140.1.A1_at	2.61267451
Xl.9142.1.S1_at	2.49455465
Xl.9143.1.A1_at	4.253162839
Xl.9144.1.A1_at	3.499499539
Xl.9150.1.A1_at	2.482122704
Xl.9152.1.A1_at	3.471193469
Xl.9153.1.A1_at	3.022712552
Xl.9155.1.A1_at	3.420324438
Xl.9156.1.S1_at	4.713352262
Xl.9157.1.A1_at	2.515849906
Xl.9158.1.A1_at	3.392768314
Xl.9159.1.A1_at	4.558662413
Xl.916.1.S1_at	3.840415197
Xl.916.2.S1_a_at	5.927878562
Xl.916.2.S1_at	4.130840502
Xl.9160.1.A1_at	8.842661089
Xl.9161.1.A1_at	3.002973914
Xl.9167.1.A1_at	5.312733168
Xl.9168.1.A1_at	5.341645523
Xl.9169.1.S1_at	4.137349071
Xl.917.1.S1_at	2.816622136
Xl.9173.1.A1_at	2.82182231
Xl.9175.1.A1_at	4.069574963
Xl.9177.1.A1_at	2.770450927
Xl.9178.1.A1_at	5.647475033
Xl.9179.1.A1_at	2.698918716
Xl.918.1.S1_at	2.895846291
Xl.9181.1.S1_at	5.555040007
Xl.9183.1.A1_at	9.617257197
Xl.9189.1.S1_at	4.252477555
Xl.919.1.S1_at	6.288036412
Xl.919.2.S1_at	2.816234678
Xl.9193.1.A1_s_at	3.525029296
Xl.9193.1.A1_x_at	4.166700842
Xl.9194.1.A1_at	3.653858526
Xl.9196.1.A1_at	6.596577181
Xl.9198.1.S1_at	6.316814529
Xl.9199.1.S1_at	2.75611109
Xl.92.1.S1_at	8.974419804
Xl.9201.1.A1_at	3.28014318
Xl.9201.1.A1_x_at	3.189321854
Xl.9202.1.A1_at	8.162453656
Xl.9203.1.A1_at	5.971094994
Xl.9205.1.A1_at	6.4377193
Xl.9206.1.S1_at	4.213255905
Xl.9209.1.A1_at	4.132361366
Xl.921.1.S1_at	9.832777986
Xl.9213.1.A1_at	7.028243371
Xl.9214.1.A1_at	3.824164511
Xl.9218.1.A1_at	4.363218126
Xl.9219.1.A1_at	4.333527522
Xl.922.1.S1_at	4.313963436
Xl.9220.1.A1_at	5.22813438
Xl.9224.1.S1_at	7.813184187
Xl.9225.1.A1_at	2.856359094
Xl.9227.1.A1_at	4.08742627
Xl.923.1.S1_at	3.82031264
Xl.9231.1.A1_at	5.203116833
Xl.9232.1.A1_at	2.771595687
Xl.9233.1.A1_at	4.258308688
Xl.9234.1.A1_at	5.537146971
Xl.924.1.S1_at	2.722435029
Xl.924.2.S1_at	2.672173297
Xl.9246.1.A1_at	5.018906597
Xl.9247.1.A1_at	5.903234143
Xl.925.1.S1_at	7.885610649
Xl.9257.1.A1_at	4.146670799
Xl.9259.1.S1_at	4.723956508
Xl.926.1.S1_at	2.566500444
Xl.9260.1.A1_at	5.480778932
Xl.9269.1.A1_at	3.041797387
Xl.927.1.S1_at	9.216204721
Xl.9271.1.A1_at	3.390802669
Xl.9271.1.S1_at	2.983202568
Xl.9271.1.S1_x_at	3.421400441
Xl.9272.1.A1_at	2.686094099
Xl.9277.1.A1_at	2.843846946
Xl.928.1.S1_at	9.011879953
Xl.9284.1.A1_at	8.919956346
Xl.9286.1.S1_at	7.720657615
Xl.9287.1.S1_s_at	8.263404374
Xl.9287.2.S1_at	7.374008694
Xl.929.1.S1_at	5.992406536
Xl.929.1.S2_at	7.252625729
Xl.929.2.S1_s_at	5.877233995
Xl.9291.1.A1_at	7.703298903
Xl.9293.1.S1_at	3.011970297
Xl.9298.1.S1_at	2.296155933
Xl.93.1.S1_at	7.461951818
Xl.930.1.A1_at	3.819122914
Xl.9300.1.A1_at	4.531773592
Xl.9301.1.A1_at	5.395092357
Xl.9307.1.A1_at	5.526261274
Xl.9307.2.A1_at	3.955195387
Xl.931.1.S1_at	3.856163349
Xl.9315.1.A1_at	2.94015766
Xl.9316.2.A1_at	4.063244634
Xl.932.1.S1_at	3.111486902
Xl.9320.1.S1_at	3.518803516
Xl.9321.1.A1_at	7.346502729
Xl.9325.1.A1_at	6.545016973
Xl.9326.1.A1_at	2.642321234
Xl.9328.1.S1_at	5.828884631
Xl.933.1.S1_at	2.613123422
Xl.9331.1.S1_at	6.153563311
Xl.9333.1.S1_at	2.761192496
Xl.9335.1.S1_at	3.065383004
Xl.9337.1.A1_at	4.33301639
Xl.9342.1.A1_at	2.97227956
Xl.9346.1.S1_at	2.875967517
Xl.935.1.S1_at	2.590661764
Xl.9354.1.S1_at	2.689362368
Xl.9359.1.A1_at	8.311040824
Xl.936.1.S1_at	6.130311017
Xl.9360.1.A1_at	4.806407609
Xl.9363.1.A1_at	6.00724502
Xl.9364.1.S1_at	6.275912227
Xl.9364.1.S2_at	7.10583225
Xl.9366.1.A1_at	5.520089568
Xl.937.1.S1_at	8.198044496
Xl.9371.1.A1_at	6.461198838
Xl.9373.1.A1_at	5.896851579
Xl.9374.1.A1_at	7.185409744
Xl.9378.1.A1_at	2.920432946
Xl.9379.1.A1_at	5.50382966
Xl.938.1.S1_at	2.800355322
Xl.9382.1.A1_at	2.873661921
Xl.9383.1.A1_at	3.946028288
Xl.9387.1.A1_at	4.773823285
Xl.9387.1.A1_x_at	4.628852184
Xl.939.1.S1_at	2.689492264
Xl.9392.1.A1_at	4.771891967
Xl.9393.1.A1_at	4.072726775
Xl.9394.1.A1_at	6.685485636
Xl.9395.1.A1_at	7.711322538
Xl.9396.1.S1_at	3.311281282
Xl.9397.1.A1_at	2.679115426
Xl.94.1.S1_a_at	2.466117609
Xl.940.1.S1_at	3.796032875
Xl.9401.1.A1_at	3.402643404
Xl.9402.1.A1_at	2.614153396
Xl.9405.1.S1_at	4.080540376
Xl.9407.1.A1_at	4.914924305
Xl.9408.1.A1_at	5.749983726
Xl.9409.1.S1_at	2.852147668
Xl.941.1.S1_at	2.809085943
Xl.9410.1.A1_at	5.686837953
Xl.9413.1.S1_at	10.81796356
Xl.9413.1.S1_s_at	10.50216948
Xl.9415.1.A1_at	4.859842349
Xl.942.1.A1_s_at	6.220064039
Xl.9422.1.S1_at	3.279723231
Xl.9427.1.S1_at	3.235432902
Xl.9429.1.A1_at	3.097915694
Xl.943.1.A1_at	3.722002802
Xl.943.1.A1_s_at	2.605310115
Xl.9439.1.S1_at	2.837627811
Xl.9441.1.A1_at	2.963891152
Xl.945.1.S1_at	3.318536988
Xl.9451.1.A1_at	2.73446301
Xl.9454.1.S1_a_at	7.146924487
Xl.9454.1.S1_at	6.90619036
Xl.9454.2.A1_at	6.14504356
Xl.9454.2.A1_x_at	6.413062362
Xl.9457.1.A1_at	5.717841109
Xl.9458.1.A1_at	5.206403567
Xl.9459.1.A1_at	4.337326942
Xl.946.1.S1_at	4.996683048
Xl.9460.1.A1_at	4.658715719
Xl.9462.1.A1_at	2.808840796
Xl.9463.1.S1_at	5.322591074
Xl.9467.1.S1_at	5.635442903
Xl.9468.1.A1_at	2.694064534
Xl.9469.1.A1_at	6.055109388
Xl.947.1.S1_at	2.897306202
Xl.9471.1.A1_at	2.438420199
Xl.9472.1.S1_at	5.679442611
Xl.9473.1.S1_at	4.282555697
Xl.9474.1.S1_at	4.222888746
Xl.9476.1.A1_at	2.927168815
Xl.9477.1.A1_at	4.006691312
Xl.948.1.S1_at	3.055675717
Xl.9480.1.S1_at	2.636126009
Xl.9482.1.A1_at	3.115100757
Xl.9484.1.A1_at	4.733224607
Xl.9485.1.A1_x_at	4.664558973
Xl.9487.1.A1_at	3.64972456
Xl.9488.1.A1_at	4.582091387
Xl.949.1.S1_at	4.948254161
Xl.9491.1.S1_at	2.547640588
Xl.95.1.S1_at	6.339346689
Xl.95.1.S1_x_at	5.862008097
Xl.9500.1.A1_at	5.144307789
Xl.9501.1.A1_at	2.551729123
Xl.9505.1.A1_at	3.014648508
Xl.9506.1.A1_at	5.316017266
Xl.9507.1.A1_at	6.885387247
Xl.9508.1.S1_at	6.23447418
Xl.951.1.A1_at	3.515144116
Xl.951.1.S1_at	4.852349663
Xl.9516.1.A1_at	5.852216781
Xl.9517.1.A1_at	2.320673054
Xl.9518.1.S1_at	2.722442293
Xl.952.1.S1_at	4.409087342
Xl.9526.1.A1_at	2.697514316
Xl.9527.1.A1_at	6.720365394
Xl.9528.1.A1_at	4.185025607
Xl.953.1.S1_at	3.816592125
Xl.9533.1.A1_at	2.644559761
Xl.9534.1.A1_at	7.912215066
Xl.9535.1.A1_at	3.125029928
Xl.9537.1.A1_at	3.867958268
Xl.9538.1.A1_at	2.855171613
Xl.9539.1.S1_at	7.558023745
Xl.954.1.S1_x_at	4.954978281
Xl.9543.1.A1_at	2.604703879
Xl.9544.1.A1_at	3.01966896
Xl.9545.1.A1_at	3.135748185
Xl.9547.1.S1_at	4.986735697
Xl.9548.1.A1_at	3.520116736
Xl.9549.1.S1_at	4.289761848
Xl.9554.1.A1_at	2.705876043
Xl.9558.1.A1_at	3.609563076
Xl.956.1.S1_at	6.802604174
Xl.9561.1.A1_at	8.008147085
Xl.9563.1.S1_at	8.058054453
Xl.9564.1.A1_at	4.315744535
Xl.9565.1.S1_at	7.649500304
Xl.957.1.S1_at	5.43731704
Xl.9571.1.A1_at	5.814215522
Xl.9572.2.S1_a_at	5.477993242
Xl.9572.2.S1_x_at	4.016461828
Xl.9574.1.S1_at	3.431992071
Xl.9576.1.S1_at	2.552370638
Xl.9577.1.A1_at	2.787160322
Xl.9579.1.S1_at	3.318500255
Xl.958.1.S2_at	7.250939213
Xl.9580.1.S1_at	3.330363008
Xl.9583.1.A1_at	5.314688528
Xl.9584.1.S1_at	3.225295136
Xl.9586.1.A1_at	4.638500866
Xl.9587.1.A1_at	7.635580355
Xl.9589.1.S1_at	7.746727346
Xl.959.1.S1_at	6.423738973
Xl.9590.1.A1_at	3.164548339
Xl.9590.1.A1_x_at	3.412450525
Xl.9591.1.A1_at	2.81513464
Xl.9593.1.S1_at	2.989081027
Xl.9595.1.S1_at	4.036923077
Xl.9596.1.A1_at	5.296684682
Xl.9597.1.S1_at	6.563664015
Xl.9599.1.A1_at	7.291714031
Xl.960.1.S1_at	9.280149781
Xl.9600.1.A1_at	2.854520065
Xl.9602.1.S1_at	2.905697818
Xl.9603.1.S1_at	4.9329081
Xl.9604.1.S1_at	3.74162104
Xl.9606.1.A1_at	5.908195927
Xl.9609.1.S1_at	7.995011073
Xl.9610.1.A1_at	2.774115912
Xl.9613.1.A1_at	6.694403469
Xl.9616.1.A1_at	3.658787124
Xl.9617.1.A1_at	4.950208765
Xl.9619.1.S1_at	8.584770119
Xl.9619.1.S1_s_at	4.232427769
Xl.962.1.S1_a_at	9.50352431
Xl.962.2.S1_at	9.962274729
Xl.962.3.A1_at	6.824578851
Xl.962.4.A1_at	9.57105239
Xl.9621.1.A1_at	3.563275511
Xl.9622.1.A1_at	3.559863577
Xl.9623.1.A1_at	4.301101685
Xl.9626.1.S1_at	2.775576777
Xl.9628.1.S1_a_at	5.498541411
Xl.9628.1.S1_x_at	6.362112204
Xl.9629.1.A1_at	5.401539268
Xl.963.1.S1_at	4.696814241
Xl.9630.1.A1_at	3.2018361
Xl.9631.1.A1_at	7.088448186
Xl.9631.2.A1_at	6.708010133
Xl.9634.1.S1_at	3.30843375
Xl.9636.1.A1_at	3.240161608
Xl.9637.1.A1_at	4.772929907
Xl.9638.1.A1_at	5.329624747
Xl.9639.1.A1_at	5.366138984
Xl.9640.1.S1_at	4.595030885
Xl.9641.1.A1_at	5.58142543
Xl.9642.1.A1_at	7.519957745
Xl.9642.2.S1_at	7.592250078
Xl.9642.3.S1_a_at	8.618424422
Xl.9643.1.A1_at	6.771312252
Xl.9644.1.A1_at	7.995514813
Xl.9645.1.A1_at	6.23534359
Xl.9645.2.A1_at	5.989961606
Xl.9646.1.S1_at	4.738612964
Xl.9647.1.S1_at	3.249624392
Xl.9649.1.A1_at	5.859953648
Xl.965.1.S1_at	3.233474641
Xl.9651.1.A1_at	4.75809819
Xl.9652.1.A1_at	2.715120934
Xl.9653.1.S1_at	2.937959705
Xl.9654.1.A1_at	2.828689344
Xl.9655.1.A1_at	3.104379484
Xl.9656.1.S1_at	6.138281613
Xl.9657.1.A1_at	3.965437502
Xl.966.1.S1_at	3.532881498
Xl.9662.1.A1_at	2.995640061
Xl.9663.1.A1_at	8.311737831
Xl.9665.1.A1_at	4.067458782
Xl.9666.1.S1_at	4.258126692
Xl.9667.1.A1_at	5.284406557
Xl.967.1.S1_at	5.058258496
Xl.9671.1.S1_at	6.841788276
Xl.9674.2.A1_at	2.77792413
Xl.9677.1.A1_at	6.231941032
Xl.968.1.S1_at	7.202749773
Xl.968.1.S1_s_at	7.118320831
Xl.9680.1.A1_x_at	5.447425746
Xl.9681.1.A1_at	6.212924657
Xl.9684.1.A1_x_at	3.072306381
Xl.9686.1.A1_at	3.843214229
Xl.9687.1.A1_at	3.502629342
Xl.9689.2.A1_at	2.892600123
Xl.969.1.S1_at	2.859216569
Xl.9691.1.A1_at	2.809201634
Xl.9692.1.A1_at	4.280412305
Xl.9694.1.A1_at	4.564820034
Xl.9695.1.A1_at	2.713316643
Xl.9696.1.A1_at	2.507512668
Xl.9699.1.S1_at	3.114988927
Xl.97.1.S1_at	3.909613117
Xl.970.1.S1_at	2.844432762
Xl.9701.1.A1_at	2.807489475
Xl.9701.1.A1_x_at	2.735717594
Xl.9702.1.A1_at	5.669075902
Xl.9703.1.A1_at	3.663623909
Xl.9704.1.S1_at	4.481865752
Xl.9706.1.A1_at	2.617349817
Xl.9707.1.A1_at	5.933739752
Xl.9708.1.A1_at	6.965210757
Xl.971.1.S1_at	2.708620625
Xl.9712.1.A1_at	5.824619421
Xl.9715.1.A1_at	3.384822653
Xl.9716.1.A1_at	3.089308907
Xl.9717.1.A1_at	2.99516139
Xl.972.1.S1_at	9.816920882
Xl.9720.1.S1_at	3.311934659
Xl.9722.1.S1_a_at	2.927579178
Xl.9723.1.A1_at	3.153716716
Xl.9723.2.S1_a_at	3.741544166
Xl.9723.2.S1_at	2.898903082
Xl.9723.3.A1_a_at	3.558192264
Xl.9726.1.A1_at	6.845611921
Xl.9726.3.A1_at	6.862711643
Xl.9728.1.A1_at	3.185571858
Xl.9729.1.A1_at	2.739833199
Xl.973.1.S1_at	3.124644594
Xl.9731.1.A1_at	3.791261734
Xl.9732.1.A1_at	5.81051787
Xl.9734.1.A1_at	2.909128582
Xl.9739.1.S1_at	4.976837665
Xl.974.1.S1_at	4.246104311
Xl.9742.1.A1_at	6.140237063
Xl.9745.1.A1_at	8.433867497
Xl.9746.1.S1_at	2.616176284
Xl.9747.1.S1_at	3.390755959
Xl.9748.1.S1_at	3.626705226
Xl.9749.1.S1_at	3.482321922
Xl.975.1.S1_at	6.471408126
Xl.9750.1.S1_at	5.866560253
Xl.9752.1.A1_at	7.192672962
Xl.9754.1.S1_at	5.654150514
Xl.9757.1.A1_at	6.896686368
Xl.9758.1.A1_at	4.216540697
Xl.9761.1.S1_at	6.135964482
Xl.9765.1.S1_at	5.288867846
Xl.9766.1.A1_at	4.476980213
Xl.9766.2.A1_at	6.516292936
Xl.9767.1.A1_at	2.670283622
Xl.9769.1.A1_at	5.618220491
Xl.977.1.S1_at	4.785063736
Xl.977.1.S2_at	3.887523391
Xl.9770.1.A1_at	4.413701491
Xl.9771.1.A1_at	3.578492268
Xl.9772.1.S1_at	6.473077567
Xl.9773.1.A1_at	4.119463829
Xl.9774.1.A1_at	6.295769933
Xl.9776.1.A1_at	5.810802706
Xl.9778.1.S1_at	3.196348841
Xl.9779.1.A1_at	3.963949094
Xl.978.1.S1_at	6.700840888
Xl.9780.1.S1_at	6.029479715
Xl.9780.2.A1_at	5.68774261
Xl.9782.1.A1_at	2.357860872
Xl.9786.1.A1_at	5.483236307
Xl.9787.1.A1_at	3.750898832
Xl.979.1.S1_at	2.680403811
Xl.9792.1.S1_at	7.717241932
Xl.9793.1.A1_at	4.539260431
Xl.9794.1.A1_at	3.622675991
Xl.9794.1.A1_s_at	4.450507805
Xl.9795.1.A1_at	7.938426566
Xl.9796.1.A1_at	3.601624594
Xl.9797.1.S1_at	9.714896147
Xl.98.1.S1_at	8.86637732
Xl.980.1.S1_at	4.754683449
Xl.9800.1.S1_at	6.136956798
Xl.9801.1.A1_at	2.922487846
Xl.9803.1.S1_at	4.114780878
Xl.9807.1.A1_at	7.242735784
Xl.9808.1.A1_at	3.124829698
Xl.9809.1.S1_at	9.2075749
Xl.981.1.S1_at	2.943050486
Xl.9810.1.A1_at	2.890603489
Xl.9813.1.S1_at	5.548454565
Xl.9816.1.A1_at	2.737377502
Xl.9818.1.A1_at	8.411149354
Xl.982.1.S1_at	4.391970068
Xl.9822.1.A1_at	5.239023961
Xl.9827.1.S1_at	3.215236721
Xl.9829.1.S1_at	6.72987241
Xl.983.1.S1_at	4.348489866
Xl.9832.1.A1_at	2.508014483
Xl.9833.1.S1_at	3.550155814
Xl.9834.1.S1_at	3.610056541
Xl.9836.1.A1_at	5.858410693
Xl.984.1.S1_a_at	3.119695218
Xl.9840.1.A1_at	6.564643219
Xl.9842.1.A1_at	3.486574088
Xl.9844.1.S1_at	3.338754526
Xl.9845.1.A1_at	6.930779289
Xl.9846.1.A1_at	6.081156379
Xl.9847.1.S1_at	3.035448397
Xl.985.1.S1_at	8.028335028
Xl.9850.1.A1_at	2.893004585
Xl.9856.1.S1_at	3.31312658
Xl.9857.1.S1_at	4.117669431
Xl.9858.1.A1_at	3.072390192
Xl.986.1.S1_at	7.080229974
Xl.9863.1.S1_at	2.862564744
Xl.9865.1.A1_at	6.355113783
Xl.9866.1.A1_at	5.310336045
Xl.9867.1.A1_at	7.190685581
Xl.987.1.S1_at	2.826915469
Xl.9871.1.A1_at	2.827421714
Xl.9871.1.A1_s_at	2.418835095
Xl.9875.1.A1_at	3.943546795
Xl.9876.1.A1_at	6.211022809
Xl.9877.1.A1_at	4.425522403
Xl.9878.1.A1_at	3.067393571
Xl.9879.1.S1_at	3.497484982
Xl.988.1.S1_at	8.701185651
Xl.9881.1.S1_at	5.999374918
Xl.9882.1.A1_at	6.363015019
Xl.9886.1.A1_at	6.215944879
Xl.9887.1.S1_at	3.344540642
Xl.989.1.S1_at	2.935908728
Xl.989.1.S1_s_at	2.635257583
Xl.9893.1.A1_at	2.568583258
Xl.9893.1.A1_x_at	2.746717557
Xl.9894.1.A1_at	8.930407135
Xl.9896.1.A1_at	3.032139839
Xl.99.1.S1_at	3.653161526
Xl.99.2.S1_at	3.292299098
Xl.990.1.S1_at	3.882218045
Xl.9901.1.A1_at	7.007016981
Xl.9903.1.S1_at	2.825954181
Xl.9905.1.A1_at	4.474365975
Xl.9906.1.A1_at	3.225833291
Xl.9907.1.A1_at	2.928110741
Xl.9909.1.A1_at	4.892722811
Xl.991.1.S1_at	3.092598666
Xl.9912.1.A1_at	3.172706353
Xl.9913.1.A1_at	6.891466358
Xl.9914.1.A1_at	4.670914087
Xl.9915.1.S1_at	2.904268203
Xl.9916.1.A1_at	7.452431353
Xl.9918.1.S1_at	4.947406998
Xl.992.1.S1_at	3.113480095
Xl.9921.1.A1_at	3.187166803
Xl.9922.1.A1_a_at	2.695628861
Xl.9923.1.A1_at	2.860262845
Xl.9924.1.A1_at	3.02273654
Xl.9926.1.S1_at	5.538069807
Xl.9928.1.A1_at	7.318423294
Xl.9928.2.S1_at	5.269283354
Xl.993.1.S1_at	7.223859491
Xl.9932.1.A1_at	4.938639834
Xl.9933.1.A1_at	2.911838894
Xl.9939.1.S1_at	3.8064356
Xl.9943.1.A1_at	3.944066833
Xl.9944.1.A1_at	3.314942715
Xl.9945.1.S1_at	6.883226457
Xl.9948.1.A1_at	3.269995626
Xl.9950.1.A1_at	3.723888624
Xl.9950.1.A1_s_at	3.519834346
Xl.9953.1.A1_at	5.860786178
Xl.9955.1.A1_at	4.213480997
Xl.9957.1.A1_at	2.868275519
Xl.9958.1.A1_at	6.115158378
Xl.9959.1.A1_at	6.694966124
Xl.9959.2.A1_at	5.620786789
Xl.996.1.S1_at	4.195607852
Xl.9961.1.A1_at	7.058968349
Xl.9963.1.A1_at	2.679687611
Xl.9964.1.S1_at	5.035969263
Xl.9966.1.A1_at	7.589363415
Xl.9967.1.A1_at	2.575776095
Xl.9971.1.A1_at	4.341928451
Xl.9974.1.A1_at	3.31581063
Xl.9975.1.A1_at	6.015364695
Xl.998.1.S1_at	2.84852361
Xl.9980.1.A1_at	4.418778112
Xl.9983.1.A1_at	4.552992325
Xl.9984.1.S1_at	3.312635035
Xl.9986.1.A1_at	6.850280618
Xl.9988.1.A1_at	2.587526656
Xl.9988.1.A1_x_at	3.00767564
Xl.999.1.S1_at	2.768100897
Xl.9990.1.A1_at	7.36452514
Xl.9992.1.A1_at	6.544506947
Xl.9994.1.S1_at	5.489894563
Xl.9994.1.S1_s_at	4.734380784
Xl.9996.1.A1_at	2.73115495
Xl.9997.1.A1_at	4.352729877
Xl.9998.1.A1_at	7.033610717
Xl.9998.2.S1_a_at	7.39036222
Xl.9998.2.S1_at	5.198515029
XlAffx.1.1.S1_at	2.842779971
XlAffx.1.10.S1_at	3.355631608
XlAffx.1.11.S1_at	9.053797771
XlAffx.1.12.S1_at	2.823567397
XlAffx.1.2.S1_at	3.020403104
XlAffx.1.3.S1_at	2.890034649
XlAffx.1.4.S1_at	3.32443384
XlAffx.1.5.S1_at	6.638918764
XlAffx.1.6.S1_at	2.775291149
XlAffx.1.7.S1_at	2.402584469
XlAffx.1.7.S1_x_at	3.163770548
XlAffx.1.8.S1_at	5.73829659
XlAffx.1.9.S1_at	3.38106349
XlAffx.2.1.S1_at	3.015434225
XlAffx.3.1.S1_at	3.739361144